JPH03276035A - 光音響式ビーム位置調整法 - Google Patents
光音響式ビーム位置調整法Info
- Publication number
- JPH03276035A JPH03276035A JP7761790A JP7761790A JPH03276035A JP H03276035 A JPH03276035 A JP H03276035A JP 7761790 A JP7761790 A JP 7761790A JP 7761790 A JP7761790 A JP 7761790A JP H03276035 A JPH03276035 A JP H03276035A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- photoacoustic
- beam position
- adjustment method
- sensors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザーを用いた光学システムにおける光学
機器のビーム位置の調整に関わり、特にミラー、レンズ
等の光学部品に発生する光音響を利用して入射ビームの
位置を検知し、調整することを目的とする光音響式ビー
ム位置調整法に関する。
機器のビーム位置の調整に関わり、特にミラー、レンズ
等の光学部品に発生する光音響を利用して入射ビームの
位置を検知し、調整することを目的とする光音響式ビー
ム位置調整法に関する。
（従来技術）
各種レーザーシステムでは、レーザービームを所望の作
業位置に導くため、ミラー、レンズ、光学素子等の各種
光学部品が光路内に設けられている。このような光学シ
ステムでは、効果的に光学機器を機能させるため、目的
に応した機器の調整が必要であり、それに伴うビームの
位置検知作業が欠かせない。−船釣なビーム位置検知方
法には、感熱紙やアクリル板にビームパターンを焼き付
けて可視化する簡易的な方法のほか、リニアアレイや四
象限検出器をビーム光路に挿入して定量的に計測する方
法が用いられている。
業位置に導くため、ミラー、レンズ、光学素子等の各種
光学部品が光路内に設けられている。このような光学シ
ステムでは、効果的に光学機器を機能させるため、目的
に応した機器の調整が必要であり、それに伴うビームの
位置検知作業が欠かせない。−船釣なビーム位置検知方
法には、感熱紙やアクリル板にビームパターンを焼き付
けて可視化する簡易的な方法のほか、リニアアレイや四
象限検出器をビーム光路に挿入して定量的に計測する方
法が用いられている。
一方、密閉容器内の試料に断続光を照射すると光音響効
果による弾性波が発生することが知られており、既に、
光音響を利用した各種計測器が開発されている。たとえ
ば、高出力レーザー用ミラーの耐力を向上させる目的で
、光学薄膜の微小吸収エネルギー量と光音響信号の強度
が比例することから、光音響効果によるレーザー損傷を
計測する方法が報告されている（植田、荻原、他２名：
レーザー研究、第１５巻、第１号、ｐ２２−ｐ２５．Ｊ
ａｎ、、（１９８７））。
果による弾性波が発生することが知られており、既に、
光音響を利用した各種計測器が開発されている。たとえ
ば、高出力レーザー用ミラーの耐力を向上させる目的で
、光学薄膜の微小吸収エネルギー量と光音響信号の強度
が比例することから、光音響効果によるレーザー損傷を
計測する方法が報告されている（植田、荻原、他２名：
レーザー研究、第１５巻、第１号、ｐ２２−ｐ２５．Ｊ
ａｎ、、（１９８７））。
また、固体の変形および破壊に伴って解放されるエネル
ギーが音響パルス（超音波）として伝播するのを捕捉し
て、被測定材料の欠陥部位を検出するＡＥ （Ａｃｏｕ
ｓｔｉｃ Ｅ＋ａｉｓｓｉｏｎ）測定装置が市販されて
いる。
ギーが音響パルス（超音波）として伝播するのを捕捉し
て、被測定材料の欠陥部位を検出するＡＥ （Ａｃｏｕ
ｓｔｉｃ Ｅ＋ａｉｓｓｉｏｎ）測定装置が市販されて
いる。
（発明が解決しようとする課題〉
本発明者は、赤外長波長域のラマンレーザー発振を得る
ため、一対の対向する銅製の全反射ミラーから成るマル
チビームラマン変換器を開発し、特願昭６２−２６０８
２０号に提案した。前記ラマン変換器では、所望のラマ
