JPH03238342A - 表面機械特性測定装置 - Google Patents
表面機械特性測定装置Info
- Publication number
- JPH03238342A JPH03238342A JP3394490A JP3394490A JPH03238342A JP H03238342 A JPH03238342 A JP H03238342A JP 3394490 A JP3394490 A JP 3394490A JP 3394490 A JP3394490 A JP 3394490A JP H03238342 A JPH03238342 A JP H03238342A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spring
- displacement
- measurement
- indenter
- pushing piece
- Prior art date
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- Granted
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は固体の表面の機械特性測定装置に関し、特に磁
気ディスク装置、ＬＳＩ、超伝導素子、光メモリ等のマ
イクロニュートンオーダの摩擦力や凝着力、ナノメート
ルオーダの摩耗、表面形状、加工力の測定装置に関する
。
気ディスク装置、ＬＳＩ、超伝導素子、光メモリ等のマ
イクロニュートンオーダの摩擦力や凝着力、ナノメート
ルオーダの摩耗、表面形状、加工力の測定装置に関する
。
［従来の技術］
従来の表面機械特性測定装置は、摩擦力、凝着力、微小
な加工力、および表面の微細な形状等の測定毎に個別の
装置となっていた。
な加工力、および表面の微細な形状等の測定毎に個別の
装置となっていた。
［発明が解決しようとする課題］
上述した従来の表面機械特性測定装置は、摩擦力、凝着
力、加工力、および表面形状の測定毎に個別の装置とな
っており、同一の装置で測定しようとすると、測定面に
垂直な方向にたわむ垂直方向ばねの中心軸と、測定面に
平行な方向にたわむ平行方向ばねの中心軸が直交するた
め、この２方向のばねの変位を検出するための変位セン
サや、変位センサを微動させるための機構を同時に取付
けることが困難になり、同一装置で摩擦力、凝着力、加
工力、および表面形状の測定はできないという欠点があ
る。
力、加工力、および表面形状の測定毎に個別の装置とな
っており、同一の装置で測定しようとすると、測定面に
垂直な方向にたわむ垂直方向ばねの中心軸と、測定面に
平行な方向にたわむ平行方向ばねの中心軸が直交するた
め、この２方向のばねの変位を検出するための変位セン
サや、変位センサを微動させるための機構を同時に取付
けることが困難になり、同一装置で摩擦力、凝着力、加
工力、および表面形状の測定はできないという欠点があ
る。
本発明の目的は、１台の装置で摩擦力、凝着力、加工力
および表面形状のマイクロニュートン、ナノメートルオ
ーダの測定が可能な表面機械特性、測定装置を提供する
ことである。
および表面形状のマイクロニュートン、ナノメートルオ
ーダの測定が可能な表面機械特性、測定装置を提供する
ことである。
［課題を解決するための手段］
本発明の表面機械特性測定装置は、
一方の端部がベースに固定された、測定面に平行な方向
にたわむばねの自由端に、ばねの中心軸が前記測定面に
平行な方向にたわむばねの中心軸の延長線上に一致し、
または該中心軸の延長線に平行になるように一方の端部
が固定され、他方の端部に圧子が取付けられた、測定面
に垂直な方向にたわむばねを有している。
にたわむばねの自由端に、ばねの中心軸が前記測定面に
平行な方向にたわむばねの中心軸の延長線上に一致し、
または該中心軸の延長線に平行になるように一方の端部
が固定され、他方の端部に圧子が取付けられた、測定面
に垂直な方向にたわむばねを有している。
［作用コ
測定面を圧子に接触させ、さらに、測定面に組成変形が
発生しない程度に押付け、測定面に垂直な方向に圧子な
引離すように測定面を下降させ、前記接触位置から引離
された点迄の垂直ばねの変位量を変位センサで読み、そ
の変位量と、ばね定数から凝着力を算出し、測定面を塑
