JPH033106A - 磁気ヘッド研磨用ディスク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は、剛性基体に可撓性を有する磁気シートが張設
されてなる磁気ディスクに対して平行ハネで支持させた
磁気ヘッドを接触させることにより記録及び／又は再生
を行う磁気ディスク駆ｉＪ＋装置に搭載される磁気ヘッ
ドの磁気記録媒体摺動面を研磨するのに好適な磁気ベン
ド研磨用ディスクに関するものである。

〔従来の技術］ 円盤状の磁気記録媒体である磁気ディスクとしては、基
板にアルミニウム合金等の硬質材料を使用したいわゆる
ハードディスクや、基板にポリエステル等の可撓性樹脂
フィルムを使用したフレキシブル磁気ディスク（いわゆ
るフロッピーディスク）等が知られており、例えばこれ
らはコンピュータやワードプロセンサ等の外部記憶媒体
として広く使用されている。

ところで、これらハードディスクやフロンピーディスク
等は磁気ヘッドとの当たりや寸法安定性等の点で一長一
短を有している。

そこで近年、例えば特開昭６１−１５１８３８号公−報
等に記載されるように、上記ハードディスクとフロッピ
ーディスクの特徴を兼ね備えた磁気ディスク、すなわち
円盤状の剛性基体に可撓性を有する磁気シートが外周部
及び内周部を固定することで張設されてなる磁気ディス
クの提案がなされている。

上記磁気ディスクは、剛性基体の表面に設けられた円環
状の凹部を覆って磁気シートがいわゆる太鼓張り状態に
張設されてなるもので、磁気ヘッドが直接硬１を基体に
突き当たることがないので当該磁気ヘッドへの負担が少
ないこと等の点でハードディスクより優れている。一方
、上記磁気ディスクはプレッシャバッドを必要とせず、
記録面がそれを取付けている剛性基体と路間等な寸法安
定性を有する点でフロッピーディスクより優れている。

ところで、この種の磁気ディスクに対して記録及び／又
は再生を行うには、通常、ハードディスク等で使用され
ているスライダー等と称される非磁性部材中に磁気ヘッ
ドが埋め込まれたコンポジット型の磁気ヘッドを前記磁
気ディスク面に対して一定のスペーシングをもって行わ
れる。

ところが、上記磁気ディスクにおいては、記録再生時に
磁気シートが面振れを生じることがあるため、ヘッドと
磁気ディスク面の距離が変動し安定なヘッドの浮上を確
保することができない。このため、再生出力の大幅な低
下を招いてしまうという問題を生ずる。

そこで、この種の６ｎ気デイスクに対して良好に記録及
び／又は再生が行えるシステムの提案が本願出願人によ
ってなされている。

このシステムは、第６図に示すように、磁気ディスク（
１）に対して平行ハネ（２）　、　（３）で支持させた
磁気ヘッド（４）を磁気ディスク面（ｌａ）に接触させ
ることによって記録及び／又は再生を行うものである。

すなわち、ここでの磁気ディスク駆動装置は、磁気ディ
スク面（１ａ）と略平行に配設される２枚の仮バネ（２
）　、　（３）を有してなる磁気ヘッド支持部と、先端
に磁気ヘッド（４）が取付は固定され前記仮バネ（２）
　、　（３）によって当該磁気ディスク面（１ａ）に対
して略直交方向に弾発付勢される可動部とから構成され
ている。

上記磁気ヘッド支持部は、２枚の板バ２　（２）　、　
（３）と、該板バネ（２）、（３）を固定する支持フレ
ーム（５）とからなり、該支持フレーム（５）の切り欠
き部の一側面（５ａ）に溝加工されたスリット溝にこれ
ら２枚の板バネ（２）　、　（３）が縦方向に所定間隔
で並列配設された形となっている。また、上記板バネ（
２）。

（３）は、上記支持フレーム（５）に配設されたときに
、当該板バネ（２）　、　（３）の′Ｆｉ厚方向の面が
前記磁気ディスク面（１ａ）と略平行となされる。

一方、可動部は、磁気ディスク面（１ａ）と接触して記
録再生を行う磁気ヘッド（４）と、該磁気ヘッド（４）
を固定するヘッド取付は板（６）と、共振を抑制する弾
性部材（７）とからなり、矩形状のヘッド取付けｖｉ、
（６）の長手方向一端縁に先の磁気へンド（４）を取付
は固定し、他端縁に弾性部材を当接する形となっている
。

