JPH03294155A

JPH03294155A - 移送動作手順生成装置

Info

Publication number: JPH03294155A
Application number: JP2091553A
Authority: JP
Inventors: Takahiro Ito; 高廣伊藤
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: NTT Inc
Priority date: 1990-04-06
Filing date: 1990-04-06
Publication date: 1991-12-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、移送動作手順生成装置に関し、特に、加工さ
れる部品と、部品加工装置と、部品を移送する移送機と
、該移送機を制御する制御装置とを備えた部品加工シス
テムにおいて、部品を移送させる移送動作手順を生成す
る移送動作手順生成装置に関するものである。

〔従来の技術〕

部品を移動させる移送機を含む部品移動システムの制御
ソフトウェアの開発において、移動・体の制御ソフトウ
ェアを作成する場合の概念は、従来。

制御を行う主体が全体を制御するコントローラにあり、
移動体はそれに従う形がほとんどであった。

これは、多数の移動体を唯一つのコントローラで制御す
る概念による制御ソフトウェアである９移動体が比較的
に少数である場合には、上述のような概念による方法で
特に問題はないが、移動体の数が増えたり、多様な移動
体が出現したりすると、コントローラの処理の能力が不
足する。このため、これに対応できるように更に能力の
高いコントローラに置き換えるか、主コントローラを補
助する機器（サブコントローラなど）も追加できるよう
に、システム全体を作り替えなければならない。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、上述のような部品移動システムにおいて、シ
ステム内の移動体の移動性能を向上させるには、移動体
を新しくすると同時に、コントローラの性能もそれに対
応できるよう向上する必要がある。すなわち、個々の移
動体の特徴や状態は、個々の移動体を表現するデータお
よびコントローラの手続きに分断されて管理され、一つ
の概念に関する特徴の変更や追加でも、プログラムの修
正箇所は複数に散らばり、容易に行えないという問題が
ある。

本発明は、前記問題点を解決するためになされたもので
ある。

本発明の目的は、モデルを用いて機器を制御する場合に
適用して好適な移送動作手順生成装置を提供することに
ある。

本発明の他の目的は１部品モデルを主体として移送手順
を生成することにより、システムの装置構成の変更２部
品移動手順の生成方法の変更にも容易に対処でき、制御
ソフトウェアの維持管理を容易とする移送動作手順生成
方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段）上記目的を達成するため１本発明による移送動作手順生
成装置は、加工される部品と、部品加工装置と、部品を
移送する移送機と、該移送機を制御する制御装置とを備
えた部品加工システムにおいて、制御装置が移送機を制
御し５部品を目標とする部品加工装置まで移動させる移
送機を制御する制御装置に与える移送動作手順を生成す
る移送動作手順生成装置であって９部品移動に対する指
示データの送受信を行う第１通信モジュールと、移送機
を制御する制御装置に対する制御データの送受信を行う
第２通信モジュールと、システムの各構成要素の状態を
表現する各要素モデルを生成し、各々の要素モデルの間
でデータ授受を行い。

各要素モデルの状態のデータを変化させ、変化した状態
のデータにより部品モデルの移動状態に対応して順次に
制御データを生成する手順生成手段とを備えることを特
徴とする。

また、移送動作手順生成方法では、システムの各構成要
素に対応して、要素の状態を示すデータと、要素の機能
を示す手続きと１通信プロセスとに複合体としてモデル
化した各要素モデルを生成し、移送される要素モデルの
各部品モデルが、他の要素モデルと間で通信を行い、あ
る時刻の状態のデータから次の時刻の状態のデータを順
次に求め、状態変化のデータを基にして、各部品モデル
自身が移送される制御データを順次に生成することを特
徴とする。

〔作用〕

これによれば、移送動作手順生成装置には、第１通信モ
ジュールと、第２通信モジュールと、移送動作手順の制
御データを生成する手順生成手段とが備えられる。第１
通信モジ、ニールが、部品移動に対する指示データを受
けて、手順生成手段に起動をかけると、手順生成手段は
、システムの各構成要素の状態を表現する各要素モデル
を生成し、各・！の要素モデルの間でデータ授受を行い
、各要素モデルの状態のデータを変化させ、変化した状
態のデータにより部品モデルの移動状態に対応して、制
御データを生成する。そして、第２通信モジュールを介
して、移送機を制御する制御装置に対して制御データの
送受信を行いながら、順次に次の制御データを求めて、
移送動作手順を生成する。

