JPH03238018A - 窒素ガスの分離方法 - Google Patents
窒素ガスの分離方法Info
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- JPH03238018A JPH03238018A JP2030229A JP3022990A JPH03238018A JP H03238018 A JPH03238018 A JP H03238018A JP 2030229 A JP2030229 A JP 2030229A JP 3022990 A JP3022990 A JP 3022990A JP H03238018 A JPH03238018 A JP H03238018A
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- nitrogen
- gas
- adsorbing
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- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は分子ふるい炭素の選択的吸着特性を利用して、
窒素を含む混合ガスより高濃度の窒素ガスを分離する方
法に関する。
窒素を含む混合ガスより高濃度の窒素ガスを分離する方
法に関する。
金属の熱処理、半導体の製造、化学プラントの防爆シー
ルなどに広く利用されている工業用窒素ガスは、従来上
として深冷分離装置により製造され、パイピング、タン
クローリ−ボンベ等によりユーザーへ供給されてきた。
ルなどに広く利用されている工業用窒素ガスは、従来上
として深冷分離装置により製造され、パイピング、タン
クローリ−ボンベ等によりユーザーへ供給されてきた。
近年になり、新しい窒素ガスの製造法として、例えば特
公昭64−17585号公報に開示された分子ふるいコ
ークスを充填剤とした吸着塔に原料ガスを加圧下で送入
し、酸素を選択的に吸着させ窒素ガスを分離する方法の
如きいわゆる圧力スイング吸着(Pressure S
wing Adsorption ; P S A )
式窒素ガスの製造法が開発されてきている。
公昭64−17585号公報に開示された分子ふるいコ
ークスを充填剤とした吸着塔に原料ガスを加圧下で送入
し、酸素を選択的に吸着させ窒素ガスを分離する方法の
如きいわゆる圧力スイング吸着(Pressure S
wing Adsorption ; P S A )
式窒素ガスの製造法が開発されてきている。
このPSA式窒素ガスの分離法は、深冷分離法に比較し
て装置が、小型となり操作が簡便で無人連続運転が可能
などの利点が注目され、現在もなお種々の装置改良が提
案されている。
て装置が、小型となり操作が簡便で無人連続運転が可能
などの利点が注目され、現在もなお種々の装置改良が提
案されている。
このPEA式窒素ガスの分離法においては、装置構成、
吸着剤、操作サイクル等種々の条件により、発生窒素ガ
スの純度や発生量、所要動力等がきまってくるため、こ
れまでにも種々の提案がなされてきている。しかしなが
ら窒素ガス純度、発生量、エネルギー原単位について、
あるいは装置のより一層のコンパクト化に関し克服すべ
き課題が多々残されているのが現状である。
吸着剤、操作サイクル等種々の条件により、発生窒素ガ
スの純度や発生量、所要動力等がきまってくるため、こ
れまでにも種々の提案がなされてきている。しかしなが
ら窒素ガス純度、発生量、エネルギー原単位について、
あるいは装置のより一層のコンパクト化に関し克服すべ
き課題が多々残されているのが現状である。
本発明者らは、この様な現状に鑑み鋭意研究の結果本発
明を完成させたものであり、その目的とするところは、
高純度窒素ガスを低いエネルギー原単位で多量に発生す
ることができる窒素ガスの分離方法を提供するにある。
明を完成させたものであり、その目的とするところは、
高純度窒素ガスを低いエネルギー原単位で多量に発生す
ることができる窒素ガスの分離方法を提供するにある。
上述の目的は、少なくとも2塔以上の吸着塔に窒素を含
む混合ガスを供給し、高圧吸着工程と、低圧再生工程と
を各吸着塔で交互に繰り返し、窒素ガスを分離するFS
A法において、 囚 分子ふるい炭素として (a) 粒径0.8〜120μmの多数の球状炭素粒
子が三次元的に不規則に重なり且つ合体された構造を有
し、 Q:1)該多数の炭素粒子の間には三次元的に不規則に
走る連続通路が存在し く0)該炭素粒子の夫々は、該粒子の間の通路に連通ず
る多数の細孔を有し、そして (d) 少なくとも85重量%以上の炭素含有率を有
し、かつ、 (e) 2.6 kgf/cmLGの加圧下で単成分
吸着を行なった際の酸素と窒素の1分後の吸着量の容量
比が3.5〜20である分子ふるい炭素を用い、 (6)吸着塔1塔当りの有効容積が製品ガス取出量(N
l/min )のO,,5〜10倍であり、かつ、製品
貯留槽有効容積が吸着塔1塔当りの有効容積の1〜4倍
であり、 0 吸脱着操作サイクルとして吸着、均圧、再生の各工
程を含み、かつ、均圧工程と吸着工程の間に強制的に、
あるいは吸着工程初期に自動的に製品貯留槽より吸着塔
に窒素富化ガスが還流する工程を含み、 (6)吸着工程が60〜2+00秒間であることを特徴
とする窒素ガスの分離方法により達成される。
む混合ガスを供給し、高圧吸着工程と、低圧再生工程と
を各吸着塔で交互に繰り返し、窒素ガスを分離するFS
A法において、 囚 分子ふるい炭素として (a) 粒径0.8〜120μmの多数の球状炭素粒
子が三次元的に不規則に重なり且つ合体された構造を有
し、 Q:1)該多数の炭素粒子の間には三次元的に不規則に
走る連続通路が存在し く0)該炭素粒子の夫々は、該粒子の間の通路に連通ず
る多数の細孔を有し、そして (d) 少なくとも85重量%以上の炭素含有率を有
し、かつ、 (e) 2.6 kgf/cmLGの加圧下で単成分
吸着を行なった際の酸素と窒素の1分後の吸着量の容量
比が3.5〜20である分子ふるい炭素を用い、 (6)吸着塔1塔当りの有効容積が製品ガス取出量(N
l/min )のO,,5〜10倍であり、かつ、製品
