JPH03278831A - 紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、紫外線照射装置に関する。

［従来の技術］ 半導体、プリント回路基板等々の製作工程やインキ、樹
脂の硬化・乾燥等々で用いられる紫外線照射装置の一例
を笛５図−第６図に示す。

１は照射ユニット１０を収容する第１室で防塵等のため
に閉鎖状態に形成されている。２は第２室でワーク５を
搬送する搬送手段２０を収容する。

なお、４は熱線カットフィルターである。

第１室１には、複数の排出口１つか設けられ、上部には
照射ユニット１０（紫外線ランプ１１反射板１２）に送
風する冷風手段１５が配設されている。

一方、第２室２は、第１室１の下側に接近配設され、ワ
ーク５はもとより搬送手段２０を形成するコンベア２１
への塵芥の付着や作業安全・騒音防止のために略閉鎖状
態に形成されている。

［発明が解決しようとする課頭」 ところで、反射板１２は照射効率向上のために紫外線を
反射し赤外線等の他光線を透過するタイクロイックミラ
ーが採用されることか多い。したがって、上記他光線が
排出口１９を透過し外部に直接漏れてしまうので不都合
が生じる。また、かかる不都合を軽減しかつ防塵効果を
向上させる観点から排出口１つを無制限に拡大するわけ
にはいかない、このために風冷手段１５のファン等が大
型となる問題もある。しかも、各排出口１９は第１室１
の側壁に設けられるので、照射面近傍に暖気か停滞し易
くワーク５に対する影響も無視できなくなっている。

一方、第２室２も上記の通り路閉鎖型とされているとこ
ろ、高精度化、多様化に伴い耐熱性の低いワーク５も加
工対象としなければならないので、その換気も必要との
指摘がなされつつある。つまり、ワーク５およびベルト
コンベア２１の上面２１Ｕ等も冷却すべしとの要請があ
る。

本発明の目的は、各室の防塵効果や赤外線等の漏洩防止
を助長しながら、画室の冷却・換気を高能率かつ円滑に
行える紫外線照射装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、紫外線照射ユニットを格納した第１室に紫外
線ランプ等を冷却する風冷手段を設けるとともにワーク
搬送手段を格納した第２室に室内換気を行う換気手段を
設け、 前記第１室と第２室との間に画室を連通ずる通風流路を
形成しかつ前記風冷手段と換気手段とを該通風流路内通
風か一方向となるように形成したことを特徴とする。

［作　用］ 本発明では、第１室と第２室とは通風流路で連通されか
つ風冷手段と換気手段とは両室共通の一方向流を形成す
るものであるから、風冷手段と換気手段とを駆動すれば
、両室内を能率良く円滑に冷却・換気できる。よって、
暖気停滞、赤外線等漏洩等がなく高効率の紫外線照射か
でき、設備小型化も図れる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

（第１実施例） 第１実施例は、第１図に示される。

照射ユニット１０（紫外線ランプ１１１反射板１２）、
風冷手段１５．熱線カッｔ・フィルター４等が配設され
た第１室１と、搬送手段２０．換気手段２５等か配設さ
れた第２室２とは、上下に配され、両者１．２間は複数
の通風流Ｆ！＠３　（３Ｌ。

３Ｒ）で連通されている。

したかって、第１室１には排気口（１つ）を設けなくて
もよいから、赤外線等の外部への漏洩が防止され、防塵
も完全となる。なお、第２室２に設けた吸込口２９は、
風冷手段１５．換気手段２５をそれぞれに形成するファ
ンの小型化等を図るものである。

なお、熱線カットフィルター４は、紫外線を通過させそ
の他の光線（赤外線、可視光線）を遮断すなわち反射・
吸収するものである。

ここに、風冷手段１５を送風ファン、換気手段２５を吸
込ファンとすることによって、通風流路３に一方向流を
形成している。したがって、両手段１５．２５は相互に
補完しながら、画室１．２内には最小的動力で高能率の
冷却・換気通風が確立される。

しかして、この実施例によれは、両室１．２間を通ｍ流
ｉ？８３で連通させ、風冷手段１５と換気手段２５とを
一方向流通を確立するように構成されているので、両手
段１５．２５の小型化を図りつつ円滑な冷却・換気を達
成できる。

また、通風流路３の数、拡口面積を適宜に選択すること
により第１室１内の冷風流れを最適なものとすることか
できるから、照射ユニット１゜（１１，１２’）の冷却
はもとより照射面の暖気をも迅速に排出でき、第１室１
がら外部への赤外線等光線の漏洩も完全に防止できる。

さらに、第２室２内の換気流動も、上記と同様に自由選
択できるから、搬送手段２ｏ全体はもとより、特にベル
トコンベア２１の上面２１Ｕの表裏を同時に冷却するこ
とにより耐熱性の低いワーク５にも広く適用できる。ま
た、搬送手段２ｏのコンベアをメツシュ方式としなくて
もよいなとの設備的、コスト的利益も享受できる。

