JPH03293786A - ホロー陰極型金属蒸気レーザー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明ホロー陰極型金属蒸気レーザーを以下の項目に従
って詳細に説明する。

Ａ、産業上の利用分野 Ｂ９発明の概要 Ｃ９従来技術 り１発明が解決しようとする課題 Ｅ　課題を解決するための手段 Ｆ　実施例［第１図乃至第１０図］ ａ、カラス主管 ａ−１，中央管部 ａ−１−イ　陽極 ａ−１−口、陰極ビン ａ−１−ハ、金属溜 ａ−１−二、連結フランジ ａ−１−ホ、その他 ａ−２，端管部 ｂ　ホロー陰極 Ｃ，ブリュースター窓保護部 ｄ、ホロー陰極の保持 ｅ、ヘリウムガス供給装置 ｆ、ゲッター ｇ、動作 り１作用 ｉ、変形例［第１１図］ Ｇ１発明の効果 （Ａ、産業上の利用分野） 本発明は新規なホロー陰極型金属蒸気レーザーに関する
。詳しくは、ガラス主管に対するホロー陰極の支持手段
を工夫することにより、ガラス主管に固定された電極等
とホロー陰極との間の位置関係が余り狂うことがないよ
うにすると共に、ガラス主管とホロー陰極との間の熱膨
張係数の差による両者の熱膨張量の差を吸収してガラス
主管が破損することがないようにした新規なホロー陰極
型金属蒸気レーザーを提供しようとするものである。

（Ｂ、発明の概要） 本発明ホーロー陰極型金属蒸気レーザーは、ガラス主管
内にホロー陰極を挿入し、ガラス主管内の両端寄りの位
置に配置された弾発手段をホロー陰極の両端に弾接させ
てホロー陰極をガラス主管内に保持するようにして、ガ
ラス主管とホロー陰極との間の熱膨張量の差によってガ
ラス主管に過度のストレスが加わらないようにし、かつ
、ホロー陰極のガラス主管に対する相対的な伸びはその
両端に略等分に現われ、従って、ガラス主管に固定され
た電極等とホロー陰極の間の位置関係が殆ど狂うことが
ない。

（Ｃ，従来技術） ホロー陰極を用い負グロー放電を利用してレーザー光を
発生させるホロー陰極型金属蒸気レーザーが知られてい
るが、このようなホロー陰極型金属蒸気レーザーにあっ
ては、陽極等が設けられたガラス主管内にホロー陰極が
挿入され、該ホロー陰極がガラス主管に保持された陰極
ピンと接続さね、また、ホロー陰極の陽極等に対応した
箇所には孔が形成されている。

（Ｄ、発明が解決しようとする課題） ところで、上記した如きホロー陰極型金属蒸気レーザー
にあっては、ホロー陰極のガラス主管に対する位置がぎ
ちんと規制されていないと、ホロー陰極とガラス主管に
設けられた陽極等との間の位置関係に狂いが生じ、正常
なレーザー発振が得られなくなるという問題がある。か
と云って、ホロー陰極とガラス主管とを固定関係にして
おくと、両者の熱膨張係数の間に大きな差があるため、
動作時の高温により、ホロー陰極とガラス主管との間に
熱膨張量に大きな差が生じ、それが、ガラス主管に極度
のストレスとして加わり、このようなことを繰り返すこ
とにより、ガラス主管にひびや割れが生じてしまうこと
があるという問題がある。

また、運搬等の取扱中にホロー陰極の軸方向に大きな重
力が加わった場合、ガラス主管に対して移動しようとす
るホロー陰極によってガラス主管か局部的なストレスを
受は破損してしまうという惧れもある。

（Ｅ、課題を解決するための手段） 本発明ホロー陰極型金属蒸気レーザーは、上記した課題
を解決するために、ガラス主管内にホロー陰極を挿入し
、ガラス主管内の両端寄りの位置に配置された弾発手段
をホロー陰極の両端に弾接させてホロー陰極をガラス主
管内に保持したものである。

