JPH03265176A - 超電導光機能素子 - Google Patents
超電導光機能素子Info
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- JPH03265176A JPH03265176A JP2064551A JP6455190A JPH03265176A JP H03265176 A JPH03265176 A JP H03265176A JP 2064551 A JP2064551 A JP 2064551A JP 6455190 A JP6455190 A JP 6455190A JP H03265176 A JPH03265176 A JP H03265176A
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- Japan
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- superconducting
- thin film
- photoconductor
- optical functional
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- H10N60/84—Switching means for devices switchable between superconducting and normal states
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
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- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
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- Y10S505/848—Radiant energy application
Landscapes
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
光導電体と超電導体とを組み合わせた構造であり、超高
速の光スィッチ、光メモリまたは光検知装置に使用して
好適な超電導光機能素子に関し、前記光導電体への光照
射の有無で常電導状態から超電導状態へスイッチングし
、より高速のスイッチ素子を提供するとともに、光照射
による永続超電導状態をメモリ効果として利用したメモ
リ素子を提供することを目的とし、 2つの電極間に挾まれた光導電効果を有する超電導体薄
膜の素子構造を有し、所定の温度における光照射に応答
して常電導状態から超電導体状態に変化する特性を備え
た素子であって、前記超電導体が鉛カルコゲナイドの三
元半導体に鉛(Pb)および/またはインジウム(In
)を添加した材料で構成し、また、光導電体と複数の超
電導体とが接した構成の素子において、前記超電導体間
の距離を超電導の侵入長の500倍より短く構成し、所
定の温度において前記光導電体に光を照射したとき該光
導電体が超電導特性を示すよう構成する。
速の光スィッチ、光メモリまたは光検知装置に使用して
好適な超電導光機能素子に関し、前記光導電体への光照
射の有無で常電導状態から超電導状態へスイッチングし
、より高速のスイッチ素子を提供するとともに、光照射
による永続超電導状態をメモリ効果として利用したメモ
リ素子を提供することを目的とし、 2つの電極間に挾まれた光導電効果を有する超電導体薄
膜の素子構造を有し、所定の温度における光照射に応答
して常電導状態から超電導体状態に変化する特性を備え
た素子であって、前記超電導体が鉛カルコゲナイドの三
元半導体に鉛(Pb)および/またはインジウム(In
)を添加した材料で構成し、また、光導電体と複数の超
電導体とが接した構成の素子において、前記超電導体間
の距離を超電導の侵入長の500倍より短く構成し、所
定の温度において前記光導電体に光を照射したとき該光
導電体が超電導特性を示すよう構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は超高速の光スィッチ、光メモリや赤外線検知器