さらにまた、画室１．２内の流通は、手段１５と手段２
５との協働により決められるので、照射ユニット１０や
ワーク５の近傍では緩流で他の部位は高速流となるよう
に全体として設備の小型化が図れる。

（第２実施例） 第２実施例は、第２図〜第３図に示される。

この実施例では、搬送手段２０を構成するコンベアベル
ト２１（上面２１Ｕ）の表裏面、ベルト２１上のワーク
５および熱線カットフィルター４の上面を一層集中的か
つ高能率に冷却して適用性の拡大と高品質照射処理を図
るものとして形成されている。

すなわち、第２図、第３図に示すように、３つの照射ユ
ニットＩＯＡ〜ＩＯＣを設ける場合として、ベルトコン
ベア２１内に３連式のタクト２７（２７Ａ、２７Ｂ、２
７Ｃ）を設けるとともに各タクトに独自の吸込ファン２
６を３台（２６Ａ。

２６Ｂ、２６Ｃ）設けて換気手段２５を形成し、ベルト
２１の回行方向と直交する方向の換気流を生成するもの
とされている。

各ダクト２７には、通風流路３　（３Ｌ、３Ｒ）。

ベルト上面２１Ｕの裏面、吸込口２９等に対追させた複
数の開口２８か設けられている。

したかって、各ダクト２７内に各吸込ファン２６により
比較的強力な負圧を形成できるから、ベルト上面２Ｕの
裏面は直接吸引される空気流動によって冷却される、と
ともにその表面および表面上のワーク５は通風流路３Ｒ
から３Ｌに向かう層流的空気流動によって均一に冷却さ
れる。また、風冷手段１５からの空気は、照射ユニット
１０を冷却した後、熱線カットフィルター４上を各通風
流＃Ｉ３Ｒ，３Ｌに向けた平行流となって流れ、各通風
流Ｒ３Ｒ，３Ｌを通してタクト２７内に吸引される。

ここに、タクト２７をコンベアベルト２１の幅方向に配
設するには、設備的簡素化の他、冷却を必要とするコン
ベアベルト２１の部位、つまり照射部位を集中的かつ均
一に効率良く冷却するためである。また、複数（３）の
ダクト２７Ａ、２７Ｂ、２７Ｃを並列配設したのは、上
記と同様に一層の均一冷却を達成するためである。した
かって、大型ワーク５に紫外線を照射する場合等におい
て、照射ユニット１０を第４図に示す如く複数（３）白
亜列配設しかつ各照射ユニット（ＩＯＡ、１０Ｂ、ｌ０
Ｃ）を各室ＬＡ、ＩＢ、ＩＣで区画した装置を構築する
ことか可能となる。

しかして、この第２実施例によれば、第１実施例の場合
と同様な作用効果を奏する他、さらに、ワーク５等の冷
却すべき部位を集中的かつ均一的に高能率冷却でき、照
射対象物（ワーク５）の大きさ、耐熱性等々に対する適
応性が一段と拡大され大型装置の確立を容易に達成でき
る。

［発明の効果］ 本発明によれば、第１室に設けた風冷手段と第２室に設
けた換気手段とを画室間を連通ずる通風流路内に一方向
空気流動を形成するものとされているので、排気口から
赤外線等の漏洩、塵芥の侵入、各ファンの大型化等従来
欠点を一掃し、照明ユニット、ワーク等を円滑かつ高能
率に冷却できるという侵れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す全体構成図、第２図
〜第３図は第２実施例を示し第２図は一部を断面した正
面図、第３図は平面図、第４図はダクト並設状態を説明
するための図、および第５図、第６図は従来照射装置を
示し、第５図は側面図、第６図は正面図である。 １・・・第１室、 ２・・・第２室、 ３．３Ｌ、３Ｒ・・・通風流路、 ５・・・ワーク、 １０・・・照射ユニット、 １１・・・紫外線ランプ、 １２・・・反射板、 １５・・・風冷手段、 １９・・・排気口、 Ｏ・・・搬送手段、 １・・・ベルトコンベア、 ５・・・換気手段、 ６・・・吸込ファン、 ７・・・ダクト、 ８・・・開口。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）紫外線照射ユニットを格納した第１室に紫外線ラ
   ンプ等を冷却する風冷手段を設けるとともにワーク搬送
   手段を格納した第２室に室内換気を行う換気手段を設け
   、 前記第１室と第２室との間に両室を連通する通風流路を
   形成しかつ前記風冷手段と換気手段とを該通風流路内通
   風が一方向となるように形成したことを特徴とする紫外
   線照射装置。