従って、本発明ホロー陰極型金属蒸気レーザーにあって
は、ガラス主管とホロー陰極との間には互いに固定され
た部分がないため、両者の熱膨張量の差は両者が相対的
に移動することによって吸収されるため、ガラス主管に
過度のストレスが加わることがなく、従って、ガラス主
管とホロー陰極との間の熱膨張係数の差に基づくガラス
主管の破損が回避される。また、ホロー陰極のガラス主
管に対する相対的な伸びはその両端に略等分に現われる
ので、ガラス主管に固定された電極等とホロー陰極との
間の位置関係が殆ど狂うことがない。更に、運搬等の取
扱中にホロー陰極の軸方向に大きな重力が加わった場合
には、それによってホロー陰極が穆動しようとする側に
ある弾発手段によってａＳされるため、ガラス主管に過
度のストレスが加わることが無い。

（Ｆ、実施例）［第１図乃至′ＴＳ１０図］以下に、本
発明ホロー陰極型金属蒸気レーザーの詳細を本発明をＨ
ｅ−Ｃｄイオンレーザ−に適用した図示実施例に従って
説明する。

図中１がＨｅ−Ｃｄイオンレーザ−であり、レーザー管
２とレーザー管２の両端に配置された共振手段（反射＊
’）３．３′とから成る。尚、これらレーザー管や共振
手段を支持する支持部材や筐体等が必要であるが、それ
らについては図示を省略しである。

レーザー管２はガラス主管とホロー陰極とガラス主管に
支持された陽極等から成る。

（ａ、ガラス主管） ４はガラス主管であり、略前後方向に細長い円管状をし
た中央管部５と該中央管部５の前後両端部に連結され前
後方向に細長い円管状をした端管部６．６′とから成る
。

（ａ−１，中央管部） 中央管部５はガラスで形成されており、これに陽極、陰
極ピン、金属溜等が設けられている。

（ａ−１−イ、陽極） ７．７、・・・は中央管部５の両端部及び両端部に近接
した部分を除いた部分に略等間隔に設けられた主陽極取
付部である。

各主陽極取付部７は短い円管状をしたガラス製の中間部
材８と略椀状をしたガラス製の閉塞部材９とから成り、
中間部材８の一端部が中央管部５に形成された孔１０の
開口縁部に溶着され、閉塞部材９の開口端部が中間部材
８の他端部に溶着されている。

１１．１１、・・・は上ｇ２主陽極取付部７．７、・・
・に各別に取着された主陽極であり、タングステンによ
りピン状に形成されている。

そして、各主陽極１１はタングステン封着ガラス１２を
介して閉塞部材９の中心部にこれを貫通した状態で封着
されている。

そして、このような主陽極１１．１１、・・・は図示し
ない制御回路の給電回路に接続されている。

１３．１３は中央管部５の両端寄りの位置に、そして、
上記主陽極取付部７．７、・・・列の両端から前後に相
隔った位置に設けられた補助陽極取付部であり、これら
補助陽極取付部１３．１３も中間部材８．８と閉塞部材
９．９とからなり、タングステンでピン状に形成された
補助陽極１４．１４がタングステン封着ガラス１２を介
して各補助陽極取付部１３．１３の閉塞部材９．９の中
心部にこれを貫通した状態で封着されている。

（ａ−１−口、陰極ピン） １５は陰極ピン取付部であり、中央管部５のうち陽極１
１．１１、・・・及び１３．１３が設けられた部分と反
対側で、かつ、−の補助＠極１３と主陽極１１．１１、
・・・列の一端部との間に対応した箇所に設けられ、一
端部か中央管部５に溶着された中間部材８と該中間部材
８の他端部に溶着された閉塞部材９とから成り、タング
ステンから成る陰極ピン１６かタングステン封着ガラス
１２を介して閉塞部材９の中心部にこれを貫通した状態
て封着されている。

（ａ−１−ハ、金属溜） １７．１７、・・・は金属イオン発生材料、即ち、本実
施例においてはＣｄ（カドミウム）イオンの発生材料で
あるＣｄを貯溜しておくための金属溜であり、各金属溜
１７は一端が閉塞された短目のガラス筒を中央管部５に
形成された孔１８の開口縁部に溶着して成り、これら金
属溜１７．１７、・・・内にはｃｄ塊１９．１９、・・
・が各別定封入されている。