性変形が発生しない程度に圧子に押付け、圧子に付勢し
て圧子を測定表土を測定面に平行に移動させたときの平
行方向にたわむばねの端部の変位量を変位センサで読み
、その変位量と、ばね定数と、平行方向にたわむばねが
支持体に接する点から平行方向にたわむばねの自由端の
変位測定点までの長さと、平行方向にたわむばねが支持
体に接する点から圧子の測定面に接する位置までの長さ
とから摩擦力を算出し、次に、測定面を圧子に接触して
測定面の表面にわずかに弾性変形が発生する程度に押付
は圧子を測定面に沿って摩擦力測定時と同じ方向に動か
し、その時の垂直方向にたわむばねの変位を読んで表面
形状を知り、圧子を測定面に加工深度に押込んで測定面
上を移動する時の測定面と平行方向にたわむばねの端部
の変位測定点の変位を読み、その変位量と、ばね定数と
、測定面に平行にたわむばねが支持体に接する点から該
平行方向にたわむばねの自由端の変位測定点までの長さ
と、該平行方向にたわむばねの支持体に接する点から圧
子が測定面に接する位置までの長さとから加工力を算出
することにより、この１台の表面機械特性測定装置で摩
擦力、凝着力、加工力および表面形状の測定を行なうこ
とができる。
発生しない程度に押付け、測定面に垂直な方向に圧子な
引離すように測定面を下降させ、前記接触位置から引離
された点迄の垂直ばねの変位量を変位センサで読み、そ
の変位量と、ばね定数から凝着力を算出し、測定面を塑
性変形が発生しない程度に圧子に押付け、圧子に付勢し
て圧子を測定表土を測定面に平行に移動させたときの平
行方向にたわむばねの端部の変位量を変位センサで読み
、その変位量と、ばね定数と、平行方向にたわむばねが
支持体に接する点から平行方向にたわむばねの自由端の
変位測定点までの長さと、平行方向にたわむばねが支持
体に接する点から圧子の測定面に接する位置までの長さ
とから摩擦力を算出し、次に、測定面を圧子に接触して
測定面の表面にわずかに弾性変形が発生する程度に押付
は圧子を測定面に沿って摩擦力測定時と同じ方向に動か
し、その時の垂直方向にたわむばねの変位を読んで表面
形状を知り、圧子を測定面に加工深度に押込んで測定面
上を移動する時の測定面と平行方向にたわむばねの端部
の変位測定点の変位を読み、その変位量と、ばね定数と
、測定面に平行にたわむばねが支持体に接する点から該
平行方向にたわむばねの自由端の変位測定点までの長さ
と、該平行方向にたわむばねの支持体に接する点から圧
子が測定面に接する位置までの長さとから加工力を算出
することにより、この１台の表面機械特性測定装置で摩
擦力、凝着力、加工力および表面形状の測定を行なうこ
とができる。
［実施例］
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の表面機械特性測定装置の一実施例の斜
視図、第２図は第１図のばね３を１枚ばねとした実施例
の斜視図、第３図は電磁石を用いた場合の実施例の斜視
図である。
視図、第２図は第１図のばね３を１枚ばねとした実施例
の斜視図、第３図は電磁石を用いた場合の実施例の斜視
図である。
この表面機械特性測定装置は圧子１と、ばね３．４と、
支持体５と、変位センサ６．７と、試片固定台１１と、
ベース（不図示）からなる。圧子１はダイヤモンド製で
その先端は目的に応じて加工されているが測定先端の曲
率半径はサブミクロンオーダに仕上げられた角錐で、測
定面の形状をナノメートルオーダで測定可能にする。試
片固定台１１はベース（不図示）に対して垂直方向に移
動させて固定することが可能なように取付けられ、表面
に被測定片が測定面２を水平に固定される被測定片の搭
載台である。ばね４は、ベース（不図示）に固定された
支持体５に一方の端部が固定され、測定面２に平行な方
向にたわむ２枚の板ばねな離間対向させた組合せばねで
ある。ばね３は一方の端部がばね４の自由端に中心軸が
ばね４の中心軸の延長線上に一致するように固定され、
測定面２に垂直な方向にたわむ、２枚の板ばねを離間対
向させた組合せばねで、自由端近くに圧子１が先端を測
定面２に垂直になるように固定されている。また、ばね
３，４の材質は弾性が高いステンレス鋼で、そのばね定
数は、マイクロニュートン以下の力を測定可能なように
Ｎ ／ ｍのオーダーあるいはそれ以下である。変位セ
ンサ６はばね３の端部の変位測定点の変位（ばね３のた
