JPH0327781A - リニア型超音波モータ - Google Patents
リニア型超音波モータInfo
- Publication number
- JPH0327781A JPH0327781A JP1162097A JP16209789A JPH0327781A JP H0327781 A JPH0327781 A JP H0327781A JP 1162097 A JP1162097 A JP 1162097A JP 16209789 A JP16209789 A JP 16209789A JP H0327781 A JPH0327781 A JP H0327781A
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- JP
- Japan
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- vibrator
- piezoelectric element
- vibration
- output member
- longitudinal
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- Pending
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、リニア型超音波モータに関するや（従来の技
術） 従来、回転型の超音波モータとして進行波を用いるもの
が知られているが、リニア型超音波モー夕においては、
反射波の影響等により進行波型の駆動方式をそのまま採
用することが難しく、反射波を吸収して進行波を有効に
取り出すべく様々な試みがなされている．例えば、リニ
ア型表面波モータでは、弾性体の所定箇所に固着した圧
電素子の逆圧電作用によって、弾性体に周回する表面波
を発生させ、所定方向の表面波によって移動体に直線的
な推力を与えるようにしている．（発明が解決しようと
する課題〉 しかしながら、このような従来のリニア型超音波モータ
にあっては、弾性体に固着した圧電素子によって弾性体
を加振する構威であるため、駆動電圧を変化させると進
行波と縦振動波が共に変化してしまう．このため、定格
速度に対して速度制御可能な範囲が狭く、サーボ用モー
タ等に使用することができなくなり、また、大きな推力
を得ることも困難であった． （発明の目的） そこで本発明は縦振動圧電素子とすべり振動圧電素子に
より定在波の楕円運動を発生させて直線出力を取り出す
ようにし、推力の大きい、しかも速度制御範囲の広いリ
ニア型超音波モータを提供することを目的としている． （課題を解決するための手段） 本発明は、上記の目的を達或するために、電歪方向に積
層配置された縦振動圧電素子と、縦振動圧電素子と同方
向に積層配置されて該積層方向と直交するすべりの電歪
方向を有するすべり振動圧電素子と、縦振動圧電素子お
よびすべり振動圧電素子により加振され、少なくともす
べり振動圧電素子からの振動を増幅する振動子と、振動
子上に付勢され、振動子の運動に伴ってすべり振動圧電
素子の電歪方向に直線的に移動する移動体と、を備えた
ことを特徴とするものである． （作用） 本発明では、電歪方向に積層配置された縦振動圧電素子
と同方向にすべり振動圧電素子が積層配置され、両圧電
素子の逆圧電作用により加振された振動子が少なくとも
すべり振動を増幅しなから略楕円運動し、該振動子上に
付勢された移動体がすべり振動方向に直線的に移動する
。したがって、縦振動圧電素子およびすべり振動圧電素
子に電歪方向以外のたわみ振動が生じないから、両圧電
素子を最適な積層構造にして加振量を増大させることが
でき、振動子によりさらに増幅した大きな推力を得るこ
とができる．また、両圧電素子の交流印加電圧を別々の
駆動回路で駆動することにより縦振動圧電素子の加ＩＩ
を固定したまますべり振動圧電素子の交流印加電圧を可
変することができ、速度制御範囲の広いリニア型超音波
モータが提供される． （実施例） 以下、本発明を図面に基づいて説明する。
術） 従来、回転型の超音波モータとして進行波を用いるもの
が知られているが、リニア型超音波モー夕においては、
反射波の影響等により進行波型の駆動方式をそのまま採
