JPH03284100A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
- Publication number
- JPH03284100A JPH03284100A JP2084679A JP8467990A JPH03284100A JP H03284100 A JPH03284100 A JP H03284100A JP 2084679 A JP2084679 A JP 2084679A JP 8467990 A JP8467990 A JP 8467990A JP H03284100 A JPH03284100 A JP H03284100A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- backing material
- acoustic impedance
- ultrasonic
- ultrasonic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は、超音波診断装置や超音波探傷装置などに用
いられる超音波探触子に係り、特に超音波振動子の背面
側に設けられるバッキング材に関する。
いられる超音波探触子に係り、特に超音波振動子の背面
側に設けられるバッキング材に関する。
（従来の技術）
超音波診断装置などに用いられる超音波探触子において
は、Ｓ／Ｎの向上による高画質化のために、より高感度
のものが求められている。
は、Ｓ／Ｎの向上による高画質化のために、より高感度
のものが求められている。
超音波探触子の高感度化には超音波の送波能力、受波感
度の向上が必要である。その方法の一つとして、超音波
振動子（圧電振動子）の背面側に設けられるバッキング
材の音響インピーダンスを低減する方法がある。バッキ
ング材の音響インピーダンスを低減することは、バッキ
ング月例に放射される超音波を低減し、探触子前面の超
音波送受波面からの超音波の送波を効率的にするばかり
でなく、受波系の音響インピーダンス低減による受波感
度の向上にもなる。
度の向上が必要である。その方法の一つとして、超音波
振動子（圧電振動子）の背面側に設けられるバッキング
材の音響インピーダンスを低減する方法がある。バッキ
ング材の音響インピーダンスを低減することは、バッキ
ング月例に放射される超音波を低減し、探触子前面の超
音波送受波面からの超音波の送波を効率的にするばかり
でなく、受波系の音響インピーダンス低減による受波感
度の向上にもなる。
超音波探触子の構成部材の中で、バッキング材はダンピ
ング効果による分解能の向上、超音波振動子の支持およ
びバッキング打倒へ放射される超音波の吸収といった役
目を果たしている。
ング効果による分解能の向上、超音波振動子の支持およ
びバッキング打倒へ放射される超音波の吸収といった役
目を果たしている。
通常、バッキング材の音響インピーダンスはエコー波形
のダンピング効果による分解能の向上を狙って、５〜１
０Ｍｒａｙｌｓ程度のものが多く用いられている。しか
し、バッキング材の音響インピーダンスを大きくして振
動子の音響インピーダンスに近づけることは、感度の低
下を招くことにもなる。
のダンピング効果による分解能の向上を狙って、５〜１
０Ｍｒａｙｌｓ程度のものが多く用いられている。しか
し、バッキング材の音響インピーダンスを大きくして振
動子の音響インピーダンスに近づけることは、感度の低
下を招くことにもなる。
近年、超音波探触子においては超音波振動子の超音波送
受波面側に設けられるマツチング層を多層化したり、超
音波振動子を構成する圧電体に複合圧電材料を用いるな
どしてパルスエコー波形の改善が図られているため、バ
ッキング材の音響インピーダンスを低減する方法はより
有効となって来ている。例えば超音波診断装置の超音波
探触子においては、バッキング材の音響インピーダンス
を７ Ｍｒａｙｌｓ程度から２ Ｍｒａｙｌｓ程度にす
ることで、感度は相対感度で５０％以上改善される。
受波面側に設けられるマツチング層を多層化したり、超