尚、これら金属溜１７．１７、・・・は前記陽極１１．
１１、・・・　１３．１３群と反対側の位置に、そして
、中央管部５の中央部を除いて、主陽極１１．１１、・
・・の形成ピッチと略等しい形成ピッチで、かつ、半ピ
ツチずれた状態で形成されている。尚、中央部に金属溜
を設けても構わない。

（ａ−１−二、連結フランジ） ２０．２０は中央管部５の前後両端部に溶着された連結
フランジであり、非磁性金属、例えば、ステンレスで形
成されており、中央管部５の前後両端部に熱膨張係数を
適合させるためのいくつかの中間ガラスを介して各別に
溶着されている。

該連結フランジ２０．２０の周縁部には等間隔に挿通孔
２１．２１、・・・が形成され、また、外端面の内周縁
には環状に延びる切欠２２．２２が形成されている。

（ａ−１−ホ、その他） ２３．２３、・・・は主陽極取付部７．７、・・、金属
溜１７．１７、・・・及び陰極ビン取付部１５の各外周
面に巻装されたヒーター線であり、図示しない制御回路
に接続されている。

その他、中央管部５には）ｌｅ（ヘリウム）ガス供給装
置、ゲッター装置等が設けられるが、これらについては
後述する。

（ａ−２，端管部） 前後の端管部６．６′は前後対称の同じ構造を有してい
るので、その一方６について詳細に説明し、他方６′に
ついては一方における同様の部分に付した参照符号にｒ
′」を付した参照符号を図面に付して詳細な説明は省略
する。

端管部６はガラスで細長い管状に形成されており、その
一端は軸線に釦してブリュースターの角度に斜切され、
該斜切端がそこに溶着されたブリニースター窓２４によ
って閉塞されている。

また、端管部６の他端には連結フランジ２５が溶着され
ている。

連結フランジ２５は筒状部２６と、該筒状部２６の一端
に連結され筒状部２６より小径な管状をした連結部２７
と筒状部２６の他端から外方へ突出したフランジ部２８
とから成る。そして、筒状部２６とフランジ部２８とは
非磁性体、例えば、ステンレスで形成され、連結部２７
は非磁性でかつ熱膨張係数が端管部６の材料ガラスの熱
膨張係数に近い金属、例えば、コバールにより形成され
、筒状部２６と連結部２７との間は溶着等により連結さ
れている。

そして、フランジ部２８の周縁部には等間隔にねし孔２
９．２９、・・・が形成されている。

端管部６の他端部と連結フランジ２５の連結部２７との
間は互いの熱膨張係数を適合させるために数種類の中間
ガラスを介して溶着されている。

しかして、端管部６の連結フランジ２５のフランジ部２
８と中央管部５の連結フランジ２０とが突き合わせられ
、連結フランジ２０の挿通孔２１．２１、・・・を挿通
された連結ねじ３０．３０、・・・かねし孔２９．２９
、・・・に螺合され、これによって中央管部５の一端部
に端管部６か連結され、同様にして、中央管部５の他端
にもう一つの端管部６′が連結されてガラス主管４が形
成される。

（ｂ、ホロー陰極） ３１はホロー陰極である。ホロー陰極３１は導電性を有
する材料で略円管状に形成されており、その中心孔か陰
極ポア３２とされるものである。

ホロー陰極３１の外径はガラス主管４の中央管部５の内
径より僅かに小さく形成され、中央管部５内に摺動可能
な状態で挿入される。

そして、ホロー陰極３１は中央管部５内に位置決めされ
た状態で、主陽極１１．１１、・・・及び金属溜１７．
１７、・・・に各別に対応した箇所にそれぞれ孔３３．
３３、・・・が形成されている。

ホロー陰極３１の前後両端部はその内径が他の部分に比
して稍大きくされた大径部３４．３４とされその奥端に
段差面３５．３５が形成されている。また、一方の大径
部３４にはその同方向における一箇所にその全長に亘る
切欠３６が形成されている。そして、ホロー陰極３１が
中央管部５内に位置決めされた状態で上記切欠３６の奥
端は上記陰極ピン取付部１５の中心線と略対応したとこ
ろに位置される。

