JPH033115A - Magnetic recording medium - Google Patents
Magnetic recording mediumInfo
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- JPH033115A JPH033115A JP14017089A JP14017089A JPH033115A JP H033115 A JPH033115 A JP H033115A JP 14017089 A JP14017089 A JP 14017089A JP 14017089 A JP14017089 A JP 14017089A JP H033115 A JPH033115 A JP H033115A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、基体として合成樹脂を用いた磁気記録媒体に
関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic recording medium using synthetic resin as a base.
[従来の技術]
従来、合成樹脂により形成された基体と記録層との密着
性を改善した磁気記録媒体として、特開昭60−529
23号公報により技術開示された磁気記録媒体が知られ
ていた。これは、合成樹脂基板に活性ガスのイオンを照
射することによって表面処理し、その後、この基板上に
記録膜を形成したものである。[Prior Art] Conventionally, as a magnetic recording medium with improved adhesion between a base formed of synthetic resin and a recording layer, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-529
A magnetic recording medium technically disclosed in Publication No. 23 has been known. In this method, a synthetic resin substrate is surface-treated by irradiation with active gas ions, and then a recording film is formed on this substrate.
合成樹脂基体と記録膜との密着性を改善する必要がある
のは、密着性が悪い場合、クラックが発生して信号特性
が劣下したり、記録膜が酸化劣下して、充分な信頼性が
得られないからである。It is necessary to improve the adhesion between the synthetic resin substrate and the recording film. If the adhesion is poor, cracks will occur and the signal characteristics will deteriorate, or the recording film will deteriorate due to oxidation, resulting in insufficient reliability. This is because they cannot get sex.
[発明が解決しようとする課題]
しかし、上記従来の技術は、いくぶん密着性を向上させ
ることはできるものの十分ではなく、クラック発生防止
の効果も不十分であった。[Problems to be Solved by the Invention] However, although the above-mentioned conventional techniques can improve adhesion to some extent, it is not sufficient, and the effect of preventing crack generation is also insufficient.
また、合成樹脂基板は表面の導電性が小さいため、合成
樹脂基板の使用に際してはこれを大きくするような処置
をほどこす必要があるが、上記従来の技術では合成樹脂
基板の導電性を向上させることができなかった。このた
め、基板表面が帯電しやすく、基板表面に微小なゴミが
付着しやすいため、信号欠陥の原因となっていた。In addition, since synthetic resin substrates have low surface conductivity, it is necessary to take measures to increase this when using synthetic resin substrates, but the conventional technology described above does not improve the conductivity of synthetic resin substrates. I couldn't. For this reason, the surface of the substrate is easily charged, and minute dust is likely to adhere to the surface of the substrate, causing signal defects.
本発明は、上記従来の方法では解決が困難であった、ク
ラックの発生の防止と基板表面の帯電防止の両方を同時
に改善し、信頼性の高い磁気記録媒体を提供することを
目的とする。An object of the present invention is to provide a highly reliable magnetic recording medium that simultaneously improves both the prevention of crack generation and the prevention of electrification on the substrate surface, which have been difficult to solve with the above conventional methods.
[課題を解決するための手段]
本発明の要旨は、合成樹脂により形成された基体の表面
に金属のイオンを注入することにより当該基体の表面に
金属炭化物膜が形成され、当該金属炭化物膜上にクロム
膜が形成され、かつ、当該クロム膜上に少なくとも記録
膜が形成されたことを特徴とする磁気記録媒体に存在す
る。[Means for Solving the Problems] The gist of the present invention is that a metal carbide film is formed on the surface of a base formed of a synthetic resin by implanting metal ions into the surface of the base, and that a metal carbide film is formed on the metal carbide film. A magnetic recording medium is characterized in that a chromium film is formed on the magnetic recording medium, and at least a recording film is formed on the chromium film.
以下、本発明の構成について、詳細に説明する。Hereinafter, the configuration of the present invention will be explained in detail.