音波振動子を構成する圧電体に複合圧電材料を用いるな
どしてパルスエコー波形の改善が図られているため、バ
ッキング材の音響インピーダンスを低減する方法はより
有効となって来ている。例えば超音波診断装置の超音波
探触子においては、バッキング材の音響インピーダンス
を７ Ｍｒａｙｌｓ程度から２ Ｍｒａｙｌｓ程度にす
ることで、感度は相対感度で５０％以上改善される。
このように高感度化に必要とされる音響インピーダンス
２ Ｍｒａｙｌｓ程度以下のバッキング材を得ようとす
る場合でも、十分な硬度と吸収減衰があることが必要と
なるが、このような条件を満たす材料を得ることは従来
困難であった。例えば特開昭６１−１８４０９９号公報
には、比較的吸収減衰の大きな樹脂中に樹脂で形成され
たバルーンを混入することで音響インピーダンスを小さ
くしたバッキング材が示されているが、このような構造
のものでは強度的に弱く軟らかいものとなってしまう。
２ Ｍｒａｙｌｓ程度以下のバッキング材を得ようとす
る場合でも、十分な硬度と吸収減衰があることが必要と
なるが、このような条件を満たす材料を得ることは従来
困難であった。例えば特開昭６１−１８４０９９号公報
には、比較的吸収減衰の大きな樹脂中に樹脂で形成され
たバルーンを混入することで音響インピーダンスを小さ
くしたバッキング材が示されているが、このような構造
のものでは強度的に弱く軟らかいものとなってしまう。
また、バルーンの大きさによっては超音波から見たバル
ーンが反射体となるため、バルーンでの超音波の反射が
大きくなってしまうという問題がある。
ーンが反射体となるため、バルーンでの超音波の反射が
大きくなってしまうという問題がある。
（発明が解決しようとする課題）
上述したように、超音波探触子においては感度向上のた
めにバッキング材として音響インピーダンスが２ Ｍｒ
ａ）’Ｉｓ程度以上のものが望まれているが、樹脂単体
からなるバッキング材ではそのような条件を満たすこと
が難しい。樹脂中にフィシとしてガラスバルーンを混入
したバッキング材では、音響インピーダンスが小さくな
るが、超音波振動子を支持するのに十分な硬度が得られ
ず、またバッキング材中で超音波の反射により十分な超
音波の吸収減衰が得られないという問題があった。
めにバッキング材として音響インピーダンスが２ Ｍｒ
ａ）’Ｉｓ程度以上のものが望まれているが、樹脂単体
からなるバッキング材ではそのような条件を満たすこと
が難しい。樹脂中にフィシとしてガラスバルーンを混入
したバッキング材では、音響インピーダンスが小さくな
るが、超音波振動子を支持するのに十分な硬度が得られ
ず、またバッキング材中で超音波の反射により十分な超
音波の吸収減衰が得られないという問題があった。
本発明はこのような問題を解決し、音響インピーダンス
が２ Ｍｒａｙｌｓ以下であって、しかも超音波振動子
を支持するのに十分な硬度と十分な超音波の吸収減衰を
有するバッキング材を備えた超音波探触子を提供するこ
とを目的とする。
が２ Ｍｒａｙｌｓ以下であって、しかも超音波振動子
を支持するのに十分な硬度と十分な超音波の吸収減衰を
有するバッキング材を備えた超音波探触子を提供するこ
とを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は上記の課題を解決するため、音響イン、ピーダ
ンスが４．２Ｍｒａｙｌｓ以下の樹脂中に、バッキング
材中の超音波波長より直径が小さく、比重が０．３ｇ／
−以下のガラスバブルを混入した材料によりバッキング
材を形成したことを特徴とする。
ンスが４．２Ｍｒａｙｌｓ以下の樹脂中に、バッキング
材中の超音波波長より直径が小さく、比重が０．３ｇ／
−以下のガラスバブルを混入した材料によりバッキング
材を形成したことを特徴とする。
フィシが混入していないエポキシ系、ゴム系、ウレタン
系、シリコンコーン系などの通常の樹脂の比重は、１．
０〜１ 、４ｇ／ｃｊ程度の範囲にほとんど含まれ、ま
たこれらの樹脂中の音速は一部のシリコンコーン系樹脂
などを除くと、１５００〜３０（１０＋／ｓ程度となっ
