JPH033281A - 金属蒸気レーザ装置 - Google Patents
金属蒸気レーザ装置Info
- Publication number
- JPH033281A JPH033281A JP13633289A JP13633289A JPH033281A JP H033281 A JPH033281 A JP H033281A JP 13633289 A JP13633289 A JP 13633289A JP 13633289 A JP13633289 A JP 13633289A JP H033281 A JPH033281 A JP H033281A
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- vacuum
- vessel
- discharge
- tube
- metal vapor
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/031—Metal vapour lasers, e.g. metal vapour generation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ガス放電によって金属を加熱、気化および
励起させてレーザ出力を得る金属蒸気レーザ装置の放電
管構造に関するものである。
励起させてレーザ出力を得る金属蒸気レーザ装置の放電
管構造に関するものである。
第３図は昭和５６年度レーザ研究第９巻第２号「銅蒸気
レーザーの製作」Ｃζ示された従来の金属蒸気レーザ装
置を示す断面図であり、図において、（１）は陰極端子
、（２］は陽極端子、＋３Ｊは陰極、（４）は陰極（３
目ζ対向する陽極、（５）は電極（３） 、 （４）間
に配置され、内部に放電が形成される内管、（６）はこ
の内管（５）から径方向への熱伝導や対流ζこよる熱損
失を抑制するための絶縁物、（７）は真空部（６）を形
成するためのシール管、（８）はレーザ光を取り出す窓
、（９）はこれらを取り囲む金属外管、ＱＯは金属蒸気
を生成する金属粒、東は上記シール管（７）から径方向
への熱伝導や対流１ζよる熱損失を抑制するための真空
部、四は真空部（６）の内部番ζあり、上記シール管（
７）からの熱放射による熱損失を抑制する複数の金属板
、□は金属板を支持するスポット溶接で構成した金属ス
ペーサ、Ｑ４は陰極フランジ、μｓは放電を起すために
注入されている放電ガスである。
レーザーの製作」Ｃζ示された従来の金属蒸気レーザ装
置を示す断面図であり、図において、（１）は陰極端子
、（２］は陽極端子、＋３Ｊは陰極、（４）は陰極（３
目ζ対向する陽極、（５）は電極（３） 、 （４）間
に配置され、内部に放電が形成される内管、（６）はこ
の内管（５）から径方向への熱伝導や対流ζこよる熱損
失を抑制するための絶縁物、（７）は真空部（６）を形
成するためのシール管、（８）はレーザ光を取り出す窓
、（９）はこれらを取り囲む金属外管、ＱＯは金属蒸気
を生成する金属粒、東は上記シール管（７）から径方向
への熱伝導や対流１ζよる熱損失を抑制するための真空
部、四は真空部（６）の内部番ζあり、上記シール管（
７）からの熱放射による熱損失を抑制する複数の金属板
、□は金属板を支持するスポット溶接で構成した金属ス
ペーサ、Ｑ４は陰極フランジ、μｓは放電を起すために
注入されている放電ガスである。
次に動作について説明する。
陰極端子（１）と陽極端子（２］より各々陰極フランジ
（４）と金属外管（９）を通して陰極（３）と陽極（４
ンの間にパルス電圧が印加されると、放電ガス（７）雰
囲気中の陰極（３）と陽極（４）との間にパルス放電が
発生し、内管（５）の内部に放電が形成される。次いで
、放電ｆこより発生した熱は、内管（５）に伝導し、内
情（６）を伝り囲む絶縁物（６）、真空部Ｑυ、金属板
（転）、金属スペ−サ（１３１こより径方向への熱の対
流、伝導、放射による熱損失を極力抑えることで、内管
（６）の温度を上昇させる。温度が上昇すると、内管（
５）内部に設定した金属粒ＣＩＱを溶融して、レーザ発
振を起こすのに必要な金属蒸気を得る。この状態におい
て、パルス電圧により、金属蒸気が励起され、反転分布
を起こし、光共振器（第３図には示されていない）を両
端の窓（８）の外側に設置すれば、窓（８）を遍してレ
ーザ光が得られる。
（４）と金属外管（９）を通して陰極（３）と陽極（４
ンの間にパルス電圧が印加されると、放電ガス（７）雰
囲気中の陰極（３）と陽極（４）との間にパルス放電が
発生し、内管（５）の内部に放電が形成される。次いで
、放電ｆこより発生した熱は、内管（５）に伝導し、内
情（６）を伝り囲む絶縁物（６）、真空部Ｑυ、金属板