(合成樹脂基板)
基板を形成する合成樹脂としては、例えば、ポリエーテ
ルイミド、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサル
ファイド、ボリアリレート、ポリカーボネート等を用い
ることができる。さらに、必要に応じて、チタン酸カリ
ウムウィスカー、炭素繊維、ガラス繊維、金属繊維、ガ
ラスピーズ、セラミックス粉末、カーボン粒子等を適宜
添加してもよい。(Synthetic Resin Substrate) As the synthetic resin forming the substrate, for example, polyetherimide, polyether sulfone, polyphenylene sulfide, polyarylate, polycarbonate, etc. can be used. Furthermore, potassium titanate whiskers, carbon fibers, glass fibers, metal fibers, glass beads, ceramic powder, carbon particles, etc. may be added as appropriate.
(金属イオンの注入)
本発明においてイオン注入を行なう金属イオンとしては
、例えば、Anゝ、Cr″″ St”Ta” 、Ti
” 、V” 、Zr+等が使用可能である。(Metal ion implantation) Examples of metal ions to be ion-implanted in the present invention include An゜, Cr""St"Ta", Ti
”, V”, Zr+, etc. can be used.
イオン注入とは、添加しようとする元素を高真空(10
”’Pa程度)中でイオン化し、数+kV〜数百kVの
電界で加速して固体基板に添加する方法をいう。Ion implantation is the process of implanting the element to be added into a high vacuum (10
This refers to a method in which the compound is ionized in a medium (approximately Pa), accelerated in an electric field of several + kV to several hundred kV, and added to a solid substrate.
(クロム@)
本発明は、クロム膜の形成方法や膜厚等を特に限定する
ものではない。形成方法としては、例えばスパッタリン
グ法などが使用可能である。(Chromium@) The present invention does not particularly limit the method of forming the chromium film, the film thickness, etc. As a forming method, for example, a sputtering method can be used.
(記録膜)
本発明は、記録膜の形成材料や形成方法、膜厚等を特に
限定するものではない。例えば、Co−Cr、Co−N
i−Cr等が使用可能である。(Recording Film) The present invention does not particularly limit the forming material, forming method, film thickness, etc. of the recording film. For example, Co-Cr, Co-N
i-Cr etc. can be used.
なお、記録膜の上に他の薄膜を形成してもよい。例えば
、記録膜の上に保護膜や潤滑膜を設けても、本発明の効
果に何ら影響を与えるものではない。Note that another thin film may be formed on the recording film. For example, even if a protective film or a lubricating film is provided on the recording film, the effects of the present invention will not be affected in any way.
[作用]
本発明によれば、合成樹脂基板表面に金属炭化物膜を形
成して当該金属炭化物膜上にクロム膜を形成し、さらに
該クロム膜の上に記録膜を形成するので、当該合成樹脂
基板と記録膜との密着性を向上させることができ、従っ
て、クラックの発生を防ぐことができる。[Function] According to the present invention, a metal carbide film is formed on the surface of the synthetic resin substrate, a chromium film is formed on the metal carbide film, and a recording film is further formed on the chromium film. Adhesion between the substrate and the recording film can be improved, and therefore cracks can be prevented from occurring.
また、表面に金属炭化物膜を形成することにより、合成
樹脂に比べて著しく導電性を向上させることができるの
で、基板表面の帯電を防止することができ、従って微小
なゴミの吸着を防ぐことができる。In addition, by forming a metal carbide film on the surface, the conductivity can be significantly improved compared to synthetic resin, so it is possible to prevent the surface of the substrate from being charged, and therefore to prevent the adsorption of minute dust. can.
[実施例]
以下、本発明の実施例を、第1図を参照しながら説明す
る。なお、本実施例においては、磁気記録媒体の一例と
して磁気ディスクの場合について説明する。[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to FIG. In this embodiment, a magnetic disk will be described as an example of a magnetic recording medium.
