JPH03256342A - リード曲り検出装置 - Google Patents
リード曲り検出装置Info
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- JPH03256342A JPH03256342A JP5548390A JP5548390A JPH03256342A JP H03256342 A JPH03256342 A JP H03256342A JP 5548390 A JP5548390 A JP 5548390A JP 5548390 A JP5548390 A JP 5548390A JP H03256342 A JPH03256342 A JP H03256342A
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- Japan
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- distance
- leads
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title description 11
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、デュアルインライン（Ｄｕａｌｉｎｌｉｎｅ
）型集積回路装置（以下ＤＵＴと言う）の外観検査に関
し、特に互いに向かい合った幅方向のリード曲りの検査
に関する。
）型集積回路装置（以下ＤＵＴと言う）の外観検査に関
し、特に互いに向かい合った幅方向のリード曲りの検査
に関する。
第５図は従来の一例を示すリード曲９検査装置の模式側
面図である。従来の技術としては、例えば、峙公昭６０
−７７１８９号公報に記載されているように、第５図の
様に互いに向い合ったリード側面の検査を対象としてい
た。この測定方法は、リード２の同一直線上に配置され
た検出器１ａ及びｌｂの距離値データＬＮ、Ｌｌに対し
、互いの距離値データの和８（Ｓ＝Ｌｌ＋ＬＮ）を求め
、あらかじめ設定された範囲内又は範囲外かで良否を判
定していた。この場合ＤＵＴが蛇行し左右にずれても互
いの距離の和が一定であることから、この方法は有効で
アった。
面図である。従来の技術としては、例えば、峙公昭６０
−７７１８９号公報に記載されているように、第５図の
様に互いに向い合ったリード側面の検査を対象としてい
た。この測定方法は、リード２の同一直線上に配置され
た検出器１ａ及びｌｂの距離値データＬＮ、Ｌｌに対し
、互いの距離値データの和８（Ｓ＝Ｌｌ＋ＬＮ）を求め
、あらかじめ設定された範囲内又は範囲外かで良否を判
定していた。この場合ＤＵＴが蛇行し左右にずれても互
いの距離の和が一定であることから、この方法は有効で
アった。
第６図は従来のリード曲シ検査装置で測定した状態を示
す模式側面図である。しかしながら、上述した従来の技
術では、第６図の様にリード２が相対的に一方向に曲っ
た場合、例えば、リード２及び２ａがそれぞれ基準位置
に対してΔＰだけ内方向及び外方向に曲った場合、互い
の距離の和Ｓは ８＝（Ｌｌ＋ΔＰ）＋（ＬＮ−ΔＰ）＝Ｌ１＋ＬＮとな
ル、良品（Ｌｌ＋ＬＮ）と等しい結果が得られ、本来不
良と判定すべきものを良品と判定するという欠点があっ
た。
す模式側面図である。しかしながら、上述した従来の技
術では、第６図の様にリード２が相対的に一方向に曲っ
た場合、例えば、リード２及び２ａがそれぞれ基準位置
に対してΔＰだけ内方向及び外方向に曲った場合、互い
の距離の和Ｓは ８＝（Ｌｌ＋ΔＰ）＋（ＬＮ−ΔＰ）＝Ｌ１＋ＬＮとな
ル、良品（Ｌｌ＋ＬＮ）と等しい結果が得られ、本来不
良と判定すべきものを良品と判定するという欠点があっ
た。
本発明の目的は、かかる欠点を解消するリード曲り検査
装置を提供することである。
装置を提供することである。
本発明のリード曲り検査装置は、半導体装置の側面より