そして、上記ヘッド取付は板（６）が先の２枚の１反バ
ネ（２）　、　（３）によって支持され、これら（反ハ
ネ＜２）　、　（３）の弾性変位によって磁気ヘッド（
４）が前記磁気ディスク面（ｌａ）に対して略直交方向
に弾発付勢されるようになされている。

このように構成された磁気ディスク駆動装置においては
、上記磁気ヘッド（４）が磁気ディスク面（ｌａ）に対
して略直交方向に上下動するようになされているので、
前記磁気ディスク面（１ａ）の面振れに追従することが
でき、常に良好な接触状態が確保される。したがって、
この装置を用いて前述の磁気ディスク（１）に対して記
録再生を行えば、スペーシングロス等による再生出力の
低下も最小限に抑えられる。

（発明が解決しようとする課題］ ところで上記システムでは、磁気ヘッド（４）の磁気記
録媒体摺動面（４ａ）の曲率半径が重要で、その曲率半
径の大きさによっては、再生出力と摺動耐久性を同時に
満足することができなくなる。よって、この種の磁気ヘ
ッド（４）においては、磁気記録媒体摺動面（４ａ）の
曲率半径が所定の大きさとなっていることが要求される
。

したがって、時々上記磁気ヘッド（４）の磁気記録媒体
摺動面（４ａ）を研磨してやる必要がある。ヘッド（４
）の研磨を行うには、先ず、前述の磁気ディスク駆動装
置より該磁気ヘッド（４）を取り外した後、専用の研磨
機を用いてその磁気記録媒体摺動面（４ａ）を研磨し、
再度上記磁気ヘッド（４）を上記磁気ディスク駆動装置
に組込むことによって行われる。

このように、磁気ヘッド（４）の磁気記録媒体摺動面（
４ａ）の研磨作業は、当該磁気ヘッド（４）の取り外し
作業及び組込み作業が必要で、その都度位置決めをする
必要があり面倒である。また、取り外した磁気ヘッド（
４）を専用の研磨機を用いて研磨する必要もあるため、
当該研摩機の作製をしなければならいない等の問題があ
る。

そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑みて提案された
ものであって、磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動面を磁気
ディスク駆動装置に搭載したままの状態で研磨可能とな
し、簡単な操作で磁気ヘッドの裔再生出力並びに高耐久
性が維持できる磁気ヘッドｇＩＱ用ディスクを提供する
ことを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段］ 本発明は、上記の目的を達成するために提案されたもの
であって、可撓性を有する研磨シートが外周部及び内周
部を固定することで剛性基体に張設されてなり、前記研
磨シートの曲げ剛性が０．５ｍｍ以下であることを特徴
とするものである。

〔作用〕

本発明の磁気ヘッド研磨用ディスクは、可撓性を有する
研磨シートが外周部及び内周部を固定することで剛性基
体に張設されディスク状となされたものである。したが
って、この磁気ヘッド研磨用ディスクは、通常の可撓性
を有する磁気シートが外周部及び内周部を固定すること
で剛性基体に張設されてなる磁気ディスクと同様に、平
行バネで支持させた磁気ヘッドを磁気ディスク面に接触
させることにより記録及び／又は再生を行うようにした
磁気ディスク駆動装置に装着することが可能となる。よ
って、通常の磁気ディスクを記録再生するときと同様に
磁気ディスク駆動装置に搭載される磁気ヘッドを前記研
磨シートに接触させ、当該磁気ヘッド研磨用ディスクを
回転させれば、前記磁気ヘッドを磁気ディスク駆動装置
に搭載したままの状態で磁気記録媒体摺動面の研磨が行
える。またこのとき、上記磁気ヘッド研磨用ディスクの
研磨シートの曲げ剛性が最適化されているので、磁気記
録媒体摺動面は高再生出力並びに高耐久性の維持が図れ
る曲率半径に研磨される。

