JPH03296477A - 超音波洗浄槽 - Google Patents
超音波洗浄槽Info
- Publication number
- JPH03296477A JPH03296477A JP9976990A JP9976990A JPH03296477A JP H03296477 A JPH03296477 A JP H03296477A JP 9976990 A JP9976990 A JP 9976990A JP 9976990 A JP9976990 A JP 9976990A JP H03296477 A JPH03296477 A JP H03296477A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- tank
- cleaning tank
- cleaned
- cooling pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 title claims description 12
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 65
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 8
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 8
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 abstract 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 241000282412 Homo Species 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011086 high cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は洗浄液中で起こした超音波振動を利用して浸漬
した被洗浄物表面の清浄化を行う超音波洗浄槽に関する
ものである。
した被洗浄物表面の清浄化を行う超音波洗浄槽に関する
ものである。
例えば電子機器や精密機器等の製造における洗浄工程で
は各種機器の清浄化を行うために超音波洗浄槽がよく利
用されている。この洗浄槽には、各種有機溶剤等の洗浄
液を貯溜し、液中で起こした超音波振動によって発生す
るキャビテーション現象を利用して清浄力を高めて被洗
浄物表面の清浄化を行っている。
は各種機器の清浄化を行うために超音波洗浄槽がよく利
用されている。この洗浄槽には、各種有機溶剤等の洗浄
液を貯溜し、液中で起こした超音波振動によって発生す
るキャビテーション現象を利用して清浄力を高めて被洗
浄物表面の清浄化を行っている。
上記洗浄槽には、洗浄液中に被洗浄物を単に浸漬しただ
けのものや、液中で被洗浄物を上下動させる等して清浄
力を高めようとしたものがあるが、これら従来の洗浄槽
には以下（１）〜（ＩＶ）に述べる問題点又は要望があ
った。
けのものや、液中で被洗浄物を上下動させる等して清浄
力を高めようとしたものがあるが、これら従来の洗浄槽
には以下（１）〜（ＩＶ）に述べる問題点又は要望があ
った。
（１） 被洗浄物から遊離した微生物、油脂、切屑等
の不純物は表面に浮遊し、被洗浄物の液中からの引き上
げ時に被洗浄物に再付着して洗浄力の向上を著しく阻害
する。
の不純物は表面に浮遊し、被洗浄物の液中からの引き上
げ時に被洗浄物に再付着して洗浄力の向上を著しく阻害
する。
（ＩＩ） 洗浄槽に貯溜する洗浄液によっては直接加
熱すると発火する虞があるものがある。
熱すると発火する虞があるものがある。
（ＩＩＩ） 洗浄槽に貯溜する洗浄液は気化して槽外
に流出し易いが、洗浄液は人体に危険を及ぼすので槽外
への流出は極力抑えたい。
に流出し易いが、洗浄液は人体に危険を及ぼすので槽外
への流出は極力抑えたい。
（ＩＶ） 近年は、各種機器の小型、薄形、微細化に
伴って洗浄力の向上が強く要望されている。
伴って洗浄力の向上が強く要望されている。
本発明は洗浄力を著しく高めた超音波洗浄槽を提案した
もので、上記問題点を解決し、要望に応えるための技術
的手段は、噴流手段を接続した超音波振動源を収容し、
洗浄液を貯溜したオーバーフロー方式の洗浄槽と、前記