貯留槽有効容積が吸着塔1塔当りの有効容積の1〜4倍
であり、 0 吸脱着操作サイクルとして吸着、均圧、再生の各工
程を含み、かつ、均圧工程と吸着工程の間に強制的に、
あるいは吸着工程初期に自動的に製品貯留槽より吸着塔
に窒素富化ガスが還流する工程を含み、 (6)吸着工程が60〜2+00秒間であることを特徴
とする窒素ガスの分離方法により達成される。
本発明の窒素ガスの分離に用いる上述の如き構造と特性
を有する分子ふるい炭素の製造法は特開昭64−613
06号公報に詳述されているが、その要点は以下の如く
である。
を有する分子ふるい炭素の製造法は特開昭64−613
06号公報に詳述されているが、その要点は以下の如く
である。
即ち、(a) 粒径1〜150μmの球状熱硬化性フ
ェノール樹脂粉末、を100重量部当り、(b) フ
ェノール樹l旨またはメラミン樹脂よりなる熱硬化性樹
脂の溶液、5〜50重量部(固形分として) (c)ポリビニルアルコールおよび水溶性又は水膨潤性
セルロース誘導体から選ばれる高分子バインダー 1〜
30重量部である 均一混合物を準備し、この均一混合物を粒状物に成形し
、そして、この粒状物を非酸化性雰囲気下、500〜1
100°Cの範囲の温度で、加熱処理して炭化し、粒状
分子ふるい炭素とする方法である。
ェノール樹脂粉末、を100重量部当り、(b) フ
ェノール樹l旨またはメラミン樹脂よりなる熱硬化性樹
脂の溶液、5〜50重量部(固形分として) (c)ポリビニルアルコールおよび水溶性又は水膨潤性
セルロース誘導体から選ばれる高分子バインダー 1〜
30重量部である 均一混合物を準備し、この均一混合物を粒状物に成形し
、そして、この粒状物を非酸化性雰囲気下、500〜1
100°Cの範囲の温度で、加熱処理して炭化し、粒状
分子ふるい炭素とする方法である。
また、この分子ふるい炭素は、好ましくは、多数の球状
炭素粒子が粒径2〜80μmを有し、好ましくは多数の
炭素粒子の間の連続通路の平均直径は0.1〜20μm
である。
炭素粒子が粒径2〜80μmを有し、好ましくは多数の
炭素粒子の間の連続通路の平均直径は0.1〜20μm
である。
この分子ふるい炭素は、上記(4)、 (B)の特徴と
相俟って、上記多数の炭素粒子の夫々が、上記粒子間の
通路に連通ずる多数の細孔を有する。この多数の細孔の
存在が分子ふるい炭素の選択吸着性の発現に大きく寄与
している。
相俟って、上記多数の炭素粒子の夫々が、上記粒子間の
通路に連通ずる多数の細孔を有する。この多数の細孔の
存在が分子ふるい炭素の選択吸着性の発現に大きく寄与
している。
多数の炭素粒子の中の該細孔は好ましくは約10A以下
の平均直径を有する。
の平均直径を有する。
また、該細孔の占める容積は分子ふるい炭素の重量1g
当り好ましくは0,1〜o、ycoであり、より好まし
くは0615〜0.5coであり、さらに好ましくは0
.2〜0.4ccである。
当り好ましくは0,1〜o、ycoであり、より好まし
くは0615〜0.5coであり、さらに好ましくは0
.2〜0.4ccである。
該分子ふるい炭素は、組成上の特徴として、少なくとも
86重量%の炭素含有率を有し、好ましくは少なくとも
90重量%の炭素含有率を有する。
86重量%の炭素含有率を有し、好ましくは少なくとも
90重量%の炭素含有率を有する。
また、該分子ふるい炭素は、気孔率が好ましくは25〜
50容積%であり、より好ましくは30〜45容積%で
ある。
50容積%であり、より好ましくは30〜45容積%で
ある。
また、嵩密度が好ましくは0.7〜1.21 / o
。
。
であり、より好ましくは0.8〜1.1g/caである
。
。
該分子ふるい炭素は、上記の如く、好ましくは、平均直
径10A以下の細孔を有するが好ましくはこの細孔は平
均直径3〜5Aの範囲に最も多く分布している。
径10A以下の細孔を有するが好ましくはこの細孔は平
均直径3〜5Aの範囲に最も多く分布している。
この分子ふるい炭素の比表面積は、N2吸着によるB、
E、 T、法により測定した値として、通常1〜60
0m’/f/、好ましくは10〜400m”/f!、最
も好ましくは20〜350 m”/y程度である。
E、 T、法により測定した値として、通常1〜60
0m’/f/、好ましくは10〜400m”/f!、最
も好ましくは20〜350 m”/y程度である。
該分子ふるい炭素は、利えば直径0.5〜5mm長さ1
〜10mm程度の円柱状、あるいは直径0.5〜10m
m程度の球状の形態で提供され、その充填密度は通常0
.5〜0.76 f / amllであり、好ましくは
0.60〜0.70y/am’である。
〜10mm程度の円柱状、あるいは直径0.5〜10m
m程度の球状の形態で提供され、その充填密度は通常0
.5〜0.76 f / amllであり、好ましくは
0.60〜0.70y/am’である。
上記製法に従い2.5 kpf/am2・Gの加圧下で
単成分吸着を行なった際の酸素と窒素の1分後の吸着量
の容量比が3゜5〜20であるように製造された分子ふ
るい炭素は窒素を含む混合ガスより、窒素ガスを分離す
るPSA法において極めて有効に働き、高純度の窒素ガ
スを極めて効率よく分離することが可能であり、特にP
SA装置の構成と操作条件を以下の如く設定し、本MS
Cと組合せることによりその効果が極めて顕著であるこ
とを見出した。即ち、少なくとも2塔以上の吸着塔を有
するPSA装置において、 (1)吸着塔1塔当りの有効容積が製品ガス取出量(N
l/m1n)の0.3〜10倍であり、かつ製品貯留槽
有効容積が吸着塔1塔当りの有効容積の1〜4倍であり
、 (2)吸脱着操作サイクルとして、吸着、均圧、再生の
各工程を含みかつ、均圧工程と吸着工程の間に強制的に
あるいは吸着工程初期に自動的に製品貯留槽より吸着塔
に窒素富化ガスが還流する工程を含み (3)吸着工程が60〜300秒であるPSA装置の構
成と操作条件である。
単成分吸着を行なった際の酸素と窒素の1分後の吸着量
の容量比が3゜5〜20であるように製造された分子ふ
るい炭素は窒素を含む混合ガスより、窒素ガスを分離す
るPSA法において極めて有効に働き、高純度の窒素ガ
スを極めて効率よく分離することが可能であり、特にP
SA装置の構成と操作条件を以下の如く設定し、本MS