［実施例〕 以下、本発明を適用した具体的な実施例について説明す
る。

先ず、本発明にかかる磁気ヘッド研磨用ディスクが適用
されるシステムについて図面を参照しながら説明する。

上記システムは、第１図に示すように、可撓性を有する
磁気シートが外周部及び内周部を固定することで円盤状
の剛性基体に張設されてなる磁気ディスクに対して、平
行バ名で支持させた磁気ヘッドを有してなる磁気ディス
ク駆動装置の該磁気ヘッドを接触させることによって記
録及び／又は再生を行うようにしたものである。

上記磁気ディスク（８）は、第２図に示すように、円盤
状の剛性基体（９）の両面に可撓性を有する磁気’ｉ　
−）（１０）、（１１）　ヲ所定のペネトレーションス
ティフネスで外周部及び内周部に接着剤等によって固定
することで構成されている。

上記剛性基体（９）は、スピンドル軸を装着するための
センターコア部（１２）と、上記磁気シート（１０）　
、　（１１）を保持するための支持部（１３）とからな
り、この支持部（１３）の両面の最外周縁部と最内周縁
部に沿ってそれぞれ円環状の環状凸部（１４）　、　（
１５）　、　（１６）　、　（１７）が設けられている
。逆言えば、上記支持部（１３）には、両面に幅広で浅
い溝の円環状の凹部（１８）　、　（１９）がそれぞれ
形成されている。上記凹部（１Ｂ＞　、’（１９）は、
磁気ヘッドへの不用意な衝撃を緩和する逃げ溝として形
成されるものであり、その形状は特に限定されるもので
はない。

上記剛性基体（１２）の材料としては、熱膨張係数の低
いものが好適で、従来よりこの種の磁気ディスクの基体
材料として使用される材料がいずれも適用でき、特に限
定されるものではない。例示するならば、アルミニウム
、アルミニウム合金あるいは熱可塑性樹脂、不飽和ポリ
エステル樹脂等が挙げられる。また、一般のハードディ
スクの基体材料として用いられている金属材料に近い熱
膨張係数を有するボリアリレート樹脂や機械的特性耐熱
性、加工性等に優れたポリエーテルイミド樹脂等も使用
可能である。

また、上記支持部（１３）の最外周縁部の環状凸部（１
４）と最内周縁部の環状凸部（１６）の間、あるいは最
外周縁部の環状凸部（１５）と最内周縁部の環状凸部（
１７）の間には、前記円環状の凹部（１８）、（１９）
を覆う如く磁気シート（１０）　、　（１１）がいわゆ
る太鼓張り状態に貼り付けられている。なお、上記磁気
シート（１０）　、　（１１）は、エポキシ系接着剤あ
るいはアクリル系接着剤等によって前記支持部（１３）
に固定されている。

上記磁気シート（１０）　、　（１１）は、可撓性を有
する非磁性支持体２例えばポリエチレンテレフタレート
フィルムやポリイミドフィルム等の表面に磁性層が形成
されたものである。かかる磁性層には、従来より磁気記
録の分野で使用されている塗布型によるものや蒸着等よ
って形成される金属磁性薄■々型のものでありもよい。

金属磁性３膜に（よ、例えば、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ
合金等の強６ｎ性金属材料を蒸着あるいはスパッタリン
グ等の真空薄膜形成術で被着される垂直磁化膜等が用い
られる。

なお、上記磁性層上には必要に応じて保護膜層や潤滑剤
層等が形成されていてもよい。

特に、金属磁性薄膜を磁性層とする場合には、前記磁気
シー）　（１０）　、　（１１）は、非磁性支持体の厚
みをδ　（μｍ）、磁気シート（１０）、（１１）の固
定部の半径差をΔｒ（ｍ）としたときに、ベネトレーシ
ョンスティフネスが９０・δ／Δｒ　（ａ＋ｇ／μｍ）
以下となるように張設することが望ましい。このペネト
レーシッンスティフネスの値は、前記磁気シート（１０
）　、　（１１）を剛性基体（１２）に張設した場合に
非磁性支持体上に形成される金属磁性コ膜にクシツクの
発生がみられない上限値である。したがって、この値以
下で上記磁気シート（１０）　、　＜１１）を前記剛性
基体（１２）に張設すれば、クラック発生のない金属磁
性薄膜を有した磁気ディスク（１）の提供が可能となる
。