（転）、金属スペ−サ（１３１こより径方向への熱の対
流、伝導、放射による熱損失を極力抑えることで、内管
（６）の温度を上昇させる。温度が上昇すると、内管（
５）内部に設定した金属粒ＣＩＱを溶融して、レーザ発
振を起こすのに必要な金属蒸気を得る。この状態におい
て、パルス電圧により、金属蒸気が励起され、反転分布
を起こし、光共振器（第３図には示されていない）を両
端の窓（８）の外側に設置すれば、窓（８）を遍してレ
ーザ光が得られる。
従来の金属蒸気レーザ装置は以上のように構成されてい
るので、シール管（７）が加熱されることで放出ガスが
真空部四に発生し、真空部（ロ）内の真空度が低下する
ことにより、陰極フランジＱ４と金属外管（９）の間に
電圧を印加すると真空部東門に不正放電が発生する恐れ
があり、レーザ効率を低下させるといった問題点があっ
た。
るので、シール管（７）が加熱されることで放出ガスが
真空部四に発生し、真空部（ロ）内の真空度が低下する
ことにより、陰極フランジＱ４と金属外管（９）の間に
電圧を印加すると真空部東門に不正放電が発生する恐れ
があり、レーザ効率を低下させるといった問題点があっ
た。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、真空部Ｑ時に電圧を発生させないようにして
不正放電を防ぎ、安定したレーザ出力の金属蒸気レーザ
装置を得ることを目的とする。
たもので、真空部Ｑ時に電圧を発生させないようにして
不正放電を防ぎ、安定したレーザ出力の金属蒸気レーザ
装置を得ることを目的とする。
この発明に係る金属蒸気レーザ装置は、放電部を形成す
る管の外周部に、少なくとも一方の電極から電気的に絶
縁された真空容器を設けたものである。
る管の外周部に、少なくとも一方の電極から電気的に絶
縁された真空容器を設けたものである。
この発明における金属蒸気レーザ装置では、内管の外周
部・ζ、少なくとも一方の電極から絶縁された真空容器
を設ける仁とにより、真空容器を設けることにより、真
空容器内の真空層に高電圧が印加されず、上記真空層で
の不正放電が起こらず、安定したレーザ出力が得られる
。
部・ζ、少なくとも一方の電極から絶縁された真空容器
を設ける仁とにより、真空容器を設けることにより、真
空容器内の真空層に高電圧が印加されず、上記真空層で
の不正放電が起こらず、安定したレーザ出力が得られる
。
以下、この発明の一実施例を図によって説明する。
第１図はこの発明の一実施例による金属蒸気レーザ装置
を示す断面図である。第１図曇ζおいて、ａＱは、陰極
（３）を支持する陰極フランジである。ｑηは、陽極（
４）を支持する陽極フランジである。Ｏｌは絶縁物（６
）の外周にあり、例えば金属の真空容器である。（至）
は、陽極（４）と陽極（４）と陽極７ランジｑηと真空
容器−を電気的につなぐ金属板である。
を示す断面図である。第１図曇ζおいて、ａＱは、陰極
（３）を支持する陰極フランジである。ｑηは、陽極（
４）を支持する陽極フランジである。Ｏｌは絶縁物（６
）の外周にあり、例えば金属の真空容器である。（至）
は、陽極（４）と陽極（４）と陽極７ランジｑηと真空
容器−を電気的につなぐ金属板である。
上記のように構成された金属蒸気レーザ装置においては
、陰極フランジ韓、陽極フランジｑη、窓（８）と内管
（５）によって、放電部の気密が保たれている。また内
管（５）の外周に設けた絶縁物（６）の外周に真空容器
−を設けているが、例えば金属の真空容器−を金山板（
７）により陽極フランジ（ロ）と接続して、真空容器−
を電流の帰環回路に使用しても、＠１図に示されている
ように陰極側が真空容器ａ９と絶縁されているので、真
空容器内の真空層（６）は同電位になる。また、真空容
器ａＱは主放電と同軸状に設置されているから、電極管
のインダクタンスは極めて小さく＊流が流れることによ
り、真空容器−のインダクタンスの逆起電力士じた場合
でも、その大きさは非常に小さい。よって、真空層四を
不正放電防止のために高真空に維持する必要がなく、熱
伝導を防止するだけの真空度であれば良く、真空容器Ｑ
９が加熱され内部で放出ガスが発生しても、容器内の圧
力が数Ｔｏｒｒ以下であれば問題なく、例えば真空容器
を封じ切った場合でも長時間性能を損なうことはなく安
定したレーザ出力が得られるようになる。
、陰極フランジ韓、陽極フランジｑη、窓（８）と内管
（５）によって、放電部の気密が保たれている。また内
管（５）の外周に設けた絶縁物（６）の外周に真空容器
−を設けているが、例えば金属の真空容器−を金山板（
７）により陽極フランジ（ロ）と接続して、真空容器−
を電流の帰環回路に使用しても、＠１図に示されている
ように陰極側が真空容器ａ９と絶縁されているので、真