ている。すなわち、樹脂のみからなるバッキング材の音
響インピーダンス（−比重Ｘ音速）は１．５〜４．２Ｍ
ｒａｙｌｓ程度となる。
系、シリコンコーン系などの通常の樹脂の比重は、１．
０〜１ 、４ｇ／ｃｊ程度の範囲にほとんど含まれ、ま
たこれらの樹脂中の音速は一部のシリコンコーン系樹脂
などを除くと、１５００〜３０（１０＋／ｓ程度となっ
ている。すなわち、樹脂のみからなるバッキング材の音
響インピーダンス（−比重Ｘ音速）は１．５〜４．２Ｍ
ｒａｙｌｓ程度となる。
本発明においては、これらの樹脂の中で超音波の吸収減
衰が大きく、かつ高い硬度を持つ樹脂を選択し、その樹
脂中に従来のバルーンに対応するガラスバブルを混入す
ることによって、音響インピーダンスが２．（ｌＮｒａ
ｙｌｓ以下のバッキング材を実現する。樹脂中にガラス
バブルを混入する場合、ガラスバブルを液体状の樹脂と
混合させた後に硬化させることになるが、液体状の樹脂
にガラスバブルのような粒子を混ぜると樹脂の粘度が上
昇するため、実際に均一にできる量には限界がある。
衰が大きく、かつ高い硬度を持つ樹脂を選択し、その樹
脂中に従来のバルーンに対応するガラスバブルを混入す
ることによって、音響インピーダンスが２．（ｌＮｒａ
ｙｌｓ以下のバッキング材を実現する。樹脂中にガラス
バブルを混入する場合、ガラスバブルを液体状の樹脂と
混合させた後に硬化させることになるが、液体状の樹脂
にガラスバブルのような粒子を混ぜると樹脂の粘度が上
昇するため、実際に均一にできる量には限界がある。
一般的な医用超音波探触子において、バッキング材中の
超音波波長よりも十分に小さくなるガラスバブルの直径
を１００μ−以下とした時、比重が１ 、４ｇ／ｃｎ（
程度の樹脂に対して混入できるガラスバブルの割合は、
ガラスバブルの比重が０．１５ｇ／ｃｒＩ程度のとき重
量比で６二１程度、０．３０ｇ／ｃｏ？程度のとき重量
比で３：１程度が限界となる。このようなガラスバブル
を混入すると、バッキング材の音速は樹脂単体の場合に
比べて遅くなるが、その量は比重の変化に比べて位かと
なる。
超音波波長よりも十分に小さくなるガラスバブルの直径
を１００μ−以下とした時、比重が１ 、４ｇ／ｃｎ（
程度の樹脂に対して混入できるガラスバブルの割合は、
ガラスバブルの比重が０．１５ｇ／ｃｒＩ程度のとき重
量比で６二１程度、０．３０ｇ／ｃｏ？程度のとき重量
比で３：１程度が限界となる。このようなガラスバブル
を混入すると、バッキング材の音速は樹脂単体の場合に
比べて遅くなるが、その量は比重の変化に比べて位かと
なる。
バッキング材の音響インピーダンスを当初の目標の２．
ＯＭｒａｙｌｓ以下にするためには、比重（−音響イン
ピーダンス／音速）を０．７ｇ／ｃｄ程度以下にする必
要があり、そのためには上述したガラスバブルの混合で
きる量の限界から、ガラスバブルの比重をｏ、３ｇ／ｃ
ｊ以下にする必要がある。このとき用いる樹脂は、前述
した通り音響インピーダンスが４．２Ｍｒａ！ｙｓ以下
の樹脂であることが必要となる。
ＯＭｒａｙｌｓ以下にするためには、比重（−音響イン
ピーダンス／音速）を０．７ｇ／ｃｄ程度以下にする必
要があり、そのためには上述したガラスバブルの混合で
きる量の限界から、ガラスバブルの比重をｏ、３ｇ／ｃ
ｊ以下にする必要がある。このとき用いる樹脂は、前述
した通り音響インピーダンスが４．２Ｍｒａ！ｙｓ以下
の樹脂であることが必要となる。
すなわち、バッキング材全体の比重をρ。、ガラスバブ
ルの比重をｐｏ、樹脂の比重をρ２とし、さらにガラス
バブルの限界の重量比をＷとすると、次の関係式が得ら
れる。
ルの比重をｐｏ、樹脂の比重をρ２とし、さらにガラス
バブルの限界の重量比をＷとすると、次の関係式が得ら
れる。
ｐ １ Ｘ ρ ２
ｍ、 ＋ｍ２
（ｍ、、ｍ２はガラスバブルおよび樹脂の重量）ここで
、ｐ２− １．４ｇ／ｃｒｌ、 ｐｏ −０，７ｇ／
ｃｄ。
、ｐ２− １．４ｇ／ｃｒｌ、 ｐｏ −０，７ｇ／
ｃｄ。
Ｗ −１７４とすると、ρ１ユ ０．３ｇ／ｃｏｔ以下
という値が求まる。
という値が求まる。
（作用）