一方、磁気ディスク駆動装置は、前記磁気ディスク（８
）の磁気記録媒体面である磁気ディスク面（８ａ）と略
平行となるように配設された２枚の仮バネ（２０）　、
　（２１）を有してなる磁気へンド支持部と、先端に磁
気ヘッド（２２）が取付は固定され前記仮バネ（２０）
　、　（２１）によって磁気ディスク面（８ａ）に対し
て略直交方向に弾発付勢される可動部とを備えた構造と
なされている。

上記磁気ヘッド支持部は、２枚の板ハネ（２０）（２１
）と、この２枚の板バネ（２０）　、　（２１）を固定
する支持フレーム（２３）とからなっている。

上記仮バネ（２０）　、　（２１）は、板厚の薄いステ
ンレス鋼等がフォトエツチングされることによって一頂
点に切り欠き溝（２４）　、　（２５）を有した千面略
三角形状に形成されたものである。なお、上記仮ハネ（
２０）　、　（２１）の形状は特に限定されるものでは
なく、矩形状等であっても差し支えない。

ここで重要なのは、板厚方向（可動方向）のハ名定数で
ある。すなわち、上記仮ハネ（２０）、　（２１）にお
いては、そのバネ定数が５．６ｘｌＯ−５ｇ／μｍ以上
、０．０９ｇ／μｍ以下に設定されている。

これは、前記磁気ディスク（８）が回転することによっ
て磁気ディスク面（８ａ）が撓んだ場合であっても、前
記磁気ヘッド（２２）がこの面振れに追従することがで
きる範囲である。したがって、上記磁気ヘッド（２２）
と磁気ディスク面（８ａ）とは、常時、略均−なヘッド
荷重で接触されることになる。さらに、この板バネ（２
０）　、　（２１）の可りＪ方向のハネ定数の大きさに
加えて、当該板バネ輯０”）　、　（２１）の可動方向
と直交する方向の剛性も重要である。すなわち、可動方
向のバネ定数をに、これに直交する方向の剛性をに′と
したとき、これらに’／にの比αを２．５以上とするこ
とが望ましい。このように設定すれば、磁気ヘッド（２
２）のトラック方向〔磁気ディスク（８）の径方向〕へ
の剛性が確保され、トラックずれによる再生出力の減少
が抑えられる。

また、上記磁気ヘッド（２２）を磁気ディスク（８）の
径方向にずらして記録再生した場合であっても、当該磁
気へンド（２２）のエツジで前記磁気ディスク面（８ａ
）を傷付けることはない。

前記支持フレーム（２３）は、剛性の高い材料よりなり
、中央部に切り欠き部（２６）を有した扇状となされて
いる。なお、上記支持フレーム（２３）の形状は特に限
定されるものではなく、前記磁気ヘッド（２２）を磁気
ディスク（８）に対して記録再生するのに支障のないよ
うに安定して固定することができれば、この例に限定さ
れるものではない。また、上記支持フレーム（２３）の
外周部（２３ａ）と内周部（２３ｂ）には、それぞれス
リット溝（２７）　、　（２Ｂ）が形成されている。上
記スリット溝（２７）　、　（２８）は、前記仮バネ（
２０）　、　（２１）を挿入させたときに、当該板バネ
（２０）　、　（２１）が前記磁気ディスク面（８ａ）
と略平行となるように形成されている。したがって、こ
のスリット溝（２７）　、　（２８）に前記板バネ（２
０）、　（２１）を挿入し接着剤等で固定すれば、当該
板バネ（２０）　。

（２１）と磁気ディスク面（８ａ）とは略平行になる。

前記可動部は、磁気ディスク（８）に対して記録再生を
行う磁気ヘッド（２２）と、該磁気ヘッド（２２）を先
端に取付は固定するヘッド取付は板（２９）とからなっ
ている。

上記磁気ヘッド（２２）は、第３図に示すように、閉磁
路を構成する一対の磁気コア半休（３０）　、　（３１
）が突合わされ、磁気記録媒体摺動面（３２）に磁気ギ
ャップｇが構成されたものである。