わみ量）を検出するセンサである。変位センサ７はばね
４の自由端位置の変位測定点の変位（ばね４のたわみ量
）を検出するセンサである。
支持体５と、変位センサ６．７と、試片固定台１１と、
ベース（不図示）からなる。圧子１はダイヤモンド製で
その先端は目的に応じて加工されているが測定先端の曲
率半径はサブミクロンオーダに仕上げられた角錐で、測
定面の形状をナノメートルオーダで測定可能にする。試
片固定台１１はベース（不図示）に対して垂直方向に移
動させて固定することが可能なように取付けられ、表面
に被測定片が測定面２を水平に固定される被測定片の搭
載台である。ばね４は、ベース（不図示）に固定された
支持体５に一方の端部が固定され、測定面２に平行な方
向にたわむ２枚の板ばねな離間対向させた組合せばねで
ある。ばね３は一方の端部がばね４の自由端に中心軸が
ばね４の中心軸の延長線上に一致するように固定され、
測定面２に垂直な方向にたわむ、２枚の板ばねを離間対
向させた組合せばねで、自由端近くに圧子１が先端を測
定面２に垂直になるように固定されている。また、ばね
３，４の材質は弾性が高いステンレス鋼で、そのばね定
数は、マイクロニュートン以下の力を測定可能なように
Ｎ ／ ｍのオーダーあるいはそれ以下である。変位セ
ンサ６はばね３の端部の変位測定点の変位（ばね３のた
わみ量）を検出するセンサである。変位センサ７はばね
４の自由端位置の変位測定点の変位（ばね４のたわみ量
）を検出するセンサである。
次に、この実施例による測定について説明する。
まず凝着力の測定の場合は、試片固定台ＩＩ上に被測定
片をその測定面２を水平にして固定する。
片をその測定面２を水平にして固定する。
その後、試片固定台１１を上昇させて測定面２を圧子１
に接触させ、ばね３の自由端の変位測定点の位置を変位
センサ６で読む。その後、さらに付勢手段により、測定
面２を表面に塑性変形が起きない程度の力で圧子１に押
付ける。つぎに、付勢手段により試片固定台１１を徐々
に降下させて測定面２を圧子ｌから離反する方向に移動
する。前記離反動作を継続すると、圧子１と測定面２と
の間に作用する凝着力でばね３が測定面２の方向にたわ
む。さらに、離反動作を継続すると、ばね３がたわむこ
とによって発生する力が圧子１と測定面２との間に作用
する凝着力を超えて、圧子１が測定面２から離反する。
に接触させ、ばね３の自由端の変位測定点の位置を変位
センサ６で読む。その後、さらに付勢手段により、測定
面２を表面に塑性変形が起きない程度の力で圧子１に押
付ける。つぎに、付勢手段により試片固定台１１を徐々
に降下させて測定面２を圧子ｌから離反する方向に移動
する。前記離反動作を継続すると、圧子１と測定面２と
の間に作用する凝着力でばね３が測定面２の方向にたわ
む。さらに、離反動作を継続すると、ばね３がたわむこ
とによって発生する力が圧子１と測定面２との間に作用
する凝着力を超えて、圧子１が測定面２から離反する。
この離反したときのばね３の自由端の変位測定点の位置
を変位センサ６で読み、このようにして圧子１が測定面
２に接触した位置から、圧子１が測定面２から離反した
位置までのばね３自出端のたわみ量を、変位センサ６に
よってミクロンメートルあるいはそれ以下の精度で測定
すれば、圧子１と測定面２との間に作用するマイクロニ
ュートン以下の凝着力がばね３のたわみ量と、ばね３の
ばね定数から算出できる。さらに、付勢手段を用いて、
前記凝着力の測定を測定面２に沿った方向で、しかもげ
ね４がたわむ方向で繰り返し行なうことにより、凝着力
の分布を測定できる。
を変位センサ６で読み、このようにして圧子１が測定面
２に接触した位置から、圧子１が測定面２から離反した
位置までのばね３自出端のたわみ量を、変位センサ６に
よってミクロンメートルあるいはそれ以下の精度で測定
すれば、圧子１と測定面２との間に作用するマイクロニ
ュートン以下の凝着力がばね３のたわみ量と、ばね３の
ばね定数から算出できる。さらに、付勢手段を用いて、
前記凝着力の測定を測定面２に沿った方向で、しかもげ
ね４がたわむ方向で繰り返し行なうことにより、凝着力
の分布を測定できる。
凝着力の分布の測定に引き続いて摩擦力を測定するには
、前記同様の付勢手段により、測定面２を表面間に塑性
変形が起きない程度の力で圧子１に押付け、ばね４の自
由端の変位測定点の位置を変位センサ７で読む。その後
に、付勢手段を用いて、圧子ｌを測定面に沿ってばね３
の軸に直角な方向に移動させる。圧子１を前記方向に移
動させた時、圧子１と測定面２との摩擦力によってばね
４がたわむので、ばね４の自由端の変位測定点の値を変
位センサ７で読み、このようにして圧子１を測定面に押
し付けた位置からのばね４の自由端のたわみ量を、変位
センサ７の測定によってミクロンメートルあるいはそれ
以下の精度で検出すれば、圧子１と測定面２との間に作
用するマイクロニュートン以下の摩擦力は、ばね４のた
わみ量と、ばね４のばね定数と、ばね４が支持体５に接
する点からばね４の変位測定点までの長さと、ばね４が
支持体５に接する点から圧子ｌが測定面２に接する位置
までの長さとから算出することができる。
、前記同様の付勢手段により、測定面２を表面間に塑性
変形が起きない程度の力で圧子１に押付け、ばね４の自
由端の変位測定点の位置を変位センサ７で読む。その後
に、付勢手段を用いて、圧子ｌを測定面に沿ってばね３
の軸に直角な方向に移動させる。圧子１を前記方向に移
動させた時、圧子１と測定面２との摩擦力によってばね
４がたわむので、ばね４の自由端の変位測定点の値を変
位センサ７で読み、このようにして圧子１を測定面に押
し付けた位置からのばね４の自由端のたわみ量を、変位
センサ７の測定によってミクロンメートルあるいはそれ
以下の精度で検出すれば、圧子１と測定面２との間に作
用するマイクロニュートン以下の摩擦力は、ばね４のた
わみ量と、ばね４のばね定数と、ばね４が支持体５に接
する点からばね４の変位測定点までの長さと、ばね４が
支持体５に接する点から圧子ｌが測定面２に接する位置
までの長さとから算出することができる。
摩擦力の測定に引き続いて表面形状を測定するには、ま
ず、付勢手段を用いて、試片固定台１１を上昇させ圧子
１に測定面２を押付け、表面がわずかに弾性変形する程
度にし、このときのばね３の自由端の変位測定点の位置
を変位センサ６で読む。つぎに、付勢手段を用いて、測
定面２を前記摩擦力の測定を行なった方向に移動させる
。この時、ばね３は測定面の形状に応じて変位する。こ
の時の変位測定点の変位を変位センサ６によってミクロ
ンメートルあるはそれ以下の精度で測定すれば、ナノメ
ートルオーダの表面形状は測定面に沿う方向への圧子１
の移動量と測定面２に対向する方向へのばね３の変位を
知ることができる。
ず、付勢手段を用いて、試片固定台１１を上昇させ圧子
１に測定面２を押付け、表面がわずかに弾性変形する程
度にし、このときのばね３の自由端の変位測定点の位置
を変位センサ６で読む。つぎに、付勢手段を用いて、測
定面２を前記摩擦力の測定を行なった方向に移動させる
。この時、ばね３は測定面の形状に応じて変位する。こ
の時の変位測定点の変位を変位センサ６によってミクロ
ンメートルあるはそれ以下の精度で測定すれば、ナノメ
ートルオーダの表面形状は測定面に沿う方向への圧子１
の移動量と測定面２に対向する方向へのばね３の変位を
知ることができる。
表面形状の測定に引き続いて加工力を測定するには、試
片固定台１１を上昇させて、加工深度まで圧子１を測定
面２に押込み、このときのばね４の自由端の変位測定点
の位置を変位センサ７で読む。その後、付勢手段を用い
て、圧子１を測定面２に沿った方向で、しかも、ばね４
がたわむ測定面２に平行な方向に測定面２に沿って摩擦
力測定のときと同様に移動させる。この時、圧子１によ
り測定面２が加工される際の加工力によってばね４がた
わむので、圧子１を測定面に押付けた位置からのばね４
の自由端の変位測定点のたわみ量を、変位センサ７によ
ってミクロンメートルあるいはそれ以下の精度で測定す
れば、圧子１と測定面２との間に作用するマイクロニュ
ートン以下の加工力は、ばね４のたわみ量と、ばね４の
ばね定数と、ばね４が支持体５と接する点からばね４の
変位測定点までの長さと、ばね４が支持体５と接する点
から圧子１が測定面２に接する点までの長さとから算出
できる。
片固定台１１を上昇させて、加工深度まで圧子１を測定
面２に押込み、このときのばね４の自由端の変位測定点
の位置を変位センサ７で読む。その後、付勢手段を用い
て、圧子１を測定面２に沿った方向で、しかも、ばね４
がたわむ測定面２に平行な方向に測定面２に沿って摩擦
力測定のときと同様に移動させる。この時、圧子１によ
り測定面２が加工される際の加工力によってばね４がた