等に利用できる超電導光機能素子に関する。
等に利用できる超電導光機能素子に関する。
近年のコンピュータシステムの高速化の要求に伴い、よ
り高速のスイッチ素子やメモリ素子の開発が望まれてい
る。
り高速のスイッチ素子やメモリ素子の開発が望まれてい
る。
従来の高速スイッチとしては、超電導トランジスタがあ
るが、これは超電導体に挟まれた半導体へ電気的に電子
や正孔を注入することによりスイッチングするものであ
り、この電子や正札の注入には時間がかかるため、高速
化には限度があるという問題があった。
るが、これは超電導体に挟まれた半導体へ電気的に電子
や正孔を注入することによりスイッチングするものであ
り、この電子や正札の注入には時間がかかるため、高速
化には限度があるという問題があった。
本発明はこの電気的な注入の代わりに、光照射の有無で
スイッチングし、より高速のスイッチ素子を提供すると
ともに、光照射によるメモリ効果を利用したメモリ素子
を提供することを目的としている。
スイッチングし、より高速のスイッチ素子を提供すると
ともに、光照射によるメモリ効果を利用したメモリ素子
を提供することを目的としている。
第1図は本発明の超電導光機能素子の一構成例を示す図
である。
である。
図中、1は鉛カルコゲナイドの三元半導体を主体とした
光導電効果を有する超電導性薄膜、2a。
光導電効果を有する超電導性薄膜、2a。
2bは電極、3は基板を示す。
〔作用]
前記光導電効果を有する超電導性薄膜1として、PbS
nTeのような鉛カルコゲナイドの三元半導体を主体と
し、微量のPbおよび/またはInを添加した材料を薄
膜状態で形成したところ、所定の温度において光を照射
したとき該薄膜が常電導状態から高速に超電導状態に切
り換わることを確認した。従って、この素子構造で超高
速の光スイツチ素子を得ることができる。
nTeのような鉛カルコゲナイドの三元半導体を主体と
し、微量のPbおよび/またはInを添加した材料を薄
膜状態で形成したところ、所定の温度において光を照射
したとき該薄膜が常電導状態から高速に超電導状態に切
り換わることを確認した。従って、この素子構造で超高
速の光スイツチ素子を得ることができる。
また、光導電効果を有する超電導性薄膜1の三元半導体
に添加する不純物をInとすることにより、光照射を遮
断しても超電導状態が永続する特性が得られるのでメモ
リ素子として利用することもできる。
に添加する不純物をInとすることにより、光照射を遮
断しても超電導状態が永続する特性が得られるのでメモ
リ素子として利用することもできる。
第1図は本発明の超電導光機能素子の一構造例を示す図
である。
である。
基板3には弗化バリウム(BaFz)からなり1mm
x 5 amの大きさのものを用いた。基板材料として
はBaF、の他、酸化マグネシウム(MgO)、半絶縁
性のガリウム・砒素(GaAs)やシリコン(Si)等
が使用できる。この基板3上に、まずPbSnTeのよ
うな光導電効果を有する超電導性薄膜をホットウォール
法を用いて1μmの厚さに形成し、次いで超電導性薄膜
の両端に金(AU)やIn等の電極2a、2bを設けて
超電導光機能素子を作った。
x 5 amの大きさのものを用いた。基板材料として
はBaF、の他、酸化マグネシウム(MgO)、半絶縁
性のガリウム・砒素(GaAs)やシリコン(Si)等
が使用できる。この基板3上に、まずPbSnTeのよ
うな光導電効果を有する超電導性薄膜をホットウォール
法を用いて1μmの厚さに形成し、次いで超電導性薄膜
の両端に金(AU)やIn等の電極2a、2bを設けて
超電導光機能素子を作った。
上記超電導性薄膜の形成方法はホットウォール法の他、
液相エピタキシャル成長法、MBE法またはMOCVD
法でもよい。
液相エピタキシャル成長法、MBE法またはMOCVD
法でもよい。
このような超電導光機能素子の前記電極2a。
2b間に、図示しないが定電流源を接続するとともに、
極低温のもとで光導電性薄膜1に光を照射してスイッチ
機能およびメモリ機能を観測したところ以下の結果を得
た。
極低温のもとで光導電性薄膜1に光を照射してスイッチ
機能およびメモリ機能を観測したところ以下の結果を得
た。
第2図は超電導体膜1にPbz−x Snx Te(X
=0.25)を用いたときの特性であり、横軸は温度(