Cと組合せることによりその効果が極めて顕著であるこ
とを見出した。即ち、少なくとも2塔以上の吸着塔を有
するPSA装置において、 (1)吸着塔1塔当りの有効容積が製品ガス取出量(N
l/m1n)の0.3〜10倍であり、かつ製品貯留槽
有効容積が吸着塔1塔当りの有効容積の1〜4倍であり
、 (2)吸脱着操作サイクルとして、吸着、均圧、再生の
各工程を含みかつ、均圧工程と吸着工程の間に強制的に
あるいは吸着工程初期に自動的に製品貯留槽より吸着塔
に窒素富化ガスが還流する工程を含み (3)吸着工程が60〜300秒であるPSA装置の構
成と操作条件である。
本発明におけるMhoの特性は、後述の測定法により測
定した2、 5 kgf/am”・Gの加圧下での単成
分吸着において、酸素と窒素の1分後の吸着量の容量比
が3.5〜20である。この吸着容量比は、好ましくは
4.5〜20であり、最も好ましくは9〜20である。
定した2、 5 kgf/am”・Gの加圧下での単成
分吸着において、酸素と窒素の1分後の吸着量の容量比
が3.5〜20である。この吸着容量比は、好ましくは
4.5〜20であり、最も好ましくは9〜20である。
また、このMBCは、同一の測定法における1分後の酸
素吸着容量が通常MS01f当り6 X 10””〜9
X 10−’モルであり、好ましくは7 X 10−
’〜9 X 10−’モル、最も好ましくは7.5 X
10 〜9×10 モルである。
素吸着容量が通常MS01f当り6 X 10””〜9
X 10−’モルであり、好ましくは7 X 10−
’〜9 X 10−’モル、最も好ましくは7.5 X
10 〜9×10 モルである。
本発明のP8A装置は、主として、MSOを充填した2
塔以上の吸着塔、コンプレッサーなどの原料混合ガス供
給装置、製品窒素ガスを貯留するための製品貯留槽、及
びこれらの構成要素を連結する配管及びガスの流れを制
御するための自動弁とその制御系、流量調整計及びガス
濃度分析計などから構成されている。
塔以上の吸着塔、コンプレッサーなどの原料混合ガス供
給装置、製品窒素ガスを貯留するための製品貯留槽、及
びこれらの構成要素を連結する配管及びガスの流れを制
御するための自動弁とその制御系、流量調整計及びガス
濃度分析計などから構成されている。
本発明の極めて効率的な窒素ガスの分離法においては、
上記装置構成において吸着塔1塔当りの有効容積は、製
品ガス取出量(Nl/m1n )の063〜10倍であ
り、好ましくは0.5〜7倍、最も好ましくは0.7〜
4倍である。また、製品貯留槽有効容積は吸着塔1塔当
りの有効容積のI N4倍であり、好ましくは1.2〜
3倍、最も好ましくは1.4〜2倍である。製品取出量
に対し、吸着塔容積が小さい場合には、吸着塔容量当り
の生産性が向上し、製品単位量当りの動力消費量、即ち
動力原単位も少なくて済むが、製品の窒素純度が低下す
る。
上記装置構成において吸着塔1塔当りの有効容積は、製
品ガス取出量(Nl/m1n )の063〜10倍であ
り、好ましくは0.5〜7倍、最も好ましくは0.7〜
4倍である。また、製品貯留槽有効容積は吸着塔1塔当
りの有効容積のI N4倍であり、好ましくは1.2〜
3倍、最も好ましくは1.4〜2倍である。製品取出量
に対し、吸着塔容積が小さい場合には、吸着塔容量当り
の生産性が向上し、製品単位量当りの動力消費量、即ち
動力原単位も少なくて済むが、製品の窒素純度が低下す
る。
本発明において得られる製品窒素ガスの純度は、吸着工
程、再生工程の塔内圧力等により変動するが、本発明の
吸着塔容積と製品ガス取出流量(Nl/ min )の
比率の範囲内では、通常窒素純度(Nt十Ar) 91
1.99 FJ 9〜914 vo1%の範囲の製品ガ
スを得ることが可能である。従って本発明の比率の範囲
内で高純度の窒素ガスを得たい場合には、吸着塔容積を
大きく、また比較的純度の低い窒素ガスで良い場合には
吸着塔容積を小さくすればよい。また、製品貯留槽容積
が小さ過ぎる場合には、P8ム操作サイクルの均圧工程
と吸着工程の間に強制的にあるいは吸着工程初期に自動
的に製品貯留槽より吸着塔に還流する窒素富化ガスの還
流量が少なくなり過ぎ、効率良く、高純度の製品窒素ガ
スを得ることが困難となり、また、製品窒素ガスの供給
圧力が低下し、好ましくない。−万、製品貯留槽容積が
大き過ぎる場合には、装置起動時に製品貯留槽の窒素濃
度が所定の定常値に到達するのに時間がかかり過ぎ待ち
時間が長くなる。
程、再生工程の塔内圧力等により変動するが、本発明の
吸着塔容積と製品ガス取出流量(Nl/ min )の
比率の範囲内では、通常窒素純度(Nt十Ar) 91
1.99 FJ 9〜914 vo1%の範囲の製品ガ
スを得ることが可能である。従って本発明の比率の範囲
内で高純度の窒素ガスを得たい場合には、吸着塔容積を
大きく、また比較的純度の低い窒素ガスで良い場合には
吸着塔容積を小さくすればよい。また、製品貯留槽容積
が小さ過ぎる場合には、P8ム操作サイクルの均圧工程
と吸着工程の間に強制的にあるいは吸着工程初期に自動
的に製品貯留槽より吸着塔に還流する窒素富化ガスの還
流量が少なくなり過ぎ、効率良く、高純度の製品窒素ガ
スを得ることが困難となり、また、製品窒素ガスの供給
圧力が低下し、好ましくない。−万、製品貯留槽容積が
大き過ぎる場合には、装置起動時に製品貯留槽の窒素濃
度が所定の定常値に到達するのに時間がかかり過ぎ待ち
時間が長くなる。
本発明の上述の如き構成のPSA装置による実際の窒素
ガスの分離操作の実施態様の一例を第1図に基づいて説
明すると以下の通りである。
ガスの分離操作の実施態様の一例を第1図に基づいて説
明すると以下の通りである。
第1図において、(1)は空気圧縮機、(2)はエアド
ライヤ、(3)、(5a)・・・は吸着塔、(4)、
(4a)、(7)、 (7a)。
ライヤ、(3)、(5a)・・・は吸着塔、(4)、
(4a)、(7)、 (7a)。
(10)、(lea)、(1$)、(Ha)・・・は弁
、(5)、 (5a ) 。
、(5)、 (5a ) 。
(8)、 (13)、 (13a)、 (11)、 (
12)、 (16)・・・はパイプ、(14)はリザー