用することが難しく、反射波を吸収して進行波を有効に
取り出すべく様々な試みがなされている．例えば、リニ
ア型表面波モータでは、弾性体の所定箇所に固着した圧
電素子の逆圧電作用によって、弾性体に周回する表面波
を発生させ、所定方向の表面波によって移動体に直線的
な推力を与えるようにしている．（発明が解決しようと
する課題〉 しかしながら、このような従来のリニア型超音波モータ
にあっては、弾性体に固着した圧電素子によって弾性体
を加振する構威であるため、駆動電圧を変化させると進
行波と縦振動波が共に変化してしまう．このため、定格
速度に対して速度制御可能な範囲が狭く、サーボ用モー
タ等に使用することができなくなり、また、大きな推力
を得ることも困難であった． （発明の目的） そこで本発明は縦振動圧電素子とすべり振動圧電素子に
より定在波の楕円運動を発生させて直線出力を取り出す
ようにし、推力の大きい、しかも速度制御範囲の広いリ
ニア型超音波モータを提供することを目的としている． （課題を解決するための手段） 本発明は、上記の目的を達或するために、電歪方向に積
層配置された縦振動圧電素子と、縦振動圧電素子と同方
向に積層配置されて該積層方向と直交するすべりの電歪
方向を有するすべり振動圧電素子と、縦振動圧電素子お
よびすべり振動圧電素子により加振され、少なくともす
べり振動圧電素子からの振動を増幅する振動子と、振動
子上に付勢され、振動子の運動に伴ってすべり振動圧電
素子の電歪方向に直線的に移動する移動体と、を備えた
ことを特徴とするものである． （作用） 本発明では、電歪方向に積層配置された縦振動圧電素子
と同方向にすべり振動圧電素子が積層配置され、両圧電
素子の逆圧電作用により加振された振動子が少なくとも
すべり振動を増幅しなから略楕円運動し、該振動子上に
付勢された移動体がすべり振動方向に直線的に移動する
。したがって、縦振動圧電素子およびすべり振動圧電素
子に電歪方向以外のたわみ振動が生じないから、両圧電
素子を最適な積層構造にして加振量を増大させることが
でき、振動子によりさらに増幅した大きな推力を得るこ
とができる．また、両圧電素子の交流印加電圧を別々の
駆動回路で駆動することにより縦振動圧電素子の加ＩＩ
を固定したまますべり振動圧電素子の交流印加電圧を可
変することができ、速度制御範囲の広いリニア型超音波
モータが提供される． （実施例） 以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第１〜６図は本発明の一実施例を示す図である。
第１〜４図において、１は縦振動ユニットであり、縦振
動ユニット１は電歪方向に積層配置されたそれぞれ複数
の縦振動圧電素子２Ａ、２Ｂと、各縦振動圧電素子２Ａ
、２Ｂを挟むよう配置された複数の電極３Ａ、３Ｂから
なる．縦振動圧電素子２Ａ、２Ｂは交互に配置されて分
極方向が第２図（ａ）（ｂ）に原理図的に示すように互
いに異なり、縦振動ユニント１は電極３Ａ、３Ｂ間に電
圧（後述する）が印加されるとき、縦振動圧電素子２Ａ
、２Ｂの逆圧電作用によって第１図の上下方向（縦方向
）に伸張、収縮するようになっている．４は横振動ユニ
ットであり、横振動ユニソト４は縦振動ユニフト１上で
さらに縦振動圧電素子２Ａ、２Ｂと同方向に積層配置さ
れたそれぞれ複数のすべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂと、
各すべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂを挟むよう配置された
複数の電極６Ａ、６Ｂとからなる．すべり振動圧電素子
５Ａ、５Ｂは交互に配置されて分極方向が第３図（ａ）
（ｂ）に示すように互いに異なり、横振動ユニット４は
電極６Ａ、６Ｂ間に電圧（後述する）が印加されるとき
、すべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂの逆圧電作用によって
電歪方向（逆圧電作用による歪方向）である第１図の左
右方向に伸張、収縮するようになっている．また、縦振
動ユニット１および横振動ユニット４には中央部を貫通
する同軸の貫通孔１ａ、４ａが形威されており、この貫
通孔１ａ，４ａには支持ボルト７がその頭部７ｈを縦振
