JPH03243701A - 真空焼結炉の操業方法 - Google Patents
真空焼結炉の操業方法Info
- Publication number
- JPH03243701A JPH03243701A JP3944490A JP3944490A JPH03243701A JP H03243701 A JPH03243701 A JP H03243701A JP 3944490 A JP3944490 A JP 3944490A JP 3944490 A JP3944490 A JP 3944490A JP H03243701 A JPH03243701 A JP H03243701A
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- Japan
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- furnace
- sintering
- dewaxing
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- pressure
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は金属粉末の焼結をおこなう真空焼結炉の操業
方法に関する。
方法に関する。
一般に真空焼結炉において金属粉末の焼結をおこなう場
合は、主として脱ろう時のワックス分排出用に、たとえ
ばアルゴンやN2ガスなどの中性の雰囲気ガスを炉体内
に供給しておこなう。このガス量は少なすぎると脱ろう
時にワックス分が充分排出されずに炉壁内等に付着し、
また多過ぎると分離したワックス分がワックスキャッチ
ャ部で冷えきらないため凝縮しにくく、ワックス分が真
空ポンプ部まで到達して該ポンプの油を汚染し排気能力
を低下させるとともに、ガスが浪費されコストもかさむ
。このため通常は炉体内の炉圧が数Torr (たとえ
ば5〜5Torr)となるように雰囲気ガスを流してい
る。
合は、主として脱ろう時のワックス分排出用に、たとえ
ばアルゴンやN2ガスなどの中性の雰囲気ガスを炉体内
に供給しておこなう。このガス量は少なすぎると脱ろう
時にワックス分が充分排出されずに炉壁内等に付着し、
また多過ぎると分離したワックス分がワックスキャッチ
ャ部で冷えきらないため凝縮しにくく、ワックス分が真
空ポンプ部まで到達して該ポンプの油を汚染し排気能力
を低下させるとともに、ガスが浪費されコストもかさむ
。このため通常は炉体内の炉圧が数Torr (たとえ
ば5〜5Torr)となるように雰囲気ガスを流してい
る。
(発明が解決しようとする課題)
ところがSUS材の焼結の場合は、焼結時の加熱温度が
1200℃程度の高温となるので、前記のような低圧の
もとではC「分が飛散しやすくなり、焼結製品が錆びや
すくなるという問題があった。
1200℃程度の高温となるので、前記のような低圧の
もとではC「分が飛散しやすくなり、焼結製品が錆びや
すくなるという問題があった。
この発明は上記従来の問題点を解決するもので、脱ろう
時にワックス分の排出を過正におこなうことができると
ともに、SUS材焼結製品の耐食性の向上をはかること
ができる真空焼結炉の操業方法を提供しようとするもの
である。
時にワックス分の排出を過正におこなうことができると
ともに、SUS材焼結製品の耐食性の向上をはかること
ができる真空焼結炉の操業方法を提供しようとするもの
である。
この発明の真空焼結炉の操業方法は、金属粉末の混練成
形品を装入した炉体内へ雰囲気ガスを供給しつつ真空ポ
ンプによる排気をおこなって真空中で脱ろうをおこなっ
たのち、前記雰囲気ガスの炉体内への供給量の増加操作
と、前記真空ポンプの排気量の低減化操作の少なくとも
一方の操作をおこなって、炉体内の炉圧を前記脱ろう工
程中よりも高い炉圧にH持しつつ真空焼結をおこなうこ
とを特徴とする。
形品を装入した炉体内へ雰囲気ガスを供給しつつ真空ポ
ンプによる排気をおこなって真空中で脱ろうをおこなっ
たのち、前記雰囲気ガスの炉体内への供給量の増加操作
と、前記真空ポンプの排気量の低減化操作の少なくとも
一方の操作をおこなって、炉体内の炉圧を前記脱ろう工
程中よりも高い炉圧にH持しつつ真空焼結をおこなうこ
とを特徴とする。
(作用)