上記磁気コア半休（３０）　、　（３１）は、通常のビ
デオテープレコーダ等の磁気記録再生装置に搭載されて
いる磁気ヘッドの磁気コア半休と同様、例えば酸化物磁
性材料よりなる基板からなるもので、その材料は従来よ
り公知の材料がいずれも使用可能であり何ら限定される
ものではない。また、上記磁気コア半休（３０）　、　
（３１）の突合わせ面には、センダスト等を材料とする
強磁性金属薄膜が形成されていてもよく、この場合には
上記磁気コア半休（３０）　、　（３１）は磁性材料で
あると非磁性材料であると問わない。なお、コイルを巻
装するための巻線溝（３３）は、何れか一方の磁気コア
半休（３０）に形成されていればよい。

特に上記磁気ヘッド（２２）においては、磁気記録媒体
摺動面（３２）の曲率半径Ｒが３随以上、５０［１以下
であることが好ましく、さらには５ＩＩｎ以上３０閾以
下がより望ましい。これは、先に本願出願人が前述の磁
気ディスク（８）に対して磁気ヘッド（２２）の曲率半
径Ｒを変化させて記録再生を行ったときの相対再生出力
及び摺動耐久性の磁気ヘッド曲率半径依存性を求めた結
果によるものである。

すなわち、第４図に示すように、相対再生出力は曲率半
径Ｒが大きくなるに従い低下する傾向を示し、摺動耐久
性は逆に曲率半径Ｒが小さくなるに従い劣化する傾向に
ある。したがって、これらから相対再生出力と摺動耐久
性を同時に満足させるには、相対再生出力が最大出力に
比べて３ｄＢ以上、望ましくは１．５　ｄ　Ｂ以上低下
しない範囲とする。この時の曲率半径Ｒは、それぞれ５
９ｍ［ａ、３０１１！である。また、摺動耐久性につい
ては１０００万バス以上の耐久性に比べて１０万バス以
下望ましくは１００万バス以下に低下しない範囲とする
。この時の曲率半径Ｒは３ｆｉ１１，５Ｍである。

したがって、この種の磁気ディスクに対して記録再生す
るには、磁気ヘッド（２２）の磁気記録媒体摺動面（３
２）の曲率半径Ｒを３ｍ以上、５０鴫以下、望ましくは
５閤以上、３０ａｍ以下とすれば、高再生出力且つ高耐
久性が期待できる。

また、上記磁気ヘッド（２２）を固定するヘッド取付は
板（２９）は、ヘッド部の質量を低減するために、やは
り板厚の薄い例えば０．１閣程度の非磁性ステンレス鋼
等がフォトエツチング等の手法によって長方形状に形成
されたものである。上記へンド取付は板（２９）は、前
記磁気ヘッド（２２）を長手方間の−先端に取付は固定
し、さらにその長手方向中途部に前述の板ハネ（２０）
　、　（２１）を挿入固定するためのスリット溝（図示
は省略する。）を形成している。したがって、ここに先
の板バネ（２０）　、　（２１）が挿入され接着剤等に
よって、これらヘッド取付は板（２９）と仮バネ（２０
）、　（２１）　は一体止されている。

この結果、上記磁気ヘッド（３２）は、ヘッド取付は板
（２９）を介して前記板バネ（２０）　、　（２１）に
よって磁気ディスク面（８ａ）に対して略直交方向に弾
発付勢される。すなわち、上記板バネ（８）　、　（９
）の弾性変位に伴って前記磁気ヘッド（２２）が磁気デ
ィスク面（８ａ）に対して略直交方向（図中矢印Ｙ方向
）に上下動可能となる。

以上のように構成された磁気ディスク駆動装置において
は、最適化されたバネ定数及び剛性を有する仮バネ（２
０）　、　（２１）によって前記磁気ヘッド（２２）が
磁気ディスク面（８ａ）に対して略直交方向に弾発付勢
されるようになされているので、当該磁気ディスク面（
８ａ）上に凹凸等が存在したとしても、当該磁気ヘッド
（２２）はこ乳に伴って追従することができ、常にヘッ
ド（２２）と磁気ディスク面（８ａ）とは一定のヘッド
荷重で接触し良好な接触状態を確保することができる。

したがって、磁気ディスク面（８ａ）へのヘッド荷重の
変化が抑制され、エンベロープの欠落や高荷重による磁
気ディスク面（８ａ）への傷つきが抑えられる。

次に、上記システムにおける前記磁気ディスク駆動装置
に搭載される磁気ヘッド（２２）の磁気記録媒体摺動面
（３２）を研摩する磁気ヘッド研磨用ディスクについて
説明する。