動ユニット１に衝合するよう挿入されている．そして、
支持ボルト７にねし結合したナット８により横振動ユニ
ソト４上に配設された筒状の振動子９と縦振動ユニット
１および横振動ユニソト４とが所定予圧で締結されてい
る。なお、振動子９は内径が横振動ユニット４の貫通孔
４ａと略同径で支持ボルト７およびナント８に対して径
方向に移動可能になっており、振動子９は横振動ユニッ
ト４の逆圧電作用に伴って横方向に加振され、該振動を
増幅する。具体的には、振動子９は第４図に示すような
一定振幅の高周波電圧である電極６Ａ、６Ｂ間の交流印
加電圧の周波数に合致する共振周波数を有し、縦振動ユ
ニット１および横振動ユニット４からの超音波振動を受
ける際、横振動ユニット４からのすべり振動を増幅しな
がら横長に楕円運動するようになっている．一方、振動
子９上にはライニング材１１を挾んで出力部材１２（移
動体）が設けられており、出力部材ｌ２は図外の端部で
バルブスプール等に接続されるとともに押圧ｖｉｌ３を
介してコイルばね１４により横振動ユニット４上に付勢
されている。コイルばね１４は端面研摩等を施され、支
持ボルト７にねし結合したナソト１５およびばね受け１
６により所定長に圧縮されており、所定のばね圧を発生
している．また、押圧板１３は出力部材ｌ２に当接する
ライニング材１７を有しており、ライニング材１７と出
力部材１２の摩擦係数はライニング材１１と出力部材１
２の摩擦係数より小さくなっている。そして、出力部材
１２は上述のように振動子９が楕円運動するとき、コイ
ルばねｌ４からの付勢力により振動子９と一体的に楕円
運動するライニング材ｌ１と摩擦して第ｔ図の矢印Ｘ方
向に直線的に移動する．なお、ｌ８はナソト８又は支持
ポルト７に固定されたガイドスリーブであり、ガイドス
リーブｌ８は出力部材１２に形威された長穴１２ａ（第
５図参照）および押圧板１３と摺動自在に係合して出力
部材１２および押圧仮１３をガイドする．また、第４図
において、電極３Ａ、３Ｂ間の印加電圧Ａに対し、電極
６Ａ、６Ｂ間の印加電圧Ｂ又はＣは＋９０゜又は−９０
’の位相差を有しており、該印加電圧ＢＳＣを一方から
他方に切り換えて出力部材１２の移動方向を逆にするこ
とができる． 次に、作用を説明する。
動ユニット１は電歪方向に積層配置されたそれぞれ複数
の縦振動圧電素子２Ａ、２Ｂと、各縦振動圧電素子２Ａ
、２Ｂを挟むよう配置された複数の電極３Ａ、３Ｂから
なる．縦振動圧電素子２Ａ、２Ｂは交互に配置されて分
極方向が第２図（ａ）（ｂ）に原理図的に示すように互
いに異なり、縦振動ユニント１は電極３Ａ、３Ｂ間に電
圧（後述する）が印加されるとき、縦振動圧電素子２Ａ
、２Ｂの逆圧電作用によって第１図の上下方向（縦方向
）に伸張、収縮するようになっている．４は横振動ユニ
ットであり、横振動ユニソト４は縦振動ユニフト１上で
さらに縦振動圧電素子２Ａ、２Ｂと同方向に積層配置さ
れたそれぞれ複数のすべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂと、
各すべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂを挟むよう配置された
複数の電極６Ａ、６Ｂとからなる．すべり振動圧電素子
５Ａ、５Ｂは交互に配置されて分極方向が第３図（ａ）
（ｂ）に示すように互いに異なり、横振動ユニット４は
電極６Ａ、６Ｂ間に電圧（後述する）が印加されるとき
、すべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂの逆圧電作用によって
電歪方向（逆圧電作用による歪方向）である第１図の左
右方向に伸張、収縮するようになっている．また、縦振
動ユニット１および横振動ユニット４には中央部を貫通
する同軸の貫通孔１ａ、４ａが形威されており、この貫
通孔１ａ，４ａには支持ボルト７がその頭部７ｈを縦振
動ユニット１に衝合するよう挿入されている．そして、
支持ボルト７にねし結合したナット８により横振動ユニ
ソト４上に配設された筒状の振動子９と縦振動ユニット
１および横振動ユニソト４とが所定予圧で締結されてい
る。なお、振動子９は内径が横振動ユニット４の貫通孔
４ａと略同径で支持ボルト７およびナント８に対して径
