JPH03287347A - アライメント方法並びにその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体ダイシングマシン、プロービングマシ
ン等のワークテーブルに適用されるアライメント方法並
びに装置に係り、特に複数の角度毎にパターンの位置を
マシンの基準位置に整合させるアライメント方法並びに
その装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体ダイシングマシン、プロービングマシン等は、ウ
ェハ表面の切断線と回転切断刃との位置合わせを精密に
行う必要がある。この為にウェハが載置されるワークテ
ーブルはウエノ＼毎にしかも、切断方向毎にアライメン
ト操作がなされる。

アライメント操作は、リファレンスデータの登録から始
まる。従来、リファレンスデータの登録は、チャンネル
１でパターンの登録を行う。次にワークテーブルをチャ
ンネル１からθ°回転させてチャンネル２にセットし、
チャンネル２でパターンを記憶する。

リファレンスデータの登録後のアライメントの実行は、
先ずチャンネル１でアライメントを行う。

即ち、前記したチャンネル１で記憶したパターンとウェ
ハ上の現画像パターンとを合致させるようにワークテー
ブルを動かしアライメント操作を行う。次にワークテー
ブルをチャンネル１からθ。

回転させてチャンネル２にセットし、アライメントを行
う。即ち、前記チャンネル２で記憶したパターンとウェ
ハ上のパターンとを合致させるようにワークテーブルを
動かし、チャンネル２でのアライメントを行う。これに
よりアライメント操作が終了する。

尚、ブロービングマシン等の場合には、チャンネル１の
みでアライメントを行う場合がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、ウェハのパターン形状はウエノ＼の品種
毎に異なるのでウエノ＼の品種が変わる毎に、新たなパ
ターン形状をリファレンスデータとして登録しなければ
ならないという問題がある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ウェ
ハの品種が変わっても新たにノくターン形状をリファレ
ンスデータとして登録せずに、ウェハをアライメントす
ることができるアライメント方法並びにその装置を提供
することを目的とする。

〔課題を解決する為の手段〕

本発明は、前記目的を達成する為に、表面にＩＣ等のパ
ターンを有するウエノ＼の一部を撮像記憶し、撮像記憶
されたパターンに基づいてウエノ＼を所望位置に位置合
わせするアライメント方法において、各ウェハの規定位
置に、規定形状のマークを設け、該マークを撮像記憶し
、予め記憶した前記マークと同一マークの位置と形状に
基づいてウェハの位置合わせをすることを特徴とする。

〔作用〕

本発明によれば、ウェハの規定位置に規定形状のマーク
を設けたので、マークの設けられた位置とマークの形状
を一回登録すれば、以後ウエノ＼の品種が変わっても新
たにウエノ＼のパターンの登録を行わずに、ウェハのア
ライメントを行うことができる。

〔実施例〕

以下、添付図面に従って本発明に係るアライメント方法
並びにその装置の好ましい実施例を詳説する。

第１図では本発明に係るアライメント装置の構成が示さ
れており、ワークテーブル１０上にはウェハ１２が吸着
載置される。ワークテーブル１０はＸ−Ｙ軸駆動機構１
４によりＸ−Ｙ方向に駆動され、また回転駆動機構１６
により所定角度θ。

回転されるようになっている。ワークテーブル１０の上
面は図示しないエア吸着機構が設けられ、これによりウ
ェハ１２はワークテーブル１０上に吸着され、回転砥石
１８によりウェハ１２の切断線に沿って切断される。ワ
ークテーブル１０上には顕微鏡２０が設けられ、この顕
微鏡２０は撮像部２２と接続されている。撮像部２２か
らの画像信号はＡ／Ｄ変換された後、切換器２４により
登録用フレームメモリ２８、現画像用フレームメモリ３
０に夫々送られるようになっている。また、登録用フレ
ームメモリ２８は比較器３４と接続されている。比較器
３４ではパターンマツチング処理がなされ、パターンマ
ツチング信号が出力される。比較器３４からの出力信号
はコントローラ３８に人力されるようになっている。ま
たコントローラ３８はキーボード等の入力手段を備えて
いる。

コントローラ３８はキーボード等の入力手段に基づいて
比較器３４からの信号に基づいてＸ軸方向制御、Ｙ軸方
向制御、回転方向制御等を行うことができる。

一方、ウェハ１２は第２図（Ａ）に示すように中央の位
置及びウェハ周縁から一定の距離が保たれた位置にマー
ク５２．５２・・・が設けられている。

マーク５２は第２図（Ｂ）に示すように外形が矩形状に
形成され、またその内部には十文字が形成された、コン
トラストが十分にある特定形状とする。このマーク５２
は十文字に限らず、コントラストが十分にあれば他の模
様が形成されたマークを使用してもよい。

また、パターンの大きさは位置合わせ装置に設けられて
いる光学系の倍率に基づいて設定される。

このマーク５２は全ての品種のウェハ１２の規定された
範囲内の位置に設けられている。そして、マーク５２か
らチップの境界の中心までの距離、マーク５２からチッ
プのボンディングバットまでの距離、マーク５２間の距
離、マーク５２の個数、各々のマーク５２の座標及びマ
ーク５２から特定チップまでの距離をパラメータとして
予め求めておく。このパラメータ及びマーク５２の形状
やマーク５２の位置に基づいてウェハ１２のアライメン
トが行われる。

以下マーク５２を異なる品種のウェハの規定された範囲
内の位置にマーキングする具体的な方法について述べる
。

第３図はマーク５２の外形とチップ５４の外形が同じ場
合のマーキング方法を示している。この場合ウェハ１２
のマーク５２がマーキングされている位置に相当する位
置のウェハ５６のチップ５４上のにマーク５２をマーキ
ングすればよい。

