JPH03248308A - 磁気ヘッド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、薄膜磁気ヘッドとヘッド支持装置とを有する
磁気ヘッド装置に関し、薄膜磁気ヘッドの薄膜磁気変換
素子の取出電極をスライダの媒体対向面とは反対側の面
に導出することにより、取出電極面積による制限を比較
的受けることなく、薄膜磁気ヘッドを小型化でき、取出
電極へのリード導体の接続が容易で、リート導体から薄
膜磁気ヘッドに対して加わる外力が小さく、安定した浮
上特性及び電磁変換特性を確保し得る磁気ヘッド装置を
提供できるようにしたものである。

〈従来の技術〉 この種の磁気ヘッド装置において、薄膜磁気ヘッドが磁
気ディスク面を一定の間隔をおいて近接して追従し得る
ようにするためには、薄膜磁気ヘッドを構成するスライ
ダが第１軸に関してピッチ運動を行ない、第１軸と直交
する第２軸に関してロール運動を行なうようにすること
、偏揺れを除去すること等が要求される。このような磁
気ヘッド装置は、特公昭５８−２２８２７号公報や特開
昭６１−９３８６８号公報等で公知である。

これらの先行技術で開示されたヘッド支持装置の一般的
な構造は、弾性バネ部及びこの弾性バネ部に連続する剛
性ビーム部を有する支持体を、ステンレス等の弾性金属
板で形成すると共に、この支持体の自由端に、同じくス
テンレスの弾性金属板でなる可撓体を取付け、可撓体の
上面または支持体の自由端付近の下面の何れか一方に設
けられた荷重用突起により、支持体の自由端から可撓体
へ荷重力を伝えるようにし、スライダに薄膜磁気変換素
子を担持させた薄膜磁気ヘッドを、可撓体の下面に取付
けた構造となっていた。

ヘッド支持装置と組合される薄膜磁気ヘッドとしては、
磁気記録媒体の走行によフて生じる動圧を利用して、磁
気記録媒体との間に微小な空気ヘアリングによる間隙を
保って浮上する浮上型の薄膜磁気ヘッドが用いられる。

このような浮上型の薄膜磁気ヘッドは、例えば特公昭５
８−２１３２９号、特公昭５８−２８６５０号各公報等
で公知であり、その基本的な構成は、磁気記録媒体と対
向する面側に浮上面を有するスライダの空気流出端部側
に薄膜磁気変換素子を備える構造となりている。薄膜磁
気変換素子はＩＣ製造テクノロジと同様のプロセスにし
たがフて形成された薄膜磁気変換素子であり、テーバ部
とは反対側の空気流出端部側に付着されている。

この種の薄膜磁気ヘッドは、磁気記録の高密度化及び高
速化に対応するため、ますます、小型化される傾向にあ
る。小型化は、高密度記録を達成するのに必要な浮上量
減少及びスペーシングロス低下に有効である上に、ジン
バルとの組合せにおいて、共振周波数を高め、クラッシ
ュ防止及び耐久性向上に効果があり、しかも、動圧と支
持バネ圧との間の適正なバランスを保ち、フライト姿勢
を良好に保ち、安定な浮上特性が得られるからである。

更に、小形化によるヘッドの質量減少は、ジンバルを支
持するアームのアクセス運動の高速化をもたらす。

しかし、従来の浮上型Ｆｉｔ＠磁気ヘッドは、媒体対向
面側にレール部及びテーバ部を有する複雑な構造となっ
ており、小形化には限界がある。これを解決する手段と
して、例えば特開昭６４−８４４８６号公報には、スラ
イダの媒体対向面を、レール部のない平面状とした薄膜
磁気ヘッドが開示されている。第１３図はかかる薄膜磁
気ヘッドの斜視図であり、１はスライダ、２は薄膜磁気
変換素子１．３．４は取出電極である。

スライダ１は媒体対向面１０１が、レール部及びテーバ
面を持たない平面状となっており、この面１０１の全体
をＡＢＳ面として作用させるようになっている。

薄膜磁気変換素子２は、磁気記録媒体との組合せにおい
て、空気流出端部側となる端面に付着させである。薄膜
磁気変換素子２は１個であり、幅方向の略中間部に配置
されている。