この発明の方法によれば、脱ろう工程に続く焼結工程に
おいて、雰囲気ガスの炉体内への供給量の増加と、真空
ポンプの排気量の低減化操作の一方もしくは両方の操作
をおこなうことにより、炉体内の炉圧は脱ろう工程の炉
圧よりも高い圧力(但し真空〉とすることができる。従
って脱ろう時には適正な脱ろうがおこなえる数丁orr
の低圧に炉内を維持し、SUS材焼結時には数10To
rrの高圧に炉内を維持して01分の飛散を防止するこ
とができる。
おいて、雰囲気ガスの炉体内への供給量の増加と、真空
ポンプの排気量の低減化操作の一方もしくは両方の操作
をおこなうことにより、炉体内の炉圧は脱ろう工程の炉
圧よりも高い圧力(但し真空〉とすることができる。従
って脱ろう時には適正な脱ろうがおこなえる数丁orr
の低圧に炉内を維持し、SUS材焼結時には数10To
rrの高圧に炉内を維持して01分の飛散を防止するこ
とができる。
以下111図乃至第4図によりこの発明の詳細な説明す
る。
る。
〈第1実施例〉
図中、1はバッチ式の真空焼結炉で、炉体内に電熱式の
加熱装置と被焼結品の載置台等をそなえた公知の構成を
有するものである。2は真空排気管路、3はワックスキ
ャッチャ、4は真空ポンプで、メカニカルブースタ4a
とロータリポンプ4bを直列に維持して成る。メカニカ
ルブースタ4a駆動用のモータ5aおよびロータリポン
プ4b駆動用のモータ5bは、誘導電動機から成る。
加熱装置と被焼結品の載置台等をそなえた公知の構成を
有するものである。2は真空排気管路、3はワックスキ
ャッチャ、4は真空ポンプで、メカニカルブースタ4a
とロータリポンプ4bを直列に維持して成る。メカニカ
ルブースタ4a駆動用のモータ5aおよびロータリポン
プ4b駆動用のモータ5bは、誘導電動機から成る。
方6は雰囲気ガス供給管路で、図示しない雰囲気ガス供
給源に接続されている。7は流醋切換装置で、小流量管
路8と大流量管路9を並列接続して成り、10は小開度
に設定した絞り弁、11は大開度に設定した絞り弁、1
2および13はこれらの絞り弁の開度設定時にガス流量
を計測するための流量計、14および15は電11開閉
弁である。
給源に接続されている。7は流醋切換装置で、小流量管
路8と大流量管路9を並列接続して成り、10は小開度
に設定した絞り弁、11は大開度に設定した絞り弁、1
2および13はこれらの絞り弁の開度設定時にガス流量
を計測するための流量計、14および15は電11開閉
弁である。
上記構成の装置において金属粉末の真空焼結をおこなう
には、被焼結品である金属粉末の混練品を真空焼結炉1
の炉体内に装入し、電磁開閉弁14を開、電磁開閉弁1
5を閉として小流量の雰囲気ガスを炉内へ供給し、真空
ポンプ4を運転して炉内を数Torrの低圧(高真空度
〉に維持し、かつ炉内温度を所定温度に昇温させて、脱
ろうをおこなう。脱ろう工程後は電磁開閉弁14を閏に
、電磁開閉弁15を開に切換えて、雰囲気ガス流を小i
量管路8側から大流量管路9側に切換え、炉体内を脱ろ
う工程よりも高圧(低真空度)の数10Torrに維持
して高温で焼結をおこなう。
には、被焼結品である金属粉末の混練品を真空焼結炉1
の炉体内に装入し、電磁開閉弁14を開、電磁開閉弁1
5を閉として小流量の雰囲気ガスを炉内へ供給し、真空
ポンプ4を運転して炉内を数Torrの低圧(高真空度
〉に維持し、かつ炉内温度を所定温度に昇温させて、脱
ろうをおこなう。脱ろう工程後は電磁開閉弁14を閏に
、電磁開閉弁15を開に切換えて、雰囲気ガス流を小i
量管路8側から大流量管路9側に切換え、炉体内を脱ろ
う工程よりも高圧(低真空度)の数10Torrに維持
して高温で焼結をおこなう。
脱ろう時には、適正な流量の雰囲気ガスにより炉体から
排出されたワックス分は、ワックスキャッチャ3により
確実に捕捉される。また焼結時には、炉内は脱ろう時よ
りも高圧となり、ステンレス材の焼結時におけるC「分
の飛散が抑IIIされる。
排出されたワックス分は、ワックスキャッチャ3により
確実に捕捉される。また焼結時には、炉内は脱ろう時よ
りも高圧となり、ステンレス材の焼結時におけるC「分
の飛散が抑IIIされる。
〈第2実施例〉
次に第2図はこの発明の第2実施例に用いる装置を示し
、図中、第1図と同一部分には同一符号を付しである。
、図中、第1図と同一部分には同一符号を付しである。