本実施例においては、イオン注入する金属イオンのみ異
なる7 fff1類の磁気ディスクを作製して実施例サ
ンプル1〜7とし、クラックの発生状況および信号特性
の評価を行なった。各磁気ディスクは、第1図に示した
ような層構造とした。第1図において、1は保護層とし
てのカーボン膜、2はt己録層としてのコバルト合金膜
、3は下地層としてのクロム膜、4は金属イオンの注入
により形成された炭化金属層、5は合成樹脂基板として
のポリエーテルイミドである。In this example, magnetic disks of the 7fff1 type, which differ only in the metal ions to be ion-implanted, were prepared as Example Samples 1 to 7, and the occurrence of cracks and signal characteristics were evaluated. Each magnetic disk had a layered structure as shown in FIG. In FIG. 1, 1 is a carbon film as a protective layer, 2 is a cobalt alloy film as a self-recording layer, 3 is a chromium film as an underlayer, 4 is a metal carbide layer formed by implanting metal ions, and 5 is a carbon film as a protective layer. is polyetherimide as a synthetic resin substrate.
まず、各磁気ディスクの製造方法について説明する。First, a method of manufacturing each magnetic disk will be explained.
■ポリエーテルイミド樹脂を用いて、射出成形により、
厚さ1.9mm、外径130mm、内径40mmのドー
ナツ型の基板を成形した。■By injection molding using polyetherimide resin,
A donut-shaped substrate having a thickness of 1.9 mm, an outer diameter of 130 mm, and an inner diameter of 40 mm was molded.
■この基板の表面に、表1に示すような金属イオンの注
入をそれぞれ行った。イオン注入は熱陰極形イオン源を
用いて金属をイオン化し、基板が熱変形しないように電
流を調整して行った。イオン注入量は、それぞれlX1
015イオン/am2とした。(2) Metal ions as shown in Table 1 were implanted into the surface of this substrate. Ion implantation was performed by ionizing the metal using a hot cathode ion source and adjusting the current so that the substrate would not be thermally deformed. The ion implantation amount is lX1, respectively.
015 ions/am2.
■このイオン注入によって形成された金属炭化膜上に、
DCマグネトロンスパッタ法により、クロム膜、コバル
ト合金膜、カーボン膜をそれぞれ2000人、800人
、300人の厚さで形成し、磁気ディスクを完成した。■On the metal carbide film formed by this ion implantation,
Using DC magnetron sputtering, a chromium film, a cobalt alloy film, and a carbon film were formed to a thickness of 2,000, 800, and 300, respectively, to complete the magnetic disk.
なお、比較のために、合成樹脂基板の表面に金属イオン
の注入を行わないで、基板に直接、クロム膜、コバルト
合金膜、カーボン膜を形成したもの(冬服とも膜厚は上
記と同じとした。)を作製した。For comparison, a chromium film, a cobalt alloy film, and a carbon film were formed directly on the surface of a synthetic resin substrate without implanting metal ions onto the surface (the film thickness was the same as above for winter clothes). ) was created.
以上のようにして作製した磁気ディスクの表面を、走査
型電子顕微鏡で、50,000倍までの倍率で観察した
。The surface of the magnetic disk produced as described above was observed using a scanning electron microscope at a magnification of up to 50,000 times.
この結果を表1に示す。The results are shown in Table 1.
表1
表1かられかるように、本実施例に係る磁気ディスクで
は、クランクの発生を完全に防止することができた。Table 1 As seen from Table 1, the magnetic disk according to this example was able to completely prevent the occurrence of cranking.
また、これらの各磁気ディスクについて、3370型ヘ
ツド(ギヤツブ巾25μm)を使用して、信号欠陥の個
数を測定した。その結果を表2に示す。Further, the number of signal defects was measured for each of these magnetic disks using a 3370 type head (gear width 25 μm). The results are shown in Table 2.
