JPH0330101B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0330101B2 JPH0330101B2 JP55152905A JP15290580A JPH0330101B2 JP H0330101 B2 JPH0330101 B2 JP H0330101B2 JP 55152905 A JP55152905 A JP 55152905A JP 15290580 A JP15290580 A JP 15290580A JP H0330101 B2 JPH0330101 B2 JP H0330101B2
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- Japan
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- rays
- ray
- spectroscopic
- measured
- wavelength
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、従来、特定波長およびその整数倍
波長のみを取り出すために用いられてきたＸ線分
光結晶に微小回転振動を与えることによつて、分
光波長に一定の周期の変調をかけ、位相敏感検出
法によりＸ線回折、散乱、吸収等の測定を精度良
く行うことができるようにしたＸ線測定方法に関
するものである。
波長のみを取り出すために用いられてきたＸ線分
光結晶に微小回転振動を与えることによつて、分
光波長に一定の周期の変調をかけ、位相敏感検出
法によりＸ線回折、散乱、吸収等の測定を精度良
く行うことができるようにしたＸ線測定方法に関
するものである。
一般に結晶のブラツグ反射を利用した分光原理
は、連続波長（白色）Ｘ線の中から下記第(1)式を
満足するような特定の波長およびその整数倍波長
を選びだすことに基づいている。
は、連続波長（白色）Ｘ線の中から下記第(1)式を
満足するような特定の波長およびその整数倍波長
を選びだすことに基づいている。
2dok1・sinθp＝nλ ……(1)
ここに、θp：hk1反射のブラツグ角
dok1：hk1面の面間隔
λ：１次反射によるＸ線の波長
ここでさらに分光結晶を微小各δθだけ回転した
とすれば、波長変化は下記第(2)式で近似的に表す
ことができる。
とすれば、波長変化は下記第(2)式で近似的に表す
ことができる。
Δλ〜2dhk1cosθpsinδθ ……(2)
（δθ≪１であることを用いた）
もし、δθを各周波数ωで正弦関数的に動かすな
らば、δθに基づく波長変化はδθ≪１から、下記第
(3)式で表わすことができる。
らば、δθに基づく波長変化はδθ≪１から、下記第
(3)式で表わすことができる。
Δλ〜2dhk1Asin（ωt＋α） ……(3)
ここに、Ａ：δθの振幅
α：δθの位相
第(3)式から波長変化Δλが正弦関数で表わすこ
とができることを示している。
とができることを示している。
この発明は上記の原理に基づいてなされたもの
である。以下、この発明を図面を用いて説明す
る。
である。以下、この発明を図面を用いて説明す
る。
第１図はこの発明の一実施例における分光結晶
部を示したものである。この図で１はＸ線源、
２，２′は分光結晶で、回転台３上に取り付けら
れており、分光結晶２，２′の間隔をＤとする。
両結晶２，２′は分光系を構成しており、Ｘ線源
１からの平行なＸ線の入射点を中心に分光結晶
２，２′が回転することによつて、第(1)式を満足
するような波長のＸ線のみ（一般にはnλ、ｎ＝
１，２，……であるが、簡単のためここでは高次
項を無視して説明する）、入射光と平行に反射す
る。あるブラツグ角θpの近傍で、微小角δθだけ微
小回転が加わつたとすると、分光結晶２はOAか
らOA′に傾き、反射Ｘ線経路はOPからOP′に変
わる。
部を示したものである。この図で１はＸ線源、
２，２′は分光結晶で、回転台３上に取り付けら
れており、分光結晶２，２′の間隔をＤとする。
両結晶２，２′は分光系を構成しており、Ｘ線源
１からの平行なＸ線の入射点を中心に分光結晶
２，２′が回転することによつて、第(1)式を満足
するような波長のＸ線のみ（一般にはnλ、ｎ＝
１，２，……であるが、簡単のためここでは高次
項を無視して説明する）、入射光と平行に反射す