このように、システムの各構成要素に対応して、要素の
状態を示すデータと、要素の機能を示す手続きと１通信
プロセスとを複合体としてモデル化した各要素モデルを
生成し、移送される要素モデルの例えば各部品モデルが
、他の要素モデルの例えば装置モデル、保管庫モデルと
間で通信を行い。

ある時刻の状態のデータから次の時刻の状態のデータを
順次に求め、状態変化のデータを基にして。

部品モデルの移動状態に対応して、各部品モデル自身が
移送される制御データを順次に生成する。

これにより、移動体を主体として、システム内の各要素
モデルのデータを参照して、移送動作手順が生成される
ので、システムの構成要素の追加。

変更が生じた状況に対しても、対応し易い制御装置に対
する制御データの生成方法とすることができる。すなわ
ち、システムの他の部分に何等変更を加えることなく、
データ、手続き２通信プロセスを一体として備え機能を
表現する要素モデルを追加することにより、要素の追加
が行われる。これは、換言すれば、各移動体に付随する
かたちでコントローラが分散しており、各コントローラ
が通信しながら運行する形態をソフトウェアで実現する
ものであり、移動体を追加するにも他には特別な変更は
なく追加できる。

このような移送動作手順を生成するための要点は１次の
ようにまとめらる。すなわち。

（１）移送動作の制御に必要な構成要素に対する要素モ
デルを生成する。

（２）各要素モデルは、要素の状態を示すデータ。

機能を示す手続き２通信プロセスの各部から成る。

（３）要素モデルの部品モデルが主体となって。

部品モデル自体の移動の状態を追って、移送動作手順生
成を行う。

（４）このため、現実のｒもの」をモデルとしてそのま
ま表現しているで、制御データの論理構造およびアルゴ
リズムをわかりやすいプログラムとすることができる。

（５）システム構成の環境、移送機１部品などの変更に
容易に対処できる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体的に説明す
る。

第１図は、本発明の一実施例にかかる部品加工システム
の全体の構成を示すブロック図である。

第１図において、１はスケジュール生成計算機、２は装
置コントロール計算機、３はＬＳＩ製造装置Ａ、４はＬ
ＳＩ製造装置Ｂ、５はＬＳＩ製造装置Ｃ５６は移送機で
ある６また。７は移送手順生成コントローラ、８は動作
命令生成コントローラである。ここでの部品加工システ
ムはＬＳＩ製造システムである。スケジュール生成計算
機１がシステム全体の制御および管理を行い、装置コン
トロール計算機２が、ＬＳＩ製造装置Ａ、ＬＳＩ製造装
！！Ｂ、およびＬＳＩ製造装置ｔｃの各々の個別の制御
を行う。ＬＳＩ製造装置Ａ、ＬＳＩ製造装置Ｂ、および
ＬＳＩ製造装置Ｃは、被加工部品である半導体ウェハに
対して、各々のプロセスの加工を行う、ＬＳＩ製造装置
ｉＡ、ＬＳＩ製造装！Ｂ。

およびＬＳＩ製造製造装置間に移送機６が設けられてお
り、移送機６が各々のＬＳＩ１ｌ造装置の間で部品の半
導体ウェハの移送を行う、移送機６において行う部品の
移送は、その制御装置となっている動作命令生成コント
ローラ８による制御で行なわれる。動作命令生成コント
ローラ８は、移送手順生成コントローラ７により生成さ
れた移送手順が与えられて、移送手順に従って移送機６
を制御し、各々の部品の移送を行う。

この部品加工システムにおいては、移送機６によるＬＳ
Ｉウェハ搬送のサブシステムを例として説明するが、こ
のような搬送サブシステムは、ＬＳＩウェハ搬送に限っ
て用いられるものではなく、他の部品搬送にも同様に適
用することができる。

