JPH0332178B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0332178B2 JPH0332178B2 JP60107662A JP10766285A JPH0332178B2 JP H0332178 B2 JPH0332178 B2 JP H0332178B2 JP 60107662 A JP60107662 A JP 60107662A JP 10766285 A JP10766285 A JP 10766285A JP H0332178 B2 JPH0332178 B2 JP H0332178B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- drive
- driving
- fixed
- atmospheric pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Fluid-Damping Devices (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は移動台の駆動装置に関し、さらに詳し
く言えば、真空中の移動台をＸ・Ｙ軸方向に、あ
るいはＸ・Ｚ軸方向に駆動する装置に関するもの
である。
く言えば、真空中の移動台をＸ・Ｙ軸方向に、あ
るいはＸ・Ｚ軸方向に駆動する装置に関するもの
である。
半導体装置の製造に用いられる電子ビーム露光
装置においては、解像度の向上等の理由から真空
中で露光する。このため露光すべき半導体ウエハ
を載置する移動台の位置移動は真空状態の中で行
われる。
装置においては、解像度の向上等の理由から真空
中で露光する。このため露光すべき半導体ウエハ
を載置する移動台の位置移動は真空状態の中で行
われる。
第５図は従来例に係る真空中の移動台の駆動装
置の側断面図であり、真空チヤンバ１内の移動台
３は下部に設けられたスライド部材１０により基
台２の上を、図面上において左右に動くことがで
きる。
置の側断面図であり、真空チヤンバ１内の移動台
３は下部に設けられたスライド部材１０により基
台２の上を、図面上において左右に動くことがで
きる。
移動台を動かすときは、モータ５によりねじ６
を所定の方向に回転させる。ねじ６が回転すると
ボールねじ部４が前進し、これに係合する駆動軸
７が前進する。駆動軸７が前進すると駆動用ベロ
ー８は押されて縮まり、ベロー８の内側から係合
する駆動軸９も前進して移動台３が前進する。
を所定の方向に回転させる。ねじ６が回転すると
ボールねじ部４が前進し、これに係合する駆動軸
７が前進する。駆動軸７が前進すると駆動用ベロ
ー８は押されて縮まり、ベロー８の内側から係合
する駆動軸９も前進して移動台３が前進する。
一方、モーター５が反対方向に回転すると、同
様のプロセスを経て移動台３が後退する。
様のプロセスを経て移動台３が後退する。
このときチヤンバ１内はベロー８によつて外側
の大気から隔離されているので、チヤンバ１内の
真空状態を保持しながら移動台３の移動が可能と
なる。
の大気から隔離されているので、チヤンバ１内の
真空状態を保持しながら移動台３の移動が可能と
なる。
ところでチヤンバ１内が真空である限り、ベロ
ー８には外側から常に大気の圧力によつて押され
ている。このため移動台３の駆動力としてはこの
大気の圧力を補正したものでなければならず、モ
ーター５の駆動制御回路等が複雑化する問題点が
あつた。
ー８には外側から常に大気の圧力によつて押され
ている。このため移動台３の駆動力としてはこの
大気の圧力を補正したものでなければならず、モ
ーター５の駆動制御回路等が複雑化する問題点が
あつた。
また停電や操作の誤りによつて突然電源が切れ
るとき、この大気の圧力によつてベロー８が急激
に引き込まれて移動台３がチヤンバ１に激突し、
装置の破損を招くなどの問題点があつた。
るとき、この大気の圧力によつてベロー８が急激
に引き込まれて移動台３がチヤンバ１に激突し、
装置の破損を招くなどの問題点があつた。
本発明はかかる点に鑑みて創作されたものであ
り、簡単な構成で操作性の良好な真空中の移動台
の駆動装置の提供を目的とする。
り、簡単な構成で操作性の良好な真空中の移動台
の駆動装置の提供を目的とする。
第１図は本発明の原理構成を示す側断面図であ
る。
る。
１は真空チヤンバであり、内部は真空に保たれ
ている。３は真空チヤンバ１内の移動台でスライ
ド部材１０を介して基台２上を矢印方向に移動す
る。
ている。３は真空チヤンバ１内の移動台でスライ
ド部材１０を介して基台２上を矢印方向に移動す
る。
５はモーターであり、ねじ６を所定の方向に回
転する。４はボールねじ部で、ねじ６の回転によ
つて前進または後退する。８は伸縮自在の駆動用