る。あるブラツグ角θpの近傍で、微小角δθだけ微
小回転が加わつたとすると、分光結晶２はOAか
らOA′に傾き、反射Ｘ線経路はOPからOP′に変
わる。
この時第(2)式で表される波長変調を受けた波長
λ′（＝λ＋Δλ）のＸ線を入射Ｘ線と平行に取り出
すことができる。この波長変調に検出系の位相を
同期させることによつて、変調Ｘ線分光測定およ
び変調Ｘ線回折が可能となる。
λ′（＝λ＋Δλ）のＸ線を入射Ｘ線と平行に取り出
すことができる。この波長変調に検出系の位相を
同期させることによつて、変調Ｘ線分光測定およ
び変調Ｘ線回折が可能となる。
上記はこの発明の原理であるが、これを利用し
たこの発明のＸ線測定方法を実施する装置の一例
を第２図のブロツク図に示す。
たこの発明のＸ線測定方法を実施する装置の一例
を第２図のブロツク図に示す。
第２図において、１１はＸ線源、１２は分光結
晶微小回転振動装置、１３は被測定試料、１４は
Ｘ線検出器、１５は位相敏感検出器、１６は微小
回転駆動源である。上記位相敏感検出器１５は、
時間軸に対して変動する物理量を位相信号（参照
信号と呼ばれる）に同期させて測定する装置をさ
す。具体的には微小電流測定に用いられるロツク
インアンプが代表的な例であるが、この発明にお
いてはＸ線検出器に参照信号に同期したゲートを
かけデイジタル方式のロツクイン測定を行う。参
照信号は微小回転駆動源１６、例えばピエゾ素子
に加える正弦波信号を用いる。
晶微小回転振動装置、１３は被測定試料、１４は
Ｘ線検出器、１５は位相敏感検出器、１６は微小
回転駆動源である。上記位相敏感検出器１５は、
時間軸に対して変動する物理量を位相信号（参照
信号と呼ばれる）に同期させて測定する装置をさ
す。具体的には微小電流測定に用いられるロツク
インアンプが代表的な例であるが、この発明にお
いてはＸ線検出器に参照信号に同期したゲートを
かけデイジタル方式のロツクイン測定を行う。参
照信号は微小回転駆動源１６、例えばピエゾ素子
に加える正弦波信号を用いる。
この発明の要旨はＸ線の位相敏感検出を波長変
調法と組み合わせることによつてＸ線回折および
吸収測定の高精度化を図ることである。
調法と組み合わせることによつてＸ線回折および
吸収測定の高精度化を図ることである。
その動作を説明すると、Ｘ線源１１より出た連
続Ｘ線を、角周波数ωで回転振動している分光結
晶微小回転振動装置１２に入射させて波長変調を
加えた後、被測定試料１３に照射し、被測定試料
１３により回折・散乱させたＸ線をＸ線検出器１
４で検出する。このＸ線検出器１４の出力を微小
回転駆動源１６の出力を参照信号として位相敏感
検出器１５により測定する。これにより被測定試
料１３によるＸ線回折・散乱を信号対雑音比良く
測定することができる。
続Ｘ線を、角周波数ωで回転振動している分光結
晶微小回転振動装置１２に入射させて波長変調を
加えた後、被測定試料１３に照射し、被測定試料
１３により回折・散乱させたＸ線をＸ線検出器１
４で検出する。このＸ線検出器１４の出力を微小
回転駆動源１６の出力を参照信号として位相敏感
検出器１５により測定する。これにより被測定試
料１３によるＸ線回折・散乱を信号対雑音比良く
測定することができる。
すなわち、位相敏感検出器１５は不規則な雑音
から一定の規則性を持つ信号を取り出す作用をす
る。この発明で対象とするのは表面や薄膜等信号
強度が弱く通常の測定では雑音に埋もれてしまう
ような場合に威力を発揮する。位相に対して規則
性を持つ信号を取り出して積算することにより信
号対雑音比を向上させることができる。
から一定の規則性を持つ信号を取り出す作用をす
る。この発明で対象とするのは表面や薄膜等信号
強度が弱く通常の測定では雑音に埋もれてしまう
ような場合に威力を発揮する。位相に対して規則
性を持つ信号を取り出して積算することにより信
号対雑音比を向上させることができる。
以上説明したように、この発明はブラツグ反射
を利用して特定波長またはその整数倍の波長の分
光Ｘ線を得てそれを用いてＸ線測定を行う方法で
あつて、分光結晶に微小回転振動を与えて分光Ｘ
線に変調を加え、この変調された分光Ｘ線を用い
たので、バツクグラウンドを効果的に除くことが
でき、信号対雑音比が向上するため任意の入射Ｘ
線波長で精度のよいＸ線回折・散乱データを得る
ことができる利点がある。
を利用して特定波長またはその整数倍の波長の分
光Ｘ線を得てそれを用いてＸ線測定を行う方法で