取出電極３．４は、磁性膜とともに磁気回路を構成する
導体コイル膜の両端に接続されている。

磁気ヘッド装置として使用する場合は、媒体対向面１０
１とは反対側の面１０２を、図示しないジンバル系ヘッ
ド支持装置に接着し、媒体対向面１０１を磁気ディスク
の表面にバネ接触させ、この状態で起動及び停止を行な
う、いわゆるコンタクｌ−、スタート、ストップ方式に
よって駆動される。磁気ディスクが静止しているときは
、ヘッド支持装置のバネ圧により媒体対向面１０１が磁
気ディスクの表面に押付けられているが、磁気ディスク
が回転すると、スライダ１の媒体対向面１０１に揚力動
圧が発生し、この動圧とヘッド支持装置のバネ圧と釣り
合う浮」量で動作する。

第１３図に示す薄膜磁気ヘッドは、スライダ１の媒体対
向面１０１がレール部のない単純な平面状となっている
ため、小形化が容易であり、小形化による上記利点を確
保できる。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上述した従来の薄膜磁気ヘッドを用いた
磁気ヘッド装置には、次のような問題点がある。

（Ａ）薄膜磁気変換素子２及びその取出電極３．４が同
一の端面１０３側に配置されているため、端面１０３の
面積が薄膜磁気変換素子２及び取出電極３．４において
要求される面積による制限を受け、小型化に限界を生じ
る。

（Ｂ）薄膜磁気ヘッド２の取出電極３．４に導通接続す
べき読み書き回路のリード導体は、媒体対向面１０１と
は反対側の面１０２に取付けられたヘッド支持装置によ
って支持され案内される。

従って、取出電極３．４に対するリード導体の接続に当
って、リード導体を面１０２から面１０３に曲げて接続
しなければならず、その接続作業が面倒になると共に、
リード導体の曲げによりヘッドに余分な外力が作用Ｉハ
浮上特性に悪影響を与えることがある。

（Ｃ）スライダ１の加工歪等の影響を受けて、媒体対向
面１０１か、第１４図に誇張して示すように、幅方向の
両端で凸となり、中間部で凹となることがある。媒体対
向面１０１がこのような形状になると、磁気ディスクと
の組合せにおいて、ヘッドタッチが悪くなり、スペーシ
ングロスが大きくなると共に、ヘッドクラッシュを生じ
易くなり、耐久性が低下する。

そこで、本発明の課題は上述する従来の問題点を解決し
、取出電極面積による制限を比較的受けることなく、薄
膜磁気ヘッドを小型化でき、取出電極へのリード導体の
接続が容易で、リード導体から薄膜磁気ヘッドに対して
加わる外力が小さく、安定した浮上特性及び電磁変換特
性を確保し得る磁気ヘッド装置を提供することである９
く課題を解決するための手段〉 上述する課題を解決するため、本発明に係る磁気ヘッド
装置は、薄膜磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを有する
磁気ヘッド装置であって、前記薄膜磁気ヘッドは、スラ
イダの端面に薄膜磁気変換素子を備えており、 前記薄膜磁気変換素子は、磁性膜とともに磁気回路を構
成する導体コイル膜に導通接続された取出電極を有して
おり、 前記取出Ｎ８ｉは、前記スライダの媒体対向面とは反対
側の面に導出されていること を特徴とする。

更に、スライダは、前記媒体対向面とは反対側の前記面
に、空気の流れ方向に沿う凹溝を有すること を特徴とする。

く作用〉 薄膜磁気変換素子の取出電極は、スライダの媒体対向面
とは反対側の面に導出されているので、薄膜磁気変換素
子を有する端面の面積を、取出電極面積による制限をあ
まり受けることなく縮小し、薄膜磁気ヘッドを小型化で
きる。

また、取出電極を導出した面は、通常の条件では、ヘッ
ド支持装置の取付面と一致するので、取出電極に対する
リード導体のポンデイグ作業が容易になる。しかも、取
出電極へのり−ト導体のホンデイグに当って、リード導
体の曲げなどは不要になるので、リード導体から薄膜磁
気ヘッドに対して加わる外力が小さくなる。

スライダは、媒体対向面とは反対側の面に、空気の流れ
方向に沿う凹溝を有することも可能である。この場合に
は、凹溝の作用によって、スライダの媒体対向面は凸状
の曲面となる。このため、ヘッドタッチが良好で、スペ
ーシングロスが小さく、ヘッドクラッシュ等を生じにく
い耐久性の高い薄膜磁気ヘッドが得られる。

また、スライダの媒体対向面と対向する面に凹溝を設け
ると、この凹溝を利用してヘッド支持装置を位置決め設
定できる。このため、小形化した場合でも、ヘッド支持
装置の取付は接続が容易になる。