ベローであり、駆動軸７を介してボールねじ部４
に、また駆動軸９を介して移動台３に係合してい
る。
転する。４はボールねじ部で、ねじ６の回転によ
つて前進または後退する。８は伸縮自在の駆動用
ベローであり、駆動軸７を介してボールねじ部４
に、また駆動軸９を介して移動台３に係合してい
る。
１１は伸縮自在の支持用ベローであり、支持軸
１２を介して駆動用ベロー８の反対側から移動台
３に係合している。
１２を介して駆動用ベロー８の反対側から移動台
３に係合している。
駆動用ベロー８の端面には図上右側から大気の
圧力が加わつているが、支持用ベロー１２の端面
にも図上左側から大気の圧力が加わつており、端
面の面積が同等ならば移動台３に加わる左右から
の圧力は互いに相殺される。
圧力が加わつているが、支持用ベロー１２の端面
にも図上左側から大気の圧力が加わつており、端
面の面積が同等ならば移動台３に加わる左右から
の圧力は互いに相殺される。
次に本発明の実施例について説明する。第２図
は本発明の実施例に係るXYステージの斜視図で
あり、第３図は第２図のXYステージを矢印側か
ら見た側断面図である。１は基台２に固着する真
空チヤンバ、２０はＸステージ、３１はＹステー
ジである。
は本発明の実施例に係るXYステージの斜視図で
あり、第３図は第２図のXYステージを矢印側か
ら見た側断面図である。１は基台２に固着する真
空チヤンバ、２０はＸステージ、３１はＹステー
ジである。
Ｘステージ２０の駆動部は、基台２に固着する
駆動台１５、モーター１３、モーター１３により
回転制御されるねじ１４、ねじ１４の回転方向に
従つて前進または後退するボールねじ部１６、ボ
ールねじ部１６の前進によりベロー１８を押圧
し、後退によりベロー１８を引戻す駆動軸１７、
真空チヤンバ１内の真空状態を保持しながら駆動
軸１７により伸縮する駆動用ベロー１８および両
端がそれぞれベロー１８とＸステージ２０に係合
している駆動軸１９とによつて構成されている。
また２１はＸステージ２０用のガイドレールで基
台２に固着している。
駆動台１５、モーター１３、モーター１３により
回転制御されるねじ１４、ねじ１４の回転方向に
従つて前進または後退するボールねじ部１６、ボ
ールねじ部１６の前進によりベロー１８を押圧
し、後退によりベロー１８を引戻す駆動軸１７、
真空チヤンバ１内の真空状態を保持しながら駆動
軸１７により伸縮する駆動用ベロー１８および両
端がそれぞれベロー１８とＸステージ２０に係合
している駆動軸１９とによつて構成されている。
また２１はＸステージ２０用のガイドレールで基
台２に固着している。
２２は支持用ベローであり、支持軸２３を介し
てＸステージ２０に係合し、これを支持してい
る。なお支持用ベロー２２の端面の面積は駆動用
ベロー１８の端面の面積と同等に形成している。
てＸステージ２０に係合し、これを支持してい
る。なお支持用ベロー２２の端面の面積は駆動用
ベロー１８の端面の面積と同等に形成している。
同様にＹステージ３１の駆動部は、基台２に固
着する駆動台２６、モーター２４、モーター２４
により回転制御されるねじ２５、ねじ２５の回転
方向に従つて前進または後退するボールねじ部２
７、ボールねじ部２７の前進によりベロー２９を
押圧し、後退によりベロー２９を引戻す駆動軸２
８、真空チヤンバ１内の真空状態を保持しながら
駆動軸２８により伸縮する駆動用ベロー２９およ
び両端がそれぞれベロー２９とＹステージ３１に
係合している駆動軸３０とによつて構成されてい
る。
着する駆動台２６、モーター２４、モーター２４
により回転制御されるねじ２５、ねじ２５の回転
方向に従つて前進または後退するボールねじ部２
７、ボールねじ部２７の前進によりベロー２９を
押圧し、後退によりベロー２９を引戻す駆動軸２
８、真空チヤンバ１内の真空状態を保持しながら
駆動軸２８により伸縮する駆動用ベロー２９およ
び両端がそれぞれベロー２９とＹステージ３１に
係合している駆動軸３０とによつて構成されてい
る。
３８はＹステージ用のガイドレールで、Ｘステ
ージ２０に固着している。３２は支持用ベローで
あり、支持軸３３を介してＹステージ３１に係合
し、これを支持している。なお支持用ベロー３２
の端面の面積は駆動用ベロー２９の端面の面積と
同等に形成している。
ージ２０に固着している。３２は支持用ベローで
あり、支持軸３３を介してＹステージ３１に係合
し、これを支持している。なお支持用ベロー３２
の端面の面積は駆動用ベロー２９の端面の面積と
同等に形成している。
３４は駆動軸３０とＹステージ３１とを係合す
る部材であり、その機能はＹ軸側駆動のときＹス
テージ３１に固着するガイドレール３５に係合し
てＹステージ３１をＸステージ２０に固着するガ
イドレール３８上を移動させ、一方Ｘ軸駆動のと
き部材３９の転動によつてＸ方向の係合を解きＹ