突出するリード側面の先端部及び前記半導体装置の側面
部の位置までの距離を測定する検出器を同一直線上に対
向して配置し、各々の距離測定結果を演算しその結果を
判定することを特徴としている。
突出するリード側面の先端部及び前記半導体装置の側面
部の位置までの距離を測定する検出器を同一直線上に対
向して配置し、各々の距離測定結果を演算しその結果を
判定することを特徴としている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すリード曲り検査装置の
模式斜視図である。このリード曲り検査装置は、ＤＵＴ
３（７）リード２ 、２ ａ 、 ２ ｂ −−−−−
２０の先端部及びＤＵＴ３の側面部１での距離を測定す
る検出器１ｃ及び１ｄと矢印の方向にＤＵＴ３を滑走さ
せる滑走路４とを有している。
模式斜視図である。このリード曲り検査装置は、ＤＵＴ
３（７）リード２ 、２ ａ 、 ２ ｂ −−−−−
２０の先端部及びＤＵＴ３の側面部１での距離を測定す
る検出器１ｃ及び１ｄと矢印の方向にＤＵＴ３を滑走さ
せる滑走路４とを有している。
第２図は第１図のリード曲り検査装置の模式平面図、第
３図は第１図のリード曲υ検査装置の模式側画図である
。
３図は第１図のリード曲υ検査装置の模式側画図である
。
今、ＤＵＴ３が矢印の方向に滑走し、ＤＵＴ３のリード
２ 、２ ａ 、 ２ ｂ −一−２ｎが検出器１ｃ。
２ 、２ ａ 、 ２ ｂ −一−２ｎが検出器１ｃ。
ｌｄの前面にさしかかったとする。このとき、最初に検
出するリードを２，２ａとする。検出器１ｄはリード２
ａｔでの距離、検出器１ｃはリード２とＤＵＴ３の付は
根より下のパッケージ側面部までの距離をもとめる事に
なる。この場合検出器１ｄ。
出するリードを２，２ａとする。検出器１ｄはリード２
ａｔでの距離、検出器１ｃはリード２とＤＵＴ３の付は
根より下のパッケージ側面部までの距離をもとめる事に
なる。この場合検出器１ｄ。
ｌＣは、第２図の様にリード２ａと２とは同一直線上に
あり、又検出位置は第３図に示す位置とする。
あり、又検出位置は第３図に示す位置とする。
この時得られる距離をリード２ａに対し、ＬＰｌ、ＤＵ
Ｔ３の側面に対しＬＰＮとする。さらに、ＤＵＴ３は滑
走し、次の互いに向かい合ったり−ド２ｂ 、２ｎの距
離をそれぞれＬＰ２．ＬＰ（Ｎ−１）とすると、このＬ
Ｐ２ 、ＬＰ（Ｎ−１）が得られることになる。この様
に、順次各リード管での距離を求め終ると、次に、互い
に向かい合ったリードより得られた距離の和を求める。
Ｔ３の側面に対しＬＰＮとする。さらに、ＤＵＴ３は滑
走し、次の互いに向かい合ったり−ド２ｂ 、２ｎの距
離をそれぞれＬＰ２．ＬＰ（Ｎ−１）とすると、このＬ
Ｐ２ 、ＬＰ（Ｎ−１）が得られることになる。この様
に、順次各リード管での距離を求め終ると、次に、互い
に向かい合ったリードより得られた距離の和を求める。
最初のリードＰＬ、ＰＨに対し、和をＳＩＮとすると、
５ＩＮ＝ＬＰ１＋ＬＰＮとなυ、次のり−ドＰ２．Ｐ（
Ｎ−１）に対する和を８２（Ｎ−１）とすると、８２（
Ｎ−）＝ＬＰ２＝ＬＰＮ−１となる。この要領により、
すべての互いに向かい合ったリードよシ得られた距離の
和を求める。ここで互いに向かい合ったリードの和につ
いて考えてみる。今、リード２，２ａに対し、パッケー
ジ側面までの距離ＰＮについては、パッケージの破損以
外は一定であるが、滑走中の左右の蛇行によって値は変
化する。
５ＩＮ＝ＬＰ１＋ＬＰＮとなυ、次のり−ドＰ２．Ｐ（
Ｎ−１）に対する和を８２（Ｎ−１）とすると、８２（
Ｎ−）＝ＬＰ２＝ＬＰＮ−１となる。この要領により、
すべての互いに向かい合ったリードよシ得られた距離の
和を求める。ここで互いに向かい合ったリードの和につ
いて考えてみる。今、リード２，２ａに対し、パッケー
ジ側面までの距離ＰＮについては、パッケージの破損以
外は一定であるが、滑走中の左右の蛇行によって値は変