（Ｃ、ブリュースター窓保護部） ３７．３７′はブリュースター窓保護部であり、上記連
結フランジ２５．２５′の筒状部２６．２６′内に設け
られている。２つのプリニースター窓保護部３７．３７
′は前後対称である他は同様の構造を有しているため、
その一方３７について詳細に説明し、他方３７′につい
ては一方３７におけると同様の部分に一方３７において
付した参照符号に「′」を付した参照符号を付すること
によって詳細な説明は省略する。

３８は３４１の隔壁板であり、筒状部２６の内径に略等
しい外径の円板状をしており、その周縁に環状の突条３
９が形成され、中心部には透孔４０が形成されており、
該透孔４０の内面はテーパ面にされている。

このような第１の隔壁板３８が筒状部２６の奥に内嵌さ
れる。このとき、透孔４０の小径側がブリュースター窓
２４側に位置する向きとされる。

４１は略円筒状をしたスペーサであり、その′外径は筒
状部２６の内径と略等しくされ、下側に全長に亘る切欠
４１ａが形成されている。

このようなスペーサ４１が筒状部２６内に内嵌される。

４２は第２の隔壁板である。該第２の隔壁板４２は筒状
部２６の内径に略等しい外径を有する円板状をしており
、その周縁に環状の突条４３が形成され、中心部には透
孔４４が形成されており、該透孔４４の内面はテーパ面
にされている。

このような第２の隔壁板４２がスペーサ４１の次に筒状
部２６内に内嵌される。このとき透孔４４の大径側が第
１の隔壁板３８側に位置する向きとされる。

これによって、両端に隔壁板３８．４２が位置し、これ
ら隔壁板３８．４２の間の間隔がスペーサ４１によって
規定された空間４５が形成され、該空間４５の下端に切
欠４１ａが位置する。

そして、上記第１．　第２の隔壁板３８．４２及びスペ
ーサ４１は共に非磁性金属で形成されている。

４６は栓球てあり、磁性金属により球状に形成されてい
る。該栓球４６の直径は隔壁板３８．４２に設けられた
透孔４０．４４の小径側の孔径より大きくされている。

そして、かかる栓球４６は上記空間４５内に配置され、
通常は該空間４５内の下側、即ち、切欠４１ａ内に位置
していて透孔４０と透孔４４とを結ぶ領域を遮ることの
ない位置にあるようにされている。

尚、４７は金属ガスケットであり、例えは、無酸素銅の
ような比較的可望性の高い金属材料で円環状に形成され
ている。

そして、該金属ガスケット４７か連結フランジ２０の切
欠２２と第２の隔壁板４２との間に位置された状態で連
結フランジ２０と２５とが連結ねし３０．３０、・・・
て締結され、このときに、金属カスケラト４７が塑性変
形して、中央管部５と端管部６との間の気密が保たれる
ことになる。

（ｄ　ホロー陰極の保持） ４８．４８′はスペーサ管であり、ガラスで形成されて
おり、その外径は上記中央管部５の内径より稍小さくさ
れており、一方の端部は小径部４９．４９′とされてい
る。このようなスペーサ管４８．４８′は中央管部５の
前後両端部に挿入され、その小径部４９．４９′がホロ
ー陰極３１の大径部３４．３４内に内嵌されその端面が
ホロー陰ＶＪ３１の段差面３５に当接される。

５０．５０′はコイルスプリングであり、一端が上記ス
ペーサ管４８．４８′の反小径部４９．４９′側端に弾
接し、他端が上記金属ガスケット４７．４７′弾接され
ている。

従って、ホロー陰極３１はガラス主管４内においてその
両端が弾発的に支持され、これによって、ガラス主管４
内におけるその位置が規定される。

５１は可撓性のある導電性金属薄板、例えば、ニッケル
の薄板から成る接続片であり、その一端が前記陰極ピン
１６に溶接され、他端がホロー陰極３１の一端に形成さ
れた切欠３６の奥端面に導電性を有するビン５２によっ
て固定されている。