ン変換媒質長を獲得する必要があり、ミラー面上の所定
の位置に正確にビームを案内してビーム反射回数を確保
しなければならない。したがって、高精度なビーム位置
検出とその調整が重要な作業となっていた。
ため、一対の対向する銅製の全反射ミラーから成るマル
チビームラマン変換器を開発し、特願昭６２−２６０８
２０号に提案した。前記ラマン変換器では、所望のラマ
ン変換媒質長を獲得する必要があり、ミラー面上の所定
の位置に正確にビームを案内してビーム反射回数を確保
しなければならない。したがって、高精度なビーム位置
検出とその調整が重要な作業となっていた。
このようなビームの照射位置合わせ作業において、ビー
ム位置検出器を光路に挿入したのでは逐一ビームを遮断
するため、多くの調整時間を必要とするばかりでなく、
ＣＯ２レーザーのように不可視光の場合には、危険を伴
うものであった。また、ハーフミラ−でビームを分岐さ
せて位置検出を行う間接法の場合には、ビーム強度を減
衰させる問題があり、装置を簡素化し、レーザーシステ
ムの自動制御を実現するためには障害となっていた。
ム位置検出器を光路に挿入したのでは逐一ビームを遮断
するため、多くの調整時間を必要とするばかりでなく、
ＣＯ２レーザーのように不可視光の場合には、危険を伴
うものであった。また、ハーフミラ−でビームを分岐さ
せて位置検出を行う間接法の場合には、ビーム強度を減
衰させる問題があり、装置を簡素化し、レーザーシステ
ムの自動制御を実現するためには障害となっていた。
そこで、本発明者は、ミラーにパルスレーザ−が照射さ
れると、全反射ミラーであってもミラー内部に光音響効
果による弾性波が発生しうろことに着目し、その伝播時
間を光音響検出素子を用いて観測することにより、ビー
ムの伝播を妨げることなく、ミラー面上に照射されたビ
ーム位置を検出できることを見い出した。
れると、全反射ミラーであってもミラー内部に光音響効
果による弾性波が発生しうろことに着目し、その伝播時
間を光音響検出素子を用いて観測することにより、ビー
ムの伝播を妨げることなく、ミラー面上に照射されたビ
ーム位置を検出できることを見い出した。
本発明は、レーザー自体やレーザービーム伝播システム
の制御に有効な光音響を用いたビームの入射位置の検知
し、調整の方法を提供することを目的とする。
の制御に有効な光音響を用いたビームの入射位置の検知
し、調整の方法を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
上記の課題は、ミラーに照射されたパルスビームにより
発生する光音響弾性波が複数個取り付けられた音響検知
器へ到達する時間の差を検出して、この差を極小となる
ようビームを調整することにより、ミラー面上の所定の
位置、すなわち検出器間の中点にビームを調整すること
による本発明によって解決することができる。具体的に
は、弾性波の伝播時間、特に検出した音波信号の第１、
第２または第３のピークのいずれかの到達時間から計測
する方法、さらに、音響信号をデジタル波形分析器、タ
イムインターバルカウンタのいずれかを用いて信号処理
することによりビーム位置を検知することができる。
発生する光音響弾性波が複数個取り付けられた音響検知
器へ到達する時間の差を検出して、この差を極小となる
ようビームを調整することにより、ミラー面上の所定の
位置、すなわち検出器間の中点にビームを調整すること
による本発明によって解決することができる。具体的に
は、弾性波の伝播時間、特に検出した音波信号の第１、
第２または第３のピークのいずれかの到達時間から計測
する方法、さらに、音響信号をデジタル波形分析器、タ
イムインターバルカウンタのいずれかを用いて信号処理
することによりビーム位置を検知することができる。
（作 用）
レーザー光がミラー面に照射された時、まず、表面で光
エネルギーの一部が吸収されて熱エネルギーに変換され
、累う一面は膨張して歪み、弾性波が発生する。発生し
た弾性波は縦波（Ｐ波〉と横波（Ｓ波）、さらに表面波
としてミラー中を伝播する。レーザーパルスの立ち上が
り時間が音響パルス幅より十分短いとすると、最大の進
行速度をもつＰ波の到達時間と伝播距離が比例すること
になる。したがって、前記発生したＰ波をミラーの裏面
または外周に取り付けた複数のセンサーで検出し、その
