JPH0330819U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の原理を説明するための概念
図、第２図及び第３図は、本考案によつて得られ
る検出信号の三角波形状の例を示す線図、第４図
は、三角波を微分して得られる速度信号の例を示
す線図、第５図は、本考案に係る光学式変位検出
器の実施例の要部構成を示す縦断面図、第６図は
、第５図の−線に沿う縦断面図、第７図は、
第５図の−線に沿う横断面図、第８図は、実
施例のスケール構成を示す概念図、第９図は、実
施例のメインスケールを示す正面図、第１０図は
、実施例の両端位置検出回路の例を示す回路図、
第１１図は、同じく作用を示す線図、第１２図は
、実施例のインデツクススケールを示す正面図、
第１３図は、実施例の信号処理回路の基本的な構
成を示す回路図、第１４図は、従来の３格子型光
学式変位検出器の構成を示す概念図、第１５図は
、従来の検出器によつて得られる正弦波状検出信
号の例を示す線図である。 １２……第１格子（格子ピツチＰ_１）、１４…
…第２格子（格子ピツチＰ_２）、１６……第３格
子（格子ピツチＰ_３）、３０……ＬＥＤ、４０…
…メインスケール（第１スケール）、４４……イ
ンデツクスケール（第２スケール）、４６Ａ，４
６Ｂ……受光素子、Ａ，Ｂ……検出信号、７６Ａ
，７６Ｂ……微分回路、７８……最大値選択回路
、ｖｘ……速度信号。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 相対移動する一方の部材に配設される、第
   １の格子が形成された反射型の第１スケールと、 相対移動する他方の部材に配設される、平行光
   線化されていない照明光を射出する光源、該光源
   からの照明光を一部遮蔽して、前記第１格子を照
   明するための第２格子、及び、該第２及び第１格
   子によつて制限された照明光を更に制限するため
   の第３格子が形成された第２スケール、及び、前
   記第１乃至第３格子によつて制限された照明光を
   検出する受光素子とを含み、 該受光素子出力の検出信号の周期的な変動から
   前記両部材間の相対変位を検出する反射式の光学
   式変位検出器において、 前記第２格子の明線幅を、第１格子の明線幅と
   同程度又はそれ以下とし、 前記第３格子の明線幅を、第１格子の明線幅の
   ２倍程度として、 略三角波状の検出信号を得ることを特徴とする
   光学式変位検出器。 (2) 請求項１において、前記三角波状の検出信
   号を微分する微分回路を設け、前記両部材間の相
   対変位速度を検出することを特徴とする光学式変
   位検出器。