K)を、縦軸は抵抗(Ω)を示しており、第3図はより
低温付近の特性を分かり易くするためにプロットしたも
ので、縦軸は温度が8にのときの抵抗を1として規格化
したものである。
=0.25)を用いたときの特性であり、横軸は温度(
K)を、縦軸は抵抗(Ω)を示しており、第3図はより
低温付近の特性を分かり易くするためにプロットしたも
ので、縦軸は温度が8にのときの抵抗を1として規格化
したものである。
図中、実線11は光を照射していない暗状態のときの特
性、点線12は300にの黒体からの赤外線を照射した
ときの特性、および−点鎖線13は波長1μmで10μ
W / cm 2の強さの赤外線をLEDから照射した
ときの特性である。
性、点線12は300にの黒体からの赤外線を照射した
ときの特性、および−点鎖線13は波長1μmで10μ
W / cm 2の強さの赤外線をLEDから照射した
ときの特性である。
なお、この場合、PbSnTe結晶として鉛(Pb)お
よびインジウム(I n)を不純物としてそれぞれ1%
添加したものを用いており、Pbを添加することにより
、PbSnTe結晶はストイキオメトリから外れている
。
よびインジウム(I n)を不純物としてそれぞれ1%
添加したものを用いており、Pbを添加することにより
、PbSnTe結晶はストイキオメトリから外れている
。
第2図、第3図から明らかなように、赤外線を照射する
ことによって電気抵抗が減少しており、また照射により
、より高い温度で超電導状態を実現している。例えば、
素子の温度が2にのとき、暗状態では常!導状態である
か、LEDからの赤外線照射では超電導状態となること
が分かる。
ことによって電気抵抗が減少しており、また照射により
、より高い温度で超電導状態を実現している。例えば、
素子の温度が2にのとき、暗状態では常!導状態である
か、LEDからの赤外線照射では超電導状態となること
が分かる。
この現象は以下のように考察できる。すなわち上記三元
半導体の内部では、添加した不純物(Pb)の析出物、
または析出物によりできた粒界が半導体部分とそれぞれ
ジョセフソン結合しており、光照射により半導体中の電
子が励起され、キャリア濃度が速やかに増加し、このこ
とで半導体内部への超電導状態の侵入距離が長くなり、
ジョセフソン結合の障壁の厚さと同程度となる。このた
め半導体全体が超電導状態を示すと考えられる。
半導体の内部では、添加した不純物(Pb)の析出物、
または析出物によりできた粒界が半導体部分とそれぞれ
ジョセフソン結合しており、光照射により半導体中の電
子が励起され、キャリア濃度が速やかに増加し、このこ
とで半導体内部への超電導状態の侵入距離が長くなり、
ジョセフソン結合の障壁の厚さと同程度となる。このた
め半導体全体が超電導状態を示すと考えられる。
なお、上記三元半導体の場合、LEDからの光照射を停
止してもキャリア濃度は減少せず超電導状態を持続した
。すなわち、これは不純物として添加したInが寄与し
ているものと考えられ、この超電導体は永続光導電特性
を有するので光メモリ素子として用いることができる。
止してもキャリア濃度は減少せず超電導状態を持続した
。すなわち、これは不純物として添加したInが寄与し
ているものと考えられ、この超電導体は永続光導電特性
を有するので光メモリ素子として用いることができる。
また、上記の三元半導体に0.8μm以下の短波長の光
を照射したときは、永続光導電特性を示さず、光照射の
有無により、常電導と超電導の状態を切り換えることが
できた。このような素子はスイッチ素子として利用でき
る。
を照射したときは、永続光導電特性を示さず、光照射の
有無により、常電導と超電導の状態を切り換えることが
できた。このような素子はスイッチ素子として利用でき
る。
なお、本発明の超電導光機能素子に用いる光導電効果を
有する材料は、上記PbSnTe結晶に限られるもので
はなく、半絶縁性(低キヤリア濃度)で高易動度、かつ
キャリアのライフタイムが長いものであればよい。
有する材料は、上記PbSnTe結晶に限られるもので
はなく、半絶縁性(低キヤリア濃度)で高易動度、かつ
キャリアのライフタイムが長いものであればよい。
従って、ガリウム・砒素(GaAs)にクロム(Cr)
等を添加し、あるいは高純度化することにより高抵抗体
