JPH03249191A - スタンパ製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は各種の信号が記録された光記録媒体などに用い
られる複数基板の成形のためのスタンパの製造方法に関
するものである。

〔従来の技術〕

コンパクトディスクやレーザディスクそしてメモリー用
の光ディスク、光磁気ディスクなどの記録媒体には、音
声や映像そしてその他の情報信号に対応するピント列や
トラッキング用のグループなどが成形されている。これ
を作製するためにスタンパと呼ばれる金属製の金型が用
いられている。

このスタンパを作製するのには一般的には、所望の信号
で変調されたレーザ光でカッティングされたガラス基板
上のホトレジストを現像しパターンが得られたところで
導電用の金属膜をコーティングしてその基板を電鋳した
後、剥離する方法が使われている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、ここで得られたピットやグループなどの形状は
、その後作成される複数基板の品質に多大な影響を与え
るにもかかわらず、かなり前工程で行われるホトレジス
トの現像工程でコントロールされるのみであり、それ以
後の工程でなんらかの原因によって形状が変化した場合
においてもそれを再び所望の形状にすることができなが
った。

本発明は電鋳によって得られたスタンパのビットやグル
ープの形状をモニタしそれをコントロールすることを目
的としたものである。

〔課題を解決するための手段〕

この目的を達成するため、本発明はスタンパ上の残留−
ホトレジストの除去を行うために使用される酸素ガスプ
ラズマ中でのアッシング工程において、スタンパの表面
（主にピットやグループのエツジ部分）がエツチングさ
れることを利用し、その形を、レーザ光を照射してその
回折光によって得られる情報によってモニタし、アッシ
ングのパワー、時間をコントロールすることによって形
状を変えられるものである。

〔実施例〕

以下図によって本発明の一実施例を説明する。

第１図が装置の構成である。この装置は一般的に使用さ
れているホトレジストのアッシング装置において、スタ
ンパの上部にレーザ光（−船釣にはＨｅ−Ｎｅレーザ）
を透過するガラス窓を設け、そこからレーザ光を垂直よ
りわずかに（この角度はレーザとスタンパ、そしてディ
テクタの位置によって決まる）傾けてスタンパに入射さ
せその表面より戻ってくる反射光（０次光）及び回折さ
れて出てくる１次光、２次光をディテクタで受けてその
強度を比較することによって、ピットやグループの形状
をモニタするものである。この方法はホトレジストの現
像工程において一般的に使われているものと同じ原理で
あり、最適値は最終的な製品の測定値からフィードバッ
クされて決められる。

但し工次光、２次光の強度が低いため、放電による光の
影響で正確な値がモニタできない時は放電を一時的に止
めてモニタし、さらに必要な場合再び放電を開始して形
状のコントロールを行うことができる。

この方法を実施するに当たっては、ホトレジストの現像
を行う工程において、少し大きめのビットやグループを
形成させておき、このアッシング工程において所望の形
状にすることが望ましい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の方法によって作製されたス
タンパは複数基板を成形する工程の直前においてそのビ
ットやグループの形状をコントロールすることができる
ため、出来上がった複製基板の品質がより安定したもの
になり、工程全体の歩留まり向上を図ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を利用した装置の構成である。 ■・・・スタンパ ２・・・アッシング装置チャンバー ３・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザ ４・・・レーザディテクタ ５・・・レーザ光強度モニタ ６・・・０次光（反射光） ７・・・１次光 ８・・・２次光である。 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　凹凸パターンが記録された金属製スタンパのアッシン
   グ工程においてその凹凸の形状をモニタしながらアッシ
   ングパワー時間をコントロールすることを特徴とするス
   タンパの製造方法。