JPH03272437A - 粒子カウンター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、液体中の塵埃量を計測するための粒子カウ
ンター、特にオンライン計測する場合の粒子カウンター
の流量計に関するものである。

〔従来の技術〕

例えば、半導体や油入電気機器等の製造現場において、
不良率の低減や信頼性向上のため、水、溶剤、機械油や
絶縁油中の塵埃量が管理されている。

液体中の塵埃量の計測には、主として粒子カウンターが
用いられ、次の様な方法で測定される。

まずオンライン方式は、液体を粒子測定用容器に採取し
、その容器を粒子測定用チャンバー内に入れ、センサ一
部に単位時間当り一定量の液体が流れるよう、液体の粘
度や比重に応じた圧力にチャンバー内を調整して、液体
中の粒子数を測定する方法である。この方式では、液体
を採取する容器に付着した塵埃の影響や液体中の塵埃量
を常時監視することが難しいという問題がある。

このため、液体流路の一部に粒子カウンターを接続して
センサ一部に単位時間当り一定量の液体が流れるように
流量を調整することにより、液体中の塵埃量を容器に採
取することなく測定できるオンライン方式がある。しか
しオンライン方式に用いられる流量計は主として水専用
につくられた浮子式のものが多い。このため、粘度や比
重が水と異なる液体中の粒子数を計測する場合、流量計
の指示値をメスシリシンダー等を用いて校正してから使
用している。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記の様な従来のオンライン方式の粒子カウンターにお
いては、測定液体が水の場合や水銀外の液体でも一定温
度に管理された液体中の塵埃量を計測する場合は特に問
題ない。

しかし、例えば油入電気機器に使用する絶縁油中の塵埃
量を計測する場合、絶縁油の粘度や比重は第４図、第５
図に示すように、温度によって大きく変化する特性を有
している。また油入電気機器内の油温は、外気温や負荷
の変動等で変化するので、ある温度でセンサ一部に流れ
る流量を調整しても、油温が変化すれば絶縁油の粘度や
比重が変化し、単位時間当りの流量が変化するため、単
位流量当りの絶縁油中の粒子数を精度よく測定できない
という問題点があった。

この発明はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、粒子カウンターのセンサ一部に一定量の液体を流す
ことにより、測定精度の高い粒子カウンターを提供する
ことを目的とする。

〔発明が解決しようとする課題〕

この発明に係る粒子カウンターは、センサ一部を流れる
液体量をコントロールするため、液体の粘度や比重の影
響を受けない流量計としてオリフィス式またはベローズ
を用いたものである。

〔作用〕

この発明における粒子カウンターは、機器の液温が変化
して、センサ一部を流れる液体量が変化しても、オリフ
ィスの圧力差が一定になるように、流量をコントロール
することにより常に一定量の液体をセンサ一部に流す。

またこの発明の別の実施例においては、ベローズを用い
て一定容量の液体をセンサ一部に送り出す。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例を示すもので、イは構成図
、口はオリフィスの断面図である。１は例えば油入変圧
器やりアクドル等の油入電気機器、２は粒子カウンター
３に絶縁油を送るためのポンプ、３は油入電気機器１の
油中塵埃量を計測するための光散乱または光しゃ新方式
の粒子カウンター、４は流量を調節するための調節器、
５はオリフィス式の流量計である。

上記のように構成された絶縁油中の粒子測定装置におい
て、あらかじめ求めたオリフィス式流量計５の圧力差り
と流量の校正カーブから、粒子カウンターに適正流量を
流すよう、調節器４で圧力差りになるようにすればよい
６粒子カウンター３の流量は分解能から１００ｃｃ／分
程度が好ましい。

この時、粒子カウンターの計測時間を１分間に設定すれ
ば、絶縁油１００ｃｃ当りの粒子数が求まる。

次に外気温の変化や負荷の変動等で油温が変化すれば、
オリフィス式流量計の圧力差りが変化するので、調節器
で圧力差りを調節すればよい。

なお上記実施例では、調節器の調節を手動で行う場合に
ついて述べたが、オリフィス式流量計の圧力信号で調節
器をコントロールすれば、絶縁油中の粒子数を無人で常
時監視することができる。

第２図は粒子カウンター３に一定量を送り出すための他
の実施態様を示すもので、油入電気機器１とフレキシブ
ルチューブ６で配管され、油の逆流を防ぐための逆止弁
８ａ、　８ｂを取付けたベローズ７を、モータ等を用い
一定速度で左右（矢Ｅｌ］Ａ。

Ｂ方向）に動かすことにより、絶縁油の粘度や比重に関
係なく一定量の液体を粒子カウンター３に送り出すこと
ができる。

第３図はベローズ７を流量計に用いる他の実施態様を示
すもので、ベローズ７の位置を電気式または機械式リミ
ットスイッチ９ａ、　９ｂで検出し、リミットスイッチ
の動作時間をタイマー１１で測定することにより、粒子
カウンター３に流れる液体量を計測できる。

ところで上記説明では、油入電気機器中の塵埃量を測定
する場合について説明したが、その他機様装置等にも利
用できることはいうまでもない。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したとおり、オリフィス式の流量計
やベローズを取付けるという簡単な構造により、液体の
粘度や比重が変化しても、液体が外気と触れたり、外部
に放出することなく、粒子カウンターに流れる流体量を
コントロールすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図イはこの発明の一実施例を示す構成図、第１図口
はそのオリフィスの断面図、第２図はこの発明の他の実
施例を示す構成図、第３図はこの発明のさらに他の実施
例を示す構成図、第４図は液体の動粘度の温度特性を示
す図、第５図は液体の比重の温度特性を示す図である。 図中、１は油入電気機器、２はポンプ、３は粒子カウン
ター、４は液量調節器、５はオリフィス式流量計、７は
ベローズ、８ａ、　８ｂは逆止弁、９ａ、　９ｂはリミ
ットスイッチ、】１はタイマーである。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）液体流路の一部に液体中の塵埃量を測定するため
   接続された粒子カウンターにおいて、粒子カウンターに
   流れる液体量を測定するためのオリフィス式流量計と、
   このオリフィス式流量計の圧力差に応じて流量を調節す
   るための流量調節器を備えたことを特徴とする粒子カウ
   ンター。
2. （２）液体流路の一部に液体中の塵埃量を測定するため
   に接続された粒子カウンターにおいて、粒子カウンター
   に一定容量の液体を送り出すベローズを備えたことを特
   徴とする粒子カウンター。
3. （３）液体流路の一部に液体中の塵埃量を測定するため
   に接続された粒子カウンターにおいて、ベローズと、ベ
   ローズの移動時間を測定するリミットスイッチ及びタイ
   マーを備えたことを特徴とする粒子カウンター。