バータンク、(15)はバルブである。
12)、 (16)・・・はパイプ、(14)はリザー
バータンク、(15)はバルブである。
同図において、空気圧縮機(1)により供給された原料
空気は、必要ならば除湿機(2)で除湿した後、自動弁
(4)または(4a)を通して吸着塔(3)または(3
a)に供給される。例えば、吸着塔(3)が吸着工程の
場合には、この吸着塔に原料空気が供給され、吸着塔(
3a)は再生工程となる。吸着工程にある吸着塔の塔内
圧力は通常3〜9 kpf/am”・G、好ましくは4
〜8.5 kpf/am2−01最も好ましくは5〜8
kgf/am2.0である。また、吸着塔の再生は、
通常大気開放または真空ポンプによる減圧再生により実
施されるので、再生工程にある吸着塔の内圧は、大気圧
または100 torr以下程度にまで低下する。第1
図には、大気圧再生の場合を例示しである。また、第1
図は、配管(18)、自動弁(19)により製品貯留槽
より窒素富化ガスを強制的に還流する工程が含まれる場
合の例示であるが、この配管(18)、自動弁(19)
がなく、吸着塔と製品貯留槽の圧力バランスの結果とし
て、配管(11)、 (9)、 (9a)、自動弁(1
0)、 (10a)を通じて還流が自動的に起こる場合
も本発明の範囲に含まれる。
空気は、必要ならば除湿機(2)で除湿した後、自動弁
(4)または(4a)を通して吸着塔(3)または(3
a)に供給される。例えば、吸着塔(3)が吸着工程の
場合には、この吸着塔に原料空気が供給され、吸着塔(
3a)は再生工程となる。吸着工程にある吸着塔の塔内
圧力は通常3〜9 kpf/am”・G、好ましくは4
〜8.5 kpf/am2−01最も好ましくは5〜8
kgf/am2.0である。また、吸着塔の再生は、
通常大気開放または真空ポンプによる減圧再生により実
施されるので、再生工程にある吸着塔の内圧は、大気圧
または100 torr以下程度にまで低下する。第1
図には、大気圧再生の場合を例示しである。また、第1
図は、配管(18)、自動弁(19)により製品貯留槽
より窒素富化ガスを強制的に還流する工程が含まれる場
合の例示であるが、この配管(18)、自動弁(19)
がなく、吸着塔と製品貯留槽の圧力バランスの結果とし
て、配管(11)、 (9)、 (9a)、自動弁(1
0)、 (10a)を通じて還流が自動的に起こる場合
も本発明の範囲に含まれる。
また再生工程には、製品貯留槽内の窒素富化ガスを逆流
して吸着塔内を洗浄するいわゆるパージ法を採用しても
よい。
して吸着塔内を洗浄するいわゆるパージ法を採用しても
よい。
次に吸着工程の終了した吸着塔(3)と再生工程の終了
した吸着塔(3a)は、吸着塔製品ガス取出側または、
吸着塔原料ガス送入側あるいは、吸着塔製品ガス取出側
と原料ガス送入側とで連結し、吸着工程の終了した吸着
塔内に存在する混合ガスの一定量を再生工程の終了した
吸着塔に移動させる所謂均圧工程に移る。通常吸着塔製
品ガス取出側を連結した場合を塔頂均圧、吸着塔製品ガ
ス取出側どうし及び製品ガス送入側どうしを連結した場
合を上下均圧、吸着塔製品ガス取出側と製品ガス送入側
とを連結した場合をクロス均圧と呼んでいるが、これら
の均圧方法あるいは、その他の均圧方法も含め均圧工程
を実施することが本発明の範囲内である。
した吸着塔(3a)は、吸着塔製品ガス取出側または、
吸着塔原料ガス送入側あるいは、吸着塔製品ガス取出側
と原料ガス送入側とで連結し、吸着工程の終了した吸着
塔内に存在する混合ガスの一定量を再生工程の終了した
吸着塔に移動させる所謂均圧工程に移る。通常吸着塔製
品ガス取出側を連結した場合を塔頂均圧、吸着塔製品ガ
ス取出側どうし及び製品ガス送入側どうしを連結した場
合を上下均圧、吸着塔製品ガス取出側と製品ガス送入側
とを連結した場合をクロス均圧と呼んでいるが、これら
の均圧方法あるいは、その他の均圧方法も含め均圧工程
を実施することが本発明の範囲内である。
均圧工程の終了後、製品貯留槽より窒素富化ガスを配管
(18)および自動弁(19)により強制的に吸着塔(
3a)に還流させてもよいが、この工程は、省略するこ
とも可能である。強制的な還流工程が行なわれない場合
、あるいは、強制的な還流量が吸着塔と製品貯留槽の完
全な圧力バランスに到達するに至らない程度に少ない場
合には、次の吸着塔(3a)の吸着工程初期に、吸着塔
(3a)内の圧力が製品貯留槽内(14)の内圧より低
いことにより自動的に還流がおこる。この自動的な還流
は、吸着塔への原料空気の送入及び製品貯留槽からの窒
素富化ガスの還流により吸着塔の内圧が上昇し、製品貯
留槽と圧力がバランスすることにより自動的に停止し、
吸着塔より製品貯留槽への窒素富化ガスの取出しに移行
していく。
(18)および自動弁(19)により強制的に吸着塔(
3a)に還流させてもよいが、この工程は、省略するこ
とも可能である。強制的な還流工程が行なわれない場合
、あるいは、強制的な還流量が吸着塔と製品貯留槽の完
全な圧力バランスに到達するに至らない程度に少ない場
合には、次の吸着塔(3a)の吸着工程初期に、吸着塔
(3a)内の圧力が製品貯留槽内(14)の内圧より低
いことにより自動的に還流がおこる。この自動的な還流
は、吸着塔への原料空気の送入及び製品貯留槽からの窒
素富化ガスの還流により吸着塔の内圧が上昇し、製品貯
留槽と圧力がバランスすることにより自動的に停止し、
吸着塔より製品貯留槽への窒素富化ガスの取出しに移行
していく。
この吸着塔(3a)の吸着工程の間、吸着塔(3)は再
生工程にある。そして吸着工程の終了した吸着塔(3a
)と再生工程の終了した吸着塔(5)は連結され、均圧
工程に移る。この様にして、吸着−均圧−(還流−)再
生−均圧の工程が順次繰り返される。
生工程にある。そして吸着工程の終了した吸着塔(3a
)と再生工程の終了した吸着塔(5)は連結され、均圧
工程に移る。この様にして、吸着−均圧−(還流−)再
生−均圧の工程が順次繰り返される。
上記の本発明PSAサイクルに於て吸着工程の時間は6
0〜300秒であり、好ましくは90〜240秒、最も
好ましくは130〜210秒である。また、その他の工
程については、その長さを特に限定するものではないが
