JPH03273105A - Ｘ線自動検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はＸ線自動検査装置に係り、特に画像処理を行
って自動的に被検体の内部構造を判定するＸ線自動検査
装置に関する。

〔従来の技術とその課題〕

この種の従来装置は、Ｘ線発生源として商用周波数の電
圧を昇圧し、半波あるいは全波整流した後、コンデンサ
に蓄電し平滑化させてＸｕＡ管に印加する方法が用いら
れている。しかし、この方法は電源電圧の変動あるいは
負荷による脈動の影響でＸ線管から照射されるＸ線強度
が変動し、Ｘ線透過像の輝度が一定しないことから画像
処理による検出が安定しない欠点かある。このため、コ
ンデンサの８董を大きくして出力の変動を抑える方法も
行われているが、装置が大型化し、コストも高くなる欠
点がある。また、Ｘ線強度の変動には前記印加電圧の変
動の他、Ｘ線管の劣化による経時的な変化もあり、これ
に関しては特に対策を施した例は見当たらない。

この発明の目的は、電源電圧及び負荷変動による短期的
なＸ線強度の変動及びＸ線管の経時劣化による長期的な
変動のいずれにも対応できるＸ線自動検査装置を提供す
るにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため１本発明はＸ線発生源から発
するＸ線を被検体に照射し、この被検体のＸ＆ｌ透過像
を画像処理して内部構造の良否判定を行うＸ線自動検査
装置において、Ｘ線発生源の高電圧供給部は高周波発生
回路と該高周波発生回路からの交流入力電圧を直流高電
圧に変換する多段型倍電圧回路とから成り、前記直流高
電圧をＸ線管に印加して出力されるＸ線強度をモニタす
るセンサを設け、該センサの出力に基づいて高周波発生
回路の出力電圧の周波数を可変する手段を備えたもので
ある。

〔作　用〕

負荷変動やリップルにより出力電圧が変動してＸ線強度
が変化すると、この変化量に応じて高周波発生回路の出
力電圧の周波数を可変し、一定のＸ線強度となるように
制御される。したがって、Ｘ線画像の明るさは、Ｘ線強
度の変動による影響を受けることがなく、設定されたｖ
ｌＩｍとの正確な比較ができる。

〔実施例〕

以下、本発明の詳細な説明をする。

第１図は本発明のＸ！！自動検査装置の構成を示してい
る０本装置はＸ線発生源、Ｘ線検出部、画像処理部及び
被検体の搬送系とから構成されて０る。

Ｘ線発生源は高周波発生回路１と多段型倍電圧回路２（
例えばコツククロフト回路）及びＸ線管３から成り、高
周波発生回路１から出力される高周波電圧を多段型倍電
圧２で直流高電圧に変換してＸｉ管３に印加し、Ｘ線を
発生させる。このＸ線は、搬送用ベルト５でＸ線照射部
に搬入される被検体７に照射される。被検体７のＸ線透
過像は、撮像管６で電気的な映像信号に変換され１画像
処理部８で画像処理され、被検体の良、不良か判定され
る。そして、不良品は排除機構９により取り除かれる。

ところで、ｘｉ強度の安定化には、Ｘ線管に印加される
電圧が安定していることが必要である。

即ち、多段型倍電圧回路の出力電圧は、第３図に示すよ
うに、無負荷時の出力電圧Ｖから負荷による電圧降下分
△Ｖとリップル分δＶを引いた値となる。ここで、第２
図に示す回路の条件として、Ｃ１＝Ｃ２＝・・　・＝Ｃ
２ｎ＝Ｃ 入力電圧の周波数ｆ１負荷電流Ｉとすると、になる。

したがって、コンデンサの容量Ｃを大きくするか、また
は入力電圧の周波数ｆを高くすることにより△Ｖ、δ■
は小さくすることができる。しかし、コンデンサを大き
くすると、装置が大型化し、コスト高となるため、本発
明では高周波発生回路を用いて周波数ｆを高め、出力電
圧の安定化を図るように構成されている。

またＸ線画像を画像処理する際、第４図に示すように、
画像の明るさを２５６１４１調に分解し、検出物に相当
する階調の設定値と画像との比較を行って、検出物を抽
出している。したがって、ＸＭ、画像の明るさ（階調）
が△Ｖ、δＶにより変動すると、設定値との比較が正確
に行えず、誤検出を起こす、即ち、△Ｖは平均的な明る
さの変動として、δ■は瞬時瞬時の明るさの変動として
表れる。

そこで、画像処理の際、ｘ！！透過像を得る時のＸ線強
度を一定に保持する手段として、Ｘ線強度をモニタする
センサをＸ＆Ｉ照射部に設け、このセンサ出力に基づい
て高周波発生回路ｌの出力電圧の周波数ｆを制御し、△
Ｖ、δ■を可変して一定のＸ線強度が得られるようにｊ
ｌｌｌ整している。

例えば、ｆ＝１５ＫＨ２の運転時において、電源電圧変
動、Ｘ線管の劣化、温度変化等の原因でＸ線強度が下が
った場合、当初設定のＸ線強度になるまでｆを、例えば
１８ＫＨｚに増加して調整する。

本実施例によれば、Ｘ線強度の変動率は１％以下に保た
れ、きわめて安定な検査が可能となる。

また周波数制御は高周波発生回路のスイッチング周期を
変えるだけなので、回ｎ構成が簡単となる。なお、周波
数ｆを調整するかわりに、高周波発生回路の出力電圧の
パルス中あるいは波高値を変えても同様の効果が得られ
る。

〔発明の効果〕

上述のとおり、本発明によれば、Ｘ線強度をフードパッ
ク制御することにより、Ｘ線強度の変動が抑えられ、そ
の安定性が確保されるから、自動検出の安定性が増す。

またＸ線強度の変動を抑えるのにコンデンサの容量を大
きくする必要がないから、装置がコンパクトにできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のＸ線自動検査装置の一実施例を示す構
成図、第２図は多段型倍電圧回路図、第３図は多段型倍
電圧回路の出力電圧波形図、第４図はＸ線画像の画像処
理を説明する図である。 １・・・高周波発生回路、２・・・多段型倍電圧回路、
３・・・Ｘ線管５　　　４・・・Ｘ線強度センサ、５・
・・搬送用ベルト、　６・・Ｘ線透過像撮像管、７・・
・被検体　　　　　８・・・画像処理装置。 イ 第 図 第 図 １ １・＃ｌ百遣発蛇郁アか ８’　　Ａ（聡にメルズ［１？ ９１位Ｒ標榛

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）Ｘ線発生源から発するＸ線を被検体に照射し、こ
   の被検体のＸ線透過像を画像処理して内部構造の良否判
   定を行うＸ線自動検査装置において、Ｘ線発生源の高電
   圧供給部は高周波発生回路と該高周波発生回路からの交
   流入力電圧を直流高電圧に変換する多段型倍電圧回路と
   から成り、前記直流高電圧をＸ線管に印加して出力され
   るＸ線強度をモニタするセンサを設け、該センサの出力
   に基づいて高周波発生回路の出力電圧の周波数を可変す
   る手段を備えたＸ線自動検査装置。