この実施例においては、メカニカルブースタ4a駆動用
のモータ5a(誘導電動機〉は、インバータ装置120
に維持され、速度切換できるようになっている。また雰
囲気ガス供給管路6には、前記実施例の小開度に設定し
た較り弁10とその流量確認用の流量計12だけが設け
られている。
のモータ5a(誘導電動機〉は、インバータ装置120
に維持され、速度切換できるようになっている。また雰
囲気ガス供給管路6には、前記実施例の小開度に設定し
た較り弁10とその流量確認用の流量計12だけが設け
られている。
上記構成の装置において金属粉末の焼結をおこなうには
、脱ろう工程においてはモータ5aおよび5bを高速運
転して真空ポンプ4を大排気量で運転し、炉体内を数T
orrの低圧に維持する。脱ろう工程後は、モータ5a
のみをインバータ装W120により低速運転に切換えて
メカニカルブースタ4aの排気能力を下げることにより
、真空ポンプ4の排気量を小排気量に低減化させ、炉体
内を数10Torrの高圧に維持り、て焼結をおこなう
のである。
、脱ろう工程においてはモータ5aおよび5bを高速運
転して真空ポンプ4を大排気量で運転し、炉体内を数T
orrの低圧に維持する。脱ろう工程後は、モータ5a
のみをインバータ装W120により低速運転に切換えて
メカニカルブースタ4aの排気能力を下げることにより
、真空ポンプ4の排気量を小排気量に低減化させ、炉体
内を数10Torrの高圧に維持り、て焼結をおこなう
のである。
上記両実施例の装置および方法を用いて、SU8316
m、5US304L、5US410Lの3種類のステン
:ノス材の粉末の焼結をおこない、得られた焼結晶(直
径’10J191、長さ20am)について塩水噴霧試
験をおこなった結果を第4図に示す。但し雰囲気ガスと
してはN2ガスを用い、炉内温度の設定は第3図に示ケ
加熱曲線に従い、炉内圧は第1実施例の脱ろう時が5T
orr、焼結時が20Torr、第2実施例の弱ろう時
が5Torr、焼結時が5QTorrとなるようにした
。また比較例として第1実施例の装置において、脱ろう
工程および焼結工程共、炉内圧を5’!’Orrに報持
する従来の操業をおこない、得られた焼結晶に対しても
同様な塩水噴霧試験をおこなってその結果を第4図に併
示した。
m、5US304L、5US410Lの3種類のステン
:ノス材の粉末の焼結をおこない、得られた焼結晶(直
径’10J191、長さ20am)について塩水噴霧試
験をおこなった結果を第4図に示す。但し雰囲気ガスと
してはN2ガスを用い、炉内温度の設定は第3図に示ケ
加熱曲線に従い、炉内圧は第1実施例の脱ろう時が5T
orr、焼結時が20Torr、第2実施例の弱ろう時
が5Torr、焼結時が5QTorrとなるようにした
。また比較例として第1実施例の装置において、脱ろう
工程および焼結工程共、炉内圧を5’!’Orrに報持
する従来の操業をおこない、得られた焼結晶に対しても
同様な塩水噴霧試験をおこなってその結果を第4図に併
示した。
なお塩水噴霧試験はJIS Z、 2371に従い
、塩濃度=4〜6%、温度二33〜37℃、イオン濃度
二6.5〜7.2 pt+、供給空気圧二〇、7〜1、
8 Kg / ci、時間:8h、密度:6.8910
iの条件下′cI3ごなった。
、塩濃度=4〜6%、温度二33〜37℃、イオン濃度
二6.5〜7.2 pt+、供給空気圧二〇、7〜1、
8 Kg / ci、時間:8h、密度:6.8910
iの条件下′cI3ごなった。
第4図から明らかなように、実施例のmg製品の防錆特
性は比較例よりも改善されている。
性は比較例よりも改善されている。
この発明は上記各実施例に限定されるものではなく、た
とえば雰囲気ガスの流量切換は単一の流量制御弁の開度
変更によっておこなってもよいし、真空ポンプの排気量
切換は0−タリボンプ4b側の排気能力を調節しておこ
なってもよく、また他の形式の真空ポンプを用いてもよ
い。また炉体内の炉圧の値は前記実流側以外の値として
もよく、また炉圧の切換は、雰囲気ガス流量の切換と真
空ポンプの排気量の両方の切換によりおこなってもよい
。
とえば雰囲気ガスの流量切換は単一の流量制御弁の開度
変更によっておこなってもよいし、真空ポンプの排気量
切換は0−タリボンプ4b側の排気能力を調節しておこ
なってもよく、また他の形式の真空ポンプを用いてもよ
い。また炉体内の炉圧の値は前記実流側以外の値として