わむので、圧子１を測定面に押付けた位置からのばね４
の自由端の変位測定点のたわみ量を、変位センサ７によ
ってミクロンメートルあるいはそれ以下の精度で測定す
れば、圧子１と測定面２との間に作用するマイクロニュ
ートン以下の加工力は、ばね４のたわみ量と、ばね４の
ばね定数と、ばね４が支持体５と接する点からばね４の
変位測定点までの長さと、ばね４が支持体５と接する点
から圧子１が測定面２に接する点までの長さとから算出
できる。
前述した凝着力、摩擦力、表面形状および加工量の測定
を測定面２上の複数の位置で繰り返し行なうことにより
、表面の機械特性を詳細に知ることができる。
を測定面２上の複数の位置で繰り返し行なうことにより
、表面の機械特性を詳細に知ることができる。
このようにして、同一の装置でマイクロニュートン以下
の凝着力、摩擦力および加工力や、ナノメートルオーダ
の表面形状を繰り返し測定することが可能であり、表面
の機械特性を高精度で測定できる。
の凝着力、摩擦力および加工力や、ナノメートルオーダ
の表面形状を繰り返し測定することが可能であり、表面
の機械特性を高精度で測定できる。
以上の実施例では、代表的な表面機械特性装置について
第１図により説明を行なったが、第２図に示すように、
測定面に垂直な方向にたわむばねが１枚のばね１２であ
っても、凝着力、表面形状、摩擦力、加工力の測定がで
きる。また、試片固定台１１を水平に移動可能とした場
合第３図に示すように、付勢手段を用いて、測定面２を
表面に塑性変形が起きない程度の力で圧子ｌに押付け、
その後に、付勢手段を用いて、測定面２をばね４がたわ
む測定面２に平行な方向に移動させる際に、圧子１と測
定面２との摩擦力によるばね４のたわみ量が零となるよ
うに、ベース（不図示）に固定された電磁石支持体ＩＯ
上に支持された電磁石８でばね４の測定点に固定されて
いる鉄片９を吸引する制御電流を制御し、前記制御電流
を測定することによっても、摩擦力が測定できる。
第１図により説明を行なったが、第２図に示すように、
測定面に垂直な方向にたわむばねが１枚のばね１２であ
っても、凝着力、表面形状、摩擦力、加工力の測定がで
きる。また、試片固定台１１を水平に移動可能とした場
合第３図に示すように、付勢手段を用いて、測定面２を
表面に塑性変形が起きない程度の力で圧子ｌに押付け、
その後に、付勢手段を用いて、測定面２をばね４がたわ
む測定面２に平行な方向に移動させる際に、圧子１と測
定面２との摩擦力によるばね４のたわみ量が零となるよ
うに、ベース（不図示）に固定された電磁石支持体ＩＯ
上に支持された電磁石８でばね４の測定点に固定されて
いる鉄片９を吸引する制御電流を制御し、前記制御電流
を測定することによっても、摩擦力が測定できる。
［発明の効果コ
以上述べたように、本発明は、一方の端部が固定され、
測定面に平行にたわむばねの他方の端部に、該ばねの中
心軸の延長線上または該延長線に平行な中心軸を有する
ように、一方の端部が固定され、他方の端部に圧子が取
付けられた垂直方向にたわむばねを用いることにより、
マイクロニュートン以下の凝着力、摩擦力および加工力
やナノメートルオーダの表面形状を同一の装置で容易に
観測することが可能になり、表面層や薄膜の機械特性を
高精度で測定できる効果がある。
測定面に平行にたわむばねの他方の端部に、該ばねの中
心軸の延長線上または該延長線に平行な中心軸を有する
ように、一方の端部が固定され、他方の端部に圧子が取
付けられた垂直方向にたわむばねを用いることにより、
マイクロニュートン以下の凝着力、摩擦力および加工力
やナノメートルオーダの表面形状を同一の装置で容易に
観測することが可能になり、表面層や薄膜の機械特性を
高精度で測定できる効果がある。
第１図は本発明の表面機械特性測定装置の一実施例の斜
視図、第２図は第１図のばね３を一枚ばねとした実施例
の斜視図、第３図は電磁石を用いた場合の実施例の斜視
図である。 １・・・圧子、 ２・・・測定面、３．４．１
２・・・ばね、 ５・・・支持体、６．７・・・変
位センサ、 ８・・・電磁石、９・・・鉄片、
１０・・・電磁石支持体、１１・・・試片固定台。
視図、第２図は第１図のばね３を一枚ばねとした実施例
の斜視図、第３図は電磁石を用いた場合の実施例の斜視
図である。 １・・・圧子、 ２・・・測定面、３．４．１