（ｅ、ヘリウムガス供給装置） ５３はバッファガス、Ｈｅ−Ｃｄレーザーの場合は、ヘ
リウム（Ｈｅ）ガスの供給装置である。

５４は外管で、Ｈｅガスを通し難い材料、例えば、ホウ
硅酸ガラスで形成されている。そして、この外管５４は
開口５５を除いて密閉されている。

５６は外管５４内を仕切る隔壁であり、該隔壁５６によ
って、外管５４内がＨｅガス溜５７と前記開口５５に通
じる供給部５８とに仕切られている。

５９は隔壁５６の一部を管状にして形成されたヒーター
保持部６０に挿入されたセラミックヒータ−であり、６
１．６１は外管５４外へ導出されたセラミックヒータ−
５９の接続リード線である。そして、ヒーター保持部６
０は加熱されるとＨｅガスの透過率が高くなる材料、例
えば、石英ガラスで形成されており、また、Ｈｅガス溜
５７内には数１００ＴｏｒｒのＨｅガスが封入されてい
る。

６２はガラス製の連結バイブであり、その一端がガラス
主管４の中央管部５の後端寄りの位置に形成された孔６
３の開口縁部に溶着されている。

尚、上記スペーサ管４８′の上記孔６３に対応した部分
には孔６４が形成されている。

上記連結バイブロ２の他端部には接続部６２ａ、６２ｂ
が突設されている。

６５は両端部を除いた部分が蛇腹状に形成された金属製
の連結管であり、その一端部６５ａが上記ヘリウムガス
供給装置５３の開口５５と溶着され、他端部６５ｂが連
結バイブロ２の接続部６２ａと溶着され、これにより、
ヘリウムガス供給装置５３の供給部５８はガラス主管４
の内部と連通される。

６６は圧力センサーであり、例えば、ピエゾ抵抗素子を
用いた半導体圧力センサーが使用されており、その被検
ガス尋人部６６ａが上記連結バイブロ２の接続部６２ｂ
に溶着されている。

ホロー陰極型金属イオンレーザ−では、陰ｉ部及び活性
金属（例えばＣｄ）溜部を数１００℃という高温にする
。バッファガスとしてＨｅガスを用いる金属イオンレー
ザ−では、このＨｅガスがガラス主管４を透過して大気
中へ放散される。これは、Ｈｅ原子の大きさが小さいた
めガラスを透過してしまうからである。特に、石英ガラ
スの場合は、Ｈｅガスが透過し易い。また、温度が高く
なる程Ｈｅガスの透過量が多くなる。従って、上記した
ように、ガラス主管４、特に、中央管部５がホロー陰極
３１と同程度に熱せられるため、Ｈｅガスの透過量も多
くなり、レーザー管２の使用時間が増えると共にその中
に封入されたＨｅガスの量が減少してしまうことになる
。また、Ｈｅガスはレーザー管２の使用中、陰極材料そ
の他の材料に吸収されるものもあり、蒸気化したＣｄが
レーザー管２の冷えた部分て凝固する際にその中に収蔵
されたりして、レーサー管２内のＨｅガス圧が低下し、
レーザー発振の出力が低下し、遂にはレーザー発振をし
なくなることもある。

そこで、上記したような原因によるＨｅガスの減少を補
充するために、前記圧力センサー６６によってレーザー
管２内のＨｅガス圧を検出し、Ｈｅガス圧が一定の圧力
（レーザー管２の中には通常数Ｔｏｒｒから数＋Ｔｏｒ
ｒの圧力のＨｅガスが入っている。）以下になったとき
に、図示しないＨｅガス圧力制御装置を通してセラミッ
クヒータ−５９に通電する。石英カラスは温度が高くな
ると急激にＨｅガスを透過するようになるため、石英ガ
ラスで形成されているヒーター保持部６０がセラミック
ヒータ−５９によフて熱せられ、Ｈｅガス溜５７内のＨ
ｅガスがヒーター保持部６０を供給部５８側へ透過し、
開口５５、連結管６５、連結バイブロ２、孔６３．６４
を通してレーザー管２内へと供給される。

（ｆ、ゲッター） ６７はゲッター装置であり、連結バイブロ８を介してガ
ラス主管４と接続されている。尚、連結バイブロ８が接
続される箇所には中央管部５及びスペーサ管４８に孔６
９、フ０が形成されている。

尚、７１．７１′はコイルスプリング５０．５０′とス
ペーサ管４８．４８′との間に挟着され環状に形成され
たゲッターである。

（ｇ、動作） そこで、主陽極１１．１１、・・・及び補助陽極１４．
１４とホロー陰極３１との間に所要の電圧を印加すると
、主陽極１１．１１、・・・とホーロー陰極３１との間
に負グロー放電が発生する。そして、この負グロー放電
の熱損とヒーター線２３．２３、・・・を加熱すること
によりＣｄ蒸気が発生し、これがＨｅイオンなどの励起
粒子によって高いエネルギー準位へと遷移され、レーザ
ー発振が開始する。

尚、陰極ボア３２の両端から出てブリュースター窓２４
．２４′の方へ向かおうとするＣｄ蒸気は補助陽極１４
．１４によって吹き返えされ、陰極ボア３２内へと戻さ
れる。

そして、上記したように、レーザー管２内のＨｅガス圧
が低下すると、ヘリウムガス供給装置５３からレーザー
管２内へＨｅガスが供給される。

尚、ブリュースター窓保護部３７．３７′はレーザー管
２の製造工程の途中においてブリニースター窓２４．２
４′を汚れから保護するものである。

即ち、ガラス主管４内は所定の雰囲気にされる必要かあ
るか、そのとき、例えは、連結バイブロ２及び／又は６
８の端部からガラス主管４内の排気を行なったとすると
、ガラス主管４内の気体等は当初加速されてブリュース
ター窓２４及び／又は２４′の方へ向って穆動するので
、Ｃｄの微粒子やその他のゴミや塵等がブリュースター
窓２４及び／又は２４′の方へ向って突進し、その慣性
により連結バイブロ２及び／又は６８の方へと曲がり切
れないものがブリュースター窓２４及び／又は２４′に
衝突しこれを汚す慣れがある。

そこで、ガラス主管４内の排気、ガス洗浄、ガス置換等
の処理を行なうときには、ブリュースター窓２４．２４
′側から第１の隔壁板３８．３８′に磁石７２．７２を
近づける。すると、磁性材料で形成されている栓球４６
．４６′が該磁石７２．７２に吸引されるため、第１０
図に示すように、隔壁板３８．３８′の透孔４０．４０
′を閉塞することになる。従って、上記したＣｄの塵等
はこの第１の隔壁板３８．３８′によってブリュースタ
ー窓２４．２４′への通路を遮断されることになる。こ
れらによってブリニースター窓２４．２４′か汚損され
ることがない。

そして、上記のような作業が終了したとぎは、磁石７２
．７２を遠去けることによって、栓球４６．４６′は切
欠４１ａ、４１′ａ内に戻り、レーザー発振を妨げない
ところに位置されることになる。

（ｈ、作用） そして、上記ホロー陰極型金属蒸気レーザー１にあって
は、ホロー陰極３１はガラス主管４に対して固定されて
いないため、ガラス主管４とホロー陰極３１との間の熱
膨張量に差が生じても、それによって、ガラス主管４に
無理な力が加わることがなく、ガラス主管４の破損を回
避することができる。

また、ホロー陰ｇｉ３１はその両端を弾発的に保持され
ているため、その熱膨張による伸びはその両端で略等分
に吸収されるので、ガラス主管４に設けられた主陽極１
１．１１、・・・や金属溜１７．１７、・・・等とホロ
ー陰極３１の孔３３．３３、・・・との間の位置ずれも
動作に支障を来すほどのものとはならない。

また、ホロー陰極３１と陰極ビン１６との間の接続は可
撓性を有する接続片５１を介して為されているため、ホ
ロー陰極３１のガラス主管４に対する動きが阻害される
こともない。

更に、運搬中等に大きな重力が加わってホロー陰極３１
をガラス主管４に対して移動させようとする力が加わっ
た場合でも、ホロー陰極３１がガラス主管４に対して移
動し、かつ、それが、コイルスプリング５０，５０’に
よって吸収されるため、ガラス主管４に無理なストレス
が加わることが無い。