化する。
例えば、パッケージが左へΔＰだけ移動したとすると、
検出器ＩＣでの距離は、ＬＰＮ−ΔＰとなり、検出器１
ｄでの距離は、ＬＰＩ＋ΔＰとなる。
検出器ＩＣでの距離は、ＬＰＮ−ΔＰとなり、検出器１
ｄでの距離は、ＬＰＩ＋ΔＰとなる。
結果互いに向かい合ったリードより得られた距離の和は
、 ８１Ｎ＝（ＬＰＮ−ΔＦ）＋（ＬＰＩ＋ΔＰ）＝ＬＰ１
＋ＬＰＮ となり蛇行の影響はなくなる。ここで、もし、リード２
ａが外側にΔαだけ曲がシ、又ＤＵＴ３が左へΔＰだけ
移動したとすると、上式は５ＩＮ＝（ＬＰＮ−ΔＰ）＋
（ＬＰＩ−Δα＋ΔＰ）＝ＬＰｌ＋ＬＰＮ−Δα となる。ここでＬＰＮはパッケージ側面の為常に一定で
あるから、互いに向かい合ったリードより得られた距離
の和からは、その差分のみを検出することができる。
、 ８１Ｎ＝（ＬＰＮ−ΔＦ）＋（ＬＰＩ＋ΔＰ）＝ＬＰ１
＋ＬＰＮ となり蛇行の影響はなくなる。ここで、もし、リード２
ａが外側にΔαだけ曲がシ、又ＤＵＴ３が左へΔＰだけ
移動したとすると、上式は５ＩＮ＝（ＬＰＮ−ΔＰ）＋
（ＬＰＩ−Δα＋ΔＰ）＝ＬＰｌ＋ＬＰＮ−Δα となる。ここでＬＰＮはパッケージ側面の為常に一定で
あるから、互いに向かい合ったリードより得られた距離
の和からは、その差分のみを検出することができる。
いわゆる和の標準値をあらかじめ求めて於けば、パッケ
ージの蛇行の影響を受けず、又その値に対する差が幅方
向の曲υ値そのものになるため、幅方向のリード曲り検
査が実現出来る。
ージの蛇行の影響を受けず、又その値に対する差が幅方
向の曲υ値そのものになるため、幅方向のリード曲り検
査が実現出来る。
第４図は本発明の他の実施例を示すリード曲υ検査装置
の外観正面図である。ここでは、検出器１ｃをリードＰ
ＩのＤＵＴ３の付は根よυ下のＤＵＴ側面部に配置する
。
の外観正面図である。ここでは、検出器１ｃをリードＰ
ＩのＤＵＴ３の付は根よυ下のＤＵＴ側面部に配置する
。
動作は、前記実施例に示した通υで、リード２ａを例に
とりて説明すると、検出器１ｄ、ｌｃの距離をＬＰＲＩ
、ＬＰｐｌとし、今度は、差を取る。
とりて説明すると、検出器１ｄ、ｌｃの距離をＬＰＲＩ
、ＬＰｐｌとし、今度は、差を取る。
差をＳＢｌとすると
８Ｂ１＝ＬＰＰｌ−ＩＩＰＲＩとなる。
前記同様に、ＤＵＴ３が左へΔＰだけ移動したとすると
、検出器ＩＣでの距離は、ＬＰＰＩ＋ΔＰとなυ、検出
器ＩＣでの距離は、ＬＰＲＩ＋ΔＰとなる。
、検出器ＩＣでの距離は、ＬＰＰＩ＋ΔＰとなυ、検出
器ＩＣでの距離は、ＬＰＲＩ＋ΔＰとなる。
結果、距離の差は
５Ｂｌ＝（ＬＰＰＩ＋ΔＰ）−（ＬＰＲＩ＋ムＰ）＝ｈ
ｐｐｌ−ＬＰＲＩ となり蛇行の影響はなくなる。ここでもし、リード２ａ
が外側にΔαだけ曲がυ、又バ、ケージが左へΔＬだけ
移動したとすると、上式は８Ｂ１＝（ＬＰＰＩ＋ΔＦ）
−（ＬＰＲＩ−ムα＋ΔＰ）−ＬＰＰＩ−ＬＰＲＩ−Δ
α となる。ここでＬＰｐｌＦｉＤＵＴ３側面の為常に一定
であるから、距離の差からは、その差分のみを検出する
ことができる。
ｐｐｌ−ＬＰＲＩ となり蛇行の影響はなくなる。ここでもし、リード２ａ
が外側にΔαだけ曲がυ、又バ、ケージが左へΔＬだけ
移動したとすると、上式は８Ｂ１＝（ＬＰＰＩ＋ΔＦ）
−（ＬＰＲＩ−ムα＋ΔＰ）−ＬＰＰＩ−ＬＰＲＩ−Δ
α となる。ここでＬＰｐｌＦｉＤＵＴ３側面の為常に一定
であるから、距離の差からは、その差分のみを検出する
ことができる。
よって前記実施例と同様の効果がある。
以上説明してきたように本発明は、同一直線上にある距
離検出器よυ得られる距離情報を利用することにより、
−旦ＤＵＴを静止させることなく、又ＤＵＴのビン数が
増えて分解能、精度は変わらず、片方の距離検出器の値
がリードの曲りに影響しない為、左右のリードの曲り方
による誤判定をなくし、処理内容も簡単でよい事から、
低価格で、簡素な構造で、テスト時間の短いリード曲り
検出装置を提供できる効果がある。