２・・・ばね、 ５・・・支持体、６．７・・・変
位センサ、 ８・・・電磁石、９・・・鉄片、
１０・・・電磁石支持体、１１・・・試片固定台。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、一方の端部がベースに固定され、測定面に対して平
行または垂直のいずれか一方向にたわむばねと、該ばね
の他方の端部に取付けられた圧子と、該圧子の測定面上
の変位を検出する変位センサを有する表面機械特性測定
装置において、 一方の端部がベースに固定された、測定面に平行な方向
にたわむばねの自由端に、ばねの中心軸が前記測定面に
平行な方向にたわむばねの中心軸の延長線上に一致し、
または該中心軸の延長線に平行になるように一方の端部
が固定され、他方の端部に圧子が取付けられた、測定面
に垂直な方向にたわむばねを有することを特徴とする表
面機械特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3394490A JP2755333B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 表面機械特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3394490A JP2755333B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 表面機械特性測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03238342A true JPH03238342A (ja) | 1991-10-24 |
| JP2755333B2 JP2755333B2 (ja) | 1998-05-20 |
Family
ID=12400621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3394490A Expired - Lifetime JP2755333B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 表面機械特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2755333B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5859357A (en) * | 1995-12-25 | 1999-01-12 | Fujitsu Limited | Apparatus for measuring friction force between a magnetic head and a magnetic disk |
| JP2007271318A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Japan Science & Technology Agency | 接触モード原子間力顕微鏡の凝着シミュレータ、凝着シミュレーションプログラム、凝着シミュレーションプログラムを記憶した記録媒体及び凝着シミュレーション方法 |
| CN117238812A (zh) * | 2023-11-10 | 2023-12-15 | 四川省农业机械科学研究院 | 基板翘曲测量装置及测量方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7557933B2 (en) | 2006-02-14 | 2009-07-07 | Japan Science And Technology Agency | Measuring probe, sample surface measuring apparatus and sample surface measuring method |
-
1990
- 1990-02-16 JP JP3394490A patent/JP2755333B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
| JP2755333B2 (ja) | 1998-05-20 |
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