洗浄槽を囲繞し、加熱源を収容した加熱槽と、洗浄槽の
上方に配置した噴射手段と、噴射手段の上方に配置した
冷却管と、冷却管の上方に配置した排気ダクトとを組合
せ、上記洗浄槽内で被洗浄物を上下動させたことである
。
もので、上記問題点を解決し、要望に応えるための技術
的手段は、噴流手段を接続した超音波振動源を収容し、
洗浄液を貯溜したオーバーフロー方式の洗浄槽と、前記
洗浄槽を囲繞し、加熱源を収容した加熱槽と、洗浄槽の
上方に配置した噴射手段と、噴射手段の上方に配置した
冷却管と、冷却管の上方に配置した排気ダクトとを組合
せ、上記洗浄槽内で被洗浄物を上下動させたことである
。
上記洗浄槽で液表面に浮遊する破片等の不純物は洗浄槽
上部からオーバーフローする。従って、洗浄槽内の洗浄
液の清浄度は高く維持される。直接加熱すれば発火する
虞のある溶剤は、加熱槽により間接的に加熱できる。従
って、安全性が高くなる。被洗浄物の液中からの引き上
げ時に被洗浄物に再付着する切屑等の不純物を噴射手段
によって洗い落とせる０人体に悪影響を及ぼす気化した
洗浄液の大部分は冷却管により冷却されて液化し、洗浄
槽に再収容される。前記冷却管で液化されず、更に上昇
して槽外へ流出しようとする気化洗浄液は排気ダクトに
よって回収される。
上部からオーバーフローする。従って、洗浄槽内の洗浄
液の清浄度は高く維持される。直接加熱すれば発火する
虞のある溶剤は、加熱槽により間接的に加熱できる。従
って、安全性が高くなる。被洗浄物の液中からの引き上
げ時に被洗浄物に再付着する切屑等の不純物を噴射手段
によって洗い落とせる０人体に悪影響を及ぼす気化した
洗浄液の大部分は冷却管により冷却されて液化し、洗浄
槽に再収容される。前記冷却管で液化されず、更に上昇
して槽外へ流出しようとする気化洗浄液は排気ダクトに
よって回収される。
本発明に係る超音波洗浄槽の一実施例を第１図及び第２
図を参照して以下説明する。同図に示す超音波洗浄槽（
１）において、（２）は各種有機溶剤等の洗浄液（３）
が貯溜される洗浄槽で、上端部を鋸歯状とし、隣接する
鋸歯（２ａ） （２ａ）間の凹部（２ｂ）から槽内の
洗浄液（３）をオーバーフローさせる。このオーバーフ
ロー時に、液表面に浮遊する微生物、油脂、切屑等の不
純物が同時流出する。（４）は洗浄槽（２）内庭部に収
容された超音波振動源、（５）は超音波振動源（４）に
接続され、液中で超音波振動を起こしてキャビテーショ
ン現象を発生させながら液を流動させる噴流手段、（６
）は前記洗浄槽（２）を囲繞する箱型の加熱槽で、洗浄
槽（２）との間に被加熱流体（７）を貯溜し、底部に配
置した加熱源である加熱ヒータ（８）により被加熱流体
（７）を加熱することにより、洗浄槽（２）の洗浄液（
３）を間接的に加熱する。（９）は洗浄槽（２）の上方
に配置した噴射手段で、状配管（９ａ）のノズル（９ｂ
） （９ｂ）・・・から流体を噴射し、洗浄槽（２）
から引き上げられた被洗浄物に再付着した不純物を洗い
落とす。（１０）は噴射手段（９）の上方に配置したた
多重配管の冷却管で、気化した洗浄液を冷却して液化さ
せる。（１１）は冷却管（１０）の上方に配置した排気
ダクトで、枠管状本体（ｌｌａ）の内周面を多孔状とし
、一部に吸込管（１１ｂ ）を固着してあり、冷却管（
１０）を通り過ぎて更に上昇し槽外へ流出しようとする
気化した洗浄液を吸引して回収する。前記枠管状本体（
１１ａ ）の底部は吸込管（１１ｂ ）に向かって傾斜
させ、液化した洗浄液を吸込管（１１ｂ ”）に集まり
易いようにしである。
図を参照して以下説明する。同図に示す超音波洗浄槽（
１）において、（２）は各種有機溶剤等の洗浄液（３）
が貯溜される洗浄槽で、上端部を鋸歯状とし、隣接する
鋸歯（２ａ） （２ａ）間の凹部（２ｂ）から槽内の
洗浄液（３）をオーバーフローさせる。このオーバーフ
ロー時に、液表面に浮遊する微生物、油脂、切屑等の不
純物が同時流出する。（４）は洗浄槽（２）内庭部に収
容された超音波振動源、（５）は超音波振動源（４）に
接続され、液中で超音波振動を起こしてキャビテーショ
ン現象を発生させながら液を流動させる噴流手段、（６
）は前記洗浄槽（２）を囲繞する箱型の加熱槽で、洗浄
槽（２）との間に被加熱流体（７）を貯溜し、底部に配
置した加熱源である加熱ヒータ（８）により被加熱流体
（７）を加熱することにより、洗浄槽（２）の洗浄液（
３）を間接的に加熱する。（９）は洗浄槽（２）の上方
