JPH03270046A - ウェハーカセット搬送路 - Google Patents
ウェハーカセット搬送路Info
- Publication number
- JPH03270046A JPH03270046A JP2069478A JP6947890A JPH03270046A JP H03270046 A JPH03270046 A JP H03270046A JP 2069478 A JP2069478 A JP 2069478A JP 6947890 A JP6947890 A JP 6947890A JP H03270046 A JPH03270046 A JP H03270046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- outside
- exhaust
- transport
- wafer cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims description 10
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分封〕
本発明は半導体生産工場等において、ウェハーを予め定
めた搬送工程間を所要の７ｎ浄度を保つ搬送チューブ内
を台車の通過によってもその排気［」から規準値以下の
空気が流入するのを防止するようになしたウェハーカセ
ット搬送路に関するものである。
めた搬送工程間を所要の７ｎ浄度を保つ搬送チューブ内
を台車の通過によってもその排気［」から規準値以下の
空気が流入するのを防止するようになしたウェハーカセ
ット搬送路に関するものである。
半導体生産工場内においてはウェハーカセットを予め定
めた搬送工程間を搬送チューブ内にて搬送している。そ
してこのチューブ内を設定された清浄度を保つよう搬送
チューブの−又は複数箇所より清浄空気を供給し、排気
口より排１１；するようにして搬送チューブ内を所定の
正圧保っている。
めた搬送工程間を搬送チューブ内にて搬送している。そ
してこのチューブ内を設定された清浄度を保つよう搬送
チューブの−又は複数箇所より清浄空気を供給し、排気
口より排１１；するようにして搬送チューブ内を所定の
正圧保っている。
搬送チューブに設けられる排気口は第４図に示す如くチ
ューブの外壁を直接開口して設け”Ｃいる。このため第
６図に示すようにウェハーカセットを積載した台車が搬
送チューブ内を進行する際、台車後方に空気が巻き込ま
れるようになって負圧が発生する。従って台車が排気口
付近を通過するとこの台１１ｉ ｆ＆方の負圧にてチュ
ーブ外の空気がチューブ内に流れ込むことがあり、チュ
ーブ内のクリーン度を低下させるものとなっている。
ューブの外壁を直接開口して設け”Ｃいる。このため第
６図に示すようにウェハーカセットを積載した台車が搬
送チューブ内を進行する際、台車後方に空気が巻き込ま
れるようになって負圧が発生する。従って台車が排気口
付近を通過するとこの台１１ｉ ｆ＆方の負圧にてチュ
ーブ外の空気がチューブ内に流れ込むことがあり、チュ
ーブ内のクリーン度を低下させるものとなっている。
本発明はチューブ内を台車が進行する際、排気口付近に
おける乱流及び内圧の変化によってもチューブ外の空気
が流入しないよう乱流及び内圧の変化を排気口部で吸収
することを目的とす る。
おける乱流及び内圧の変化によってもチューブ外の空気
が流入しないよう乱流及び内圧の変化を排気口部で吸収
することを目的とす る。
本発明は上記目的を達成するためになしたもので、搬送
路を搬送チューブにて覆って外部と隔絶し、所定の清浄
度を保った搬送路内で物品を搬送する装置において、搬
送路を右する搬送チューブに設けた排気口外側に可及的
に長く、かつ台車の通過によりチューブ内圧の変化によ
りチューブ外空気の逆流入を排気通路内にて停止させる
ようにした排気ダクトを設けて成ることを要旨とする。
路を搬送チューブにて覆って外部と隔絶し、所定の清浄
度を保った搬送路内で物品を搬送する装置において、搬
送路を右する搬送チューブに設けた排気口外側に可及的
に長く、かつ台車の通過によりチューブ内圧の変化によ
りチューブ外空気の逆流入を排気通路内にて停止させる
ようにした排気ダクトを設けて成ることを要旨とする。
搬送チューブ側壁に設けられる排気口をチューブ内とチ
ューブ外との距離を可及的に長くなるようにして排気通
路として設定し、必要に応じてこの排気通路を屈曲する
。これによりチューブ内を台！トが通過して内圧の変化
及び乱流の影響により排気口からチューブ外の空気が流
入しようとしてもこの内圧の変化等は台車通過時の瞬時
であるため長い排気通路内で、この空気の逆流は停止し
、チューブ内への流入は未然に防止でき、常に設定され
たクリーン度が保たれるものである。
ューブ外との距離を可及的に長くなるようにして排気通
路として設定し、必要に応じてこの排気通路を屈曲する
。これによりチューブ内を台！トが通過して内圧の変化
及び乱流の影響により排気口からチューブ外の空気が流
