JPH0329927U - - Google Patents
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- JPH0329927U JPH0329927U JP9079689U JP9079689U JPH0329927U JP H0329927 U JPH0329927 U JP H0329927U JP 9079689 U JP9079689 U JP 9079689U JP 9079689 U JP9079689 U JP 9079689U JP H0329927 U JPH0329927 U JP H0329927U
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- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 16
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 7
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の側断面図、第２図
ａおよびｂはイオン化ガスによつてスペーサ粒子
に粒子間反発力が与えられる様子を模式的に示し
た図、第３図は従来のスペーサ散布装置を改良し
た先願装置の断面図、第４図は従来のスペーサ散
布装置の側断面図である。 １……スペーサ混合液噴射ノズル、３……スペ
ーサ混合液タンク、４……スペーサ混合液供給管
、６……圧縮ガス供給管、７……基板、８……ス
ペーサ混合液噴霧室、１０……基板固定台、１２
……基板固定台挿入口、１４……窒素ボンベ、１
５……イオン変換装置、１６……イオン化ガス噴
出器、２２……スペーサ粒子、２３……イオン化
ガス。
ａおよびｂはイオン化ガスによつてスペーサ粒子
に粒子間反発力が与えられる様子を模式的に示し
た図、第３図は従来のスペーサ散布装置を改良し
た先願装置の断面図、第４図は従来のスペーサ散
布装置の側断面図である。 １……スペーサ混合液噴射ノズル、３……スペ
ーサ混合液タンク、４……スペーサ混合液供給管
、６……圧縮ガス供給管、７……基板、８……ス
ペーサ混合液噴霧室、１０……基板固定台、１２
……基板固定台挿入口、１４……窒素ボンベ、１
５……イオン変換装置、１６……イオン化ガス噴
出器、２２……スペーサ粒子、２３……イオン化
ガス。
Claims (1)
- 側面に基板固定台挿入口を有するスペーサ混合
液噴霧室と、前記スペーサ混合液噴霧室の前記基
板固定台挿入口から挿入され前記スペーサ混合液
噴霧室の床面に配置される基板固定台と、前記ス
ペーサ混合液噴霧室の内部に取り付けられスペー
サ混合液を噴霧するスペーサ混合液噴射ノズルと
、前記スペーサ混合液噴霧室内へイオン化ガスを
噴出するイオン化ガス噴出装置とからなることを
特徴とするスペーサ散布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989090796U JPH082653Y2 (ja) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | スペーサ散布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989090796U JPH082653Y2 (ja) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | スペーサ散布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0329927U true JPH0329927U (ja) | 1991-03-25 |
| JPH082653Y2 JPH082653Y2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=31640309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989090796U Expired - Lifetime JPH082653Y2 (ja) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | スペーサ散布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH082653Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001221998A (ja) * | 1991-08-01 | 2001-08-17 | Seiko Epson Corp | 液晶表示素子及び電子機器 |
| JP2002358813A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-13 | Haru Corporation:Kk | 投影型照明装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5680515U (ja) * | 1979-11-26 | 1981-06-30 | ||
| JPS63231317A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネルの製造方法 |
| JPH01225919A (ja) * | 1988-03-07 | 1989-09-08 | Alps Electric Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
-
1989
- 1989-08-01 JP JP1989090796U patent/JPH082653Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5680515U (ja) * | 1979-11-26 | 1981-06-30 | ||
| JPS63231317A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネルの製造方法 |
| JPH01225919A (ja) * | 1988-03-07 | 1989-09-08 | Alps Electric Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001221998A (ja) * | 1991-08-01 | 2001-08-17 | Seiko Epson Corp | 液晶表示素子及び電子機器 |
| JP2002358813A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-13 | Haru Corporation:Kk | 投影型照明装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH082653Y2 (ja) | 1996-01-29 |
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