に配置した噴射手段で、状配管（９ａ）のノズル（９ｂ
） （９ｂ）・・・から流体を噴射し、洗浄槽（２）
から引き上げられた被洗浄物に再付着した不純物を洗い
落とす。（１０）は噴射手段（９）の上方に配置したた
多重配管の冷却管で、気化した洗浄液を冷却して液化さ
せる。（１１）は冷却管（１０）の上方に配置した排気
ダクトで、枠管状本体（ｌｌａ）の内周面を多孔状とし
、一部に吸込管（１１ｂ ）を固着してあり、冷却管（
１０）を通り過ぎて更に上昇し槽外へ流出しようとする
気化した洗浄液を吸引して回収する。前記枠管状本体（
１１ａ ）の底部は吸込管（１１ｂ ）に向かって傾斜
させ、液化した洗浄液を吸込管（１１ｂ ”）に集まり
易いようにしである。
上記構成の超音波洗浄槽（１）には、第２図に示すよう
に、被洗浄物（１２）を、ブラケット（１３）上に載置
して浸漬し、その状態で上下動させながら洗浄が行われ
る。この洗浄では、被洗物（ｔｔＪ”の上下動、噴流手
段（５）によるキャビテ・−ジョン現象並びに洗浄液の
流動によって被洗浄物（−ＩＴ） ”を均等に洗浄して
洗浄力を向上させている。洗浄時に遊離した不純物の内
液表面近くにあるものの大部分は加熱ＰＭ（６）にオー
バーフローするが、極く僅かながら不純物が液中或いは
液表面に残存しており、これらが被洗浄物（１２）の引
き上げ時に再付着することがある。しかし１、このよう
に再付着した不純物は噴射手段（９）によって完全に洗
い落とされるから高い洗浄力を維持できる。
に、被洗浄物（１２）を、ブラケット（１３）上に載置
して浸漬し、その状態で上下動させながら洗浄が行われ
る。この洗浄では、被洗物（ｔｔＪ”の上下動、噴流手
段（５）によるキャビテ・−ジョン現象並びに洗浄液の
流動によって被洗浄物（−ＩＴ） ”を均等に洗浄して
洗浄力を向上させている。洗浄時に遊離した不純物の内
液表面近くにあるものの大部分は加熱ＰＭ（６）にオー
バーフローするが、極く僅かながら不純物が液中或いは
液表面に残存しており、これらが被洗浄物（１２）の引
き上げ時に再付着することがある。しかし１、このよう
に再付着した不純物は噴射手段（９）によって完全に洗
い落とされるから高い洗浄力を維持できる。
本発明に係る超音波洗浄槽によれば、洗浄槽内での噴流
手段によるキャビテーション現象、並びに、洗浄液の流
動、被洗浄物の上下動によって洗浄力が著しく高められ
、しかもこの洗浄力は、被洗浄物を洗浄槽から引き上げ
ても噴射手段により維持される。また、洗浄液自体の発
火は起こらず、極めて安全性が高い、更に、気化した洗
浄液は槽外に流出するまでに完全に回収されるので、人
体に危険を及ぼさない。従って、著しく洗浄力を向上さ
せた安全性の高い超音波洗浄槽を提供できる。
手段によるキャビテーション現象、並びに、洗浄液の流
動、被洗浄物の上下動によって洗浄力が著しく高められ
、しかもこの洗浄力は、被洗浄物を洗浄槽から引き上げ
ても噴射手段により維持される。また、洗浄液自体の発
火は起こらず、極めて安全性が高い、更に、気化した洗
浄液は槽外に流出するまでに完全に回収されるので、人
体に危険を及ぼさない。従って、著しく洗浄力を向上さ
せた安全性の高い超音波洗浄槽を提供できる。
第１図は本発明に係る超音波洗浄槽の斜視図、第２図は
正断面図である。 （１）・−超音波洗浄槽、（２） −洗浄槽、（３）−
一一一洗浄液、 （４）−超音波振動源、（５）
−・噴流手段、 （６）−加熱槽、（８）−・加熱
源（加熱ヒータ）、 （９） −噴射手段、 （１０）−冷却管、（１１
）・・・排気ダクト、 （１２） −被洗浄物。 画面の浄書（内容に変！Ｅ＠Ｌ） 第１図 特 許 出 願 人 株式会社 羽田製作所Ｃ代
理 人 江 原 省 吾；平成 年２．初３０日
正断面図である。 （１）・−超音波洗浄槽、（２） −洗浄槽、（３）−
一一一洗浄液、 （４）−超音波振動源、（５）
−・噴流手段、 （６）−加熱槽、（８）−・加熱
源（加熱ヒータ）、 （９） −噴射手段、 （１０）−冷却管、（１１
）・・・排気ダクト、 （１２） −被洗浄物。 画面の浄書（内容に変！Ｅ＠Ｌ） 第１図 特 許 出 願 人 株式会社 羽田製作所Ｃ代
理 人 江 原 省 吾；平成 年２．初３０日
Claims (1)
- （１）流手段を接続した超音波振動源を収容し、洗浄液
を貯溜したオーバーフロー方式の洗浄槽と、前記洗浄槽
を囲繞し、加熱源を収容した加熱槽と、洗浄槽の上方に