第２図は、移送手順生成コントローラの構成を示すブロ
ック図である。第２図において、１はスケジュール生成
計算機、２は装置コントロール計算機、６は移送機、７
は移送手順生成コントローラ、８は動作命令生成コント
ローラであるにれらは、第１図に示したものと同じもの
である。移送手順生成コントローラ７は、第２図に示す
ように、ユーザインターフェース７３２対動作命令生成
コントローラ通信モジュール７２．対地計算機通信モジ
ュール７１．システムモデル４０などの複数の各モジュ
ールから構成されており、各モジュールは、複数個のサ
ブモジュールから構成されている。移送手順生成コント
ローラ７では、これらの各モジュールが順次に動作して
、移送機６の制御装置である動作命令生成コントローラ
８に対する移送動作手順を生成する。

移送動作手順の生成の流れについて、第２図を参照して
、各々の段階毎に説明する。

（１）；移送スケジュールに基づくウェハモデルの作成スケジュール作成計算機ｌで作成された移送スケジュー
ルデータが移送手順生成コントローラ７に送出されてく
ると、移送手順生成コントローラ７では、対地計算機通
信モジュール７１が、この移送スケジュールデータを受
けて、システムモデル４ｏ用に抽出・変換して、ウェハ
モデル作成サブモジュール１１に与える。ウェハモデル
作成サブモジュール１１は、これをもとにウェハモデル
４４を作成する。ここでは、システム内の他の要素モデ
ルとして、保管庫モデル４１．ＬＳＩ製造装置モデル４
２などは予めシステムモデル４ｏのモジュール内に生成
されている。なお、この時、他の要素のモデルも同様に
して、モデル作成サブモジュール（図示せず）により生
成されるようにしても良い。

、ウェハモデル４４の具体的内容は後述するが、ウェハ
名、移送経路、現在位置、出発予定時刻。

ロフト名、カセット名などの状態のデータと、移送手順
作成の手続きと、通信プロセスとから構成されており、
実物の枚数と同じたけ作られる。ウェハモデル４４は、
それぞれの状態に応じて、例えば、カセットモデル４３
に格納され、また、カセットモデル４３は、状態に応じ
て更に保管庫のモデル４１に格納される。これらの内容
は、実際の半導体ウェハ、ウェハカセット、保管庫など
のシステム構成要素の現実の姿（第４図）に対応し。

そのシステム構成要素をそのまま反映している。

（２）；移送シーケンスの起動保管庫モデル４１では１時間管理サブモジュール（手続
き：以下、手続きともいう）１２により、出発予定時刻
になったウェハが保管庫内にあるか否かを一定時間間隔
で監視している。この監視により時間管理サブモジュー
ル１２が、ウェハモデル４４の状態のデータから出発予
定時刻のウェハモデル４４を検出すると、当該ウェハモ
デル４４に対して、移送を促すメツセージを送出する。

メツセージを受けたウェハモデル４４は、手続き（移送
先決定サブモジュール）１３において、自分の現在位置
と移送経路との状態のデータにより、次に行くべき移送
先のＬＳＩ製造装置モデル４２を求めて、求めたＬＳＩ
製造装置モデル４２のデータを出力する。

（３）；装置状態の問い合わせウェハモデル４２では、次に、状態間合せ手続き１４の
処理を行い、前の移送先の決定の手続き１３で求めた次
に行くべき移送先（ＬＳＩ製造装置モデル４２）に対し
、受入可能の状態となっているか否かの状態を問い合わ
せる間合せメツセージを送る。ウェハモデル４３から装
置状態問合わせのメツセージが装置モデル４２に送られ
、返事として装置状態メツセージが返される。

（４）；移送メツセージの送信ウェハモデル４２では、装置モデル４２から返された装
置状態メツセージを受けて、次に、移送メツセージ作成
手続き１５の処理を行う、返事の装置状態メツセージに
より受入可能状態と判定されれば、移送メツセージ作成
手続き１５の処理により移送メツセージを作成し、この
移送メツセージを対動作命令生成コントローラ通信モジ
ュール７２に送る。更に、対動作命令生成コントローラ
通信モジュール７２は、移送メツセー・ジを動作命令生
成コントローラ８に送る。これにより動作命令生成コン
トローラ８は、ウェハ主体とする移送コマンドを移送機
６の動作命令列に変換して送信し、移送機６を動かす、
このような動作より、実際に移送機６が移送対象の半導
体ウェハを保管庫のカセット内から次のＬＳＩ製造装置
へ移送させることになる。