また第４図はチップ５８の外形がマーク５２の外形より
小さい場合のマーキング方法を示している。この場合ウ
ェハ１２のマーク５２がマーキングされている位置に相
当する位置のウェハ６０の数個のチップ５８上にマーク
５２をマーキングすればよい。

更に第５図はチップ６２の外形がマーク５２より大きい
場合のマーキング方法を示している。この場合ウェハ１
２のマーク５２がマーキングされている位置に相当する
位置のウェハ６４のチップ６２の角部にマーク５２をマ
ーキングすればよい。

このように、ウェハの品種が異なってもウェハの同一位
置に同一のマークを設けることができるので、マークの
登録を一回行えば品種の異なるウェハでも、新たにパタ
ーンの登録を行わずにアライメントを行うことができる
。

尚、前記実施例では５個のマーク５２をウェハ上に設け
たがこれに限らず、少なくとも２個所定の間隔を置いて
設けられていればよい。

次に、本発明に係るアライメント装置でマーキングされ
たウェハをアライメントする方法ついて第１図、第３図
に基づいて述べる。

■：先ず、アライメント装置の顕微鏡２ｏでワークテー
ブル１０上に載置されたマスタウェハ５６にマーキング
されているマーク５２．５２・・・の形状とマーキング
位置をリファレンスデータとして登録する。

■二次に加工用の新たなウェハ５６をワークテーブル１
０に載置し、新たなウェハ５６に設けられているマーク
５２のマーキング位置に顕微鏡２０を移動、してマーク
５２の画像データ又は信号データを現画像用フレームメ
モリ３ｏに取り込む。

取り込んだデータとリファレンスデータとを比較器３４
で比較しながらコントローラ３８でウェハ５６を移動さ
せ、リファレンスデータと新たなデータとが一致する位
置を捜してその時のウェハ５６の第１の位置を記憶する
。

■二次いで、顕微鏡２０を他のマーク５２のマーキング
位置まで移動してその位置において上述した方法を繰り
返し、登録データと新たなデータとが一致するウェハ１
２の第２の位置を記憶する。

■：そして、■で記憶した第１の位置と■で記憶した第
２の位置からアライメント装置の移動軸Ｘ−Ｙの平行が
合うようにウェハ５６を回転する。

■：以下■〜■の手順を必要な精度が出るまで繰り返し
て平行合わせを完了する。

■：■の平行合わせ完了後、予め登録されている位置座
標から規定されたパラメータに基づいてウェハ５６を移
動する。これにより、ウェハ１２のアライメントが完了
する。

尚、■〜■の動作は必要な場合Ｘ−Ｙ移動機構１４を９
０°回転した座標系でも行う。

〔発明の効果〕

本発明に係るアライメント方法並びにその装置によれば
、ウェハの規定位置に規定形状のマークを設けたのでウ
ェハの品種が変わる毎に新たにパターン形状等を登録せ
ずにウェハのアライメントを行うことができる。

また、マークの座標を検知することによってウェハ内の
個々のチップの位置決めを行うことができ、位置決め用
のＩＩ標データを使用した処理を容易にすることができ
るので、位置決めの誤認を大幅に減らすことができる。

【図面の簡単な説明】

′！Ｊ１図は本発明に係るアライメント置の概略構造を
示すブロック図、第２図（Ａ）は本願発明に係るアライ
メント方法並びにその装置をウェハにマーキングした状
態を示す平面図、第２図（Ｂ）は本発明に係るアライメ
ント方法並びにその装置の拡大図、第３図は本発明に係
るアライメント方法並びにその装置をターゲットの形状
と同一のチップ形状にマーキングした状態を示す平面図
、第４図は本発明に係るアライメント方法並びにその装
置をターゲットの形状より小さいチップ形状にマーキン
グした状態を示す平面図、第５図は本発明に係るアライ
メント方法並びにその装置の形状より大きいにチップ形
状マーキングした状態を示す平面図である。 １０・・・ワークテーブル、 １２．５６．６０．６４・・・ウェハ １４・・・Ｘ−Ｙ軸駆動機構、１６・・・回転駆動機構
、２０・・・顕微鏡、　２８・・・登録用フレームメモ
リ、３０・・・現画像用フレームメモリ、 ３４・・・比較器、　　３８・・・コントローラ、５２
・・・マーク、　　５４．５８．５２・・・チップ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）表面にＩＣ等のパターンを有するウェハの一部を
   撮像記憶し、撮像記憶されたパターンに基づいてウェハ
   を所望位置に位置合わせするアライメント方法において
   、 各ウェハの規定位置に、規定形状のマークを設け、該マ
   ークを撮像記憶し、予め記憶した前記マークと同一マー
   クの位置と形状に基づいてウェハの位置合わせをするこ
   とを特徴とするアライメント方法。
2. （２）Ｘ−Ｙ方向駆動機構並びに回転方向駆動機構を有
   するウェハ載置手段と、 ウェハ載置手段上のウェハの規定位置に設けられた規定
   形状のマークを撮像する撮像手段と、撮像手段で撮影し
   たマークを記憶する記憶手段と、 撮像手段からの現画像マーク信号が入力されると共に、
   現画像マークと予め記憶したマークとを比較しマークマ
   ッチング信号を出力するマッチング手段と、 マッチング手段の出力に基づき、載置手段を駆動し、ウ
   ェハを所望位置に位置合わせする駆動信号を出力する制
   御手段と、 から成ることを特徴とするアライメント装置。