あつて、分光結晶に微小回転振動を与えて分光Ｘ
線に変調を加え、この変調された分光Ｘ線を用い
たので、バツクグラウンドを効果的に除くことが
でき、信号対雑音比が向上するため任意の入射Ｘ
線波長で精度のよいＸ線回折・散乱データを得る
ことができる利点がある。
第１図はこの発明の動作原理の説明図、第２図
はこの発明の一実施例の実施に用いるＸ線測定装
置の一例を示すブロツク図である。 図中、１，１１はＸ線源、２，２′は分光結晶、
３は回転台、１２は分光結晶微小回転振動装置、
１３は被測定試料、１４はＸ線検出器、１５は位
相敏感検出器、１６は微小回転駆動源である。
はこの発明の一実施例の実施に用いるＸ線測定装
置の一例を示すブロツク図である。 図中、１，１１はＸ線源、２，２′は分光結晶、
３は回転台、１２は分光結晶微小回転振動装置、
１３は被測定試料、１４はＸ線検出器、１５は位
相敏感検出器、１６は微小回転駆動源である。
Claims (1)
- １ 平行な２枚の分光結晶を微小角回転させ、前
記分光結晶によるＸ線のフラツグ反射を利用して
特定波およびその整数倍の波長の単色Ｘ線を得る
際に、前記分光結晶に分光結晶微小回転振動装置
により微小回転振動を与え前記単色Ｘ線の入射点
を中心に平行な２枚の分光結晶が回転することに
より前記単色Ｘ線に波長変調を加えた後、被測定
試料に照射し、前記被測定試料により回折・散乱
されたＸ線をＸ線検出器で検出し、一方、前記微
小回転振動源の出力を参照信号として位相敏感検
出器により前記Ｘ線検出器からのＸ線のＸ線回
折、散乱または吸収スペクトルの測定を行うこと
を特徴とするＸ線測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55152905A JPS5776441A (en) | 1980-10-30 | 1980-10-30 | Modulation method for x-ray wavelength |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55152905A JPS5776441A (en) | 1980-10-30 | 1980-10-30 | Modulation method for x-ray wavelength |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5776441A JPS5776441A (en) | 1982-05-13 |
| JPH0330101B2 true JPH0330101B2 (ja) | 1991-04-26 |
Family
ID=15550692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55152905A Granted JPS5776441A (en) | 1980-10-30 | 1980-10-30 | Modulation method for x-ray wavelength |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5776441A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2642886C1 (ru) * | 2016-11-30 | 2018-01-29 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского" | Способ модуляции интенсивности рентгеновского пучка |
| CN107219241B (zh) * | 2017-05-05 | 2020-10-16 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 原位时间分辨x射线吸收谱的测量装置和测量方法 |
-
1980
- 1980-10-30 JP JP55152905A patent/JPS5776441A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5776441A (en) | 1982-05-13 |
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