（５）；モデル内データの書き換え移送機６の動作により、移送対象部品（半導体ウェハ）
の目標装置への移送が終了すると、移送機６から完了メ
ツセージが動作命令生成コントローラ８に送られ、動作
命令生成コントローラ８は更に、例えばＲ８２３２Ｃ回
線インタフェース信号のメツセージとして、対動作命令
生成コントローラ通信モジュール７２に送出する。対動
作命令生成コントローラ通信モジュール７２は、このメ
ツセージを受けて、システムモデル４０の各々の要素モ
デルの状態のデータに変換して、移送元の要素モデルへ
送られ、各々の要素モデルの状態のデータの更新を行う
１．ここでは、例えば保管庫モデル４１に送られ、保管
庫モデル４１では１位置変更手続き１６の処理を行って
、該当するウェハモデル４４に対する位置変更を行う、
これは、位置変更手続き１６の処理により、ＬＳＩ製造
装置モデル４２おけるデータ書換え手続き１７の処理を
行い、更にウェハモデル４４におけるデータ書換え手続
き１８の処理を行って、処理を終了する。

すなわち、位置変更手続き１６．データ書換え手続き１
７により、ここでの移送法のウェハモデル４４を保管庫
モデル４１内からＬＳＩ製造装置モデル４２内へ移した
状態とする状態データとし、更につ°エバモデル４４に
対してもメツセージを送り、ウェハモデル４４のデータ
書換え手続き１８の処理を行い、ウェハモデル４４の現
在位置の状態のデータが書き換えられる。

（６）；装置からの排出このようにして、移送機６により半導体ウェハが、所定
のＬＳＩ製造装置に移送され、当該ＬＳＩ製造装置での
処理が終わると、装置コントロール計算機２から完了メ
ツセージが、移送手順生成コントローラ７に送られてく
る。この完了メツセージは、スケジュール作成計算機１
からの移送のためのメツセージと同様にして、移送手順
生成コントローラ７では、対他計算機通信モジュール７
１が受けて、対他計算機通信モジュール７１では、処理
終了メツセージとして、ＬＳＩ製造装置モデル４２に送
られる。ＬＳＩ製造装置モデル４２では、ウェハ選択手
続き１９の処理により、自分の中に位置しているウェハ
モデルの中から次に運ぶべきウェハモデル４４を選び出
し５選んだウェハモデル４４に対して、移送のためのメ
ツセージを送る。ウェハモデル４４においては、移送の
メツセージを移送先決定手続き１３により受けて、移送
先を決定する。これ以降の処理は、保管庫モデル４１の
時間管理手続き１２から一定時間毎に移送のためのメツ
セージをウェハモデル４４に送った場合と同様である。

なお、移送手順生成コントローラ７は、ユーザ２０から
の指示を受け、状態を確認するためのユーザインタフェ
ース７３を有している。ユーザインタフェース７３を介
して、ユーザ２０は、ウェハの移送時間間隔等のシステ
ムモデルのパラメータを変更したり５システムモデル４
０の各部の状態（状態データ）を確認することができる
。

このように、移動体のモデル（この場合ウェハモデル）
自身が主体となって移送命令を生成するので、ここでの
部品加工システムにおいては各移動体は独立しており、
このため、移動体に関する変更はそのモデルのみを変更
すればよく、例えば移動体が最優先のもので他の条件に
左右されず移送できるものである場合は、装置状態の問
合せを行う状態間合せ手続き１４を省略できる。また。

この変更は移動体モデルの変更だけでよく、他のモデル
やメツセージ体系を変更する必要はない。

また、新たな移動体がシステムに追加された場合も、そ
のモデルをシステムに追加すれば他の部分の変更無しで
動かすことができる。

第３図は、システム内の要素モデルの構造および各要素
モデルの間の通信処理の関係を具体的に説明する図であ
る。この第３図では、システム内の要素モデルとして、
装・貢モデル（ＬＳＩ製造装置モデル）４２．ウェハモ
デル４４．移送機モデル４５を例として示している。

また、第４ａｐおよび第４ｂ図は、半導体ウェハをカセ
ットに収納して保管する保管庫の例を説明する保管庫装
置の平面図および正面図である。

第４ａ図および第４ｂ図に示すように、半導体ウェハ６
２は、カセット６１に収納され、半導体ウェハ６２を収
納したカセット６１が保管家本体６０に収納される。保
管庫本体に設けられているウェハ取出し機構により、所
定の半導体ウェハが取り出され、移送機によりＬＳＩ製
造装置に移送され、各の製造プロセスの作業工程が行な
われる。