配置した噴射手段と、噴射手段の上方に配置した冷却管
と、冷却管の上方に配置した排気ダクトとを組合せ、上
記洗浄槽内で被洗浄物を上下動させたことを特徴とする
超音波洗浄槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2099769A JPH0638950B2 (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 | 超音波洗浄槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2099769A JPH0638950B2 (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 | 超音波洗浄槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03296477A true JPH03296477A (ja) | 1991-12-27 |
| JPH0638950B2 JPH0638950B2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=14256179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2099769A Expired - Lifetime JPH0638950B2 (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 | 超音波洗浄槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638950B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06128776A (ja) * | 1992-10-14 | 1994-05-10 | Tousei Denki Kk | 金属部品などの洗滌方法および洗滌装置 |
| JP2009011268A (ja) * | 2007-07-06 | 2009-01-22 | Als Co Ltd | 食品処理装置 |
| CN112058769A (zh) * | 2020-09-21 | 2020-12-11 | 湖南金石新材料有限公司 | 一种用于真空泵零件的清洗装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5119623U (ja) * | 1974-07-29 | 1976-02-13 | ||
| JPS6425390U (ja) * | 1987-07-31 | 1989-02-13 | ||
| JPH0170328U (ja) * | 1987-10-27 | 1989-05-10 |
-
1990
- 1990-04-16 JP JP2099769A patent/JPH0638950B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5119623U (ja) * | 1974-07-29 | 1976-02-13 | ||
| JPS6425390U (ja) * | 1987-07-31 | 1989-02-13 | ||
| JPH0170328U (ja) * | 1987-10-27 | 1989-05-10 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06128776A (ja) * | 1992-10-14 | 1994-05-10 | Tousei Denki Kk | 金属部品などの洗滌方法および洗滌装置 |
| JP2009011268A (ja) * | 2007-07-06 | 2009-01-22 | Als Co Ltd | 食品処理装置 |
| CN112058769A (zh) * | 2020-09-21 | 2020-12-11 | 湖南金石新材料有限公司 | 一种用于真空泵零件的清洗装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0638950B2 (ja) | 1994-05-25 |
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