JPH0329205B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0329205B2 JPH0329205B2 JP58248825A JP24882583A JPH0329205B2 JP H0329205 B2 JPH0329205 B2 JP H0329205B2 JP 58248825 A JP58248825 A JP 58248825A JP 24882583 A JP24882583 A JP 24882583A JP H0329205 B2 JPH0329205 B2 JP H0329205B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric vibrator
- piezoelectric
- ratio
- vibration
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、恒弾性金属で作られた振動基板と圧
電薄膜と振動電極とを有する拡がり振動モードの
圧電振動子に関する。
電薄膜と振動電極とを有する拡がり振動モードの
圧電振動子に関する。
従来、この種の圧電振動子の圧電振動子は正方
形または円形に形成されるのが通例である。しか
し、この場合、振動周波数Foと圧電振動子の拡
がり振動方向の１辺または直径の長さL1との関
係は、 ただし、定数C11＝１−δ／（１−2δ）（１＋δ）Ｅ
、 δ：ポアソン比、 Ｅ：ヤング率、 ρ：密度、 L1：周波数設定用対向端縁間の距離、 である。したがつて、周波数が高くなるにつれ圧
電振動子の形状が小型化し、製造工程などにおい
て取り扱いにくくなる欠点がある。
形または円形に形成されるのが通例である。しか
し、この場合、振動周波数Foと圧電振動子の拡
がり振動方向の１辺または直径の長さL1との関
係は、 ただし、定数C11＝１−δ／（１−2δ）（１＋δ）Ｅ
、 δ：ポアソン比、 Ｅ：ヤング率、 ρ：密度、 L1：周波数設定用対向端縁間の距離、 である。したがつて、周波数が高くなるにつれ圧
電振動子の形状が小型化し、製造工程などにおい
て取り扱いにくくなる欠点がある。
本発明は、上述に鑑み、圧電振動子の形状が製
造工程などにおいて取り扱いやすく、また支持が
やりやすい適度な大きさの圧電振動子を提供する
ことを目的とする。
造工程などにおいて取り扱いやすく、また支持が
やりやすい適度な大きさの圧電振動子を提供する
ことを目的とする。
本発明は、前記の目的のために、恒弾性金属で
作られた振動基板と圧電薄膜と振動電極とを有す
る拡がり振動モードの圧電振動子において、前記
圧電振動子が短辺が拡がり振動する長方形に形成
し、その長辺の短辺に対する比を該圧電振動子の
容量比がその特性線の極小点またはその近傍とな
るように設定する。
作られた振動基板と圧電薄膜と振動電極とを有す
る拡がり振動モードの圧電振動子において、前記
圧電振動子が短辺が拡がり振動する長方形に形成
し、その長辺の短辺に対する比を該圧電振動子の
容量比がその特性線の極小点またはその近傍とな
るように設定する。
以下、本発明を図示の実施例に基づき詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例に係る圧電共振子を
示す斜視図である。この図において、１は圧電振
動子であり、この圧電振動子１はエリンバーから
なる振動基板２の一面にZn0などよりなる圧電薄
膜３をスパツタリングなどの手法により形成し、
さらに振動電極膜４を蒸着などの手法により圧電
薄膜３に重ねて形成させてなる。前記圧電振動子
１は、長方形状に形成され、その短辺の拡がり振
動が利用される。第３図はこの圧電振動子１の等
価回路図である。この図において、L0は共振コ
イル、R0は直列抵抗、C0は直列容量、CDは並列
容量である。振動特性は、この並列容量CDの直
列容量C0に対する比、すなわち容量比γ（＝CD／
C0）が小さい方が振動特性がよい。
示す斜視図である。この図において、１は圧電振
動子であり、この圧電振動子１はエリンバーから
なる振動基板２の一面にZn0などよりなる圧電薄
膜３をスパツタリングなどの手法により形成し、
さらに振動電極膜４を蒸着などの手法により圧電
薄膜３に重ねて形成させてなる。前記圧電振動子
１は、長方形状に形成され、その短辺の拡がり振
動が利用される。第３図はこの圧電振動子１の等
価回路図である。この図において、L0は共振コ
イル、R0は直列抵抗、C0は直列容量、CDは並列
容量である。振動特性は、この並列容量CDの直
列容量C0に対する比、すなわち容量比γ（＝CD／
C0）が小さい方が振動特性がよい。
ところで、この圧電振動子１の短辺の長さL1
に対する長辺の長さL2を変化させると、前記容
量比γ（＝CD／C0）はたとえば第３図に示すよう
に変化する。すなわち、γ（＝CD／C0）が極小と
なる点が図には４つ有り、L2／L1を各極小点ま
たはその近傍の値に設定すれば振動特性が比較的
良好になる。ちなみに、この実施例では、L2／
L1が2.5〜3.0、3.6〜4.6、5.0〜5.5、6.25〜7.25の
範囲が上述の振動特性が比較的良好な範囲とい
え、振動特性がこれらの範囲よりも良好になる
L2／L1＝１〜1.75の範囲もまた、それらの範囲と
同様に考えられる。
に対する長辺の長さL2を変化させると、前記容
量比γ（＝CD／C0）はたとえば第３図に示すよう
に変化する。すなわち、γ（＝CD／C0）が極小と
なる点が図には４つ有り、L2／L1を各極小点ま
たはその近傍の値に設定すれば振動特性が比較的
良好になる。ちなみに、この実施例では、L2／
L1が2.5〜3.0、3.6〜4.6、5.0〜5.5、6.25〜7.25の
範囲が上述の振動特性が比較的良好な範囲とい
え、振動特性がこれらの範囲よりも良好になる
L2／L1＝１〜1.75の範囲もまた、それらの範囲と
同様に考えられる。
また、第４図に示すように、この範囲では、共
振周波数と反共振周波数との偏差△Ｆが大きくな
つており、このことからも振動特性が比較的良好
になつていることがわかる。
振周波数と反共振周波数との偏差△Ｆが大きくな
つており、このことからも振動特性が比較的良好
になつていることがわかる。
以上説明したように、本発明に係る圧電振動子
は、上述のように、長方形の圧電振動子の長辺の
短辺に対する比を該圧電振動子の容量比がその特
性線の極小点またはその近傍となるように設定す
るので、正方形や円形に形成された従来品に比べ
ると、使用する拡がり振動方向と直角の方向に大
きくなり、製造工程などにおいて取り扱い易くな
る。また、圧電振動子が大型化されるので、それ