このような現実の作業工程、加工工程などに対応して、
部品加工システム内の各々の要素がモデル化さ九て、要
素モデルが生成され、各々の要素モデルの状態のデータ
を変化させて１部品加工システムの制御を行う。

第３図１、−示すシステム内の要素モデルの装置モデル
４２．ウェハモデル４４．移送機モデル４５を例として
、各要素モデルの間で通信を行い、状態のデータを変化
させる処理の例を次に説明する。

このような処理は、第２回により説明した処理のと対応
している、各々の要素モデルは、第３図に示すように、各要素の状
態のデータ（４２ａ、４４ａ、４５ａ）と、各要素の状
態のデータを変化させ、また各要素の機能を表現する手
続き（４２ｂ、４４ｂ、４５ｂ）と−各要素の間の通信
を行う通信プロセス（４２ｃ、４４ｃ、４５ｃ）とから
構成されている。

移送スケジュールデー・夕３０がら起動指示によ１１、
ステップ３１で各装置へ状態更新メツセージを送られる
と、装置モデル４２の手続き４２ｂがメツセージを受け
てスタートし、ステップ３２において、各ウェハに状態
更新メツセージを送る。

ウェハモデル４４では、装置モデル４２からの状態更新
メツセージを受けると一つλハモデル４４の手続き４４
ｂがメツセージを受けてスタートし、ステップ３３にお
いて、次の装置が受は入れ可能か問合せを行う２そして
、次のステップ３５で、受は入れ可能か否かを判定する
。受は入れ可能でなければ、ステップ３５ａの待ち処理
を行い、ステップ３３からの処理を繰り返す。

一方、装置モデル４２では、ウェハモデル４４のステッ
プ３３からの受は入れ可能か否かの問合せを受けると、
ステップ３４において、状態データを読み出し、装置状
態を間合せを受けたウェハモデル４４に、装置状態を返
す。

これにより、ウェハモデル４４においてステップ３５の
判断ステップで、受は入れ可能と判断されると、次のス
テップ３６に進む。ステップ３６では、移送メツセージ
を作成し、移送機モデルに送信する。この移送メツセー
ジは、ウェハモデル４４が有している状態データのウェ
ハ名５０．移送経路５１．現在位置５２．出発予定時刻
５３゜ロット名５４．カセット名５５などから構成され
ており、移送するウェハモデルを特定し、たものとなっ
ている。

移送機モデル４５では、移送メツセージを受けると、手
続き４５しがメツセージを受けてン、タートし、ステッ
プ３７において、移送機を制御するための移送コマンド
を作成し、τ、動件命令生成コントローラに移送コマン
ドを送信するやそして、。

次に、移送機から動作命令生成コントローラを介して完
了メツセージを受けた後、ステップ３８において動作完
了通知の処理に行う２動作完了通知の処理では、移送機
モデル４５のデータ４５ａに対して、状態データの書換
えを行い、更に、動作完了の通知をウェハモデル４４に
対して行う。

これにより、ウェハモデル４４では、ステップ６９の状
態書き換えの処理を行い、ウェハモデル４４が有してい
る状態データのウェハ名５０．移送経路５１．呪在位置
５２．出発予定時刻５３゜ロット名５４．力セ・ノド名
５５などを更新するためのデータ書換えを行う、このようにして、ウェハモデル−４４におけるデータ４
４・上のつＥハロ５ｏ、移送経路５１．現在位＄１５２
　、ポ発Ｙ定時刻５３．ロント名５４．カセット名５５
など状態デ・〜夕を順次に更新する。

この状態データの更新は、実際の移送機６による半導体
ウェハの移動に対応（２ている。

以上２本発明を実施例にもとづき具体的に説明したが１
本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であること
は言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上、説明したように、本発明によれば、システム内の
各々の構成要素をモデル化して、各要素モデルを生成し
、各要素モデルの状態データの更新と共に、移送機の制
御を行う移送動作手順を生成する。これにより、要素モ
デルの状態データをみることにより、システム内の各部
の状態（状態データ）を確認することができる。

