JPH03260924A - トラッキングミラーアクチュエータ装置 - Google Patents

トラッキングミラーアクチュエータ装置

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JPH03260924A
JPH03260924A JP2060737A JP6073790A JPH03260924A JP H03260924 A JPH03260924 A JP H03260924A JP 2060737 A JP2060737 A JP 2060737A JP 6073790 A JP6073790 A JP 6073790A JP H03260924 A JPH03260924 A JP H03260924A
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JP
Japan
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mirror
thin plate
movable part
center line
tracking
Prior art date
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Pending
Application number
JP2060737A
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English (en)
Inventor
Hideaki Kibune
英明 木船
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分町 本発明は、光情報記録再生装置におけるトラッキングミ
ラーアクチュエータ装置に関する。
従来の技術 一般に、光情報記録再生装置においては、情報記録媒体
」二に微小スポットを形成して情報の記録又は再生を行
う。このときに光情報記録媒体に対して前記微小スポッ
トのトラッキング動作を行うためのミラーを可動的に備
えたものがある。
この際のトラッキングミラーアクチュエータ構成として
は、例えば特開昭62−210418号公報に示される
ものがある。第7図ないし第9図はその内容を示すもの
である。まず、ミラー1はミラー支持体2により支持さ
れている。このミラー支持体2のX方向両側は駆動部3
中の駆動コイル4に一体化され、これらにより可動部5
が構成されている。前記駆動部3は固定ベース6上に立
設固定された略U字状のヨーク磁気回路7とその外側内
面に固定された磁石8とこれらのヨーク磁気回路7と磁
石8との形成する磁気ギャップ9111に一辺を位置さ
せた前記駆動コイル4とよりなる。
また、前記可動部5は略左右対称形状(前後方向も対称
的であるが)であり、その左右両側(y方向両側)は各
々1枚ずつの薄板状ばね部オA10により固定ベース6
」二に支持されている。即ち、薄板状ばね部材10の一
端はミラー支持体2(可動部5)に固定され、他端は固
定ベース6」−に立設固定した固定支持部11に固定さ
れている。この2枚の薄板状ばね部材10も左右両側で
対称的に設けられているが、具体的には、薄板状ばね部
材10の中心線は可動部5の回転中心線C上に設定され
ている。可動部5の重心はこの回転中心線C近傍とされ
ている。
即ち、ミラーlを含む可動部5を左右2枚の薄板状ばね
部材10で支持し、この薄板状ばね部材10のねじり中
心線近傍に可動部5の重心を設定するとともに、支持系
の低剛性の方向がミラー面内方向となり、高剛性の方向
がミラー法線方向と=3 − なるように、薄板状ばね部利lOの厚み方向をミラー面
内方向に合わせて固定する。これによれば、ミラーlに
おいてはミラー面内方向でミラーが微小量移動しても光
ビームの位置にはまったく影響しないため、支持系が低
剛性であっても問題はない。そして、光ビームの位置に
関係するミラー法線方向の支持系剛性は高剛性とするこ
とができるため、光スポットの位置決め精度を低下させ
てしまう振動を抑制できるというものである。
発明が解決しようとする課題 このようなトラッキングミラーアクチュエータ装置を、
より詐細に検討すると、可動部5の一次共振周波数は通
常50Hz前後に設定する必要がある。このため、薄板
状ばね部材10にステンレス材質を用いた場合、20μ
m前後の厚さとなる。
ここに、ステンレス鋼板はその厚さに±2μm程度の誤
差が避けられないため、薄板状ばね部材lOの板厚は±
10%程度のバラツキを持つことになる。一方、薄板状
ばね部利10のねじりばね走数は板厚の3乗に比例する
ため、板厚に±10%程度のバラツキがあると、ねじり
ばね定数としては±33%程度もバラツキを持つことに
なる。ここに、ねじりばね定数の1/2乗に比例する一
次共振周波数は±15%程度ものバラツキを持つことに
なる。
一般に、制御系の仕様を考えると、可動部5の一次共振
周波数のバラツキは±10%程度の範囲内に抑える必要
がある。ところが、薄板状ばね部材10の板厚だけで±
15%ものバラツキを持った場合、他の要素(例えば、
可動部慣性モーメントのバラツキ、薄板状ばね部材lO
の長さ、幅のバラツキ等)の影響をも考慮すると、現実
には、−次共振周波数は±20%程度のバラツキを持っ
てしまい、到底、制御系の仕様を満足することはできな
い。
この点、薄板状ばね部材10の板厚のバラツキを±5%
5%程範囲内に抑えることができれば、その影響による
一次共振周波数のバラツキは±7.6%程度に抑えるこ
とができ、制御系の仕様を満足し得るものとなる。この
ような構成の可否について検討してみる。まず、薄板状
ばね部材10の板厚を40μmとした場合、第7図ない
し第9図のような構成のままでは、ねじりばね定数は2
゛=8倍となり、−次共振周波数は8°”=2.8倍と
なってしまい、50Hz前後に設定することができない
。このため、薄板状ばね部材10の長手方向(y方向)
の長さを長くし、幅方向(Z方向)の長さを短くし、ね
じりばね定数を小さくする必要がある。しかし、薄板状
ばね部材10の長手方向の長さを長くすると、装置が大
型化してしまう。また、幅方向を短くすると、薄板状ば
ね部材10に働く剪断応力[kg−f / cn+]が
大きくなってしまい、薄板状ばね部材lOの許容応力を
