JPH03255688A - 波長狭帯域化エキシマレーザ発振器 - Google Patents
波長狭帯域化エキシマレーザ発振器Info
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- JPH03255688A JPH03255688A JP5407890A JP5407890A JPH03255688A JP H03255688 A JPH03255688 A JP H03255688A JP 5407890 A JP5407890 A JP 5407890A JP 5407890 A JP5407890 A JP 5407890A JP H03255688 A JPH03255688 A JP H03255688A
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- Japan
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- polarizer
- laser
- resonator
- pockels
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Links
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000005697 Pockels effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims 1
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- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
（Ｊ
本発明台エキシマレーザ発振器に関し、特に半導体リソ
グラフィー装置等の光源として利用されているレーザ発
振波長幅を狭帯域化したエキシマレーザ発振器に関する
。
グラフィー装置等の光源として利用されているレーザ発
振波長幅を狭帯域化したエキシマレーザ発振器に関する
。
従来、レーザ発振波長を狭帯域化したエキシマレーザ発
振器としては第４図に示す様に、レーザ媒質を封入した
レーザチャンバ１の両側に、光学的に対向配置した一対
の反射鏡で成る共振器の内部にエタロン板１０ （第４
図（６））、または回折格子１２ （第４図（ａ）、（
ｂ））プリズム１３（第４図（Ｃ））等の波長選択素子
を用いることにより、通常数への発振波長幅を有するも
のを、０．Ｏ１人程度まで波長幅を狭くすることが可能
となっていた。
振器としては第４図に示す様に、レーザ媒質を封入した
レーザチャンバ１の両側に、光学的に対向配置した一対
の反射鏡で成る共振器の内部にエタロン板１０ （第４
図（６））、または回折格子１２ （第４図（ａ）、（
ｂ））プリズム１３（第４図（Ｃ））等の波長選択素子
を用いることにより、通常数への発振波長幅を有するも
のを、０．Ｏ１人程度まで波長幅を狭くすることが可能
となっていた。
上述した従来のエキシマレーザ発振器では、レーザ発振
器内の全反射鏡４と部分透過鏡３で構成される共振器の
内部に波長選択素子を置くため、光学的損失が大きく、
得られるレーザ発振出力も！パルス当り数ＩＯｍＪ程度
以下と少ない欠点がある。
器内の全反射鏡４と部分透過鏡３で構成される共振器の
内部に波長選択素子を置くため、光学的損失が大きく、
得られるレーザ発振出力も！パルス当り数ＩＯｍＪ程度
以下と少ない欠点がある。
本発明の目的は」−記の欠点を改良し、光学的損失が小
さい狭帯域化エキシマレーザ発振器を得ることにある。
さい狭帯域化エキシマレーザ発振器を得ることにある。
本発明のエキシマレーザ発振器は、共振器内部にレーザ
光の偏向方向を電気的に制御するためポッケルス効果を
有するＫ Ｄ” Ｐ等の電気光学結晶と、ポラライザー
、およびレーザ発振の発振波長幅を狭くするため、エタ
ロン板１回折格子またはプリズム等の波長選択素子を有
し、電気光学結晶をレーザ発振光と同期して駆動するた
めの駆動回路を有している。
光の偏向方向を電気的に制御するためポッケルス効果を
有するＫ Ｄ” Ｐ等の電気光学結晶と、ポラライザー
、およびレーザ発振の発振波長幅を狭くするため、エタ
ロン板１回折格子またはプリズム等の波長選択素子を有
し、電気光学結晶をレーザ発振光と同期して駆動するた
めの駆動回路を有している。
本発明は、共振器内にポポッケルス効果を有することに
より、波長選択素子を含む共振器と、含まない共振器構
成を時間的に切り換え、易果的に１台の発振器により大
きなレーザ光出力が得られる。
より、波長選択素子を含む共振器と、含まない共振器構
成を時間的に切り換え、易果的に１台の発振器により大
きなレーザ光出力が得られる。
〔実施例〕
第１図は本発明の一実施例の構成図である。
第１図においてｌは、レーザ媒質となるガスを封入した
チャンバで、内部に配置した電極間の放電によりレーザ
媒質を励起する。２はレーザチャンバ内の電極に電圧を