このように樹脂中に比重が０．３ｇ／−以下のガラスバ
ブルを混入した材料によってバッキング材を構成するこ
とにより、音響インピーダンスが４．２Ｍｒａｙｌｓ以
下の通常の樹脂を用いて、超音波探触子の高感度化に要
求される音響インピーダンス２ Ｍｒａｙｌｓ程度以下
のバッキング材が得られる。
ブルを混入した材料によってバッキング材を構成するこ
とにより、音響インピーダンスが４．２Ｍｒａｙｌｓ以
下の通常の樹脂を用いて、超音波探触子の高感度化に要
求される音響インピーダンス２ Ｍｒａｙｌｓ程度以下
のバッキング材が得られる。
また、ガラスバブルをバッキング材中の超音波波長より
小さな直径とすると、超音波から見たガラスバブルは反
射体とならないので、これを均一に樹脂中に混入するこ
とで、バッキング材中での超音波の反射を防止しつつ超
音波探触子の特性均一化が達成される。
小さな直径とすると、超音波から見たガラスバブルは反
射体とならないので、これを均一に樹脂中に混入するこ
とで、バッキング材中での超音波の反射を防止しつつ超
音波探触子の特性均一化が達成される。
さらに、ガラスバブルの混入により樹脂のみからなるバ
ッキング材に比較して超音波の吸収減衰が増大し、硬度
も同等以上となる。これにより比較的吸収減衰が小さい
が硬度の大きい樹脂を用いることが可能となり、超音波
振動子を支持するのに十分な硬度が容易に得られる。
ッキング材に比較して超音波の吸収減衰が増大し、硬度
も同等以上となる。これにより比較的吸収減衰が小さい
が硬度の大きい樹脂を用いることが可能となり、超音波
振動子を支持するのに十分な硬度が容易に得られる。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する°。第１
図は本発明の一実施例に係るアレイ型超音波探触子の断
面図であり、第２図はガラスバブルを模式的に示す断面
図である。
図は本発明の一実施例に係るアレイ型超音波探触子の断
面図であり、第２図はガラスバブルを模式的に示す断面
図である。
第１図に示すアレイ型超音波探触子は、配列された複数
個の超音波振動子１の超音波送受波面側に音響マツチン
グ層２を設け、背面側、つまり超音波送受波面と反対側
の面をバッキング材３で支持した構造となっている。バ
ッキング材３は本発明に従い、樹脂４中にガラスバブル
５を混入した材料により作られている。このようなバッ
キング材３はガラスバブルと液状の樹脂を混合し、硬化
させることによって作ることができる。樹脂４は音響イ
ンピーダンスが４．２Ｍｒａ）’Ｉｓ以下の樹脂であり
、その種類はエポキシ系、ゴム系、ウレタン系、シリコ
ーン系などのいずれでもよい。
個の超音波振動子１の超音波送受波面側に音響マツチン
グ層２を設け、背面側、つまり超音波送受波面と反対側
の面をバッキング材３で支持した構造となっている。バ
ッキング材３は本発明に従い、樹脂４中にガラスバブル
５を混入した材料により作られている。このようなバッ
キング材３はガラスバブルと液状の樹脂を混合し、硬化
させることによって作ることができる。樹脂４は音響イ
ンピーダンスが４．２Ｍｒａ）’Ｉｓ以下の樹脂であり
、その種類はエポキシ系、ゴム系、ウレタン系、シリコ
ーン系などのいずれでもよい。
ガラスバブル５は、第２図に示すように中空のガラス球
６内に空気７が封入されたものであって、その直径はバ
ッキング材３中の超音波波長より小さく、また比重は０
．３ｇ／ｃＪ以下となっている。ここで、ガラスバブル
５の比重は、体積としてガラス球６内の容積も計算に入
れたものとなっている。
６内に空気７が封入されたものであって、その直径はバ
ッキング材３中の超音波波長より小さく、また比重は０
．３ｇ／ｃＪ以下となっている。ここで、ガラスバブル
５の比重は、体積としてガラス球６内の容積も計算に入
れたものとなっている。
第１表に、密度ｏ、２ｇ／ｃ＋＋？程度で直径２０〜１
００μｍ程度のガラスバブルを音響インピーダンス２．
４Ｍｒａｙｌｓ ｓ粘度９００ｃｐｓのエポキシ樹脂と
重量比１；５で混合し硬化させたバッキング材の音響特
性■と、樹脂のみからなるバッキング材の音響特性■と