〈実施例〉 第１図は本発明に係る磁気ヘッド装置の斜視図、第２図
はその正面図である。５はＦｉｉ膜磁気ヘッド、６はヘ
ッド支持装置である。ヘッド支持装置６は薄膜磁気ヘッ
ド５にロール運動及びピッチ運動を許容するように、ス
ライダ１の媒体対向面１０１とは反対側の面１０２に取
付ける。

薄膜磁気ヘッド５は、スライダ１の端面１０３に薄膜磁
気変換素子２を備えている。第３図は薄膜磁気へラド５
の斜視図であり、薄膜磁気変換素子２は、磁気記録媒体
との組合せにおいて、矢印ａ方向に流れる空気流に対し
て流出端部側となる端面１０３に付着させである。実施
例において、薄膜磁気変換素子２は１個であり、幅方向
の略中間部に配置されているが、何れか一方に寄せて配
置してもよい。

薄膜磁気変換素子２の取出電極３．４は、スライダ１の
媒体対向面１０１とは反対側の面１０２に導出されてい
る。取出室８ｉ３．４は、面１０２に露出する端面の面
積がリード導体接続に必要な面積となるように、メツキ
膜として形成する。媒体対向面１０】は、レール部及び
テーパ面を持たない平面状となっている。空気流出方向
ａで見た媒体対向面１０１の端縁（イ）、（ロ）は、コ
ンタクト、スタート時における磁気ディスクの表面との
引掛りをなくすため、弧状に形成するのが望ましい（第
３図参照）。他の端縁（ハ）、（ニ）も弧状に形成でき
る。

薄膜磁気変換素子２の取出電極３．４を、媒体対向面１
０１とは反対側の面１０２に導出した場合、取出電極３
．４を薄膜磁気変換素子２の付着されている端面１０３
に設ける従来技術と異なフて、薄膜磁気変換素子２を付
着させる端面１０３の面積を小さくし、薄膜磁気ヘッド
全体を小型化できる。具体的には、スライダ１の大きさ
を、媒体対向面１０１から反対側の面１０２までの厚み
Ｈｏが０．６５ｍｍ以下、空気流出方向の長さＬｌが０
．５ｍｍ〜２ｍｍ、空気流出方向と直交する方向の幅Ｗ
Ｉが０．５ｍｍ〜２ｍｍ程度となるように小型化するこ
とは容易である（第３図参照）。

薄膜磁気変換素子２は、ｒｃ製造テクノロジと同様のプ
ロセスにしたがって形成された薄膜素子である。第４図
は薄膜磁気変換素子２を中心とした拡大斜視図、第５図
は同じくその拡大断面図である。図において、２１は下
部磁性膜、２２はアルミナ等でなるギャップ膜、２３は
上部磁性膜、２４は導体コイル膜、２５はノボラック樹
脂等の有機樹脂で構成された絶縁膜、２６．２７はリー
ド電極、２８は保護膜である。

下部磁性膜２１及び上部磁性Ｍ２３の先端部は、微小厚
みのギャップ膜２２を隔てて対向するボール部２１１．
２３１となっており、ボール部２１１．２３１に形成さ
れた変換ギャップおいて読み書きを行なう、２１２．２
３２はヨーク部であり、ボール部２１１．２３１とは反
対側にあるバックギャップ部で互いに結合されている。

絶縁膜２５は複数層の絶縁膜２５１〜２５３から構成さ
れていて、絶縁膜２５１．２５２の上に、ヨーク部２１
２．２３２のバックギャップ部のまわりを渦巻状にまわ
るように、導体コイル膜２４を形成しである。これによ
り、下部磁性膜２１、上部磁性膜２３及び導体コイル膜
２４による磁気回路が構成される。

リード電極２６．２７は、一端側が導体コイル膜２４の
両端にそれぞれ導通接続されており、他端側に取出電極
３．４が形成されている。

次に、ヘッド支持装置６は、可撓体６１、ヘッド支持腕
６２．６３、荷重腕６４及び取付片６５等を含んでいる
。ただし、ヘッド支持装置６は、特公昭５８−２２８２
７号公報や特開昭６１−９３８６８号公報等で知られて
いる構造をとることも可能である。可撓体６１は、絶縁
材料である高分子樹脂によって板状に形成してあり、そ
の内部には、外部の読み書ぎ回路に導かれるリード導体
６６及び６７が埋設されている。可撓体６１を構成する
高分子樹脂としては、繰返し曲げ性に耐え得る機械的強
度を有し、適度のバネ性、ひねり及び伸びを示す高分子
材料、例えばポリイミド樹脂等が適している。

ヘッド支持腕６２．６３は、可撓体６１から連続して形
成されている。ヘッド支持腕６２．６３には、リード導
体６６．６７が埋設されていて、リード導体６６．６７
の端部はヘッド支持腕６２．６３の先端から外部に導出
されている。