離検出器よυ得られる距離情報を利用することにより、
−旦ＤＵＴを静止させることなく、又ＤＵＴのビン数が
増えて分解能、精度は変わらず、片方の距離検出器の値
がリードの曲りに影響しない為、左右のリードの曲り方
による誤判定をなくし、処理内容も簡単でよい事から、
低価格で、簡素な構造で、テスト時間の短いリード曲り
検出装置を提供できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すリード曲υ検査装置の
模式斜視図、第２図は第１図のリード曲り検査装置の模
式平面図、第３図は第１図のリード曲す検査装置の模式
側面図、第４図は本発明の他の実施例を示すリード曲り
検査装置の模式側面図、第５図及び第６図は従来の一例
を示すリード曲り検査装置の模式側面図である。 ｌａ、ｌｂ、ｌｃ、ｌｄ・−・・−検出器、２，２ａ。
模式斜視図、第２図は第１図のリード曲り検査装置の模
式平面図、第３図は第１図のリード曲す検査装置の模式
側面図、第４図は本発明の他の実施例を示すリード曲り
検査装置の模式側面図、第５図及び第６図は従来の一例
を示すリード曲り検査装置の模式側面図である。 ｌａ、ｌｂ、ｌｃ、ｌｄ・−・・−検出器、２，２ａ。
Claims (1)
- 半導体装置の側面より突出するリード側面の先端部及び
前記半導体装置の側面部の位置までの距離を測定する検
出器を同一直線上に対向して配置し、各々の距離測定結
果を演算しその結果を判定することを特徴としたリード
曲り検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5548390A JPH03256342A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | リード曲り検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5548390A JPH03256342A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | リード曲り検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03256342A true JPH03256342A (ja) | 1991-11-15 |
Family
ID=12999870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5548390A Pending JPH03256342A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | リード曲り検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03256342A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994024700A1 (en) * | 1993-04-16 | 1994-10-27 | Modular Vision Systems Inc. | Qfp lead quality inspection system and method |
-
1990
- 1990-03-06 JP JP5548390A patent/JPH03256342A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994024700A1 (en) * | 1993-04-16 | 1994-10-27 | Modular Vision Systems Inc. | Qfp lead quality inspection system and method |
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