表2
表2かられかるように、本実施例に係る磁気ディスクで
は、信号欠陥を著しく減少させることができた。Table 2 As seen from Table 2, the magnetic disk according to this example was able to significantly reduce signal defects.
次に、これらのディスクを80℃、80%RHの恒温恒
湿槽に入れ、1000時間経過後、磁気特性、信号特性
を評価した。Next, these disks were placed in a constant temperature and humidity chamber at 80° C. and 80% RH, and after 1000 hours, the magnetic properties and signal characteristics were evaluated.
その結果、比較例磁気ディスクは、Hcの増加、角形比
の劣下などの磁気特性の変化およびS/N比の劣下など
が見られたが、本発明の実施例では、磁気特性、信号特
性ともにまったく変化は見られなかった。As a result, the magnetic disk of the comparative example showed changes in magnetic properties such as an increase in Hc and a decrease in squareness ratio, as well as a decrease in S/N ratio. No changes were observed in any of the characteristics.
以上、磁気記録媒体の一例として、En気ディスクの場
合について説明したが、他の磁気記録媒体についても同
様の結果を得ることができた。Although the case of an En-air disk has been described above as an example of a magnetic recording medium, similar results could be obtained with other magnetic recording media.
[効果コ
以上説明したように、本発明によれば、基板として合成
樹脂を用いた磁気記録媒体のクラックの発生を防止する
ことができる。このため、磁気記録媒体の磁性層の酸化
を防げることがでとるので長期的に信頼性の高い磁気記
録媒体を提供することができる。[Effects] As explained above, according to the present invention, it is possible to prevent the occurrence of cracks in a magnetic recording medium using a synthetic resin as a substrate. Therefore, it is possible to prevent the magnetic layer of the magnetic recording medium from being oxidized, so that it is possible to provide a magnetic recording medium with high reliability over the long term.
また、合成樹脂基板の表面の導電性を高くすることがで
きるので、信号欠陥のない優れた磁気記録媒体を提供で
きる。Furthermore, since the surface conductivity of the synthetic resin substrate can be increased, an excellent magnetic recording medium without signal defects can be provided.
第1図は、本発明の一実施例に係る磁気ディスクの構造
を示す模式的断面図である。
(符号の説明)
1・・・カーボン膜、2・・・コバルト合金膜、3・・
・クロム膜、4・・・金属炭化物による膜、5・・・合
成樹脂基板。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a magnetic disk according to an embodiment of the present invention. (Explanation of symbols) 1... Carbon film, 2... Cobalt alloy film, 3...
-Chromium film, 4...Metal carbide film, 5...Synthetic resin substrate.
Claims (2)
オンを注入することにより当該基体の表面に金属炭化物
膜が形成され、当該金属炭化物膜上にクロム膜が形成さ
れ、かつ、当該クロム膜上に少なくとも記録膜が形成さ
れたことを特徴とする磁気記録媒体。(1) A metal carbide film is formed on the surface of the base by injecting metal ions into the surface of the base formed of synthetic resin, and a chromium film is formed on the metal carbide film, and A magnetic recording medium comprising at least a recording film formed thereon.
^+、Ta^+、Ti^+、V^+、Zr^+のいずれ
かであることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒
体。(2) The metal ions are Al^+, Cr^+, Si
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium is one of ^+, Ta^+, Ti^+, V^+, and Zr^+.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14017089A JPH033115A (en) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14017089A JPH033115A (en) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | Magnetic recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033115A true JPH033115A (en) | 1991-01-09 |
Family
ID=15262514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14017089A Pending JPH033115A (en) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | Magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH033115A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001192826A (en) * | 1999-05-27 | 2001-07-17 | Sony Corp | Surface treatment apparatus, surface treatment method, and surface treated product |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP14017089A patent/JPH033115A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001192826A (en) * | 1999-05-27 | 2001-07-17 | Sony Corp | Surface treatment apparatus, surface treatment method, and surface treated product |
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