とし、あるいはインジウム・燐(InP)に鉄(Fe)
等を添加して高抵抗体とする等、■−v族高紙高抵抗体
れば、スイッチ素子として用いることができる。
等を添加し、あるいは高純度化することにより高抵抗体
とし、あるいはインジウム・燐(InP)に鉄(Fe)
等を添加して高抵抗体とする等、■−v族高紙高抵抗体
れば、スイッチ素子として用いることができる。
また、上記GaAsやInPにDXセンタを導入するこ
とで永続光導電特性を持たせることができる。
とで永続光導電特性を持たせることができる。
さらに、CdTe、HgCdTeまたはCdS等のH−
■化合物半導体でもよい。
■化合物半導体でもよい。
なお、上述した超電導性薄膜は、不純物の析出によって
できた無数の超電導微粒子と母体の半導体との間にそれ
ぞれジョセフソン結合を構成したものと見なせるが、こ
のような超電導微粒子が無くとも超伝導光機能素子を作
ることができる。
できた無数の超電導微粒子と母体の半導体との間にそれ
ぞれジョセフソン結合を構成したものと見なせるが、こ
のような超電導微粒子が無くとも超伝導光機能素子を作
ることができる。
すなわち、第4図に示すように前述のような基板23上
に、まず超電導体M(例えば、NdCe5rCuO膜)
を形威し、この膜の一部を除去して超電導体22a、2
2bを設ける。次いでInを添加して高抵抗としたPb
SnTeからなる光導電体膜11を両超電導体22a、
22bの間に被着し、超電導光機能素子を形成する。
に、まず超電導体M(例えば、NdCe5rCuO膜)
を形威し、この膜の一部を除去して超電導体22a、2
2bを設ける。次いでInを添加して高抵抗としたPb
SnTeからなる光導電体膜11を両超電導体22a、
22bの間に被着し、超電導光機能素子を形成する。
この場合、前記超電導体間の距離lは超電導体の侵入長
の500倍以下とする。超電導体の侵入長はPbSnT
eの場合暗状態で約30入であるが、lは0.5μmと
した。そして両超電導体に図示しないが電極を付け、低
電流源を接続して特性を調べた。
の500倍以下とする。超電導体の侵入長はPbSnT
eの場合暗状態で約30入であるが、lは0.5μmと
した。そして両超電導体に図示しないが電極を付け、低
電流源を接続して特性を調べた。
このような素子も光照射の有無に応答したスイッチ特性
とメモリ効果を示した。
とメモリ効果を示した。
他の構造例としては第5図に示すものも有効である。基
板33上に鉛カルコゲナイドの三元半導体からなる光導
電膜31を一様に形成し、その上に前記のような超電導
膜を形成した後、この超電導膜の一部に前記距離lの溝
を設けて超電導体32a、32bとした。
板33上に鉛カルコゲナイドの三元半導体からなる光導
電膜31を一様に形成し、その上に前記のような超電導
膜を形成した後、この超電導膜の一部に前記距離lの溝
を設けて超電導体32a、32bとした。
なお、このような素子上に保護膜を設けてもよいことは
当然である。
当然である。
このような本発明の超電導光機能素子を光ICと組み合
わせることで、小型の高速論理素子を実現することが可
能となる。また、光応答特性を有しているので、赤外線
を含む光検知装置にも通用できる。
わせることで、小型の高速論理素子を実現することが可
能となる。また、光応答特性を有しているので、赤外線
を含む光検知装置にも通用できる。
より高速で動作する機能素子が実現でき、工業的効果大
なるものである。
なるものである。
第1図は本発明の超電導光機能素子の構成国、第2図、
第3図は本発明の超電導光機能素子の特性を示す図、 第4図、第5図は他の実施例を示す図である。 図において、 lは超電導性薄膜、2a、2bは電極、3は基板21.
31は光導電体、22a、22b、32a32bは超電
導体を示す。 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば従来の電気信号に
よるスイッチングやメモリに比べると、不於明の免)祷
へ図 第1図 1 /)杷明のふ1竹・1c 第2−図 60の尖灰1ケ」 第中図 6ぐの装托刑 第5 囚 本発明の弄−Y竹′庄 第3図
第3図は本発明の超電導光機能素子の特性を示す図、 第4図、第5図は他の実施例を示す図である。 図において、 lは超電導性薄膜、2a、2bは電極、3は基板21.