また、移動体のモデル（ウェハモデル）自身が主体とな
って移送命令を生成するため、システムにおいては各移
動体は独立したものとなり、移動体に関する変更はその
モデルのみを変更すればよい。この変更は移動体のモデ
ルの変更だけでよく、他のモデルやメツセージ体系を変
更する必要はない、したがって、新たな移動体がシステ
ムに追加された場合も、そのモデルをシステムに追加す
れば他の部分の変更無しで動かすことができる、

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例にかかる部品前ニジステム
の全体の構成を示すブロック図。第２図は、移送手順生成コントローラの構成を示すブロ
ック図、第：３図は、システム内の要素モデルの構造および各要
素モデルの間の通信処理の関係を具体的に説明する図。第４ａ図および第４ｂ図は、半導体ウェハをカセットに
収納して保管する保管庫の例を説明する保管庫の平面図
および正面図である。図中、１・・・スケジュール生成計算機、２・・・装置
コントロール計算機、３・・・ＬＳＩ製造装置Ａ、　４
・・・ＬＳＩ製造装置Ｂ、５・・・ＬＳＩ製造装置Ｃ，
６・・・移送機、７・・・移送手順生成コントローラ、
８・・・動作命令生成コントローラ、１１〜１９・・・
サブモジュール（手続き）、２０・・・ユーザ、４０・
・・システムモデル、４１保管原モデル、４２・・・Ｌ
ＳＩ製造装置モデル、４３・・・カセットモデル、４４
・・・ウェハモデル、４５・・・移送機モデル、６０・
・・保管庫本体、６１・・・カセット、６２・・・半導
体ウェハ、７１・・・対地計算機通信モジュール７１，
７２・・・対動作命令生成コントローラ通信モジュール
、７３・・・ユーザインターフェース。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）加工される部品と、部品加工装置と、部品を移送
する移送機と、該移送機を制御する制御装置とを備えた
部品加工システムにおいて、制御装置が移送機を制御し
、部品を目標とする部品加工装置まで移動させる移送機
を制御する制御装置に与える移送動作手順を生成する移
送動作手順生成装置であって、部品移動に対する指示デ
ータの送受信を行う第１通信モジュールと、移送機を制
御する制御装置に対する制御データの送受信を行う第２
通信モジュールと、システムの各構成要素の状態を表現
する各要素モデルを生成し、各々の要素モデルの間でデ
ータ授受を行い、各要素モデルの状態のデータを変化さ
せ、変化した状態のデータにより部品モデルの移動状態
に対応して順次に制御データを生成する手順生成手段と
を備えることを特徴とする移送動作手順生成装置。
（２）加工される部品は、半導体ウェハであり、部品加
工装置は、半導体集積回路製造装置であることを特徴と
する請求項１に記載の移送動作手順生成装置。
（３）第１通信モジュールは、部品加工のスケジュール
を行うスケジュール作成計算機および部品加工装置から
部品移動に対する指示データの送受信を行い、第２通信
モジュールは、移送機を制御する制御装置の動作命令生
成コントローラに対する制御データの送受信を行うこと
を特徴とする請求項１に記載の移送動作手順生成装置。
（４）システムの各構成要素の状態を表現する各要素モ
デルは、要素の状態を示すデータと、要素の機能を示す
手続きと、通信プロセスとを複合体としてモデル化した
要素モデルであることを特徴とする請求項１に記載の移
送動作手順生成装置。
（５）加工される部品と、部品加工装置と、部品を移送
する移送機と、該移送機を制御する制御装置とを備えた
部品加工システムにおいて、制御装置が移送機を制御し
、部品を目標とする部品加工装置まで移動させる移送機
を制御する制御装置に与える移送動作手順を生成する移
送動作手順生成方法であって、システムの各構成要素に
対応して、要素の状態を示すデータと、要素の機能を示
す手続きと、通信プロセスとを複合体としてモデル化し
た各要素モデルを生成し、移送される要素モデルの各部
品モデルが、他の要素モデルと間で通信を行い、ある時
刻の状態のデータから次の時刻の状態のデータを順次に
求め、状態変化のデータを基にして、各部品モデル自身
が移送される制御データを順次に生成することを特徴と
する移送動作手順生成方法。