もよく、また炉圧の切換は、雰囲気ガス流量の切換と真
空ポンプの排気量の両方の切換によりおこなってもよい
。
(発明の効果〕
以上説明したようにこの発明によれば、脱ろう時にワッ
クス分の排出を適正におこなうことができるとともに、
SUS材焼結時にはC「分の飛散を抑Ill Lで焼結
晶の耐食性の向上をはかることができる。
クス分の排出を適正におこなうことができるとともに、
SUS材焼結時にはC「分の飛散を抑Ill Lで焼結
晶の耐食性の向上をはかることができる。
第1図はこの発明方法の第1実施例に用いる装置の機器
系統図、第2図は同じく第2実施例に用いる装置のm器
系統図、第3図は第1および第2実施例の炉内温度線図
、第4図は第1および第2実施例で得られた焼結製品の
塩水噴霧試験結果を示す線図である。 1・・・真空焼結炉、4・・・真空ポンプ、4a・・・
メカニカルブースタ、4b・・・ロータリポンプ、5a
。 5b・・・モータ、7・−・流量切換@置、8・・・小
流m管路、9・・・大流量管路、14.15・・・電磁
開閉弁、20・・・インバータ側臥 第1回
系統図、第2図は同じく第2実施例に用いる装置のm器
系統図、第3図は第1および第2実施例の炉内温度線図
、第4図は第1および第2実施例で得られた焼結製品の
塩水噴霧試験結果を示す線図である。 1・・・真空焼結炉、4・・・真空ポンプ、4a・・・
メカニカルブースタ、4b・・・ロータリポンプ、5a
。 5b・・・モータ、7・−・流量切換@置、8・・・小
流m管路、9・・・大流量管路、14.15・・・電磁
開閉弁、20・・・インバータ側臥 第1回
Claims (1)
- 1、金属粉末の混練成形品を装入した炉体内へ雰囲気ガ
スを供給しつつ真空ポンプによる排気をおこなつて真空
中で脱ろうをおこなつたのち、前記雰囲気ガスの炉体内
への供給量の増加操作と、前記真空ポンプの排気量の低
減化操作の少なくとも一方の操作をおこなつて、炉体内
の炉圧を前記脱ろう工程中よりも高い炉圧に維持しつつ
真空焼結をおこなうことを特徴とする真空焼結炉の操業
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3944490A JP2900474B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 真空焼結炉の操業方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3944490A JP2900474B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 真空焼結炉の操業方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03243701A true JPH03243701A (ja) | 1991-10-30 |
| JP2900474B2 JP2900474B2 (ja) | 1999-06-02 |
Family
ID=12553193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3944490A Expired - Lifetime JP2900474B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 真空焼結炉の操業方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2900474B2 (ja) |
-
1990
- 1990-02-20 JP JP3944490A patent/JP2900474B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2900474B2 (ja) | 1999-06-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090319 Year of fee payment: 10 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090319 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |