JPH0331376B2 - - Google Patents
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- JPH0331376B2 JPH0331376B2 JP15530883A JP15530883A JPH0331376B2 JP H0331376 B2 JPH0331376 B2 JP H0331376B2 JP 15530883 A JP15530883 A JP 15530883A JP 15530883 A JP15530883 A JP 15530883A JP H0331376 B2 JPH0331376 B2 JP H0331376B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/32—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using change of resonant frequency of a crystal
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、温度によつて発振周波数が変化す
る発振器を用いた温度検出装置に係り、特に較正
の容易な温度検出装置に関するものである。
る発振器を用いた温度検出装置に係り、特に較正
の容易な温度検出装置に関するものである。
発振器型の温度検出装置としては、従来水晶発
振器や弾性表面波発振器を用いたものが知られて
いる。これは、原理的に水晶振動子や弾性表面波
素子の共振周波数が温度の関数として表現できる
ことから、温度係数の大きいカツト（例えばYs
カツト厚みすべり振動）の水晶振動子あるいは温
度係数の大きな結晶のLiNbO3基板による弾性表
面波共振子で発振器を構成したものを温度検知器
として用い発振周波数を周波数カウンタで計数し
温度を検知するものである。
振器や弾性表面波発振器を用いたものが知られて
いる。これは、原理的に水晶振動子や弾性表面波
素子の共振周波数が温度の関数として表現できる
ことから、温度係数の大きいカツト（例えばYs
カツト厚みすべり振動）の水晶振動子あるいは温
度係数の大きな結晶のLiNbO3基板による弾性表
面波共振子で発振器を構成したものを温度検知器
として用い発振周波数を周波数カウンタで計数し
温度を検知するものである。
第１図は水晶発振器を用いた従来の温度検出装
置の一例を示すものである。第１図において、温
度検知器１は水晶振動子２を備えた発振器３によ
つて構成され温度に応じた周波数の出力を発生す
る。
置の一例を示すものである。第１図において、温
度検知器１は水晶振動子２を備えた発振器３によ
つて構成され温度に応じた周波数の出力を発生す
る。
この出力を増幅器４により増幅し混合器５にお
いて局部発振器６よりの基準周波数信号と混合し
て周波数差信号を得る。これを増幅器７において
増幅しさらにアンド回路８においてタイムベース
９とのアンドをとり、この出力をカウンタ１０よ
り計数して温度を検知しこれを表示器１１に表示
させるものである。
いて局部発振器６よりの基準周波数信号と混合し
て周波数差信号を得る。これを増幅器７において
増幅しさらにアンド回路８においてタイムベース
９とのアンドをとり、この出力をカウンタ１０よ
り計数して温度を検知しこれを表示器１１に表示
させるものである。
また、第２図に示すものは、弾性表面波発振器
を用いた従来の温度検出装置の一例である。第２
図の温度検出装置は温度検知器２１として弾性表
面共振子２２による発振器２３を用い、温度検知
側（送信機）と表示側（受信機）とを分離し、増
幅器４ａ，４ｂの間をアンテナ２４ａ，２４ｂを
用いて送受信する以外は第１図の構成と同様であ
り、同一部分を同一符号によつて表示している。
を用いた従来の温度検出装置の一例である。第２
図の温度検出装置は温度検知器２１として弾性表
面共振子２２による発振器２３を用い、温度検知
側（送信機）と表示側（受信機）とを分離し、増
幅器４ａ，４ｂの間をアンテナ２４ａ，２４ｂを
用いて送受信する以外は第１図の構成と同様であ
り、同一部分を同一符号によつて表示している。
これらの温度検出装置において用いられる水晶
振動子２や弾性表面波共振子２２の周波数と温度
の関係は下記の３次式で近似できる。
振動子２や弾性表面波共振子２２の周波数と温度
の関係は下記の３次式で近似できる。
fT−fT0＝fT0｛１＋Ａ（Ｔ−T0）
＋Ｂ（Ｔ−T0）2＋Ｃ（Ｔ−T0）3｝ …(1)
fT：Ｔ℃における周波数
fT0：T0℃における周波数
Ｔ：任意の温度
T0：任意の基準温度
Ａ、Ｂ、Ｃ、：１次、２次、３次の温度係数
なお、ABCの値は使用する結晶材料によつて
大きく変化する。例えば、ＹカツトＺ伝搬の
LiNbO3基板による弾性表面波共振子の場合はほ
ぼ下記のような値となる。
大きく変化する。例えば、ＹカツトＺ伝搬の
LiNbO3基板による弾性表面波共振子の場合はほ
ぼ下記のような値となる。
Ａ＝−88.7×10-6、Ｂ＝5.6×10-9、Ｃ＝112.7×
10-12 そこで、次式に示すような演算を行なうことに
より温度を検知できる。
10-12 そこで、次式に示すような演算を行なうことに
より温度を検知できる。
Ｔ＝T0＋｛（fT−fT0）／fT0｝／Ａ…(2)
また２次、３次の温度係数Ｂ、Ｃが無視できな
い場合には、これらを補正するような演算を行な
い測定精度を向上することも可能である。
い場合には、これらを補正するような演算を行な
い測定精度を向上することも可能である。
（ＹカツトＺ伝播LiNbO3の場合、直線性が良
好で補正なしで−10℃〜＋60℃の温度範囲で±
0.1℃の非直線誤差であることが報告されてい
る。） ところが、この精度を実現し維持するには、任
意の基準温度T0における発振周波数fT0を微調し、
正しく温度検知ができるように較正する必要があ
る。また、長時間使用していると時間の経過とと
もに発振周波数fT0が変化して温度誤差を生じ、
当初の性能が得られなくなる。そこで、これに対
処するためには、定期的に温度表示が正しいかど
うかを検査して適切な較正を行なう必要が生じて
くる。
好で補正なしで−10℃〜＋60℃の温度範囲で±
0.1℃の非直線誤差であることが報告されてい
る。） ところが、この精度を実現し維持するには、任
意の基準温度T0における発振周波数fT0を微調し、
正しく温度検知ができるように較正する必要があ
る。また、長時間使用していると時間の経過とと
もに発振周波数fT0が変化して温度誤差を生じ、
当初の性能が得られなくなる。そこで、これに対
処するためには、定期的に温度表示が正しいかど
うかを検査して適切な較正を行なう必要が生じて
くる。
この較正は、従来温度が正確に保たれている雰
囲気で、第２図の場合でいえば、温度検知器２１
を構成する発振器２３の発振周波数を調整するこ
とにより行なつている。第３図は、第２図の温度
検知側の送信機の一例をさらに具体的に示した構
成図であり、第２図に対応する部分が同一符号に
よつて表示している。
囲気で、第２図の場合でいえば、温度検知器２１
を構成する発振器２３の発振周波数を調整するこ
とにより行なつている。第３図は、第２図の温度
検知側の送信機の一例をさらに具体的に示した構
成図であり、第２図に対応する部分が同一符号に
よつて表示している。
図中Tr1は発振用のトランジスタ、Tr2は増幅
用のトランジスタ、２５はバイアス安定回路、２
６は電源、２７はトリマーコンデンサ、２８〜３
１は抵抗、３２，３３はコンデンサであり、発振
器２３はコルピツツ型として構成されている。
用のトランジスタ、２５はバイアス安定回路、２
６は電源、２７はトリマーコンデンサ、２８〜３
１は抵抗、３２，３３はコンデンサであり、発振
器２３はコルピツツ型として構成されている。
このような発振器２３において、温度較正のた
めの周波数の調整はトリマーコンデンサ２７を微
調整することによつて行なつている。しかし、ト
リマーコンデンサ２７の微調整は熟練を要する面
倒な作業であり、的確な調整を行ない難い欠点が
あつた。
めの周波数の調整はトリマーコンデンサ２７を微
調整することによつて行なつている。しかし、ト
リマーコンデンサ２７の微調整は熟練を要する面
倒な作業であり、的確な調整を行ない難い欠点が
あつた。
この発明は上記の欠点を除去し、熟練を必要と
せず容易かつ的確に較正を行なうことができると
ともに精度の高い測定の可能な温度検出装置を提
供しようとするものである。
せず容易かつ的確に較正を行なうことができると
ともに精度の高い測定の可能な温度検出装置を提
供しようとするものである。
この発明は、温度の検知に温度係数の大きな水
晶発振器や弾性表面波発振器のような温度に対し
て敏感でかつ安定な発振器を用い、この発振器出
力と安定な局部発振器からの基準周波数信号との
差周波数信号を得、これをカウンタで計数するこ
とにより温度を検知するとともに、前記局部発振
器の発振周波数を外部から変更できる機能を備え
これにより温度の較正を行なうことを特徴とする
ものである。
晶発振器や弾性表面波発振器のような温度に対し
て敏感でかつ安定な発振器を用い、この発振器出
力と安定な局部発振器からの基準周波数信号との
差周波数信号を得、これをカウンタで計数するこ
とにより温度を検知するとともに、前記局部発振
器の発振周波数を外部から変更できる機能を備え
これにより温度の較正を行なうことを特徴とする
ものである。
〔発明の効果〕
この発明によれば、基準となる局部発振器の発
振周波数を、演算部からのデータに基づき調整す
ることにより較正を行なうものであるため、温度
の較正が容易でありしたがつて常に高精度な温度
の測定が可能である。
振周波数を、演算部からのデータに基づき調整す
ることにより較正を行なうものであるため、温度
の較正が容易でありしたがつて常に高精度な温度
の測定が可能である。
以下、第４図を参照してこの発明の一実施例を
説明する。
説明する。
図において、温度検知器４１は弾性表面波共振
子４２を備えた弾性表面波発振器４３よりなるも
ので、温度に応じた発振周波数出力（例えば25℃
において75.235MHz、温度変化6.6KHz／℃）を発
生し、この出力を増幅器４４を介して電力増幅し
た後アンテナ４５より空中に放射している。
子４２を備えた弾性表面波発振器４３よりなるも
ので、温度に応じた発振周波数出力（例えば25℃
において75.235MHz、温度変化6.6KHz／℃）を発
生し、この出力を増幅器４４を介して電力増幅し
た後アンテナ４５より空中に放射している。
一方、受信部はこの電波をアンテナ４６により
受信し、受信信号を高周波増幅器４７により増幅
した後第１の混合器４８に供給する。この混合器
４８には第１の局部発振器４９が接続され、この
混合器４８において高周波増幅器４７の出力と安
定な局部発振出力とを混合して中間周波出力（例
えば10.7MHz）を得ている。
受信し、受信信号を高周波増幅器４７により増幅
した後第１の混合器４８に供給する。この混合器
４８には第１の局部発振器４９が接続され、この
混合器４８において高周波増幅器４７の出力と安
定な局部発振出力とを混合して中間周波出力（例
えば10.7MHz）を得ている。
局部発振器４９は電圧制御発振器として構成さ
れ、プリスケーラ５０、PLL回路５１、水晶振
動子５２、低域フイルタ５３により周波数シンセ
サイザとして所定のプラグラムのもとに局部発振
周波数を変更できるものである。
れ、プリスケーラ５０、PLL回路５１、水晶振
動子５２、低域フイルタ５３により周波数シンセ
サイザとして所定のプラグラムのもとに局部発振
周波数を変更できるものである。
混合器４８の中間周波出力は中間周波増幅器５
４により増幅された後第２の混合器５５に供給さ
れる。混合器５５には第２の局部発振器５６が接
続され、この混合器５５において中間周波増幅器
５４の出力と安定でかつ０℃における中間周波数
に相当する局部発振出力（例えば10.522MHz）と
を混合し、温度検知器４１の温度によつて変化し
た発振周波数の変化分のみを取り出している。
４により増幅された後第２の混合器５５に供給さ
れる。混合器５５には第２の局部発振器５６が接
続され、この混合器５５において中間周波増幅器
５４の出力と安定でかつ０℃における中間周波数
に相当する局部発振出力（例えば10.522MHz）と
を混合し、温度検知器４１の温度によつて変化し
た発振周波数の変化分のみを取り出している。
この信号を低周波増幅器５７で増幅した後、ア
ンド回路５８においてタイムベース５９より供給
される0.01℃で変化する周波数66Hzの基準信号と
アンドをとり、カウンタ６０に供給する。この
時、カウンタ６０に入力される周波数の値は温度
そのものとなつている。したがつて、この温度信
号を演算手段としてのマイクロコンピユータ６１
に入力し、例えばLEDよりなる温度表示器６３
に温度表示させる。
ンド回路５８においてタイムベース５９より供給
される0.01℃で変化する周波数66Hzの基準信号と
アンドをとり、カウンタ６０に供給する。この
時、カウンタ６０に入力される周波数の値は温度
そのものとなつている。したがつて、この温度信
号を演算手段としてのマイクロコンピユータ６１
に入力し、例えばLEDよりなる温度表示器６３
に温度表示させる。
この実施例では、データＤをマイクロコンピユ
ータ６１に入力して制御信号CSを出力し、危機
の温度制御が可能な構成になつている。すなわ
ち、演算手段であるマイクロコンピユータ６１か
ら前記PLL回路５１にデータを出力することが
でき、このデータに応じて局部発振器４９の発振
周波数を変更することにより温度制御を行なうこ
とができる。
ータ６１に入力して制御信号CSを出力し、危機
の温度制御が可能な構成になつている。すなわ
ち、演算手段であるマイクロコンピユータ６１か
ら前記PLL回路５１にデータを出力することが
でき、このデータに応じて局部発振器４９の発振
周波数を変更することにより温度制御を行なうこ
とができる。
いま、温度較正を行なう場合は、第４図の左下
に示したように基準となる温度計６４のプローグ
６５を前述した温度検知器４１と同じ温度雰囲気
内に置き、温度計６４の表示置をマイクロコンピ
ユータ６１のキー入力６２から入力する。
に示したように基準となる温度計６４のプローグ
６５を前述した温度検知器４１と同じ温度雰囲気
内に置き、温度計６４の表示置をマイクロコンピ
ユータ６１のキー入力６２から入力する。
このようにすると、マイクロコンピユータ６１
からPLL回路５１にデータを出力し、局部発振
器４９の発振周波数を微調して基準温度計６４の
温度表示と温度表示器６３の表示が等しくなるよ
うな制御が行なわれ、温度較正が完了する。した
がつて、従来の温度検知器側でトリマーコンデン
サを調整する場合のような熟練を必要とせず、容
易かつ的確に較正を行なうことができる。
からPLL回路５１にデータを出力し、局部発振
器４９の発振周波数を微調して基準温度計６４の
温度表示と温度表示器６３の表示が等しくなるよ
うな制御が行なわれ、温度較正が完了する。した
がつて、従来の温度検知器側でトリマーコンデン
サを調整する場合のような熟練を必要とせず、容
易かつ的確に較正を行なうことができる。
第５図はこの発明の他の実施例を示すものであ
る。第４図の実施例は、基準温度計６４の表示値
をマイクロコンピユータ６１のキー入力６２とし
て入力するものであるが、この実施例はこれを直
接マイクロコンピユータ６１に入力するものであ
る。その他の構成は第４図の場合と同じであるか
ら、同一部分に同一符号を付し説明を省略する。
る。第４図の実施例は、基準温度計６４の表示値
をマイクロコンピユータ６１のキー入力６２とし
て入力するものであるが、この実施例はこれを直
接マイクロコンピユータ６１に入力するものであ
る。その他の構成は第４図の場合と同じであるか
ら、同一部分に同一符号を付し説明を省略する。
この実施例においてもコンピユータ６１におい
て基準温度計６４の表示と温度表示器６３の表示
が等しくなるように演算を行ない、その結果得ら
れたデータ出力をPLL回路５１に加えて第４図
の実施例の場合と同様温度の較正を行ない得るも
のである。
て基準温度計６４の表示と温度表示器６３の表示
が等しくなるように演算を行ない、その結果得ら
れたデータ出力をPLL回路５１に加えて第４図
の実施例の場合と同様温度の較正を行ない得るも
のである。
次に第６図は温度検知器を含む送信側が複数個
ある場合で、理解の便宜上送信側の各構成要素は
対応する部分に同一数字にａ、ｂ、ｃ…ｎのサフ
イツクスを付した符号により表示してある。
ある場合で、理解の便宜上送信側の各構成要素は
対応する部分に同一数字にａ、ｂ、ｃ…ｎのサフ
イツクスを付した符号により表示してある。
この実施例において、各温度検知器４１ａ，４
１ｂ，４１ｃ…４１ｎはそれぞれ発振周波数がず
らして構成されている。温度信号を受信する場合
は、受信側の局部発振器４９の発振周波数をマイ
クロコンピユータ６１からの信号で切り変えて、
温度検知器４１ａ，４１ｂ，４１ｃ…４１ｎの置
いてある場所の温度をそれぞれ検知できるもので
ある。この場合にも、基準温度計６４をそれぞれ
の位置に置き、基準温度計６４の表示と温度表示
器６３の表示が等しくなるように局部発振器４９
の発振周波数を微調することにより温度の較正を
行なうことができる。
１ｂ，４１ｃ…４１ｎはそれぞれ発振周波数がず
らして構成されている。温度信号を受信する場合
は、受信側の局部発振器４９の発振周波数をマイ
クロコンピユータ６１からの信号で切り変えて、
温度検知器４１ａ，４１ｂ，４１ｃ…４１ｎの置
いてある場所の温度をそれぞれ検知できるもので
ある。この場合にも、基準温度計６４をそれぞれ
の位置に置き、基準温度計６４の表示と温度表示
器６３の表示が等しくなるように局部発振器４９
の発振周波数を微調することにより温度の較正を
行なうことができる。
なお、この発明は上記各実施例に限定されるも
のではなく要旨を変更しない範囲において種々変
形して実施することができる。
のではなく要旨を変更しない範囲において種々変
形して実施することができる。
例えば、上記各実施例では基準温度計６４を受
信機と別に設けているが、これを受信機内に設け
る構成をとることもでき、このようにすると較正
機能を内蔵した温度検出装置として取り扱いが極
めて容易となりかつ正確な温度計側が可能とな
る。
信機と別に設けているが、これを受信機内に設け
る構成をとることもでき、このようにすると較正
機能を内蔵した温度検出装置として取り扱いが極
めて容易となりかつ正確な温度計側が可能とな
る。
また上記実施例は受信側に局部発振器を２個用
いていわゆるダブルスーパーヘテロダイン受信方
式を採用した場合であるが、場合によつては局部
発振器１個を用いてこの発明の検出装置を構成す
ることもできる。
いていわゆるダブルスーパーヘテロダイン受信方
式を採用した場合であるが、場合によつては局部
発振器１個を用いてこの発明の検出装置を構成す
ることもできる。
さらに上記実施例は検出側と受信側を分離しア
ンテナを用いて信号の送受を行なつているが、こ
の発明は第１図に示したと同様に検知側と受信側
を分離しない構成によつても実施することができ
る。温度検知用の発振器としては弾性表面波発振
器の外に水晶発振器のような温度に応じて発振周
波数の大きく変化するものを適宜選択して用いる
ことができる。
ンテナを用いて信号の送受を行なつているが、こ
の発明は第１図に示したと同様に検知側と受信側
を分離しない構成によつても実施することができ
る。温度検知用の発振器としては弾性表面波発振
器の外に水晶発振器のような温度に応じて発振周
波数の大きく変化するものを適宜選択して用いる
ことができる。
第１図は水晶発振器を用いた従来の温度検出装
置の一例を示すブロツク図、第２図は弾性表面波
発振器を用いた従来の温度検出装置の一例のブロ
ツク図、第３図は第２図の検出装置の送信機を具
体的に示した構成図、第４図はこの発明の一実施
例のブロツク図、第５図はこの発明の他の実施例
のブロツク図、第６図は検知器を複数個備えたこ
の発明のさらに異なる実施例を示すブロツク図で
ある。 １……温度検知器、２……水晶振動子、３……
発振器、４，４ａ，４ｂ……増幅器、５……混合
器、６……局部発振器、７……増幅器、８……ア
ンド回路、９……タイムベース、１０……カウン
タ、１１……表示器、２１……温度検知器、２２
……弾性表面波共振子、２３……発振器、２４
ａ，２４ｂ……アンテナ、Tr1……発振用のトラ
ンジスタ、Tr2……増幅用のトランジスタ、２５
……バイアス安定回路、２６……電源、２７……
トリマーコンデンサ、２８〜３１……抵抗、３
２，３３……コンデンサ、４１……温度検知器、
４２……弾性表面波共振子、４３……弾性表面波
発振器、４４……増幅器、４５，４６……アンテ
ナ、４７……高周波増幅器、４８……第１の混合
器、４９……第１の局部発振器、５０……プリス
ケーラ、５１……PLL回路、５２……水晶振動
子、５３……低減フイルタ、５４……中間周波増
幅器、５５……第２の混合器、５６……第２の局
部発振器、５７……低周波増幅器、５８……アン
ド回路、５９……タイムベース、６０……カウン
タ、６１……マイクロコンピユータ、６２……キ
ー入力、６３……温度表示器、６４……基準温度
計、６５……プローグ。
置の一例を示すブロツク図、第２図は弾性表面波
発振器を用いた従来の温度検出装置の一例のブロ
ツク図、第３図は第２図の検出装置の送信機を具
体的に示した構成図、第４図はこの発明の一実施
例のブロツク図、第５図はこの発明の他の実施例
のブロツク図、第６図は検知器を複数個備えたこ
の発明のさらに異なる実施例を示すブロツク図で
ある。 １……温度検知器、２……水晶振動子、３……
発振器、４，４ａ，４ｂ……増幅器、５……混合
器、６……局部発振器、７……増幅器、８……ア
ンド回路、９……タイムベース、１０……カウン
タ、１１……表示器、２１……温度検知器、２２
……弾性表面波共振子、２３……発振器、２４
ａ，２４ｂ……アンテナ、Tr1……発振用のトラ
ンジスタ、Tr2……増幅用のトランジスタ、２５
……バイアス安定回路、２６……電源、２７……
トリマーコンデンサ、２８〜３１……抵抗、３
２，３３……コンデンサ、４１……温度検知器、
４２……弾性表面波共振子、４３……弾性表面波
発振器、４４……増幅器、４５，４６……アンテ
ナ、４７……高周波増幅器、４８……第１の混合
器、４９……第１の局部発振器、５０……プリス
ケーラ、５１……PLL回路、５２……水晶振動
子、５３……低減フイルタ、５４……中間周波増
幅器、５５……第２の混合器、５６……第２の局
部発振器、５７……低周波増幅器、５８……アン
ド回路、５９……タイムベース、６０……カウン
タ、６１……マイクロコンピユータ、６２……キ
ー入力、６３……温度表示器、６４……基準温度
計、６５……プローグ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 温度に応じて発振周波数の変化する発振器を
有する温度検知器と、基準周波数信号を発生する
局部発振器と、前記温度検知器の出力をこの基準
周波数信号と混合して周波数差信号を得る混合器
と、この混合器により得られた周波数差信号をも
とに温度を検出する手段と、前記温度検知器と同
じ温度雰囲気内に置かれた基準温度計と、この基
準温度計の温度表示と前記温度検知器により得ら
れた温度表示とが等しくなるようなデータを出し
前記局部発振器の基準周波数信号を可変する演算
手段とを備えたことを特徴とする温度検出装置。 ２ 上記温度検知のための発振器として弾性表面
波発振器を用いたことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の温度検出装置。 ３ 上記温度検知のための発振器として水晶発振
器を用いたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の温度検出装置。 ４ 上記基準温度計の出力を演算手段にキー入力
として入力することを特徴とする特許請求の範囲
第１項ないし第３項のいずれかに記載の温度検出
装置。 ５ 上記基準温度計の出力を演算手段に直接入力
することを特徴とする特許請求の範囲第１項ない
し第３項のいずれかに記載の温度検出装置。 ６ 温度検知側の送信機と表示側の受信機に分離
し温度信号を１対のアンテナを通じて送受信する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第
５項のいずれかに記載の温度検出装置。 ７ 上記温度検知器を複数個備えそれぞれの発振
器の発振周波数が異なるようにしていることを特
徴とする特許請求の範囲第１項ないし第６項のい
ずれかに記載の温度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15530883A JPS6046434A (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | 温度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15530883A JPS6046434A (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | 温度検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6046434A JPS6046434A (ja) | 1985-03-13 |
| JPH0331376B2 true JPH0331376B2 (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=15603055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15530883A Granted JPS6046434A (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | 温度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6046434A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007171047A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Tokyo Electron Ltd | ウェハ型温度センサとこれを用いた温度測定装置、温度測定機能を有する熱処理装置および温度測定方法 |
| US8082124B2 (en) | 2006-07-03 | 2011-12-20 | Ritsumeikan University | Method and system for diagnosing abnormal plasma discharge |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5248973B2 (ja) * | 2008-10-15 | 2013-07-31 | 日本無線株式会社 | 温度測定装置 |
| JP5552824B2 (ja) * | 2010-02-10 | 2014-07-16 | サクサ株式会社 | 無線送信機、無線受信機および無線送受信システム |
| CN108088582B (zh) * | 2017-12-29 | 2019-12-31 | 广东电网有限责任公司东莞供电局 | 一种声表面波快速测量开关柜温度的方法 |
-
1983
- 1983-08-25 JP JP15530883A patent/JPS6046434A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007171047A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Tokyo Electron Ltd | ウェハ型温度センサとこれを用いた温度測定装置、温度測定機能を有する熱処理装置および温度測定方法 |
| US8082124B2 (en) | 2006-07-03 | 2011-12-20 | Ritsumeikan University | Method and system for diagnosing abnormal plasma discharge |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6046434A (ja) | 1985-03-13 |
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