取付片６５は、金属等の剛性部材でなり、可撓体６１の
他端部側に接着等の手段によって一体的に取付けられて
いる。荷重腕６４は、この取付片６５から可撓体６１の
上を通って薄膜磁気ヘッド５の面１０２上まで延びてい
る。

薄膜磁気ヘッド５とヘッド支持装置６との組合せに当っ
ては、スライダ１の面１０２にヘッド支持腕６２．６３
を接着等の手段によって取付けると共に、ヘッド支持腕
６２．６３の先端部から突出するリード導体６６．６７
を取出電極３．４に半田付は等の手段によって接続し、
スライダ１の面１０２に荷重腕６４の先端部６４１を配
置する。荷重腕６４の先端部６４１はスライダ１の面１
０２にバネ接触し、薄膜磁気ヘッド５に対して下向きの
荷重を与える。

実施例に示す可撓体６１は、ポリイミド樹脂等の高分子
樹脂で構成されているので、従来のステンレス等の弾性
金属板に比較して、バネ性が弱く、ひねり、伸びの自由
度の高い可撓体６１が得られる。従フて、薄膜磁気ヘッ
ド７を小型化して浮上量を低減させ、磁気記録の高密度
化を図った場合にも、スライダ１に発生する揚力動圧と
可撓体６１のバネ性とのバランスをとり、安定した姿勢
制御作用が得られるようになる。また、可撓体６１を高
分子樹脂で構成したので、加工が容易になる。

取出電極３．４に対するリード導体６６．６７のポンデ
イグを、ヘッド支持装置６の取付は面となる面１０２上
で行なうことができるので、その作業が容易になる。し
かも、取出電極３．４へのリード導体６６．６７のポン
デイグに当って、リード導体６６．６７の曲げなど不要
になるので、リード導体６６．６７から薄膜磁気ヘッド
５に対して加わる外力が小さくなる。このため、安定し
た浮上特性及び電磁変換特性が得られる。

第６図は本発明に係る磁気ヘッド装置の別の実施例にお
ける斜視図、第７図は同じくその正面図、第８図は第６
図及び第７図の磁気ヘッド装置を構成する薄膜磁気ヘッ
ド５の斜視図である。

図において、第１図〜第３図と同一の参照符号は同一性
ある構成部分を示しでいる。薄膜磁気ヘッド５は、スラ
イダ１の媒体対向面１０１とは反対側の面１０２に、幅
方向の中間部において長さ方向に沿う条状の凹溝１０４
が設けられている。凹溝１０４は、弧状溝または角状溝
として、スライダ１の全長にわたって形成するのが望ま
しい。荷重腕６４の先端部６４１は、面１０２に形成さ
れた凹溝１０４内に位置決めされている。この実施例の
場合は、第１図に示す実施例と同様の効果が得られるこ
とは勿論であるが、凹溝１０４を利用してヘッド支持装
置６を位置決めできるので、小形化した場合でも、ヘッ
ド支持装置６の取付けが容易になるという利点が得られ
る。

また、凹溝１０４があると、スライダ１の媒体対向面１
０１が、薄膜磁気変換素子２の位置する幅方向の中間部
で最も高く、幅方向の両端縁に向かって次第に傾斜する
凸状の曲面となる。このため、加工歪等に起因するスラ
イダ１の媒体対向面１０１の凹面が補正され、ヘッドタ
ッチが良好で、スペーシングロスが小さく、ヘッドクラ
ッシュ等を生じにくい耐久性の高い磁気ヘッド装置が得
られる。

第９図は本発明に係る磁気ヘッド装置の別の実施例にお
ける斜視図、第１０図は同じくその正面図、第１１図は
第９図及び第１０図の磁気ヘッド装置を構成する薄膜磁
気ヘッド５の斜視図である。図において、第１図〜第３
図、第６図〜第８図と同一の参照符号は同一性ある構成
部分を示す。薄膜磁気ヘッド５は、スライダ１の媒体対
向面１０１とは反対側の面１０２に、取出電極３．４の
位置において、長さ方向に沿う条状の凹溝１０４．１０
５が設けられている。ヘッド支持装置６は可撓体６１か
ら平行に引出されたリード導体６６．６７を有しており
、このリート導体６６．６７を薄膜磁気ヘッド５の凹溝
１０４．１０５に接着等の手段によって接続固定すると
共に、リード導体６６．６７の端部を取出電極３．４に
導通接続させ、リード導体６６．６７をヘッド支持腕と
して利用するようになっている。この実施例の場合も、
第６図〜第８図の実施例と同様の作用効果が得られる。