、通常均圧は0.1〜10秒程度、還流も01〜10秒
程度であり、再生工程の長さは吸着工程との兼ね合いに
より自動的に決まってくる。
0〜300秒であり、好ましくは90〜240秒、最も
好ましくは130〜210秒である。また、その他の工
程については、その長さを特に限定するものではないが
、通常均圧は0.1〜10秒程度、還流も01〜10秒
程度であり、再生工程の長さは吸着工程との兼ね合いに
より自動的に決まってくる。
本発明の窒素ガスの分離方法は、優れた窒素、酸素の分
離能を賦与した独自の微細孔構を有する分子ふるい炭素
と特定のPSA装置構成及び特定のPSA操作法を組合
せることにより、製品窒素ガスの純度が高く、発生量が
大きく、かつ、動力源単位の小さい窒素ガスの分離方法
を提供するものである。
離能を賦与した独自の微細孔構を有する分子ふるい炭素
と特定のPSA装置構成及び特定のPSA操作法を組合
せることにより、製品窒素ガスの純度が高く、発生量が
大きく、かつ、動力源単位の小さい窒素ガスの分離方法
を提供するものである。
即ち、本発明の窒素ガス分離方法に於ては、多数の球状
炭素粒子が三次元的に不規則に重なり且合体された構造
を有し、該多数の炭素粒子の間には三次元的に不規則に
走る連続通路が存在し、該炭素粒子の夫々には、該粒子
の間の通路に連通ずる多数の細孔を有する独特の微細構
造を持つ、通常ペレット状の優れた窒素、酸素分離能を
賦与した分子ふるい炭素を用い、その分子ふるい炭素を
充填剤とした特定の装置構成、特定の操作法に於てはじ
めて到達しうる顕著な効果を有する、窒素ガスの分離方
法である。
炭素粒子が三次元的に不規則に重なり且合体された構造
を有し、該多数の炭素粒子の間には三次元的に不規則に
走る連続通路が存在し、該炭素粒子の夫々には、該粒子
の間の通路に連通ずる多数の細孔を有する独特の微細構
造を持つ、通常ペレット状の優れた窒素、酸素分離能を
賦与した分子ふるい炭素を用い、その分子ふるい炭素を
充填剤とした特定の装置構成、特定の操作法に於てはじ
めて到達しうる顕著な効果を有する、窒素ガスの分離方
法である。
本発明に於ては、例えば、製品窒素ガス純度(窒素十ア
ルゴンの容量%)は99〜9E1.999915− %程度の高純度とすることが可能であり、その吸着塔容
積当りの製品発生量((NJ’/min ) / l
)も純度により異なるが、0.1〜3.3倍と大きい範
囲まで取ることが可能である。また、本発明の窒素ガス
分離を実施するのに要する所要動力は、装置条件や操作
条件、製品純度等により異なるが従来技術に比較し一段
と低減されており、その利点は極めて大なるものがある
。
ルゴンの容量%)は99〜9E1.999915− %程度の高純度とすることが可能であり、その吸着塔容
積当りの製品発生量((NJ’/min ) / l
)も純度により異なるが、0.1〜3.3倍と大きい範
囲まで取ることが可能である。また、本発明の窒素ガス
分離を実施するのに要する所要動力は、装置条件や操作
条件、製品純度等により異なるが従来技術に比較し一段
と低減されており、その利点は極めて大なるものがある
。
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。なお
本発明に用いた測定法をまとめて示すと次の通りである
。
本発明に用いた測定法をまとめて示すと次の通りである
。
(1)細孔容積、細孔径分布の測定:
本発明の分子ふるい炭素の細孔容積及び細孔径分布は、
細孔直径60X〜5ooμmの範囲の細孔については、
ポロシメーターによる水銀圧入法(島津製作所製、ボア
サイザー9510)により測定した。
細孔直径60X〜5ooμmの範囲の細孔については、
ポロシメーターによる水銀圧入法(島津製作所製、ボア
サイザー9510)により測定した。
また、細孔直径60X以下の細孔については、窒素ガス
の吸着等混線により、下記のいわゆるケルビン式により
求めた。
の吸着等混線により、下記のいわゆるケルビン式により
求めた。
16−
P :吸着ガスが細孔に吸着するときの飽和蒸気圧、
Po :常態での吸着ガスの飽和蒸気圧、γ :表面張
力、 V :液体窒素の1分子体積、 R:ガス定数、 T :絶対温度、 γに:細孔のケルビン半径、 細孔のケルビン半径に対する補正は、cranston
−Inkley法によりおこなった。
力、 V :液体窒素の1分子体積、 R:ガス定数、 T :絶対温度、 γに:細孔のケルビン半径、 細孔のケルビン半径に対する補正は、cranston
−Inkley法によりおこなった。
(2)酸素及び窒素の1分後の吸着量及び平衡吸着量の
測定: 本発明に用いる分子ふるい炭素の酸素・窒素の吸着容量
を第2図に示す吸着特性測定装置により測定した。
測定: 本発明に用いる分子ふるい炭素の酸素・窒素の吸着容量
を第2図に示す吸着特性測定装置により測定した。
第2図において、(1)は真空ポンプ、(2)、 (3
)、 (8)。
)、 (8)。
(11)t (12)、 (13)・・・はバルブ、(
4)は試料室、(5)は調整室、(8)、 (7)は圧
力センサー、(9)は記録計、(10)は圧力計、(1
4)、 (16)はガスレギュレーター (16)は窒
素ボンベ、(17)は酸素ボンベである。
4)は試料室、(5)は調整室、(8)、 (7)は圧
力センサー、(9)は記録計、(10)は圧力計、(1
4)、 (16)はガスレギュレーター (16)は窒
素ボンベ、(17)は酸素ボンベである。
同図において、試料室(4)(226,9ml )に約
3gの試料を入れ、バルブ(11)、(8)を閉じ、バ
ルブ(2)、 (3)を開けて30分間脱気した後パル
プ(2)。
3gの試料を入れ、バルブ(11)、(8)を閉じ、バ
ルブ(2)、 (3)を開けて30分間脱気した後パル
プ(2)。
(3)を閉じ、バルブ(11)を開けて調整室(5)
(231,7m1)内に酸素ガスまたは窒素ガスを送り
込み、設定圧になったところでバルブ(11)を閉じ、
バルブ(5)を開は所定時間における内部圧力の変化を
測定して、酸素および窒素の各々の吸着量の経時変化を
測定し、吸着開始1分後の酸素吸着量(Ql)窒素吸着
量(Q2)を求めた。また上記経時変化が一定値に安定