Ｐ波の伝播時間の差を求め、これが最小となるようビー
ム位置を調整することにより、ミラー面上の検出器間の
中点位置にビーム位置を再現性よく調整することができ
る。
エネルギーの一部が吸収されて熱エネルギーに変換され
、累う一面は膨張して歪み、弾性波が発生する。発生し
た弾性波は縦波（Ｐ波〉と横波（Ｓ波）、さらに表面波
としてミラー中を伝播する。レーザーパルスの立ち上が
り時間が音響パルス幅より十分短いとすると、最大の進
行速度をもつＰ波の到達時間と伝播距離が比例すること
になる。したがって、前記発生したＰ波をミラーの裏面
または外周に取り付けた複数のセンサーで検出し、その
Ｐ波の伝播時間の差を求め、これが最小となるようビー
ム位置を調整することにより、ミラー面上の検出器間の
中点位置にビーム位置を再現性よく調整することができ
る。
（発明の効果）
本発明によれば、ビーム光路内に他の検出器を挿入する
ことなく、既に設けられているミラーの側面や背面に弾
性波を検出する検出器を取り付け、ビーム光路を遮断す
ることなく、また、ビーム出力を減衰させることなく出
射ビームの位置を検出し、調整することができる。
ことなく、既に設けられているミラーの側面や背面に弾
性波を検出する検出器を取り付け、ビーム光路を遮断す
ることなく、また、ビーム出力を減衰させることなく出
射ビームの位置を検出し、調整することができる。
（実施例）
以下に本発明を実施例に基づき詳細に説明する。
第１図は、本発明を実施するための装置全体の構成図で
ある。ＣＯ２レーザー発振器１０から出射されたレーザ
ービームは、ＫＣＩ半透ミラー１）を透過して、ビーム
パターンの整形とビーム径の変更が可能な絞り１２を通
過した後、本発明を実施する直径７０ｍｍ、厚さ１０ｍ
ｍの銅製全反射ミラー１３に到達する。ミラー１３の背
面には弾性波を検出する２個のアコースチックエミッシ
ョン測定用センサー（ＰＺＴ圧電センサー、共振周波数
１８０ＫＨｚ） １４．１４′を絶縁性の接着剤で固定
する。前記ＫＣＩ半透ミラー１）で分岐されたビームは
フォトンドラッグ検出器１７によってレーザーパルスの
発生が検出され、デジタルオシロスコープのためのトリ
ガー信号となる。背面に第１のセンサー１４と第２のセ
ンサー１４′が固定されたミラーの鏡面に直径約１５間
のパルス状ビームを照射し、５ラー材料内に伝播する弾
性波を検出する。検出された信号はＡＥ増幅器（周波数
特性５０ＫＨ２〜２ＭＨｚ ） １５．１５′で増幅
された後、弾性波を表示するデジタルオシロスコープ１
６に導入される。デイスプレィ８ビツト、インピーダン
ス５０Ωでセツティングされたデジタルオシロスコープ
のトリガーには、別に設けた光検出器１７からの出力を
用いるのが一般的であるが、これを省いて光音響信号自
体を用いることもできる。第２図は、第１図のミラー１
３が取り付けられたミラースタンドの正面図（Ａ）と側
面図（Ｂ）である。前記ミラースタンドには、スライド
式ステージ２０が設けられ、つまみ２１の回転によって
ミラーがＸ軸上を移動し入射ビームの位置をミラー面上
で移動できる。
ある。ＣＯ２レーザー発振器１０から出射されたレーザ
ービームは、ＫＣＩ半透ミラー１）を透過して、ビーム
パターンの整形とビーム径の変更が可能な絞り１２を通
過した後、本発明を実施する直径７０ｍｍ、厚さ１０ｍ
ｍの銅製全反射ミラー１３に到達する。ミラー１３の背
面には弾性波を検出する２個のアコースチックエミッシ
ョン測定用センサー（ＰＺＴ圧電センサー、共振周波数
１８０ＫＨｚ） １４．１４′を絶縁性の接着剤で固定
する。前記ＫＣＩ半透ミラー１）で分岐されたビームは
フォトンドラッグ検出器１７によってレーザーパルスの
発生が検出され、デジタルオシロスコープのためのトリ
ガー信号となる。背面に第１のセンサー１４と第２のセ
ンサー１４′が固定されたミラーの鏡面に直径約１５間
のパルス状ビームを照射し、５ラー材料内に伝播する弾
性波を検出する。検出された信号はＡＥ増幅器（周波数
特性５０ＫＨ２〜２ＭＨｚ ） １５．１５′で増幅
された後、弾性波を表示するデジタルオシロスコープ１
６に導入される。デイスプレィ８ビツト、インピーダン
ス５０Ωでセツティングされたデジタルオシロスコープ
のトリガーには、別に設けた光検出器１７からの出力を