印加して放電を起させるためのレーザ電源である。レー
ザ発振を得るための共振器は、３の部分透過鏡と、４の
第１の全反射鏡。
チャンバで、内部に配置した電極間の放電によりレーザ
媒質を励起する。２はレーザチャンバ内の電極に電圧を
印加して放電を起させるためのレーザ電源である。レー
ザ発振を得るための共振器は、３の部分透過鏡と、４の
第１の全反射鏡。
または５の第２の全反射鏡とで構成される。６および７
はレーザ光の偏向方向を決めるポラライザーで、８はポ
ポッケルス効果、９はポポッケルス効果用の駆動回路で
ある。１０および１１は、レーザ発振波長幅を狭帯域化
するためのエタロン板である。ここでは、波長幅をより
狭くするため、２種の厚みを有するエタロン板が使用さ
れている。
はレーザ光の偏向方向を決めるポラライザーで、８はポ
ポッケルス効果、９はポポッケルス効果用の駆動回路で
ある。１０および１１は、レーザ発振波長幅を狭帯域化
するためのエタロン板である。ここでは、波長幅をより
狭くするため、２種の厚みを有するエタロン板が使用さ
れている。
第３図は、本発明の動作特性を示す図である。
第３図（ａ）は、レーザ媒質への励起電流を示し、第３
図ら〕はポポッケルス効果８を動作させない場合のレー
ザ発振の状態を示す。第３図（Ｃ）は、ポポッケルス効
果８に印加される電圧の動作タイミングを示し、第３図
（ｄ）はポポッケルス効果８が動作した場合のレーザ発
振光の強度を示している。
図ら〕はポポッケルス効果８を動作させない場合のレー
ザ発振の状態を示す。第３図（Ｃ）は、ポポッケルス効
果８に印加される電圧の動作タイミングを示し、第３図
（ｄ）はポポッケルス効果８が動作した場合のレーザ発
振光の強度を示している。
第１図において、レーデ発振の初期状態では、ポポッケ
ルス効果８にλ／２電圧が印加されている。
ルス効果８にλ／２電圧が印加されている。
λ／２電圧はポッケルス結晶にＫＤ’Ｐを用い、発振波
長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザの場合で約１．５
Ｋ Ｖである。このため、ポラライザー６を通過した
光はポポッケルス効果８により偏光面が９０°回転し、
ポラライザー７では反射される。
長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザの場合で約１．５
Ｋ Ｖである。このため、ポラライザー６を通過した
光はポポッケルス効果８により偏光面が９０°回転し、
ポラライザー７では反射される。
従って、レーザ発振の初期では部分透過ミラー３と、第
２の全反射ミラー５による共振器により、レーザ光が増
幅される。この共振器では、波長選択素子であるエタロ
ン板１０．１１により狭帯域化されたレーザ光となって
いる。次に放電励起開始後５〜１０ｎ５の遅延をかＪで
、ポ・ケルス素子に印加されている電圧を２〜３ｎｓの
立ち下り速度でＯＶにすると（第３図（Ｃ））、ポララ
イザー６を通過した光はポポッケルス効果８での偏光面
の回転作用がなくなり、ポラライザー７を透過する。
２の全反射ミラー５による共振器により、レーザ光が増
幅される。この共振器では、波長選択素子であるエタロ
ン板１０．１１により狭帯域化されたレーザ光となって
いる。次に放電励起開始後５〜１０ｎ５の遅延をかＪで
、ポ・ケルス素子に印加されている電圧を２〜３ｎｓの
立ち下り速度でＯＶにすると（第３図（Ｃ））、ポララ
イザー６を通過した光はポポッケルス効果８での偏光面
の回転作用がなくなり、ポラライザー７を透過する。
これにより、レーザ光は部分透過ミラー３と、全反射鏡
４で構成される共振器により増幅され、光路中の波長選
択素子による損失がなくなる。また初期状態で発振した
狭帯域のレーザ光を増幅することになるため、狭帯域化
された、しかも大きなレーザ光出力が得られることにな
る（第３図（ｄ））。
４で構成される共振器により増幅され、光路中の波長選
択素子による損失がなくなる。また初期状態で発振した
狭帯域のレーザ光を増幅することになるため、狭帯域化
された、しかも大きなレーザ光出力が得られることにな
る（第３図（ｄ））。
第２図は本発明の実施例２の構成図である。本実施例で
は第１図における第２の全反射鏡５およびエタロン板１
０．１１のかわりに、回折格子１２を使用している。こ
の他は第１図と同じである。この場合、回折格子が全反
射鏡と波長選択素子の機能を持つため、光学部品が減る
利点がある。
は第１図における第２の全反射鏡５およびエタロン板１
０．１１のかわりに、回折格子１２を使用している。こ
の他は第１図と同じである。この場合、回折格子が全反
射鏡と波長選択素子の機能を持つため、光学部品が減る
利点がある。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、エキシマレーザ発振器内
にポポッケルス効果を置くことにより、波長選択素子に
よる光学損失を最小に抑え、大きなレーザ出力が得られ
る効果がある。
にポポッケルス効果を置くことにより、波長選択素子に
よる光学損失を最小に抑え、大きなレーザ出力が得られ