（ｉ、変形例）［第１１図］ 第１１図は変形例を示すものである。

この変形例において、コイルスプリング５０（５０’も
同様だが図示は省略しである。）の他端が連結フランジ
２０．２５を挿通されて第２の隔壁板４２の周縁部に弾
接されている。

また、金属ガスケット４７は連結フランジ２５のフラン
ジ部２８と連結フランジ２０との突き合わせ面間に介挿
されている。

（Ｇ、発明の効果） 以上に記載したところから明らかなとおり、本発明ホロ
ー陰極型金属蒸気レーザーは、ホロー陰極を用い負グロ
ー放電を利用してレーザー光を発生させるホロー陰極型
金属蒸気レーザーにおいて、ガラス主管内にホロー陰極
を挿入し、ガラス主管内の両端寄りの位置に配置された
弾発手段をホロー陰極の両端に弾接させてホロー陰極を
ガラス主管内に保持したことを特徴とする。

従って、本発明ホロー陰極型金属蒸気レーザーにあって
は、ガラス主管とホロー陰極との間には互いに固定され
た部分がないため、両者の熱膨張量の差は両者が相対的
にわ動することによって吸収されるため、ガラス主管に
過度のストレスが加わることがなく、従って、ガラス主
管とホロー陰極との間の熱膨張係数の差に基づくガラス
主管の破損が回避される。また、ホロー陰極のガラス主
管に対する相対的な伸びはその両端に略等分に現われる
ので、ガラス主管に固定された電極等とホロー陰極との
間の位置関係が大きく狂うことがない。更に、運搬等の
取扱中にホロー陰極の軸方向に大きな重力が加わった場
合には、それによってホロー陰極が移動しようとする側
にある弾発手段によって緩衝されるため、ガラス主管に
過度のストレスが加わることが無い。

尚、上記実施例では、本発明をＨｅ−Ｃｄイオンレーザ
−に適用したものを示したが、本発明はこれに限らず、
他のホロー陰極型金属蒸気レーザーに適用することがで
きる。

また、その他の実施例で示した形状や構造は、本発明の
実施に当っての具体化のほんの一例を示したものにすぎ
ず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈
されるものではない。例えば、陽極や金属溜の数や位置
も適宜に定めれば良く、弾発手段やその支持も実施例に
示したもののみに限定されるものではないことは勿論で
ある。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明ホロー陰極型金属蒸気レーザーの実施の一
例を示すものて、第１図は一部切欠側面図、第２図は平
面図、第３図は第２図のＩＩＩ　−ＩＩＩ線に沿う拡大
断面図、第４図は第３図のｒＶ−ｒＶ線に沿う拡大断面
図、第５図は第１図のＶ−Ｖｐｐに沿う拡大断面図、第
６図は第３図のＶｌ−Ｖｌ線に沿う断面図、第７図は第
２図の■−■線に沿う拡大断面図、第８図はホロー陰極
保持部の拡大分解斜視図、第９図はブリュースター窓保
護部の拡大分解斜視図、第１０図はブリュースター窓保
護部の作用を説明する要部断面図、第１１図は変形例を
示す要部の断面図である。 符号の説明 １　・　・ ４　・　・ ３１　・ ５０． ５１　・ ・ホロー陰極型金属蒸気レーザー ・ガラス主管、　　１６・・・陰極ピン、・・ホロー陰
極、 ５０′・・・弾発手段、 ・・接続片 出 願　　人 株式会社小糸製作所 拡大断面図 第５図 （’ＴＩ−ＴＩＷｋ’） 力゛ラス主管 第 図 ５１・・・才妾欣片 拡大分解余羽見図 第８図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ホロー陰極を用い負グロー放電を利用してレーザ
   ー光を発生させるホロー陰極型金属蒸気レーザーにおい
   て、ガラス主管内にホロー陰極を挿入し、ガラス主管内
   の両端寄りの位置に配置された弾発手段をホロー陰極の
   両端に弾接させてホロー陰極をガラス主管内に保持した
   ことを特徴とするホロー陰極型金属蒸気レーザー
2. （２）ガラス主管の側壁に貫通保持された陰極ピンとホ
   ロー陰極との間を可撓性のある導電金属薄板から成る接
   続片で接続したことを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載のホロー陰極型金属蒸気レーザー