用いるのが一般的であるが、これを省いて光音響信号自
体を用いることもできる。第２図は、第１図のミラー１
３が取り付けられたミラースタンドの正面図（Ａ）と側
面図（Ｂ）である。前記ミラースタンドには、スライド
式ステージ２０が設けられ、つまみ２１の回転によって
ミラーがＸ軸上を移動し入射ビームの位置をミラー面上
で移動できる。
以下に、第２図に示す２個のセンサー１４゜１４′を動
作して照射ビームの位置を伝播時間の差から検出する方
法について説明する。
作して照射ビームの位置を伝播時間の差から検出する方
法について説明する。
照射ビームをミラーの中心位置ａに固定した場合と第１
のセンサー１４側にずらした位置すの場合に得られた各
弾性波形図を第３図（Ａ）及び（Ｂ）に示す。同図（Ａ
）において、ビーム位置ａに対しセンサーを左右対称に
配置しているので、第１のセンサー１４からの信号Ｃと
第２のセンサー１４′からの信号ｄは、信号強度がやや
異なるものの第１のピーク■と第２のピーク■の到達時
間はほぼ一致していることがわかる。一方、位置すにお
ける検出を示す第３図（Ｂ）ではビームの位置に対して
２つのセンサーの距離が異なるので、波形は大きくずれ
ており、各ピーク位置の到達時間に差がみられる。しか
し、第１のピークの、第２のピーク■の波形はほぼ一定
している。ここで、２個のセンサーによって検出された
それぞれ第１、第２のピークを取り、時間差Δｔを求め
る。この時間差Δｔは２つのセンサー間に照射されたビ
ーム位置との距離の差に対応しているのでΔｔ≠０の時
には２つのセンサー間の中点から左右にずれた位置にあ
ることは明らかである。
のセンサー１４側にずらした位置すの場合に得られた各
弾性波形図を第３図（Ａ）及び（Ｂ）に示す。同図（Ａ
）において、ビーム位置ａに対しセンサーを左右対称に
配置しているので、第１のセンサー１４からの信号Ｃと
第２のセンサー１４′からの信号ｄは、信号強度がやや
異なるものの第１のピーク■と第２のピーク■の到達時
間はほぼ一致していることがわかる。一方、位置すにお
ける検出を示す第３図（Ｂ）ではビームの位置に対して
２つのセンサーの距離が異なるので、波形は大きくずれ
ており、各ピーク位置の到達時間に差がみられる。しか
し、第１のピークの、第２のピーク■の波形はほぼ一定
している。ここで、２個のセンサーによって検出された
それぞれ第１、第２のピークを取り、時間差Δｔを求め
る。この時間差Δｔは２つのセンサー間に照射されたビ
ーム位置との距離の差に対応しているのでΔｔ≠０の時
には２つのセンサー間の中点から左右にずれた位置にあ
ることは明らかである。
また、第３図（Ｂ）の２つの信号ｃ、ｄの各第２のピー
クを選択して、第２図（Ａ）に示すＸ軸上のビーム位Ｗ
ｘとΔｔの関係の観測例を示したのが第４図である。同
図からΔｔを計測すれば一義的にビームの位置Ｘを求め
ることができる。直径３０ｍｍのＣＯ２レーザービーム
を用いたこの観測例では、Δｔの観測値の偏差を考慮し
ても０．３ｍｍの分解能で位置検出できることが確認で
きた。
クを選択して、第２図（Ａ）に示すＸ軸上のビーム位Ｗ
ｘとΔｔの関係の観測例を示したのが第４図である。同
図からΔｔを計測すれば一義的にビームの位置Ｘを求め
ることができる。直径３０ｍｍのＣＯ２レーザービーム
を用いたこの観測例では、Δｔの観測値の偏差を考慮し
ても０．３ｍｍの分解能で位置検出できることが確認で
きた。
以上、得られた弾性波形の第１、第２または第３のピー
クからその信号波形を選択して伝播時間の差を求め、ミ
ラー面内のビーム位置を検出することが明らかになった
。
クからその信号波形を選択して伝播時間の差を求め、ミ
ラー面内のビーム位置を検出することが明らかになった
。
２つのセンサーを結ぶ軸上にビームを移動した上記実施
例ではΔｔの測定によりビーム位置Ｘを求めることがで
きた。ところが、ビームがＸ軸上にあるとは限らない２
次元平面の一般のミラー面上の場合にはΔｔからＸを簡
単に求めることはできない。しかし、Δ１＝０となるよ
うビームを調整すると、このときビームは２つのセンサ
ーとも等しい距離にある。すなわち、２つのセンサーを
結ぶ垂直２等分線であるＹ軸（Ｘ＝０．Ｙ＝Ｙ）上にあ
ることになる。したがって、３個または４個のセンサー
を図５のようにミラーの裏面に配置することにより、適