方向に移動可能になっており、振動子９は横振動ユニッ
ト４の逆圧電作用に伴って横方向に加振され、該振動を
増幅する。具体的には、振動子９は第４図に示すような
一定振幅の高周波電圧である電極６Ａ、６Ｂ間の交流印
加電圧の周波数に合致する共振周波数を有し、縦振動ユ
ニット１および横振動ユニット４からの超音波振動を受
ける際、横振動ユニット４からのすべり振動を増幅しな
がら横長に楕円運動するようになっている．一方、振動
子９上にはライニング材１１を挾んで出力部材１２（移
動体）が設けられており、出力部材ｌ２は図外の端部で
バルブスプール等に接続されるとともに押圧ｖｉｌ３を
介してコイルばね１４により横振動ユニット４上に付勢
されている。コイルばね１４は端面研摩等を施され、支
持ボルト７にねし結合したナソト１５およびばね受け１
６により所定長に圧縮されており、所定のばね圧を発生
している．また、押圧板１３は出力部材ｌ２に当接する
ライニング材１７を有しており、ライニング材１７と出
力部材１２の摩擦係数はライニング材１１と出力部材１
２の摩擦係数より小さくなっている。そして、出力部材
１２は上述のように振動子９が楕円運動するとき、コイ
ルばねｌ４からの付勢力により振動子９と一体的に楕円
運動するライニング材ｌ１と摩擦して第ｔ図の矢印Ｘ方
向に直線的に移動する．なお、ｌ８はナソト８又は支持
ポルト７に固定されたガイドスリーブであり、ガイドス
リーブｌ８は出力部材１２に形威された長穴１２ａ（第
５図参照）および押圧板１３と摺動自在に係合して出力
部材１２および押圧仮１３をガイドする．また、第４図
において、電極３Ａ、３Ｂ間の印加電圧Ａに対し、電極
６Ａ、６Ｂ間の印加電圧Ｂ又はＣは＋９０゜又は−９０
’の位相差を有しており、該印加電圧ＢＳＣを一方から
他方に切り換えて出力部材１２の移動方向を逆にするこ
とができる． 次に、作用を説明する。
縦振動ユニット１に所定電圧の高周波電圧Ａが印加され
るとともに横振動ユニット４に所定電圧の高周波電圧Ｂ
又はＣが印加されると、縦振動圧電素子２Ａ、２Ｂおよ
びすべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂの電歪作用により振動
子９が超音波加振されてすべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂ
からの振動を増幅しなから略楕円運動し、コイルばね１
４により振動子９に付勢された出力部材１２がライニン
グ材１ｌと摩擦して直線的に移動することにより図外の
バルブスブール等を駆動する。
るとともに横振動ユニット４に所定電圧の高周波電圧Ｂ
又はＣが印加されると、縦振動圧電素子２Ａ、２Ｂおよ
びすべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂの電歪作用により振動
子９が超音波加振されてすべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂ
からの振動を増幅しなから略楕円運動し、コイルばね１
４により振動子９に付勢された出力部材１２がライニン
グ材１ｌと摩擦して直線的に移動することにより図外の
バルブスブール等を駆動する。
いま、横振動ユニット４の電極６Ａ，６Ｂ間に高周波電
圧Ｂが印加されたとすると、まず、第６図（ａ）に示す
ようにすべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂに逆圧電作用が生
じて振動子９が同図中右方に変位し、次いで、第６図（
ｂ）に示すように、縦振動圧電素子２Ａ、２Ｂにも逆圧
電作用が生じて振動子９が上方に変位しつつ右方向の変
位を減少して出力部材１２に圧接する。次いで、第６図
（ｃ）に示すように、振動子９がさらに左方に変位しつ
つ上方向の変位を減少して出力部材１２を摩擦力により
左方に移動させる．次いで、第６図（ｄ）に示すよう、
振動子９が横方向中央で縦方向の下限位置に達し、以下
、同様な振動子９の一連の変位、すなわち楕円運動が繰
り返されることによって出力部材１２が直線的に連続移
動する。一方、横振動ユニット４の電極６Ａ、６Ｂ間に
印加電圧Ｃが印加されたとすると、縦振動圧電素子２Ａ