を比較して示す。
００μｍ程度のガラスバブルを音響インピーダンス２．
４Ｍｒａｙｌｓ ｓ粘度９００ｃｐｓのエポキシ樹脂と
重量比１；５で混合し硬化させたバッキング材の音響特
性■と、樹脂のみからなるバッキング材の音響特性■と
を比較して示す。
第１表
ガラスバブルの密度が樹脂に比べ非常に小さいため、樹
脂の量が十分であればガラスバブルは浮力により樹脂の
上層において樹脂との混合層を均一に形成する。
脂の量が十分であればガラスバブルは浮力により樹脂の
上層において樹脂との混合層を均一に形成する。
このようにして得られたバッキング材を用いることによ
り、超音波振動子のパルスエコー感度を従来の樹脂のみ
からなるバッキング材（音響インピーダンス−６Ｍｒａ
ｙｌｓ）と比較して４ 、５ｄ１３以上向上させること
ができた。
り、超音波振動子のパルスエコー感度を従来の樹脂のみ
からなるバッキング材（音響インピーダンス−６Ｍｒａ
ｙｌｓ）と比較して４ 、５ｄ１３以上向上させること
ができた。
なお、上記実施例ではりニアアレイ型の超音波探触子の
場合について述べたが、単一振動子の超音波探触子や、
アニユラアレイ型など他のアレイ方式の超音波探触子に
おいてもバ・ツキング材を同様の材質とすることにより
同様の効果が得られることはいうまでもない。
場合について述べたが、単一振動子の超音波探触子や、
アニユラアレイ型など他のアレイ方式の超音波探触子に
おいてもバ・ツキング材を同様の材質とすることにより
同様の効果が得られることはいうまでもない。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば超音波探触子のバ
ッキング材として、音響インピーダンスが４．２Ｍｒａ
ｙｌｓ以下の樹脂中に、バッキング材中の超音波波長よ
り直径が小さく、比重が０．３ｇ／ｃｒＡ以下のガラス
バブルを混入した材料を用いることにより、従来の樹脂
のみからなるバッキング材に比べて音響インピーダンス
を小さくすることが可能となり、高感度化に必要な２．
０ＭｒＨｙｌｓ以下の音響インピーダンスを実現するこ
とができる。
ッキング材として、音響インピーダンスが４．２Ｍｒａ
ｙｌｓ以下の樹脂中に、バッキング材中の超音波波長よ
り直径が小さく、比重が０．３ｇ／ｃｒＡ以下のガラス
バブルを混入した材料を用いることにより、従来の樹脂
のみからなるバッキング材に比べて音響インピーダンス
を小さくすることが可能となり、高感度化に必要な２．
０ＭｒＨｙｌｓ以下の音響インピーダンスを実現するこ
とができる。
また、ガラスバブルの直径をバッキング材中の超音波波
長よりも小さくすることによって、バッキング材中での
超音波の反射が防止され、またこれを均一に樹脂中に混
入させることにより特性の均一化を図ることができる。
長よりも小さくすることによって、バッキング材中での
超音波の反射が防止され、またこれを均一に樹脂中に混
入させることにより特性の均一化を図ることができる。
さらに、ガラスバブルの混入によって樹脂のみからなる
バッキング材に比較して超音波の吸収減衰が増大し、硬
度も同等あるいはそれ以上となる。従って、比較的吸収
減衰が小さいが硬度の大きい樹脂を用いることが可能と
なり、超音波振動子を支持するのに十分な硬度を容易に
実現することができる。
バッキング材に比較して超音波の吸収減衰が増大し、硬
度も同等あるいはそれ以上となる。従って、比較的吸収
減衰が小さいが硬度の大きい樹脂を用いることが可能と
なり、超音波振動子を支持するのに十分な硬度を容易に
実現することができる。
第１図は本発明の一実施例に係る超音波探触子の構成を
模式的に示す断面図、第２図は第１図におけるガラスバ
ブルの構造を示す断面図である。 １・・・超音波振動子 ２・・・音響マツチング層 ３・・・バッキング材 ４・・・樹脂 ５・・・ガラスバブル ６・・・ガラス球 ７・・・空気
模式的に示す断面図、第２図は第１図におけるガラスバ
ブルの構造を示す断面図である。 １・・・超音波振動子 ２・・・音響マツチング層 ３・・・バッキング材 ４・・・樹脂 ５・・・ガラスバブル ６・・・ガラス球 ７・・・空気