越えてしまう問題が生じてしまう。
課題を解決するための手段 光情報記録媒体上に微小スポットを形成して1′i!f
報の記録又は再生を行う光情報記録再生装置で、前記光
ti!f報記DW、体に対して前記微小スポットのトラ
ッキング動作を行うためのミラーをミラー支持体に支持
させて駆動部を右する略左右幻弥11/i 逍で回転中
心線を中心に同動変位可能な可動t’fl(に]t(載
したトラッキングミラーアクチュエータ装置において、
請求項1記載の発明では、可動部の回転中心線に対し重
直な方向に延設させた少なくとも2個所の屈曲部を有し
て厚み方向を前記ミラーの面内方向に合わせた2枚ずつ
の薄板状ばねγfI+ jAにより前記可動部の左右両
側を固定部に対して支持させ、請求項2記載の発明では
、可動部の回転中心線に対し垂直な方向に延設させた少
なくとも2個所の屈曲部を有して前記回転中心線を中心
に放射状に配設させた少なくとも3枚ずつの薄板状ばね
部材により前記可動部の左右両側を固定部に対− して支持させた。
作用 可動部の両端を支持する薄板状ばね部材が、可動部の回
転中心線に対し垂直な方向に延設させた少なくとも2個
所の屈曲部をイfする形状のものとしたので、板厚を厚
くしても一次共振周波数を低く抑えることができる。よ
って、薄板状ばね部材の板厚のバラツキによる一次共振
周波数のバラツキは小さいものとなり、確実なトラッキ
ングミラーアクチュエータ動作を行わせることができる
特に、請求項2記載の発明のように、回転中心線を中心
に放射状に配設させた少なくとも3枚以上の薄板状ばね
部材により支持させることにより、回転方向以外の剛性
を十分に高くし、回転方向以外の可動部の有害な運動を
抑制することができる。
実施例 請求項1記載の発明の一実施例を第1図ないし第3図に
基づいて説明する。第7図ないし第9図で示した部分と
同−m!分は同一符号を用いて示す。
トラッキングミラーアクチュエータとしての県木構造は
同様であるが、可動部5を支持する薄板状ばね部材の形
状等を工夫したものである。まず、可動部5の左右両側
には各々2枚ずつの薄板状ばね部材12が上下(Z方向
)対称配置関係で設けられている。これらの薄板状ばね
f+ll+J ] 2はlit体では何れも略コ字状形
状のもので、同一直線なる可動部5の回転中心線Cに対
して垂直な方向に延設させた平行な2個所の屈曲部13
a、13bを有し、これらの屈曲部13a、13bは回
1云中心線Cから最も離れた個所を結合部13cとして
互いに結合され、回転中心線Cに最も近い部分で、一方
の屈曲部13a側はミラー支持体2(可動部5)に固定
され、他方の屈曲部13b(It!lは固定支持部11
に固定されている。即ち、ミラー支持体2・固定支持部
11間が薄板状ばね部利により最短距離で短絡的に支持
されることなく、クランク状の薄板状ばね部材12によ
り迂回状態で支持された状態とされている。また、これ
らの薄板状ばね部材12の厚み方向はミラー1の面内方
向とされている。なお、本実施例にあっても、可動部5
の重心は回転中心線C近傍に設定されている。
このような構成において、磁気ギャップ9中の駆動コイ
ル4に発生するミラー法線方向(X方向)のツノの向き
が、各々の駆動コイル4で逆向きとなるように駆動電流
の向きを決定することにより、可動部5には偶力が発生
し、回転中心線Cを中心に回転する。このとき、本実施
例の薄板状ばね部材12の屈曲部13a、13bは曲げ
変形する。
この屈曲部13a、13bは第7図に示した薄板状ばね
部材10の長手方向の長さに比べ十分に長くすることが
でき、かつ、1枚の薄板状ばね部材12において2個所
に平行な屈曲部13a、13bがあるため、板厚を厚く
しても一次共振周波数は十分低い状態に抑えることがで
きる。
つづいて、請求項2記載の発明の一実施例を第4図ない
し第7図により説明する。基本的には前記実施例と同様
であるが、本実施例では可動部5の左右両端に各々4枚
ずつの薄板状ばね部材12を可動部5の回転中心線Cに
対して放射状、ここでは×状に配設させて設けたもので
ある。これは、薄板状ばね部材の剛性を高めるためであ
る。即ち、前記実施例による場合、薄板状ばね部材12
はy。
X方向の剛性が十分大きいのに幻しX方向の剛性は極め
て小さく、可動部5がZ軸周りに回転運動をしてしまい
、ミラー1により偏向された光束のトラッキング方向が
本来のトラッキング方向からずれてしまう可能性がある
。この点、本実施例では、4枚の薄板状ばね部材12を
回転中心線Cに対して放射状に配設させて設けているの
で、薄板状ばね部材12の剛性はx+ 5’l  Zの
各方向で十分に大きくすることができる。
なお、本実施例では、可動部5の片側について−11= 12 4枚の薄板状ばね部材12を設けたが、要は、3枚以」
二の薄板状ばね部材12を回転中心線Cに対して放射状
配置させて設ければよい。
発明の効果 本発明は、上述したように可動部の両端を支持する各々
複数枚の薄板状ばね部材を、可動部の回転中心線に対し
垂直な方向に延設させた少なくとも2個所の屈曲部をイ
fする形状のものとしたので、板厚を厚くしても一次共
振周波数を低く抑えることができ、よって、薄板状ばね
部材の板厚のバラツキによる一次共振周波数のバラツキ
を小さいものとして、確実なトラッキングミラーアクチ
ュエータ動作を行わせることができ、特に、請求項2記
載の発明によれば、少なくとも3枚以上の薄板状ばね部
材を回転中心線を中心に放射状に配設させたので、回転
方向以外の剛性を十分に高くし、回転方向以外の可動部
の有害な運動を抑制することができるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は請求項1記載の発明の一実施例を示す斜視図、
第2図は薄板状ばね部材付近の側面図、第3図は薄板状
ばね部材付近の正面図、第4図は請求項2記載の発明の
一実施例を示す斜視図、第5図は薄板状ばね部材伺近の
側面図、第6図は薄板状ばね部材(l近の正面図、第7
図は従来例を示す斜視図、第8図はその薄板状ばね部月
イ・]近の側面図、第9図は薄板状ばね部材付近の正面
図である。 ■・・・ミラー、2・・・ミラー支持体、3・・・駆動
部、5・・・可動部、11・・・固定部、12・・・薄
板状ばね部材、13a、13b・・・屈曲部、C・・・
回転中心線、%、3送 、J3c 1 8晒 晒