、２Ｂの伸張後にすべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂの電歪
作用が生じて出力部材ｌ２が逆進する。
圧Ｂが印加されたとすると、まず、第６図（ａ）に示す
ようにすべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂに逆圧電作用が生
じて振動子９が同図中右方に変位し、次いで、第６図（
ｂ）に示すように、縦振動圧電素子２Ａ、２Ｂにも逆圧
電作用が生じて振動子９が上方に変位しつつ右方向の変
位を減少して出力部材１２に圧接する。次いで、第６図
（ｃ）に示すように、振動子９がさらに左方に変位しつ
つ上方向の変位を減少して出力部材１２を摩擦力により
左方に移動させる．次いで、第６図（ｄ）に示すよう、
振動子９が横方向中央で縦方向の下限位置に達し、以下
、同様な振動子９の一連の変位、すなわち楕円運動が繰
り返されることによって出力部材１２が直線的に連続移
動する。一方、横振動ユニット４の電極６Ａ、６Ｂ間に
印加電圧Ｃが印加されたとすると、縦振動圧電素子２Ａ
、２Ｂの伸張後にすべり振動圧電素子５Ａ、５Ｂの電歪
作用が生じて出力部材ｌ２が逆進する。
このような状態において、縦振動圧電素子２Ａ、２Ｂお
よびすべり振動圧電素子５Ａ，５Ｂはそれぞれの電歪方
向にのみ振動し、該電歪方向以外のたわみ振動等を生じ
ないから、縦振動ユニット１および横振動ユニット４を
多層構造として十分な加振振幅を得ることができ、振動
子９の増幅作用も加わって、印加電圧Ａ，Ｂの電圧値を
大きくすることなく効率よく推力を増大させることがで
きる。また、印加電圧Ａを固定して印加電圧Ｂの電圧値
を可変すれば出力部材１２の移動速度を広範囲に制御す
ることができ、特に、超低速領域の速度制御が容易とな
る。したがって、推力の大きい、しかも速度制御範囲の
広いリニア型超音波モータが提供される． なお、本実施例においては、出力部材１２の直線出力の
みを有効に取り出すべく振動子９の縦方向の移動をナソ
ト８によって所定量に制限する構或となっているが、ナ
ット８を省略して振動子９の縦方向振幅を大きくする、
例えば、振動子９が縦振動ユニットｌからの縦振動をも
増幅するようにすることもできる。
よびすべり振動圧電素子５Ａ，５Ｂはそれぞれの電歪方
向にのみ振動し、該電歪方向以外のたわみ振動等を生じ
ないから、縦振動ユニット１および横振動ユニット４を
多層構造として十分な加振振幅を得ることができ、振動
子９の増幅作用も加わって、印加電圧Ａ，Ｂの電圧値を
大きくすることなく効率よく推力を増大させることがで
きる。また、印加電圧Ａを固定して印加電圧Ｂの電圧値
を可変すれば出力部材１２の移動速度を広範囲に制御す
ることができ、特に、超低速領域の速度制御が容易とな
る。したがって、推力の大きい、しかも速度制御範囲の
広いリニア型超音波モータが提供される． なお、本実施例においては、出力部材１２の直線出力の
みを有効に取り出すべく振動子９の縦方向の移動をナソ
ト８によって所定量に制限する構或となっているが、ナ
ット８を省略して振動子９の縦方向振幅を大きくする、
例えば、振動子９が縦振動ユニットｌからの縦振動をも
増幅するようにすることもできる。
（効果）
本発明によれば、電歪方向に積層配置した縦振動圧電素
子と同方向にすべり振動圧電素子を積層配置し、両圧電
素子の逆圧電作用により加振した振動子を少なくともす
べり振動を増幅するよう運動させて、移動体を直線的に
移動させるようにしているので、縦振動圧電素子および
すべり振動圧電素子を電歪方向以外のたわみ振動等が生
じない多層構造にすることができ、振動子の加振量を増
大して推力の大きいリニア型超音波モータを提供するこ
とができる。さらに、縦振動圧電素子の加振量を固定し
たまますべり振動圧電素子の加振量を可変することがで
き、速度制御範囲の広いリニア型超音波モータを提供す
ることができる。
子と同方向にすべり振動圧電素子を積層配置し、両圧電
素子の逆圧電作用により加振した振動子を少なくともす
べり振動を増幅するよう運動させて、移動体を直線的に
移動させるようにしているので、縦振動圧電素子および
すべり振動圧電素子を電歪方向以外のたわみ振動等が生
じない多層構造にすることができ、振動子の加振量を増
大して推力の大きいリニア型超音波モータを提供するこ