するまで測定を継続し、酸素平衡吸着量(Q8)及び窒
素平衡吸着量(Q4)も測定した。
(231,7m1)内に酸素ガスまたは窒素ガスを送り
込み、設定圧になったところでバルブ(11)を閉じ、
バルブ(5)を開は所定時間における内部圧力の変化を
測定して、酸素および窒素の各々の吸着量の経時変化を
測定し、吸着開始1分後の酸素吸着量(Ql)窒素吸着
量(Q2)を求めた。また上記経時変化が一定値に安定
するまで測定を継続し、酸素平衡吸着量(Q8)及び窒
素平衡吸着量(Q4)も測定した。
測定は測定開始1分後の吸着塔−内圧あるいは平衡吸着
量測定時の内圧が2.5 kt!f/am”・Gより大
または小となる点、数点が測定できる様初期設定圧を変
えて測定し、それより2.5 kgf/am”・Gにお
ける酸素及び窒素の1分後の吸着量及び平衡吸着量を求
めた。
量測定時の内圧が2.5 kt!f/am”・Gより大
または小となる点、数点が測定できる様初期設定圧を変
えて測定し、それより2.5 kgf/am”・Gにお
ける酸素及び窒素の1分後の吸着量及び平衡吸着量を求
めた。
実施例1
4001の反応容器に、塩酸18%およびホルムアルデ
ヒド9%からなる混合水溶液3001Bを入れ、温度を
20’Oとした。つぎに、この反応容器に、濃度88%
(2%は水)のフェノールと水とを用いて調製した濃度
90%のフェノール水溶液(20°C)を12kp添加
した。添加後30〜40秒間撹拌し、反応容器内の内容
物が急激に白濁すると同時に撹拌を中止し静置した。静
置をつづけると内温が徐々に上昇し、内容物は次第に淡
いピンクに変色し、白濁してから30分後にはいずれも
スラリー状あるいは樹脂状物の生成がみられた。上記工
程の後、引き続いて内容物を76〜76℃まで30分間
で昇温し、この温度で撹拌しながら40分間保持した。
ヒド9%からなる混合水溶液3001Bを入れ、温度を
20’Oとした。つぎに、この反応容器に、濃度88%
(2%は水)のフェノールと水とを用いて調製した濃度
90%のフェノール水溶液(20°C)を12kp添加
した。添加後30〜40秒間撹拌し、反応容器内の内容
物が急激に白濁すると同時に撹拌を中止し静置した。静
置をつづけると内温が徐々に上昇し、内容物は次第に淡
いピンクに変色し、白濁してから30分後にはいずれも
スラリー状あるいは樹脂状物の生成がみられた。上記工
程の後、引き続いて内容物を76〜76℃まで30分間
で昇温し、この温度で撹拌しながら40分間保持した。
つぎに、この内容物を水洗した後、濃度0.1%のアン
モニア水溶液中で、50℃において6時間中和処理し、
ついで水洗濾過し80℃において6時間乾燥した。その
結果、平均粒子径28μmの粒子形状が球状のフェノー
ル樹脂粉末が得られた。
モニア水溶液中で、50℃において6時間中和処理し、
ついで水洗濾過し80℃において6時間乾燥した。その
結果、平均粒子径28μmの粒子形状が球状のフェノー
ル樹脂粉末が得られた。
つぎに上記方法により製造した球状フェノール樹脂10
kgを計量し、更に該球状フェノール樹脂粉末100重
量部に対し、水溶性メラミンS脂(住友化学(株)製、
スミテックスレジンM−3゜固形分濃度80%)を固形
分の量で20重量部、重合度1700けん化度88%の
ポリビニルアルコール4重量部、馬鈴薯澱粉20重量部
およびエチレングリコール4重量部を計量した。
kgを計量し、更に該球状フェノール樹脂粉末100重
量部に対し、水溶性メラミンS脂(住友化学(株)製、
スミテックスレジンM−3゜固形分濃度80%)を固形
分の量で20重量部、重合度1700けん化度88%の
ポリビニルアルコール4重量部、馬鈴薯澱粉20重量部
およびエチレングリコール4重量部を計量した。
上記原料のうちポリビニルアルコールをi水で20M量
%の水溶液となるように溶解し、このビニルアルコール
水溶液に水溶性メラミン樹脂、馬鈴薯澱粉およびエチレ
ングリコールを加えニーグーで10分間混合した。その
後球状フェノール樹脂を加えて更に10分間混合した。
%の水溶液となるように溶解し、このビニルアルコール
水溶液に水溶性メラミン樹脂、馬鈴薯澱粉およびエチレ
ングリコールを加えニーグーで10分間混合した。その
後球状フェノール樹脂を加えて更に10分間混合した。
この混合組成物を2軸押出造粒機(不二パウダル(株)
製、ヘレッタダプル、EXDF−100型)で押出し、
平均粒子径が3mmφX8mmLの粒状体を造粒した。
製、ヘレッタダプル、EXDF−100型)で押出し、
平均粒子径が3mmφX8mmLの粒状体を造粒した。
該粒状体を80℃で24時間熱処理し、分子ふるい炭素
前駆体組成物を得た。該前駆体組成物は前記作業のくり
返しにより約200kp作製した。
前駆体組成物を得た。該前駆体組成物は前記作業のくり
返しにより約200kp作製した。
この前駆体組成物を3バツチに分け、それぞれ有効寸法
800 mmφX2G00mmLのロータリーキルンに
入れ、窒素雰囲気下60°O/Hで昇温し、800°C
で1時間保持し、その後、炉冷し、平均粒子径2.4m
mφX4mmLのペレット状分子ふるい炭素を合計で1
00 ky製造した。
800 mmφX2G00mmLのロータリーキルンに
入れ、窒素雰囲気下60°O/Hで昇温し、800°C
で1時間保持し、その後、炉冷し、平均粒子径2.4m
mφX4mmLのペレット状分子ふるい炭素を合計で1
00 ky製造した。
この分子ふるい炭素は、
(a) 平均粒径綿20μm程度の多数の球状炭素粒
子が三次元的に不規則に重なり且つ合体された構造を有
し、 Φ〉 該多数の炭素粒子の間には、平均孔径線2μmの
三次元的に不規則に走る連続通路が存在し、(c)該炭
素粒子の夫々は、該粒子の間の通路に連通ずる多数の細
孔を有し、そして (d) 炭素含有率は、96%であった。
子が三次元的に不規則に重なり且つ合体された構造を有
し、 Φ〉 該多数の炭素粒子の間には、平均孔径線2μmの
三次元的に不規則に走る連続通路が存在し、(c)該炭
素粒子の夫々は、該粒子の間の通路に連通ずる多数の細
孔を有し、そして (d) 炭素含有率は、96%であった。
更に
(e) 2.6 kgf/am2・Gの加圧下で酸素
吸着を行なった際の1分後の酸素吸着量(Ql)は7.