上記磁気へ・ノド研磨用ディスクは、第２図に示すよう
に、前述の磁気ディスク（８）で用いた剛性基体（９）
の表面に前記磁気シート（１０）　、　（１１）に代え
て研磨シート（３４）　、　（３５）を張設することに
より構成される。したがって、上記剛性基体（８）は、
先の磁気ディスク（８）のものと全く同一のものを使用
することができる。

上記研磨シート（３４）　、　（３５）は、例えばポリ
エチレンテレフタレートフィルム上に研磨材であるＣｒ
、０３等が形成されることによって形成されている。特
に、この研磨シート（３４）　、　（３５）　は、曲げ
剛性が０．５Ｎ−以下となるように貼り付けられている
。これは、研摩シート（３４）　、　（３５）の曲げ剛
性が０．５ｍｍ以下であれば、高再生出力且つ高耐久性
が同時に満足し得る磁気記録媒体摺動面（３２）を当該
磁気ヘッド研磨用ディスク（３６）によって形成するこ
とができるからである。

このように構成された磁気ヘッド研磨用ディスク（３６
）においては、通常の磁気ディスク（８）と同様に前述
のシステムに組込むことができる。そして、磁気ディス
ク（８）を記録再生するのと同様に上記磁気ヘッド研磨
用ディスク（３６）の一方の研磨シー）　（３５）に磁
気ディスク駆動装置の磁気ヘッド（２２）を接触させて
５該磁気へノド研磨用ディスク（３６）を回転させれば
、磁気へノド（２２）の磁気記録媒体摺動面（３２）が
研磨される。したがって、磁気ヘッド（２２）を磁気デ
ィスク駆動装置に搭載したままの状態で研磨することが
でき、当該磁気ヘッド（２２）の取り外し及び組込み作
業を省略することができる。また、磁気記録媒体摺動面
（３２）を研磨する専用の研磨機も作製する必要がない
。

ここで、前記研磨シート（３４）　、　（３５）の曲げ
剛性を種々変えた磁気ヘッド研摩用ディスク（３６）を
以下のように作製し、この６ｄ気ヘツド研摩用デイスク
（３６）を用いて前述の磁気ディスク駆動装置に搭載さ
れる磁気へノド（２２）の磁気記録媒体摺動面（３２）
を研磨した。

先ず、前述の第２図に示す円盤状の剛性基体（９）の凹
部（１８）　、　（１９）を覆って、表面にＣｒｚＯｚ
が形成されたポリエチレンテレフタレートフィルムより
なる研磨シート（３４）　、　（３５）をその曲げ剛性
がＩ　Ｘ　１０−’Ｎｍｃ＋〜０．６　Ｎ＋＋＋ａ＋の
範囲となるように張り付け、種々の曲げ剛性を存する磁
気ヘッド研磨用ディスク（３６）を作製した。

次に、上記磁気ヘノド研摩用ディスク（３６）を先の磁
気ディスク駆動装置に組み込み、一方の研磨シート（３
５）に前記磁気ヘッド（２２）を接触させ、当該磁気ヘ
ッド研磨用ディスク（３６）を回転させることによって
研磨を行った。

なお、このときの磁気ヘッド（２２）のヘッド突き出し
量は５０μｍ、磁気ヘッド研磨用ディスク（３６）の回
転速度は２０Ｏｒｐｍ、研磨時間は４〜５秒とした。ま
た、前記仮バネ（２０）　、　（２１）の可動方向のバ
ネ定数は０．０１ｇ／μｍとした。

そして、得られた磁気ヘッド（２２）の磁気記録媒体摺
動面（３２）の曲率半径Ｒを測定した。その結果を第５
図に示す、なお、第５図中腺ａは最大値。

線すは最小値を示す。

この結果かられかるように、研磨シート（３４）（３５
）の曲げ剛性の値を次第に小さくしていったときには、
これに従って研磨される磁気ヘッド（２２）の磁気記録
媒体摺動面（３２）の曲率半径Ｒも次第に小さくなる。