とができる。さらに、縦振動圧電素子の加振量を固定し
たまますべり振動圧電素子の加振量を可変することがで
き、速度制御範囲の広いリニア型超音波モータを提供す
ることができる。
第１〜６図は本発明に係るリニア型超音波モータの一実
施例を示す図であり、第１図はその正面断面図、第２図
（ａ）はその縦振動圧電素子の平面図、第２図（ｂ）は
第２図（ａ）のＢｔ −Ｂ！断面図、第３図（ａ）はそ
のすべり振動圧電素子の平面図、第３図（ｂ）は第３図
（ａ）のＢ，Ｂ３断面図、第４図はその圧電素子に印加
する高周波電圧の波形図、第５図はその移動体の一部平
面図、第６図はその作用説明図である．２Ａ、２Ｂ・・
・・・・縦振動圧電素子、５Ａ、５Ｂ・・・・・・すべ
り振動圧電素子、９・・・・・・振動子、 １２・・・・・・出力部材（移動体）。
施例を示す図であり、第１図はその正面断面図、第２図
（ａ）はその縦振動圧電素子の平面図、第２図（ｂ）は
第２図（ａ）のＢｔ −Ｂ！断面図、第３図（ａ）はそ
のすべり振動圧電素子の平面図、第３図（ｂ）は第３図
（ａ）のＢ，Ｂ３断面図、第４図はその圧電素子に印加
する高周波電圧の波形図、第５図はその移動体の一部平
面図、第６図はその作用説明図である．２Ａ、２Ｂ・・
・・・・縦振動圧電素子、５Ａ、５Ｂ・・・・・・すべ
り振動圧電素子、９・・・・・・振動子、 １２・・・・・・出力部材（移動体）。
Claims (1)
- 電歪方向に積層配置された縦振動圧電素子と、縦振動圧
電素子と同方向に積層配置されて該積層方向と直交する
電歪方向を有するすべり振動圧電素子と、縦振動圧電素
子およびすべり振動圧電素子により加振され、少なくと
もすべり振動圧電素子からの振動を増幅する振動子と、
振動子上に付勢され、振動子の運動に伴ってすべり振動
圧電素子の電歪方向に直線的に移動する移動体と、を備
えたことを特徴とするリニア型超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1162097A JPH0327781A (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 | リニア型超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1162097A JPH0327781A (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 | リニア型超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0327781A true JPH0327781A (ja) | 1991-02-06 |
Family
ID=15748009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1162097A Pending JPH0327781A (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 | リニア型超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0327781A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014128071A (ja) * | 2012-12-25 | 2014-07-07 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電素子ユニットおよび圧電アクチュエータ |
-
1989
- 1989-06-22 JP JP1162097A patent/JPH0327781A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014128071A (ja) * | 2012-12-25 | 2014-07-07 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電素子ユニットおよび圧電アクチュエータ |
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