入しようとしてもこの内圧の変化等は台車通過時の瞬時
であるため長い排気通路内で、この空気の逆流は停止し
、チューブ内への流入は未然に防止でき、常に設定され
たクリーン度が保たれるものである。
以下本発明を図示の実施例にもとづいて説明す る。
図において１は半導体生産工場内等において予め定めた
物品の搬送工程間にそって配設された搬送路で、この搬
送路】にそって１又は複数台の台ｉ７５が走行し、所要
のウェハー搬送を行う。この場合、ウェハーカセットは
所定のクリーン度を保つ必要があるため搬送路１は搬送
チューブ２にて覆われ、 トンネル状となっている。
物品の搬送工程間にそって配設された搬送路で、この搬
送路】にそって１又は複数台の台ｉ７５が走行し、所要
のウェハー搬送を行う。この場合、ウェハーカセットは
所定のクリーン度を保つ必要があるため搬送路１は搬送
チューブ２にて覆われ、 トンネル状となっている。
そしてこの搬送チューブ２内には清浄空気供給袋ｒ！１
３より規＃＄値の清浄空気が供給され、チューブ外圧よ
り少し高い目の正圧を保つようにし、チューブ外の空気
（汚染されているかもしくは規準値以下の空気）がチュ
ーブ内へ流入しないようにしている。この搬送チューブ
２内は設定歪ルを保つため、１又は複数箇所から清浄空
気が供給されると共に、供給口と異なる１又は複数箇所
に設けた排気口４よりチューブ外へ排気している。
３より規＃＄値の清浄空気が供給され、チューブ外圧よ
り少し高い目の正圧を保つようにし、チューブ外の空気
（汚染されているかもしくは規準値以下の空気）がチュ
ーブ内へ流入しないようにしている。この搬送チューブ
２内は設定歪ルを保つため、１又は複数箇所から清浄空
気が供給されると共に、供給口と異なる１又は複数箇所
に設けた排気口４よりチューブ外へ排気している。
本発明における排気口４は第１図乃至第３図において示
すように搬送路チューブ２の外側壁所定位置を予め定め
た大きさに開口すると共にこの外側に排気ダクト６を設
け、排気口より排気ダクト内を導通して一本の排気通路
７とする。
すように搬送路チューブ２の外側壁所定位置を予め定め
た大きさに開口すると共にこの外側に排気ダクト６を設
け、排気口より排気ダクト内を導通して一本の排気通路
７とする。
そしてこの排気ダクトの外側を開口し、チューブ外と導
通せしめ、これにより通常の状態ではチューブ内を加圧
した清浄空気の余剰分は排気口４より排気ダクト６内の
排気通路７を経てチューブ外へ放出される。
通せしめ、これにより通常の状態ではチューブ内を加圧
した清浄空気の余剰分は排気口４より排気ダクト６内の
排気通路７を経てチューブ外へ放出される。
この排気ダクト６は図示のように箱形とし、その内部を
仕切板で一部が開口するように仕切り、ジグザグ通路状
として排気［］４よりチューブ外ｕｌ気１１よりの距離
を可及的に長くなるようにするか、又は長いチューブ状
のものとしてもよ い。
仕切板で一部が開口するように仕切り、ジグザグ通路状
として排気［］４よりチューブ外ｕｌ気１１よりの距離
を可及的に長くなるようにするか、又は長いチューブ状
のものとしてもよ い。
従って、本発明の搬送路においては台車の通過にて台車
後ノｊに生しる乱流１１ ＩＩ：が４ＪＦ ％口付近で
発生してもこの【１圧により瞬Ωテに圧力バランスが崩
れ゛（チューブ外の空気が流入方＋ｒＪｒへ流れるが、
このチューブ外空気がｔＪｌ ’Ｘダクト内を逆流して
いる問に台車は排気Ｌ１を通過してこの付近のｉ＝力は
正圧に戻る。このため、再びチューブ内よりチューブ外
へ空気は流れ、排気ダクト内に逆流してきたチューブ外
の汚染された空気はチューブ外へ押し出され、チューブ
内は常に設定クリーン度が保持されるものである。
後ノｊに生しる乱流１１ ＩＩ：が４ＪＦ ％口付近で
発生してもこの【１圧により瞬Ωテに圧力バランスが崩
れ゛（チューブ外の空気が流入方＋ｒＪｒへ流れるが、
このチューブ外空気がｔＪｌ ’Ｘダクト内を逆流して
いる問に台車は排気Ｌ１を通過してこの付近のｉ＝力は
正圧に戻る。このため、再びチューブ内よりチューブ外
へ空気は流れ、排気ダクト内に逆流してきたチューブ外
の汚染された空気はチューブ外へ押し出され、チューブ
内は常に設定クリーン度が保持されるものである。
本発明によるときは、常に正圧にて所定クリーン度を保
つようにした搬送チューブの排Ｘ ［１に可及的に長い
排気ダクトを形成しているので、台車通過によりチュー
ブ外の空気が内圧変化にて逆流しても、その逆流はダク
ト内にて留まり、４ チューブ内へ侵入しないので、チューブ内のクリーン度
は保持される効果がある。
つようにした搬送チューブの排Ｘ ［１に可及的に長い
排気ダクトを形成しているので、台車通過によりチュー
ブ外の空気が内圧変化にて逆流しても、その逆流はダク
ト内にて留まり、４ チューブ内へ侵入しないので、チューブ内のクリーン度
は保持される効果がある。
第１図は本発明搬送路の平面図、第２図は正面図、第３
図は側面図、第４図、第５図は公知例で、第４図はその
平面図、第５図は正面図、第６図は台車後方の負圧発生