当な組合せの２個の検出器対の間でΔ１＝０となるよう
ビームを調整することにより、逅う一面上の一定の位置
すなわち検出器配置の中点Ｍにビームを調整することが
できる。
例ではΔｔの測定によりビーム位置Ｘを求めることがで
きた。ところが、ビームがＸ軸上にあるとは限らない２
次元平面の一般のミラー面上の場合にはΔｔからＸを簡
単に求めることはできない。しかし、Δ１＝０となるよ
うビームを調整すると、このときビームは２つのセンサ
ーとも等しい距離にある。すなわち、２つのセンサーを
結ぶ垂直２等分線であるＹ軸（Ｘ＝０．Ｙ＝Ｙ）上にあ
ることになる。したがって、３個または４個のセンサー
を図５のようにミラーの裏面に配置することにより、適
当な組合せの２個の検出器対の間でΔ１＝０となるよう
ビームを調整することにより、逅う一面上の一定の位置
すなわち検出器配置の中点Ｍにビームを調整することが
できる。
（Ａ）ではセンサー２２．２３によるａ軸の垂直２等分
線とセンサー２２．２４によるｂ軸の垂直２等分線が交
わる中点Ｍに調整できるため、３個のセンサー位置の中
点Ｍにビームを調整することが可能となる。同様に（Ｂ
）では４個のセンサーを用いて、中点Ｍ （Ｘ＝０．Ｙ
＝０）に調整することが可能である。中点Ｍを果う−の
中心と一致させることにより、効率のよいビーム調整が
行なえるのは明らかである。
線とセンサー２２．２４によるｂ軸の垂直２等分線が交
わる中点Ｍに調整できるため、３個のセンサー位置の中
点Ｍにビームを調整することが可能となる。同様に（Ｂ
）では４個のセンサーを用いて、中点Ｍ （Ｘ＝０．Ｙ
＝０）に調整することが可能である。中点Ｍを果う−の
中心と一致させることにより、効率のよいビーム調整が
行なえるのは明らかである。
第１図は、本発明を実施するための装置全体の構成国、
第２図は、本発明を実施したミラー及びミラースタンド
の槽底を示し、同図（Ａ）は正面図、同図（Ｂ）は側面
図、 第３図（Ａ）（Ｂ）は、第２図（Ａ）のビーム位置ａ及
びｂで２個のセンサーで検出した弾性波形図、 第４図は、第３図（Ｂ）の２つの信号の第２のピークの
時間差をビーム位置を移動して得たＸ軸上のビーム位ｌ
ｘとΔｔの観測例である。 第５図（Ａ）はセンサー３個、第５図（Ｂ）はセンサー
４個の場合のセンサー配置例である。 （符号の説明） １０・・・・・・レーザー発振器、 １）・・・・・・ＫＣＩ半透ミラー １２・・・・・・
絞り、１３・・・・・・ミラー １４．１４’・・・・・・光音響検出センサー１５．１
５’・・・・・・ＡＥ増幅器、１６・・・・・・デジタ
ルオッシロスコープ、１７・・・・・・フォトンドラッ
グ検出器、２０・・・・・・ステージ、 ２１
・・・・・・つまみ、２２−２５・・・・・・光音響検
出センサーメ 図面の浄書（内容に変更なし） 第１図 第２図 第 ３ 図 時間 第 図 時間差 △ｔ （μＳ） 手 続 補 正 書 く方式） １事件の表示 平成２年特許願第７７６ ■ ７号 ２）発明の名称 光音響式ビーム位置：Ａ型状 ３補正をする者 事件この関係 出 ９ａ 人 名 称 （６７９） 理 化 子 研 究 所 ４代 理 人 ５補正命令の日付 平成２年６月２６０
の槽底を示し、同図（Ａ）は正面図、同図（Ｂ）は側面
図、 第３図（Ａ）（Ｂ）は、第２図（Ａ）のビーム位置ａ及
びｂで２個のセンサーで検出した弾性波形図、 第４図は、第３図（Ｂ）の２つの信号の第２のピークの
時間差をビーム位置を移動して得たＸ軸上のビーム位ｌ
ｘとΔｔの観測例である。 第５図（Ａ）はセンサー３個、第５図（Ｂ）はセンサー
４個の場合のセンサー配置例である。 （符号の説明） １０・・・・・・レーザー発振器、 １）・・・・・・ＫＣＩ半透ミラー １２・・・・・・
絞り、１３・・・・・・ミラー １４．１４’・・・・・・光音響検出センサー１５．１
５’・・・・・・ＡＥ増幅器、１６・・・・・・デジタ
ルオッシロスコープ、１７・・・・・・フォトンドラッ
グ検出器、２０・・・・・・ステージ、 ２１
・・・・・・つまみ、２２−２５・・・・・・光音響検
出センサーメ 図面の浄書（内容に変更なし） 第１図 第２図 第 ３ 図 時間 第 図 時間差 △ｔ （μＳ） 手 続 補 正 書 く方式） １事件の表示 平成２年特許願第７７６ ■ ７号 ２）発明の名称 光音響式ビーム位置：Ａ型状 ３補正をする者 事件この関係 出 ９ａ 人 名 称 （６７９） 理 化 子 研 究 所 ４代 理 人 ５補正命令の日付 平成２年６月２６０