例えば、研磨シー１−　（３４）　、　（３５）の曲げ
剛性が０．５Ｎａｎでは磁気記録媒体摺動面（３２）の
曲率半径Ｒは約４０ｍｍ（最小値）であり、曲げ剛性が
Ｉ　Ｘ　１０−Ｎ■では約５閣（最小値）となっている
。

次に、得られた種々の曲率半径Ｒを有する磁気ヘッド（
２２）を用いて実際に先のシステムを用いて磁気ディス
ク（８）に対して記録再生を行った。

上記磁気ディスクには、厚み４０μｍのポリイミドフィ
ルム上に膜厚０．２μｍのＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜、カー
ボン保護膜１００人、フッ素系潤滑剤層（商品名：フォ
ンプリンＡＭ２００１）　３０〜５０人を形成した磁気
シート（１０）　、　（１１）を前記第２図に示す円盤
状の剛性基板（９）に張設することによって形成したも
のを使用した。

この結果、前記磁気ヘッド（２２）の磁気記録媒体摺動
面（３２）の曲率半径Ｒが４０μｍ以上のものでは、ギ
ャップ部と磁気ディスク面（８ａ）との当たりがとりづ
らくなり再生出力の低下がみられた。もちろん、磁気記
録媒体摺動（３２）の曲率半径Ｒが５０ｍ１程度でも先
の述べたように実用上のレベルでは問題にならない。一
方、磁気記録媒体摺動面（３２）の曲率半径Ｒが５瓢以
下のものでは、ヘッド先端部の圧力が急激に高くなり摺
動耐久性の劣化がみられた。このときの研磨シート（３
５）の曲げ剛性は、それぞれ０．５　Ｎｏｎ、　　Ｉ　
Ｘ　１０−”ＮＷｍである。よって、高再生出力且つ高
耐久性が同時に満足できる磁気ヘッド（２２）とするに
は、少なくとも前記磁気ヘッド研磨用ディスク（３６）
の研磨シート（３５）の曲げ剛性を０．５ＮｆｆＩｌ以
下とすればよい。

（発明の効果〕 以上の説明からも明らかなように、本発明の磁気ヘッド
研磨用ディスクにおいては、研磨シートを外周部及び内
周部を固定して剛性基体に張設することによって通常の
磁気ディスクと同様にディスク状としているので、平行
バネで磁気ヘッドを支持させた磁気ディスク駆動装置に
そのままの状態で組込むことができ、通常の磁気ディス
クに対して記録再生するのと同様に磁気ベツド研磨用デ
ィスクを回転させ、上記研磨シートに前記磁気ヘッドを
接触させれば、当該磁気ヘッドを磁気ディスク駆動装置
に搭載したままの状態で磁気記録媒体摺動面を研磨する
ことができる。またこのとき、上記研磨シートは曲げ剛
性が最適化されているので、高再生出力並びに高耐久性
の維持が図れる磁気記録媒体摺動面を有する磁気ヘッド
とすることができる。

したがって、本発明の磁気ヘッド研磨用ディスクを用い
れば、再研磨時において磁気ヘッドの取り外し及び組込
み作業を省略することができ、作業性の向上を図ること
ができる。また、磁気記録媒体摺動面を研磨する専用の
研磨機も作製する必要もなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気ヘッド研磨用ディスクが適用され
る磁気ディスク駆動装置の一例を示す要部概略斜視図、
第２図は磁気ディスク駆動装置に装着される磁気ディス
ク及び磁気ヘッド研摩用ディスクの一構成例を示す断面
図、第３図は磁気ディスク駆動装置に搭載される磁気ヘ
ッドの一例を示す側面図、第４図は相対再生出力及び摺
動耐久性の磁気ヘッド曲率半径依存性を示す特性図、第
５図は研磨シートの曲げ剛性に対する磁気ヘッド曲率半
径依性を示す特性図、第６図は従来の磁気ディスク駆動
装置の一例を示す要部概略斜視図である。 ３６　・ ９　・　・ ４ ２２　・ ０ ・・磁気ヘッド研磨用ディスク ・剛性基板 ３５・・・研磨シート ・・磁気ヘッド ２１・・・板バネ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 可撓性を有する研磨シートが外周部及び内周部を固定す
   ることで剛性基体に張設されてなり、前記研磨シートの
   曲げ剛性が０．５ｍｍ以下であることを特徴とする磁気
   ヘッド研磨用ディスク。