状態を示す説明図である。 １は搬送路、２は搬送チューブ、３は清浄空気供給装置
、４は排気［Ｉ、５は台車、６は排気ダクト、７は排気
通路。
図は側面図、第４図、第５図は公知例で、第４図はその
平面図、第５図は正面図、第６図は台車後方の負圧発生
状態を示す説明図である。 １は搬送路、２は搬送チューブ、３は清浄空気供給装置
、４は排気［Ｉ、５は台車、６は排気ダクト、７は排気
通路。
Claims (1)
- （１）搬送路を搬送チューブにて覆って外部と隔絶し、
所定の清浄度を保った搬送路内で物品を搬送する装置に
おいて、前記搬送チューブに設けた排気口外側に可及的
に長く、かつ台車の通過によりチューブ内圧の変化によ
りチューブ外空気の逆流入を排気通路内にて停止させる
ようにした排気ダクトを設けて成ることを特徴とするウ
ェハーカセット搬送路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6947890A JPH0775242B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | ウェハーカセット搬送路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6947890A JPH0775242B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | ウェハーカセット搬送路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03270046A true JPH03270046A (ja) | 1991-12-02 |
| JPH0775242B2 JPH0775242B2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=13403843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6947890A Expired - Fee Related JPH0775242B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | ウェハーカセット搬送路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0775242B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012009520A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60224240A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-08 | Sanko Kuki Sochi Kk | 超清浄対象物の搬送方法と装置 |
| JPS62125237A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-06 | Matsushita Seiko Co Ltd | クリ−ンル−ム |
| JPS6435339U (ja) * | 1987-08-22 | 1989-03-03 |
-
1990
- 1990-03-19 JP JP6947890A patent/JPH0775242B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60224240A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-08 | Sanko Kuki Sochi Kk | 超清浄対象物の搬送方法と装置 |
| JPS62125237A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-06 | Matsushita Seiko Co Ltd | クリ−ンル−ム |
| JPS6435339U (ja) * | 1987-08-22 | 1989-03-03 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012009520A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
| TWI488794B (zh) * | 2010-06-23 | 2015-06-21 | 村田機械股份有限公司 | There are rail trolley systems |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0775242B2 (ja) | 1995-08-09 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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