ステージ３１がＸステージ２０とともにＸ方向に
移動するのを許容するものである。
る部材であり、その機能はＹ軸側駆動のときＹス
テージ３１に固着するガイドレール３５に係合し
てＹステージ３１をＸステージ２０に固着するガ
イドレール３８上を移動させ、一方Ｘ軸駆動のと
き部材３９の転動によつてＸ方向の係合を解きＹ
ステージ３１がＸステージ２０とともにＸ方向に
移動するのを許容するものである。
３６は支持軸３３とＹステージ３１とを係合す
る部材であり、係合部材３４と同様の機能を有す
る。なお４０は係合部材３６に取り付けられた転
動部材である。
る部材であり、係合部材３４と同様の機能を有す
る。なお４０は係合部材３６に取り付けられた転
動部材である。
次に実施例の動作を説明する。Ｘ軸駆動側のモ
ーター１３が所定の方向に回転を開始すると、ね
じ１４が回転し、ボールねじ部１６が前進する。
ボールねじ部１６が前進すると駆動用ベロー１８
を圧縮しながら駆動軸１７，１９が前進し、従つ
てＸステージ２０も前進して支持用ベロー２２を
圧縮する。このときＹステージ３１とＹ軸側駆動
部およびＹ軸側支持部とは、係合部材３４および
３６によつて係合を解かれているので、Ｘステー
ジ２０とともにＹステージ３１もＸ方向に移動す
る。
ーター１３が所定の方向に回転を開始すると、ね
じ１４が回転し、ボールねじ部１６が前進する。
ボールねじ部１６が前進すると駆動用ベロー１８
を圧縮しながら駆動軸１７，１９が前進し、従つ
てＸステージ２０も前進して支持用ベロー２２を
圧縮する。このときＹステージ３１とＹ軸側駆動
部およびＹ軸側支持部とは、係合部材３４および
３６によつて係合を解かれているので、Ｘステー
ジ２０とともにＹステージ３１もＸ方向に移動す
る。
モーター１３が逆の方向に回転すると、同様な
プロセスを経てＸステージ２０とＹステージ３１
はＸ方向に後退する。
プロセスを経てＸステージ２０とＹステージ３１
はＸ方向に後退する。
次にＹ軸駆動側のモーター２４が所定の方向に
回転を開始すると、ねじ２５が回転してボールね
じ部２７が前進する。ボールねじ部２７が前進す
ると駆動用ベロー２９を圧縮しながら駆動軸２
８，３８が前進する。Ｙステージ３１はＸステー
ジ２０上のガイドレール３８をスライドするの
で、Ｙステージ３１のみがＹ方向に移動する。
回転を開始すると、ねじ２５が回転してボールね
じ部２７が前進する。ボールねじ部２７が前進す
ると駆動用ベロー２９を圧縮しながら駆動軸２
８，３８が前進する。Ｙステージ３１はＸステー
ジ２０上のガイドレール３８をスライドするの
で、Ｙステージ３１のみがＹ方向に移動する。
このようにしてＹステージ３１上の試料、たと
えばウエハーを所定の位置に設定できる。
えばウエハーを所定の位置に設定できる。
今、装置の駆動中に停電したとする。モーター
１３によるＸステージ２０の位置をコントロール
する駆動力は消滅し、ベロー１８の端部を介して
大気の圧力のみがＸステージ２０にかかる。しか
し、実施例装置ではこの大気の圧力と同等の力を
反対側のベロー２２を介してステージ２０にかけ
ているから、Ｘステージ２０は安定した位置に保
たれ、チヤンバー１激突することはない。
１３によるＸステージ２０の位置をコントロール
する駆動力は消滅し、ベロー１８の端部を介して
大気の圧力のみがＸステージ２０にかかる。しか
し、実施例装置ではこの大気の圧力と同等の力を
反対側のベロー２２を介してステージ２０にかけ
ているから、Ｘステージ２０は安定した位置に保
たれ、チヤンバー１激突することはない。
同様にＹ軸側にも支持用ベロー３２を設けてい
るので、停電時にもＹステージ３１は安定した位
置状態にあり、チヤンバー１に激突して装置が破
損することもない。
るので、停電時にもＹステージ３１は安定した位
置状態にあり、チヤンバー１に激突して装置が破
損することもない。
またこのように、ベローを介してステージにか
かる大気の圧力を相互に相殺しているので、通常
の動作においても大気の圧力による力の補正をす
る必要がなくなり、従つてモーターの駆動制御回
路が簡単になる。
かる大気の圧力を相互に相殺しているので、通常
の動作においても大気の圧力による力の補正をす
る必要がなくなり、従つてモーターの駆動制御回
路が簡単になる。
第４図は本発明の別の実施例に係るＸ・Ｚステ
ージの側断面図である。図においてＸ・Ｚステー
ジ面は垂直であり、Ｚ軸は鉛直方向と一致してい
る。Ｘ軸側の駆動部は第２図と同様であり、同じ
機能の要素は同じ番号を付している。
ージの側断面図である。図においてＸ・Ｚステー
ジ面は垂直であり、Ｚ軸は鉛直方向と一致してい
る。Ｘ軸側の駆動部は第２図と同様であり、同じ
機能の要素は同じ番号を付している。
図において、４１はＺ軸側のモーター、４２は
ねじ、４３はＺ軸駆動部の基台である。また４４