Claims (3)
- （１）光学素子に照射されたパルスレーザービームによ
り発生した弾性波を検知して、前記パルスレーザービー
ムの入射位置を所定の位置の調整することを特徴とする
光音響式ビーム位置調整法。 - （２）特許請求の範囲第（１）項記載のビーム位置調整
法において、光学素子の外周または裏面に配置した複数
の光音響検出器までの伝播時間の差を求め、この時間差
を最小とすることによりパルスレーザービームを検出器
間の中点に制御することを特徴とする光音響式ビーム位
置調整法。 - （３）特許請求の範囲（１）項記載のビーム位置調整法
において、弾性波信号の第１、第２、第３のピークのい
ずれかの到着時間差からパルスレーザービームの照射位
置を検知することを特徴とする光音響式ビーム位置調整
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2077617A JPH0760123B2 (ja) | 1990-03-27 | 1990-03-27 | 光音響式ビーム位置調整法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2077617A JPH0760123B2 (ja) | 1990-03-27 | 1990-03-27 | 光音響式ビーム位置調整法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03276035A true JPH03276035A (ja) | 1991-12-06 |
| JPH0760123B2 JPH0760123B2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=13638876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2077617A Expired - Fee Related JPH0760123B2 (ja) | 1990-03-27 | 1990-03-27 | 光音響式ビーム位置調整法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760123B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114739903A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-07-12 | 上海精测半导体技术有限公司 | 测量装置及其调节方法、光斑尺寸的获取方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60256018A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-17 | カンタム レイザー（ユーケー）リミテツド | 電磁放射ビームの予定特性を検出する方法および装置 |
-
1990
- 1990-03-27 JP JP2077617A patent/JPH0760123B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60256018A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-17 | カンタム レイザー（ユーケー）リミテツド | 電磁放射ビームの予定特性を検出する方法および装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114739903A (zh) * | 2022-04-01 | 2022-07-12 | 上海精测半导体技术有限公司 | 测量装置及其调节方法、光斑尺寸的获取方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0760123B2 (ja) | 1995-06-28 |
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