空容器内の真空層（６）は同電位になる。また、真空容
器ａＱは主放電と同軸状に設置されているから、電極管
のインダクタンスは極めて小さく＊流が流れることによ
り、真空容器−のインダクタンスの逆起電力士じた場合
でも、その大きさは非常に小さい。よって、真空層四を
不正放電防止のために高真空に維持する必要がなく、熱
伝導を防止するだけの真空度であれば良く、真空容器Ｑ
９が加熱され内部で放出ガスが発生しても、容器内の圧
力が数Ｔｏｒｒ以下であれば問題なく、例えば真空容器
を封じ切った場合でも長時間性能を損なうことはなく安
定したレーザ出力が得られるようになる。
第２図はこの発明の他の実施例に係る真空容器の形状を
示す断面図である。図における真空容器０９は実施例と
同様、内管の外周に少なくとも一方の電極から電気的に
絶縁されており、また、端部を曲げた真空容器である。
示す断面図である。図における真空容器０９は実施例と
同様、内管の外周に少なくとも一方の電極から電気的に
絶縁されており、また、端部を曲げた真空容器である。
このようにすることで軸方向の熱伝導も防止することが
出来、断熱効率を上げることが出来る。
出来、断熱効率を上げることが出来る。
なお、上記実施例では真空容器ａＱは金属製であり、電
流の帰環回路に使用しているが、帰環回路に使用せず、
ガラス製であっても良いことは言うまでもない。
流の帰環回路に使用しているが、帰環回路に使用せず、
ガラス製であっても良いことは言うまでもない。
以上のように、この発明によれば放電部を形成する管の
外周部に、少なくとも一方の電極から電気的に絶縁され
た真空容器を設けたので、真空容器内での不正放電が起
こることがなく、安定したレーザ出力を得ることが出来
る効果がある。
外周部に、少なくとも一方の電極から電気的に絶縁され
た真空容器を設けたので、真空容器内での不正放電が起
こることがなく、安定したレーザ出力を得ることが出来
る効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による金属蒸気レーザ装置
を示す断Ｆｔｎ図、第２図はこの発明の他の実施例によ
る金属レーザ装置を示す断面図、及び第３図は従来の金
属蒸気レーザ装置を示す断面図である。 図にわいて、（３）は陽極、（４）は陽極、（５Ｊは内
Ｗ、ｑυは真空層、０４は放電ガス、す９は真空容器で
ある。 なお、図中、１Ｆで一符号は同−又は相当部分を示しま
す。
を示す断Ｆｔｎ図、第２図はこの発明の他の実施例によ
る金属レーザ装置を示す断面図、及び第３図は従来の金
属蒸気レーザ装置を示す断面図である。 図にわいて、（３）は陽極、（４）は陽極、（５Ｊは内
Ｗ、ｑυは真空層、０４は放電ガス、す９は真空容器で
ある。 なお、図中、１Ｆで一符号は同−又は相当部分を示しま
す。
Claims (1)
- 対向する一対の電極、上記電極間に放電ガスで満たされ
た放電部を形成する管を有する金属蒸気レーザ装置にお
いて、上記管の外周部に、少なくとも一方の上記電極か
ら電気的に絶縁された真空容器を設けたことを特徴とす
る金属蒸気レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13633289A JPH033281A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 金属蒸気レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13633289A JPH033281A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 金属蒸気レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033281A true JPH033281A (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=15172746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13633289A Pending JPH033281A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 金属蒸気レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH033281A (ja) |
-
1989
- 1989-05-30 JP JP13633289A patent/JPH033281A/ja active Pending
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