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光情報記録媒体上に微小スポットを形成して情報の
    記録又は再生を行う光情報記録再生装置で、前記光情報
    記録媒体に対して前記微小スポットのトラッキング動作
    を行うためのミラーをミラー支持体に支持させて駆動部
    を有する略左右対称構造で回転中心線を中心に回動変位
    可能な可動部に搭載したトラッキングミラーアクチュエ
    ータ装置において、前記可動部の回転中心線に対し垂直
    な方向に延設させた少なくとも2個所の屈曲部を有して
    厚み方向を前記ミラーの面内方向に合わせた2枚ずつの
    薄板状ばね部材により前記可動部の左右両側を固定部に
    対して支持させたことを特徴とするトラッキングミラー
    アクチュエータ装置。 2、光情報記録媒体上に微小スポットを形成して情報の
    記録又は再生を行う光情報記録再生装置で、前記光情報
    記録媒体に対して前記微小スポットのトラッキング動作
    を行うためのミラーをミラー支持体に支持させて駆動部
    を有する略左右対称構造で回転中心線を中心に回動変位
    可能な可動部に搭載したトラッキングミラーアクチュエ
    ータ装置において、前記可動部の回転中心線に対し垂直
    な方向に延設させた少なくとも2個所の屈曲部を有して
    前記回転中心線を中心に放射状に配設させた少なくとも
    3枚ずつの薄板状ばね部材により前記可動部の左右両側
    を固定部に対して支持させたことを特徴とするトラッキ
    ングミラーアクチュエータ装置。
JP2060737A 1990-03-12 1990-03-12 トラッキングミラーアクチュエータ装置 Pending JPH03260924A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6486995B2 (en) 2000-04-28 2002-11-26 Denso Corporation Vibration-resisting structure of optical scanner
WO2011007628A1 (ja) * 2009-07-17 2011-01-20 日本電気株式会社 小型ミラーチルトアクチュエータ
DE102016111531A1 (de) * 2016-06-23 2018-01-11 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Optischer Scanner

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DE102016111531B4 (de) 2016-06-23 2022-02-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Optischer Scanner

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