JPH03285242A - 試料帯電防止機構付き電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子顕微鏡において、低加速された電子線が試
料に照射することによって試料の帯電防止ができ、絶縁
物試料等の像観察を容易にかつ精度よく行なうことを目
的とした装置に関する。

〔従来の技術〕

絶縁物試料を電子顕微鏡で観察する場合は、カーボン等
の導電性軽元素物質を真空蒸着してその帯電を防止して
いる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術では、蒸着物質により試料の微細構造が覆
われて真の試料のＩｌ！察ができないという問題があっ
た。

本発明の目的は、絶縁体または導電性の低い試料の場合
でも、容易にかつ精度よく像ｉ察ができる電子顕微鏡を
提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、電子顕微鏡の試料室に低加速電子銃を設け
ることにより達成される。低加速電子銃から試料に数百
Ｖのエネルギーをもつ電子線を照射することにより電荷
を拡散させ局部的な試料の帯電を防止する。

〔作用〕

低加速電子銃を設けることにより、絶縁物および導電性
の低い試料に帯電した電荷は数百ボルトの低加速電子銃
より発せられる低エネルギー電子線により拡散すること
により試料の局部的な帯電を防止するにれにより帯電に
よる像質の低下がなくなり、試料ｉ察を容易にかつ精度
よく行なうことができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する、１は
、電子顕微鏡の透過駐観察用の試料室を示す、試料室１
の上には、観察用の電子線２を試料３に収束するための
収束レンズ４が配置されている。試料室１の下には、試
料３の焦点合わせのための対物レンズ５が配置されてい
る。鏡体６にはＯリング７を介して低加速電子銃８が備
え付けられている。試料室１内の低加速電子銃８の端部
はウェネルト９が固定されており、その内部にガイシ１
０を介してフィラメント１１が固定されている。このフ
ィラメント１１から発生した低エネルギー電子線１２が
試料３上に照射するように低加速電子銃８の位置が定め
られている。フィラメント１１の各端子は、鏡体６外の
フィラメント加熱電源１３に接続されており、その一端
とウェネルト９がウェネルトバイアス電圧電源１５に接
続している。ウェネルトバイアス電圧電源１５のウェネ
ルト９側は加速電圧電源１４に接続している。

試料３は、低加速電子銃８下方の試料ホルダ−１６端部
にセットされ、試料ホルダー１６は、１１体６にＯリン
グ１７を介して試料室１内に挿入される。フィラメント
１１は、フィラメント加熱電源１３により加熱され、低
エネルギー電子線１２が発生する。この低エネルギー電
子線１２が効率よく試料３に注がれるようにウェネルト
バイアス電源１５によりウェネルト９にフィラメント１
１に対して負の電圧がかけられ低エネルギー電子線１２
を収束する。収束した低エネルギー電子線１２は加速電
圧電源１４により加速され試料３に到達する。低エネル
ギー電子線１２は、試料３に吸収された電子を拡散させ
、試料３外に放出させるよう作用する。これにより、試
料３の帯電を防止し、像質の低下を防ぎ、正確な観察が
可能である。

〔発明の効果〕

以上、詳述したように、本発明によれば、絶縁体および
導電性の低い試料に対して容易に観察ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すもので、電子顕微鏡試
料室の縦断面図である。 １・・・試料室、３・・・試料、４・・・収速レンズ、
５・・・対物レンズ、８・・・低加速電子銃、９・・・
ウェネルト、１１・・・フィラメント、１２・・・低エ
ネルギー電子線、１３・・・フィラメント加熱電源、１
４・・・加速電圧電源　１　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、透過像観察用試料室に、試料の帯電を防止するため
   の低加速電子銃を備えたことを特徴とする試料帯電防止
   機構付き電子顕微鏡。