はボールねじ部、４５と４７は駆動軸、４６は駆
動用ベローであり、４８はＺステージ５０と駆動
軸４７との係合部材、４９はステージ５０に固着
する係合部材４８のガイドレールである。
ねじ、４３はＺ軸駆動部の基台である。また４４
はボールねじ部、４５と４７は駆動軸、４６は駆
動用ベローであり、４８はＺステージ５０と駆動
軸４７との係合部材、４９はステージ５０に固着
する係合部材４８のガイドレールである。
この実施例ではＺ軸側に支持用ベローを設けて
いない。この場合には、Ｚ軸側駆動用ベロー４６
の端面にかかつて上方へ押し上げる大気の圧力と
XZステージ５０等の下方へかかる重力とを均衡
させている。均衡はベローの端面の面積の調節や
重量の調節により容易にできる。このように本実
施例では支持用ベローを設けることなく同様の効
果を得ることが可能となる。
いない。この場合には、Ｚ軸側駆動用ベロー４６
の端面にかかつて上方へ押し上げる大気の圧力と
XZステージ５０等の下方へかかる重力とを均衡
させている。均衡はベローの端面の面積の調節や
重量の調節により容易にできる。このように本実
施例では支持用ベローを設けることなく同様の効
果を得ることが可能となる。
以上述べたように本発明によれば、駆動軸にか
かる大気圧による駆動用ベローの力を、大気によ
り生じる移動用ベローの力によつて相殺するよう
にしたので、駆動力以外の力、即ちベローによる
力が駆動軸に加わらず、停電等の際に駆動軸の駆
動力が突然消滅した場合でもベローの力によつて
移動台がチヤンバに激突することはなく、移動台
を安定に保持することができる。
かる大気圧による駆動用ベローの力を、大気によ
り生じる移動用ベローの力によつて相殺するよう
にしたので、駆動力以外の力、即ちベローによる
力が駆動軸に加わらず、停電等の際に駆動軸の駆
動力が突然消滅した場合でもベローの力によつて
移動台がチヤンバに激突することはなく、移動台
を安定に保持することができる。
また、通常の動作においても、モータ等によつ
て駆動軸に駆動力を加える場合に、、ベローの力
を考慮して駆動力を補正する必要がなく、駆動軸
を駆動するモータの制御回路を簡単にするととも
に、電子顕微鏡、電子線描画装置等における試料
台の位置を精密に制御することが可能になる。
て駆動軸に駆動力を加える場合に、、ベローの力
を考慮して駆動力を補正する必要がなく、駆動軸
を駆動するモータの制御回路を簡単にするととも
に、電子顕微鏡、電子線描画装置等における試料
台の位置を精密に制御することが可能になる。
しかも、駆動用ベローと同じように、移動用ベ
ローの力を大気圧によつて生じさせているので、
大気圧の変化にかかわらず移動用ベローと駆動用
ベローの力の均衡を常に保つことが可能になり、
装置の取付け場所の大気圧の相違による相殺力を
調整する手間を省くことができる。
ローの力を大気圧によつて生じさせているので、
大気圧の変化にかかわらず移動用ベローと駆動用
ベローの力の均衡を常に保つことが可能になり、
装置の取付け場所の大気圧の相違による相殺力を
調整する手間を省くことができる。
第１図は本発明の原理構成を示す側断面図であ
る。第２図は本発明の実施例装置の斜視図であ
り、第３図は第２図の側断面図である。第４図は
本発明の別の実施例装置の側断面図である。第５
図は従来例装置の側断面図である。 １……真空チヤンバ、３……移動台（ステー
ジ）、４……ボールねじ部、５……モーター、６
……ねじ、７，９……駆動軸、８……駆動用ベロ
ー、１０……スライド部材、１１……支持用ベロ
ー、１２……支持軸。
る。第２図は本発明の実施例装置の斜視図であ
り、第３図は第２図の側断面図である。第４図は
本発明の別の実施例装置の側断面図である。第５
図は従来例装置の側断面図である。 １……真空チヤンバ、３……移動台（ステー
ジ）、４……ボールねじ部、５……モーター、６
……ねじ、７，９……駆動軸、８……駆動用ベロ
ー、１０……スライド部材、１１……支持用ベロ
ー、１２……支持軸。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 真空チヤンバ１内に配置した移動台３を駆動
する駆動軸７，９と、 一端が前記真空チヤンバ１に固定され、他端が
前記駆動軸７，９に固定されて前記駆動軸７，９
の移動に合わせて伸縮し、大気圧に曝された駆動
用ベロー８と、 一端が大気圧に曝されるとともに前記真空チヤ
ンバ１に固定され、他端が前記駆動軸７，９と反
対側の前記移動台３に固定され、前記駆動用ベロ
ー８に加わる大気圧による力を相殺しながら前記
移動台３の移動に合わせて伸縮する支持用ベロー
１１とを有することを特徴とする真空中の移動台
の駆動装置。 ２ 前記駆動軸７，９と直交する向きに前記移動
台３を移動する第二の駆動軸２８，３０と、 一端が前記真空チヤンバ１に固定され、他端が