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 超音波を送受する振動子と、この振動子の超音波送受
波面と反対側に設けられたバッキング材とを有する超音
波探触子において、 前記バッキング材は、音響インピーダンスが４．２Ｍｒ
ａｙｌｓ以下の樹脂中に、バッキング材中の超音波波長
より直径が小さく、比重が０．３ｇ／ｃｍ＾３以下のガ
ラスバブルを混入した材料により作られることを特徴と
する超音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08467990A JP3283035B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08467990A JP3283035B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 超音波探触子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03284100A true JPH03284100A (ja) | 1991-12-13 |
| JP3283035B2 JP3283035B2 (ja) | 2002-05-20 |
Family
ID=13837382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08467990A Expired - Fee Related JP3283035B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3283035B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012034160A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 超音波探触子用バッキング材、それを用いた超音波探触子、及び超音波医用画像診断装置 |
| WO2015152438A1 (ko) * | 2014-04-01 | 2015-10-08 | 알피니언메디칼시스템 주식회사 | 의료용 초음파 프로브 |
| JP2021141491A (ja) * | 2020-03-06 | 2021-09-16 | Tdk株式会社 | 圧電デバイス |
| CN117898765A (zh) * | 2023-12-27 | 2024-04-19 | 哈尔滨工业大学 | 应用于重症监护的可穿戴超声贴片及信号处理方法 |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP08467990A patent/JP3283035B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012034160A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 超音波探触子用バッキング材、それを用いた超音波探触子、及び超音波医用画像診断装置 |
| WO2015152438A1 (ko) * | 2014-04-01 | 2015-10-08 | 알피니언메디칼시스템 주식회사 | 의료용 초음파 프로브 |
| JP2021141491A (ja) * | 2020-03-06 | 2021-09-16 | Tdk株式会社 | 圧電デバイス |
| CN117898765A (zh) * | 2023-12-27 | 2024-04-19 | 哈尔滨工业大学 | 应用于重症监护的可穿戴超声贴片及信号处理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3283035B2 (ja) | 2002-05-20 |
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