60 X10 mol/f、窒素吸着量(Q2)は1
.04 Xl 0 mol/7で1分後の酸素・窒素
の吸着容量比は7.21であった。
吸着を行なった際の1分後の酸素吸着量(Ql)は7.
60 X10 mol/f、窒素吸着量(Q2)は1
.04 Xl 0 mol/7で1分後の酸素・窒素
の吸着容量比は7.21であった。
また、該分子ふるい炭素の2.5 kyf/am”・G
での酸素の平衡吸着量(QB)は8.13 X 10
mol/fであった。また、該分子ふるい炭素のペレ
ット状粒子の嵩密度は1.02970m” %充填密度
は0.6551/amaであった。
での酸素の平衡吸着量(QB)は8.13 X 10
mol/fであった。また、該分子ふるい炭素のペレ
ット状粒子の嵩密度は1.02970m” %充填密度
は0.6551/amaであった。
次に第1図に示す2塔の吸着塔と製品貯留槽及び原料空
気圧縮機、除湿機及びそれらを連続する配管及び自動弁
よりなる窒素ガス分離装置により空気を原料として窒素
ガスの濃縮分離実験を行なった。本実施例では第1図に
於て、吸着塔内径は200 mmφxi、000mmL
(内容積VA=31、41 )、製品貯留槽は内径25
0 mmφX1.150mmL(内容積VR=58.4
1:VR/VA=1.798)、コンプレッサ一定格は
2.2 kWとした。このガス分離装置を用い第1表に
示す操作サイクル及び操作時間で運転し製品ガス取出量
と製品窒素ガス純度の関係について検討した結果を第2
表に示す。尚、本実施例に於ては、吸着塔の最高到達圧
力を7 kpf/am’・Gとし、再生は大気上表から
吸着塔1塔当りの有効容積が製品ガス取出量(Nn/m
in )の0.3以下の場合には製品窒素ガスの純度が
低くなり多くの工業的用途に対して適用不可能となり、
また10以上の場合には製品取出量が装置サイズに比較
して小さくなり過ぎ、動力原単位も増大することがわか
る。
気圧縮機、除湿機及びそれらを連続する配管及び自動弁
よりなる窒素ガス分離装置により空気を原料として窒素
ガスの濃縮分離実験を行なった。本実施例では第1図に
於て、吸着塔内径は200 mmφxi、000mmL
(内容積VA=31、41 )、製品貯留槽は内径25
0 mmφX1.150mmL(内容積VR=58.4
1:VR/VA=1.798)、コンプレッサ一定格は
2.2 kWとした。このガス分離装置を用い第1表に
示す操作サイクル及び操作時間で運転し製品ガス取出量
と製品窒素ガス純度の関係について検討した結果を第2
表に示す。尚、本実施例に於ては、吸着塔の最高到達圧
力を7 kpf/am’・Gとし、再生は大気上表から
吸着塔1塔当りの有効容積が製品ガス取出量(Nn/m
in )の0.3以下の場合には製品窒素ガスの純度が
低くなり多くの工業的用途に対して適用不可能となり、
また10以上の場合には製品取出量が装置サイズに比較
して小さくなり過ぎ、動力原単位も増大することがわか
る。
実施例2
実施例1と同様の第1図に示した装置構成のガス分離装
置で実施例1と同一の分子ふるい炭素を用い製品貯留槽
と吸着塔の有効容積の比率をかえて空気を原料とする窒
素ガス濃縮分離実験を行なった。コンプレッサ一定格は
2.2kWとし、吸着塔は内径200 mmφ)<1,
000mmL(内容積VA=31.41)とした。また
、PSA操作条件は実施例1の場合と同一とした。その
結果を第3表に示す。
置で実施例1と同一の分子ふるい炭素を用い製品貯留槽
と吸着塔の有効容積の比率をかえて空気を原料とする窒
素ガス濃縮分離実験を行なった。コンプレッサ一定格は
2.2kWとし、吸着塔は内径200 mmφ)<1,
000mmL(内容積VA=31.41)とした。また
、PSA操作条件は実施例1の場合と同一とした。その
結果を第3表に示す。
−27−
上表より製品貯留槽容積の吸着塔容°積に対する比率が
小さ過ぎる場合には製品窒素ガスの純度が低下し、また
、製品貯留槽内容積が大き過ぎる場合には、装置起動時
の濃度安定に要する時間が長くなることがわかる。
小さ過ぎる場合には製品窒素ガスの純度が低下し、また
、製品貯留槽内容積が大き過ぎる場合には、装置起動時
の濃度安定に要する時間が長くなることがわかる。
実施例3
実施例1と同様の分子ふるい炭素の製造法により、焼成
時の最高到達温度をかえることにより2、5 kgf/
am2・Gでの酸素と窒素の1分後の吸着量比が異なる
第4表に示す5種類の分子ふるい炭素を製造した。
時の最高到達温度をかえることにより2、5 kgf/
am2・Gでの酸素と窒素の1分後の吸着量比が異なる
第4表に示す5種類の分子ふるい炭素を製造した。
28−
第4表に示す吸着特性を有する分子ふるい炭素を実施例
1と同一の装置を用い空気を原料とする窒素ガスの濃縮
分離実験を行った。操作サイクルとしては第5表に示す
工程を採用した。自動弁の作動条件としては還流時間は
設定しなかったが、本操作サイクルに於ては、吸着工程
初期に吸着圧力の高い製品貯留槽より昇圧の完了してい
ない吸着塔に製品窒素ガスが自動的に還流する。この還
流は吸着塔圧力と製品貯留槽圧力がバランスするまで継
続し、その後は、吸着塔より製品貯留槽へ製品窒素ガス
が流入することになる。
1と同一の装置を用い空気を原料とする窒素ガスの濃縮
分離実験を行った。操作サイクルとしては第5表に示す
工程を採用した。自動弁の作動条件としては還流時間は
設定しなかったが、本操作サイクルに於ては、吸着工程
初期に吸着圧力の高い製品貯留槽より昇圧の完了してい
ない吸着塔に製品窒素ガスが自動的に還流する。この還
流は吸着塔圧力と製品貯留槽圧力がバランスするまで継
続し、その後は、吸着塔より製品貯留槽へ製品窒素ガス
が流入することになる。
吸着圧力 6 kgf/am2−G
上記操作サイクルにより窒素ガス濃縮実験を行なった結
果を第6表に示す。本実験での窒素ガス取出量は251
/minとした。
果を第6表に示す。本実験での窒素ガス取出量は251