る効果がある。
第１図は本発明の第１の実施例の構成図、第２図は第２
の実施例の構成図、第３図は本発明の動作を示すグラフ
、第４図は従来の技術を示す構成図である。 ■・・・・・・レーザチャンバ、２・・・・・・レーザ
電源、３・・・・・・部分透過鏡、４・・・・・・全反
射鏡、５・・・・・・全反射鏡、６・・・・・・ポララ
イザー ７・・・・・・ポラライザー、８・・・・・・
ポポッケルス効果、９・・・・・・ポポッケルス効果駆
動１．１０・・・・・・エタロンＬｌｌ・・・・・・エ
タロン板。
の実施例の構成図、第３図は本発明の動作を示すグラフ
、第４図は従来の技術を示す構成図である。 ■・・・・・・レーザチャンバ、２・・・・・・レーザ
電源、３・・・・・・部分透過鏡、４・・・・・・全反
射鏡、５・・・・・・全反射鏡、６・・・・・・ポララ
イザー ７・・・・・・ポラライザー、８・・・・・・
ポポッケルス効果、９・・・・・・ポポッケルス効果駆
動１．１０・・・・・・エタロンＬｌｌ・・・・・・エ
タロン板。
Claims (1)
- 半透明鏡（以下部分反射鏡と記す）と反射鏡（以下全反
射鏡と記す）を光学的に対向配置して成る共振器内に、
希ガスとハロゲンガスで成るレーザ媒質を封入したレー
ザチャンバを備えたエキシマレーザ発振器において、少
なくとも前記共振器内のレーザチャンバと全反射鏡の間
に２つのポラライザーを備え、前記ポラライザーの間に
ポッケルス効果を有する電気光学結晶で成るポッケルス
素子を備え、前記ポラライザーのうちの一方のポラライ
ザーで反射した光が進行する光軸上に波長選択素子と全
反射鏡を備えたことを特徴とした波長狭帯域化エキシマ
レーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5407890A JPH03255688A (ja) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | 波長狭帯域化エキシマレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5407890A JPH03255688A (ja) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | 波長狭帯域化エキシマレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03255688A true JPH03255688A (ja) | 1991-11-14 |
Family
ID=12960578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5407890A Pending JPH03255688A (ja) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | 波長狭帯域化エキシマレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03255688A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016500482A (ja) * | 2012-12-20 | 2016-01-12 | アカデミー オブ オプト−エレクトロニクス，チャイニーズ アカデミー オブ サイエンシズ | エキシマーレーザーの複合キャビティー |
| CN114414482A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-04-29 | 中国科学院南海海洋研究所 | 一种多光谱海水广角体散射函数测量用光源 |
-
1990
- 1990-03-05 JP JP5407890A patent/JPH03255688A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016500482A (ja) * | 2012-12-20 | 2016-01-12 | アカデミー オブ オプト−エレクトロニクス，チャイニーズ アカデミー オブ サイエンシズ | エキシマーレーザーの複合キャビティー |
| EP2937954B1 (en) * | 2012-12-20 | 2020-07-22 | Rainbow Source Laser | Excimer laser combination cavity |
| CN114414482A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-04-29 | 中国科学院南海海洋研究所 | 一种多光谱海水广角体散射函数测量用光源 |
| CN114414482B (zh) * | 2022-01-11 | 2023-10-20 | 中国科学院南海海洋研究所 | 一种多光谱海水广角体散射函数测量用光源 |
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