第１２図は上記各実施例に示された磁気ヘッド装置を用
いた磁気ディスク装置の構成を示す図で、７は磁気ディ
スク、８は位置決め機構である。磁気ディスク７は、図
示しない回転駆動機構により、矢印ａ方向に回転駆動さ
れる。磁気ヘッド装置を構成する薄膜磁気ヘッド５及び
ヘッド支持装置６は、位置決め機構８により矢印ｂ１ま
たはｂ２の方向に直線的にまたは所定の回転角度で駆動
される。これにより、磁気ディスク７の上の所定のトラ
ックにおいて、磁気記録及び読み出しが行なわれる。

上記各実施例では、面内記録再生用の薄膜磁気ヘッドを
示したが、垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドにも、
本発明は適用できる。更に、実施例に示す２端子型の薄
膜磁気ヘッドに限らず、センタータップを有する３端子
型の薄膜磁気ヘッドにも、本発明は適用できる。

〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果が
得られる。

（ａ）薄膜磁気変換素子の取出電極は、スライダの媒体
対向面とは反対側の面に導出されているので、取出電極
面積による制限を、あまり受けることなく小型化でき、
高密度記録、高速追従及び高速アクセスに適した小型の
薄膜磁気ヘッドを有する磁気ヘッド装置を提供できる。

（ｂ）取出電極に対するリード導体のポンデイグ作業が
容易で、取出電極へのリード導体のポンデイグに当って
、リード導体の曲げなどが殆ど不要であり、リード導体
から薄膜磁気ヘッドに加わる外力が小さく、安定した電
磁変換特性、浮上特性を発揮し得る磁気ヘッド装置を提
供できる。

（Ｃ）スライダの媒体対向面とは反対側の面に、空気の
流れ方向に沿う凹溝を設けることにより、スライダの媒
体対向面を凸状曲面とし、ヘッドタッチが良好で、スペ
ーシングロスが小さく、ヘッドクラッシュを生じにくい
耐久性の高い磁気ヘッド装置を提供できる。

（ｄンスライダの媒体対向面と対向する面に凹溝を設け
ることにより、小形化した場合でも、ヘッド支持装置を
容易に取付けることの可能な磁気ヘッド装置を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気ヘッド装置の斜視図、第２図
はその正面図、第３図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの
斜視図、第４図は薄膜磁気変換素子を中心とした拡大斜
視図、第５図は同じくその拡大断面図、第６図は本発明
に係る磁気ヘッド装置の別の実施例における斜視図、第
７図は同じくその正面図、第８図は第６図及び第７図の
磁気ヘッド装置を構成する薄膜磁気ヘッドの斜視図、第
９図は本発明に係る磁気ヘッド装置の別の実施例におけ
る斜視図、第１０図は同じくその正面図、第１１図は第
９図及び第１０図の磁気ヘッド装置を構成する薄膜磁気
ヘッド５の斜視図、第１２図は上記各実施例に示された
磁気ヘッド装置を用いた磁気ディスク装置の構成を示す
図、第１３図は従来の磁気ヘッド装置に用いられていた
薄膜磁気ヘッドの斜視図、第１４図は従来の薄膜磁気ヘ
ッドの問題点を示す図である。 １・・・スライダ　２・・・薄膜磁気変換素子１０１・
・・媒体対向面 １０２・・・媒体対向面と対向する面 １０４・・・凹溝 ３．４・・・取出電極 ５・・・薄膜磁気ヘッド ６・・・ヘッド支持装置 第 ８ 図 コ 第１０図 第 １ 図 第 １２図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）薄膜磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを有する磁
   気ヘッド装置であって、 前記薄膜磁気ヘッドは、スライダの端面に薄膜磁気変換
   素子を備えており、 前記薄膜磁気変換素子は、磁性膜とともに磁気回路を構
   成する導体コイル膜に導通接続された取出電極を有して
   おり、 前記取出電極は、前記スライダの媒体対向面とは反対側
   の面に導出されていること を特徴とする磁気ヘッド装置。
2. （２）前記ヘッド支持装置は、可撓体と、支持腕と、荷
   重腕とを含み、 前記支持腕は、前記可撓体と一体化されていて、前記薄
   膜磁気ヘッドの前記媒体対向面とは反対側の前記面に接
   合されており、 前記荷重腕は、前記薄膜磁気ヘッドの前記媒体対向面と
   は反対側の前記面に荷重を加えていること を特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド装置。
3. （３）前記可撓体は高分子樹脂でなること を特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド装置。