/minとした。
第6表
結果を第7表に示す。
第7表
上表から試料N092〜4では比較的良好な結果が得ら
れたことがわかる。
れたことがわかる。
実施例4
実施例3の試料4を用い、実施例5と同様の装置及び条
件で窒素ガス濃縮実験を行なった。
件で窒素ガス濃縮実験を行なった。
但し、本実施例に於ては、下記の点で実施例3と設定条
件を変更した。即ち、再生は真空ポンプを用い約90
torrまで減圧した。また、吸着時間は30〜360
秒の間で変化させた。均圧時間は実施例3と同様に1秒
であり、製品取出流量も実施例3と同様に254?/z
inである。本実験の
件を変更した。即ち、再生は真空ポンプを用い約90
torrまで減圧した。また、吸着時間は30〜360
秒の間で変化させた。均圧時間は実施例3と同様に1秒
であり、製品取出流量も実施例3と同様に254?/z
inである。本実験の
第1図は本発明の実施態様の一例に用いる装置の説明図
である。同図において、(1)・・・空気圧縮機、(2
)・・・エアドライヤ、(3)、(3a)・・・吸着塔
、(4)、(4a)。 (7)、 (7a)、 (10)、 (10a)、 (
13)、 (13a)・・・弁、(5)。 (5a)、 (8)、<9)、 (9a)、 (11)
、 (12)、 (16)−・・パイプ、(14)・・
・リザーバータンク、(15)・・・バルブである。 第2図は分子ふるい炭素の分子ふるい特性を評価するた
めの吸着特性測定装置の説明図である。 31− 同図において、(1〉・・・真空ポンプ、(2)、 (
3)、 (8)、(11)。 (12)、 (13)・・・バルブ、(4)・・・試料
室、(5)・・・調整室、(6)、 (7)・・・圧力
センサー、(9)・・・記録計、(10)・・・圧力計
、(14)、(15)・・・ガスレギュレーター、(1
6)・・・窒素ボンベ、(17)・・・酸素ボンベであ
る。 32−
である。同図において、(1)・・・空気圧縮機、(2
)・・・エアドライヤ、(3)、(3a)・・・吸着塔
、(4)、(4a)。 (7)、 (7a)、 (10)、 (10a)、 (
13)、 (13a)・・・弁、(5)。 (5a)、 (8)、<9)、 (9a)、 (11)
、 (12)、 (16)−・・パイプ、(14)・・
・リザーバータンク、(15)・・・バルブである。 第2図は分子ふるい炭素の分子ふるい特性を評価するた
めの吸着特性測定装置の説明図である。 31− 同図において、(1〉・・・真空ポンプ、(2)、 (
3)、 (8)、(11)。 (12)、 (13)・・・バルブ、(4)・・・試料
室、(5)・・・調整室、(6)、 (7)・・・圧力
センサー、(9)・・・記録計、(10)・・・圧力計
、(14)、(15)・・・ガスレギュレーター、(1
6)・・・窒素ボンベ、(17)・・・酸素ボンベであ
る。 32−
Claims (1)
- (1)少なくとも2塔以上の吸着塔に窒素を含む混合ガ
スを供給し、高圧吸着工程と、低圧再生工程とを各吸着
塔で交互に繰り返し、窒素ガスを分離する圧力スイング
吸着(PressureSwingAdsorptio
n;PSA)法において、(A)分子ふるい炭素として (a)粒径0.8〜120μmの多数の球状炭素粒子が
三次元的に不規則に重なり且つ 合体された構造を有し、 (b)該多数の炭素粒子の間には三次元的に不規則に走
る連続通路が存在し、 (c)該炭素粒子の夫々は、該粒子の間の通路に連通す
る多数の細孔を有し、そして (d)少なくとも85重量%の炭素含有率を有し、かつ
、 (e)2.5kgf/cm^2・Gの加圧下で単成分吸
着を行なった際の酸素と窒素の1分後の吸着量の容量比
が3.5〜20である分子ふるい炭素を用い、 (B)吸着塔1塔当りの有効容積が製品ガス取出量(N
l/min)の0.3〜10倍であり、かつ、製品貯留
槽有効容積が吸着塔1塔当りの有効容積の1〜4倍であ
り (C)吸脱着操作サイクルとして、吸着、均圧、再生の
各工程を含み、かつ、均圧工程と吸着工程の間に強制的
に、あるいは吸着工程初期に自動的に製品貯留槽より吸
着塔に窒素富化ガスが還流する工程を含み、 (D)吸着工程が60〜300秒である ことを特徴とする窒素ガスの分離方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2030229A JP2623487B2 (ja) | 1990-02-10 | 1990-02-10 | 窒素ガスの分離方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2030229A JP2623487B2 (ja) | 1990-02-10 | 1990-02-10 | 窒素ガスの分離方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03238018A true JPH03238018A (ja) | 1991-10-23 |
| JP2623487B2 JP2623487B2 (ja) | 1997-06-25 |
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ID=12297886
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2030229A Expired - Fee Related JP2623487B2 (ja) | 1990-02-10 | 1990-02-10 | 窒素ガスの分離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2623487B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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