前記第二の駆動軸２８，３０に固定されて前記第
二の駆動軸２８，３０の移動に合わせて伸縮し、
大気圧に曝された第二の駆動用ベロー２９と、 一端が大気圧に曝されるとともに前記真空チヤ
ンバ１に固定され、他端が前記第二の駆動軸２
８，３０と反対側の前記移動台３に固定され、前
記第二の駆動用ベロー２９に加わる大気圧による
力を相殺しながら前記移動台３の移動に合わせて
伸縮する第二の支持用ベロー３３とを有すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の真空中
の移動台の駆動装置。 ３ 前記移動台３を鉛直方向に駆動する第三の駆
動軸４５，４７を設け、 一端が前記真空チヤンバ１に固定され、他端が
大気に曝されて前記第三の駆動軸４５，４７に固
定される第三の駆動用ベロー４６を取付けるとと
もに、 前記第三の駆動軸４５，４７に加わる前記移動
台３の下方への重力と、大気圧により前記第三の
駆動用ベロー４６を押し上げる力とを等しくさせ
る大きさに、前記第三の駆動用ベロー４６の端面
を形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の真空中の移動台の駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60107662A JPS61267245A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 真空中の移動台の駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60107662A JPS61267245A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 真空中の移動台の駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61267245A JPS61267245A (ja) | 1986-11-26 |
| JPH0332178B2 true JPH0332178B2 (ja) | 1991-05-10 |
Family
ID=14464833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60107662A Granted JPS61267245A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 真空中の移動台の駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61267245A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4012024B2 (ja) | 2002-09-10 | 2007-11-21 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置に於ける衝撃吸収装置 |
| JP5467257B2 (ja) * | 2008-05-19 | 2014-04-09 | アキム株式会社 | 真空内溶接処理装置 |
| CN108292584B (zh) | 2015-11-20 | 2019-10-29 | 株式会社岛津制作所 | 真空处理装置和质谱分析仪 |
| JP6693132B2 (ja) * | 2016-01-12 | 2020-05-13 | 日本精工株式会社 | テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械 |
| CN112392892B (zh) * | 2020-11-06 | 2021-12-10 | 中国科学院物理研究所 | 一种减振装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52117573A (en) * | 1976-03-30 | 1977-10-03 | Toshiba Corp | Electronic beam exposure unit |
| JPS58102522A (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 試料移動装置 |
-
1985
- 1985-05-20 JP JP60107662A patent/JPS61267245A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61267245A (ja) | 1986-11-26 |
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