31は光導電体、22a、22b、32a32bは超電
導体を示す。 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば従来の電気信号に
よるスイッチングやメモリに比べると、不於明の免)祷
へ図 第1図 1 /)杷明のふ1竹・1c 第2−図 60の尖灰1ケ」 第中図 6ぐの装托刑 第5 囚 本発明の弄−Y竹′庄 第3図
Claims (6)
- (1)2つの電極(2a、2b)間に挟まれた光導電効
果を有する超電導性薄膜(1)の素子構造を有し、所定
の温度における光照射に応答して常電導状態から超電導
体状態に変化する特性を備えた素子であって、 前記超電導性薄膜(1)が鉛カルコゲナイドの三元半導
体に鉛(Pb)および/またはインジウム(In)を添
加した材料からなることを特徴とする超電導光機能素子
。 - (2)前記超電導性薄膜(1)が不純物としてInを添
加した鉛・錫・テルル(PbSnTe)からなり、光照
射による超電導状態が光照射遮断後も永続することを特
徴とする請求項(1)記載の超電導光機能素子。 - (3)光導電体(21、31)と複数の超電導体(22
a、22b、32a、32b)とが接した構成の素子に
おいて、 前記超電導体(12aと12b)間の距離を超電導の侵
入長の500倍より短く構成し、所定の温度において前
記光導電体(11)に光を照射したとき、該光導電体の
中への超電導状態の侵入長が長くなって超電導特性を示
すことを特徴とする超電導光機能素子。 - (4)前記光導電体(21、31)がPbSnTeであ
ることを特徴とする請求項(3)記載の超電導光機能素
子。 - (5)前記光導電体(21、31)がGaAs、InP
等のIII−V族化合物半導体であることを特徴とする請
求項(3)記載の超電導光機能素子。 - (6)前記光導電体(21、31)がCdTe、HgC
dTe、CdS等のII−VI族化合物半導体であることを
特徴とする請求項(3)記載の超電導光機能素子。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2064551A JP2503091B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 超電導光機能素子 |
| DE69133052T DE69133052T2 (de) | 1990-03-14 | 1991-03-14 | Funktionelles, supraleitendes, photoelektrisches Bauelement |
| EP91103959A EP0446927B1 (en) | 1990-03-14 | 1991-03-14 | A functional superconductive photoelectric device |
| KR1019910004065A KR950000523B1 (ko) | 1990-03-14 | 1991-03-14 | 초전도 광기능 소자 |
| US07/934,306 US5448098A (en) | 1990-03-14 | 1992-08-25 | Superconductive photoelectric switch |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2064551A JP2503091B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 超電導光機能素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03265176A true JPH03265176A (ja) | 1991-11-26 |
| JP2503091B2 JP2503091B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=13261473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2064551A Expired - Lifetime JP2503091B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 超電導光機能素子 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5448098A (ja) |
| EP (1) | EP0446927B1 (ja) |
| JP (1) | JP2503091B2 (ja) |
| KR (1) | KR950000523B1 (ja) |
| DE (1) | DE69133052T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6534368B2 (en) * | 1997-01-28 | 2003-03-18 | Micron Technology, Inc. | Integrated circuit memory cell having a small active area and method of forming same |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996027214A1 (de) * | 1995-03-01 | 1996-09-06 | Dornier Gmbh | Supraleitende tunnelelemente, daraus hergestelle tunnelstapel sowie deren verwendung |
| US5768002A (en) * | 1996-05-06 | 1998-06-16 | Puzey; Kenneth A. | Light modulation system including a superconductive plate assembly for use in a data transmission scheme and method |
| DE19705239A1 (de) * | 1997-02-12 | 1998-08-20 | Georg Bastian | Optoelektronische Anordnung |
| JP2955931B1 (ja) * | 1998-07-17 | 1999-10-04 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 放射線検出素子 |
| US6107643A (en) * | 1999-03-24 | 2000-08-22 | Abb Ab | Photoconductive switch with doping adapted to the intensity distribution of an illumination source thereof |
| JP3511098B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2004-03-29 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 超高速光電気信号変換素子 |
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