を基板と一体形成した枠内に支持させる場合にそ
の支持点とノード点とを合わせやすくなる。
は、上述のように、長方形の圧電振動子の長辺の
短辺に対する比を該圧電振動子の容量比がその特
性線の極小点またはその近傍となるように設定す
るので、正方形や円形に形成された従来品に比べ
ると、使用する拡がり振動方向と直角の方向に大
きくなり、製造工程などにおいて取り扱い易くな
る。また、圧電振動子が大型化されるので、それ
を基板と一体形成した枠内に支持させる場合にそ
の支持点とノード点とを合わせやすくなる。
第１図本発明の一実施例の斜視図、第２図はそ
の等価回路図、第３図はその長短辺長比と容量比
との関係図、第４図はその長短辺長比と△Ｆとの
関係図である。 １……圧電振動子、２……振動基板、３……圧
電薄膜。
の等価回路図、第３図はその長短辺長比と容量比
との関係図、第４図はその長短辺長比と△Ｆとの
関係図である。 １……圧電振動子、２……振動基板、３……圧
電薄膜。
Claims (1)
- １ 恒弾性金属で作られた振動基板と圧電薄膜と
振動電極膜とを有する拡がり振動モードの圧電振
動子において、前記圧電振動子を短辺が拡がり振
動する長方形に形成し、その長辺の短辺に対する
比を該圧電振動子の容量比がその特性線の極小点
またはその近傍となるように設定してなる圧電振
動子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248825A JPS60137115A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 圧電振動子 |
| US06/682,165 US4562372A (en) | 1983-12-26 | 1984-12-17 | Piezoelectric vibrating element having a rectangular configuration |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248825A JPS60137115A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60137115A JPS60137115A (ja) | 1985-07-20 |
| JPH0329205B2 true JPH0329205B2 (ja) | 1991-04-23 |
Family
ID=17183977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58248825A Granted JPS60137115A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 圧電振動子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4562372A (ja) |
| JP (1) | JPS60137115A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4713572A (en) * | 1986-06-06 | 1987-12-15 | Accuray Corporation | Ultrasonic transducers for on-line applications |
| DE4322144C2 (de) * | 1992-07-03 | 1997-06-05 | Murata Manufacturing Co | Vibratoreinheit |
| DE4419085C2 (de) * | 1993-05-31 | 1999-09-02 | Murata Manufacturing Co | Chipförmiger Baustein mit piezoelektrischer Resonanz |
| US5621263A (en) * | 1993-08-09 | 1997-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonance component |
| CN1064490C (zh) * | 1993-08-17 | 2001-04-11 | 株式会社村田制作所 | 梯形滤波器 |
| US5648746A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked diezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| JP3114526B2 (ja) * | 1994-10-17 | 2000-12-04 | 株式会社村田製作所 | チップ型圧電共振部品 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3209176A (en) * | 1961-06-16 | 1965-09-28 | Bosch Arma Corp | Piezoelectric vibration transducer |
| US3634787A (en) * | 1968-01-23 | 1972-01-11 | Westinghouse Electric Corp | Electromechanical tuning apparatus particularly for microelectronic components |
| US4137511A (en) * | 1977-09-13 | 1979-01-30 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Electromechanical filter and resonator |
| JPS58119218A (ja) * | 1982-01-07 | 1983-07-15 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動装置 |
-
1983
- 1983-12-26 JP JP58248825A patent/JPS60137115A/ja active Granted
-
1984
- 1984-12-17 US US06/682,165 patent/US4562372A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60137115A (ja) | 1985-07-20 |
| US4562372A (en) | 1985-12-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |