JPH0333036A - 熱ガラス基体上に酸化物被覆を熱分解的に形成する方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は熱ガラス基体の上面に酸化ケイ素被覆を熱分解
的に形成する方法及び装置に関する。

本発明はガラス上での酸化ケイ素被覆の熱分解形成に関
連した種々の問題の研究の結果としてなされた。酸化ケ
イ素被覆は、種々の目的のためガラス上の唯一の被覆と
して、又は多層被覆の一層として使用できる。例えば酸
化ケイ素被覆は、１種以上の異なる酸化物又は金属の如
き他の材料であることができる他の被覆層での上被覆を
するための下層として、又は一つ以上のかかる下側層の
最上部に付着させる上被種層として使用できる。ソーダ
ーライムガラス上での酸化ケイ素被覆の存在は、それ以
上の被覆を有しないシートの場合において浸出によって
、又はその上側層の形成中もしくは時間経過の間Ｊこ上
側被覆中への拡散その他Ｉこよって、ガラスからのナト
リウムイオンの移行を阻止する特別の有利性を有する。

例えばソーダーライムガラス基体上に塩化第二錫から酸
化錫被覆を熱分解形成するに当って、ガラスと被覆プリ
カーサ−材料又はその反応生成物との反応の結果として
塩化ナトリウムは被覆中に混入するようになる傾向があ
り、これが被覆中に曇りをもたらすことが見出されてい
る。酸化ケイ素下側被覆又は上被覆の存在は全被覆の厚
さｌこおける変動ｔこよる望ましからぬ妨害効果を減す
るのに非常に有利な効果も有しうる。

被覆プリカーサ−材料としてのシラン特にＳｉＨ４の使
用は、それ自体ガラス上での熱分解被覆の形成のため良
く知られている。シランは４００℃以上の温度で分解し
、ケイ素被覆を形成できる。しかしながらかかるケイ素
被覆をその場で酸化して酸化ケイ素被覆を形成すること
は難しい。このためシランを直接酸素と反応させること
が好ましい。この反応は、被覆装置のある部分よりもむ
しろガラス基体上に酸化ケイ素を付着させるためｆこ生
起させるべきであるため、酸化ケイ素被覆の形成におけ
るシラン含有被覆プリカーサ一材料の使用のための全て
の既知の提案は、被覆プリカーサ−材料を、被覆される
べき基に対して開いている被覆室内で酸素と混合できる
ようにし、これらの材料が直接基体と自由に接触される
べきことを固執している。しかしながら本発明者等は、
これは高品質でかつ均一な品質の酸化ケイ素被覆の製造
に有利でなく、特に基体の幅全体にわたって均一な厚さ
の被覆を達成するに当って問題があることを見出した。

本発明の目的はこれらの問題を軽減することにある。

本発明によれば、酸素の存在下にシラン含有被覆プリカ
ーサ−材料と基体を接触させることによって熱ガラス基
体が被覆室を通って送行するとき、熱ガラス基体上に酸
化ケイ素被覆を熱分解的に形成する方法を提供し、蒸気
相でのシラン含有被覆プリカーサ−材料及びガス状酸素
を、それらが基体ｌこ接触するため被覆室に入る前に均
質混合することを特徴とする。

本発明による方法は、被覆試薬の早めの混合によって、
基体の幅全体に均一被覆を達成するのに大きな利点を提
供する。驚いたことに、早めの混合は、先行技術の教示
から予期される如き被覆プリカーサ−材料の早すぎる反
応をもたらさず、それは事実において高品質酸化ケイ素
被覆の生成にとって有利である。

基体は少なくとも４００℃の温度で被覆室に達するのが
好ましい。かかる温度はシラン含有被覆プリカーサ−か
らの酸化ケイ素被覆の急速形成に非常に好適である。又
−船釣なものとして、被覆形成中のガラスの温度が高く
なればなる程、被覆反応が早くなり、従って被覆収率、
即ち有用な被覆酸化物へ変換される被覆プリカーサ−材
料の割合が増大し、一定のリボン進行速度に対して、所
望に応じてより厚い被覆を形成することができることも
知るべきである。このため、被覆プリカーサ−材料は、
ガラスが少なくとも６５０℃の温度を有するとき最初に
ガラスに接触することが好ましい。多くの目的のため、
ガラスは、それが先ず被覆プリカーサ−材料によって接
触せしめられるとき７００〜７５０℃の温度を有すると
よい。

本発明は、必要なときには、予め切断され、再加熱され
たガラスシートに酸化ケイ素被覆を形成するために使用
できる。しかしながら熱分解的に被覆された平板ガラス
を製造することを望むときには、ガラスが新しく形成さ
れたときにそうすることが最も良い。そうすることは、
生起させるべき熱分解反応のためガラスを再加熱する必
要がないことで経済的有利性を有し、又ガラスの面が元
の条件のままであることを確実にすることから被覆の品
質についても有利性を有する。従って好ましくはかかる
予備混合した酸素及び被覆プリカーサ−材料は新しく形
成された平板ガラスによって構成された熱ガラス基体の
上面と接触するようにもたらす。

被覆室は例えばリボンが進行する徐冷レアの上流端に又
はその近くに位置することができる、リボンは引き上げ
機又はフロート室中で形成できる。

しかしながら本発明者等は、徐冷する非被覆ガラスのた
め以前使用していたレアを、被覆したガラスの製造のた
めのレア及び被覆ステーションを形成するために変換す
るに当っては一定の問題を生ずることを見出した。かか
る問題は、一方で熱分解被覆を形成するため、そして他
方でガラスの適切な徐冷をするための多分具なる温度条
件の結果として生じ、そして被覆ステーションを位置さ
せるのに利用しうる空間の束ばくの結果として生ずる。

問題は、多層被覆を形成することが望まれるとき、明ら
かに二つ以上の異なる被覆ステーションを必要とすると
き複雑になる。更に被覆反応は、ガラスが全体的に冷却
されることにおいてのみならず、被覆された面が非被覆
面よりも冷却される傾向があることで、ガラスに冷却効
果を有する。従って被覆ガラスの製造から非被覆ガラス
の製造に変えるとき及びこの逆のとき、そして時ｆこは
ガラスに付与する被覆の厚さに実質的な変化をさせると
きでさえも、一つ以上の被覆ステーションを備えた徐冷
レア内で異なる温度規制をしばしば確立しなければなら
ない。

これらの問題を軽減するため、かかる予備混合した酸素
及び被覆プリカーサ−材料は、ガラスがそれが製造され
るフロート室内にある間に。

熱フロートガラス基体の上面と接触するようにもたらす
ことが最も好ましい。

本発明のこの好ましい実施態様に従って操作し、フロー
ト室内で被覆を形成することによって、徐冷レアの上流
端又はその近くに被覆ステーションのための空間を見つ
け出す必要が避けられる。更に本発明者等は、フロート
室を出るガラスリボンの温度が、リボンが被覆されるか
否かで実質的に影響を受けず、従ってその被覆室を操作
するかしないか切り変えるとき徐冷レア中の温度規制を
変える必要がないことを確実にすることができることを
見出した。

フロート室内で酸化物被覆を形成することを提案するこ
とは驚くべきことである。フロート室は、全体又は主と
して錫である溶融金属の浴を含有し、これはガラスリボ
ンを拡げ、大任上げされるようになるガラスに要求され
る温度でかなり容易に酸化できるものであり、従ってフ
ロート室内を還元性雰囲気に保つことが一般的な慣行で
ある、何故ならば金属浴の表面からガラスリボンによっ
て取り上げられる表面ドロスは作られるガラス中の欠陥
の元になるからである。代表的なかかる雰囲気は約９５
％の窒素及び約５％の水素を含有し、それは周囲雰囲気
からフロート室中に酸素が漏洩するのを防ぐため僅かに
過圧に保たれる。フロート室中へ酸素の入るのを避ける
ためあらゆる注意を払っても、金属浴の表面で殆ど常に
形成するドロスを除くため多くの研究もなされて来た。

従ってフロート室中に酸化性雰囲気を故意に保つことは
、フロートガラスの製造についての教示の慣習に反する
ことになる。しかしながら本発明者等は、予期される問
題を生ぜしめることなくフロート室内に酸化性条件を作
ることが可能であることを見出した。本発明者等は、こ
れは、前記被覆プリカーサ−材料が被覆室中で前記面と
接触するようにもたらされるという事実に少なくとも一
部原因があると信する。被覆室の使用は、被覆プリカー
サ−材料及び被反応生成物の酸化性条件の閉じ込めを容
易にし、従ってフロート室中の金属の浴上でのそれらの
効果を小さく又は無視しうるようにできる。

被覆は、リボンがその最終の幅に達した位置の下流でフ
ロート室に沿った任意の位置で形成するとよい、そして
選択する実際の位置はガラスの被覆を開始するために望
ましい温度によって決る。ガラスは、通常５７０℃〜６
５０℃の範囲である温度で徐冷レアに通すためフロート
室から引き出す。５７０℃以上のリボン温度が生起すべ
き熱分解被覆反応に本来好適である、従って被覆ステー
ションはフロート室からの出口ｌζ真ｌζ近い位置であ
ることができる。しかしながら被覆がフロート室内で形
成されないとき、ガラスがフロート室から出るときの温
度よりも少なくとも５０℃、好ましくは１００℃高い温
度をガラスが有するようなフロート室に沿った位置で被
覆プリカーサ−材料がガラスに接触するのが好ましい。

本発明のこの好ましい特長の採用は、リボンがフロート
室を出るとき、その温度が被覆操作によって実質的に影
響を受けないよう被反応生成物される熱を再得するため
ガラスにとって十分な時間がある利点を提供する。

有利には、被覆プリカーサ−材料は前記被覆室内でガラ
スに接触する、この室は基体通路と下方に向いて開いた
フードによって規定し、被覆室はその周囲の実質的に全
体で吸気する。これは未使用被覆プリカーサ−及び被覆
反応生成物の被覆室から周囲空間への逃散を防止するの
を助ける。

かかる吸気は、被覆室の実質的に周囲全体をとりまく周
囲雰囲気の内方への流れを誘起するのが好ましい。これ
は被覆室内の酸化条件と周囲雰囲気の間の空気圧封止を
作る。

本発明の好ましい実施態様において、被覆プリカーサ−
材料としてのシランは実質的に不活性なキャリヤーガス
中での蒸気相で被覆室に向って搬送し、酸素はシラン含
有キャリヤーガス流中にそれが被覆室に入る前に導入す
る。本発明に従って操作するとき、被覆室に入る前に均
質に混合された酸素及び被覆プリカーサ−シランを有す
ることが必須であるが、これらの試薬が被覆室に供給す
る前に混合するために時間の長さを制御できることも有
利である。実質的Ｉこ不活性なキャリヤーガス流中で被
覆室に向ってシランを搬送し、次いでそのキャリヤーガ
ス流に酸素を導入することは、その制御を達成するため
酸素を導入すべき点の選択を可能にする。

有利には実質的に不活性なキャリヤーガスとして窒素を
使用する。窒素はこの目的の観点において充分に不活性
であり、それは貴ガスと比較したとき安価である。

必要な酸素は純粋酸素として導入するとよい、これは不
必要な費用を加算する、好ましくはそれに酸素を導入す
るためキャリヤーガス流ｆζ空気を導入する。

被覆プリカーサ−及び／又は酸素はベンチュリーにより
キャリヤーガス流中に好都合ｆこ導入できる。

好ましい実施態様においては、実質的に不活性なキャリ
ヤーガスとシランの均質混合を確実にするため、キャリ
ヤーガス流中に乱流を誘起させる。成る量の乱流は前述
した如くベンチュリーを使用すると誘起される、しかし
これは例えば被覆プリカーサ−導入点の下流で絞りを有
する供給ラインの使用によって増強できる。キャリヤー
ガス中へのプリカーサ−の均質混合は乱流を誘起するこ
とによって確実にされる。

同様の理由のため、シラン含有キャリヤーガスと酸素の
均質混合を確実にするため、キャリヤーガス流中に酸素
を導入した後、乱流をキャリヤーガス流中に誘起させる
のが有利である。

被覆試薬を供給する速度は、成る程度形成すべき被覆の
所望の厚さによって決り、そして基体が被覆室を通過す
る速度によって決る。好ましくは被覆プリカーサ−材料
としてのシランは被覆室中に０．１％〜１．５％の分圧
で導入する。

その範囲内の濃度が、２０ｍ／分以下で送行する基体上
に約３０　ｎｍから約２４０　ｎｍまでの被覆を形成す
るのに好適である。

約１０ｍ／分未満の速度で送行する被覆ガラスの製造の
ため、有利には被覆プリカーサ−材料としてのシランは
０．１％〜０．４％の分圧で被覆室に導入する。

酸素は被覆室中ｆこ０．６％〜２０％の分圧で導入する
のが好ましい。その範囲内の濃度が２０ｍ／分以下で送
行する基体上に約３０　ｎｍから約２４０　ｎｍまでの
被覆を形成するためにこれも好適である。

約１０ｍ／分未満の速度で送行する被覆ガラスの製造の
ためには、酸素を０．６％〜６．５％の分圧で被覆室中
に導入することが有利である。

好ましくは被覆プリカーサ−材料がガラスに向って送る
とき被覆プリカーサ−材料への熱エネルギーの伝達を制
限する工程をとる。これは周囲条件よりも低いレベルで
被覆試薬の温度を保ち、更に早すぎる反応の傾向を減少
させるのを助ける。

有利には、被覆プリカーサ−材料は、ガラス上に形成す
べき被覆の幅の少なくとも主部分を横切って延びる又は
一緒に延びる少なくとも一つのスロットを介して供給し
てガラスに接触させる。これはガラス基体の幅一杯に均
一な厚さを有する被覆の形成を容易ｆこする。

本発明は熱ガラス基体の上面に酸化物被覆を熱分解的に
形成するための装置に及び、かかる装置は、基体通路と
下方に向いて開いたフードによって規定された被覆室を
通る通路に沿って基体を搬送するための支持装置、予め
酸素と混合される蒸気相の形での被覆プリカーサ−材料
を被覆室に供給するための装置、及び被覆室から被覆反
応生成物及び未使用プリカーサ−材料を含む雰囲気を吸
入するための装置を含むことを特徴とする。

かかる装置は、ガス状酸素及び前記被覆プリカーサ−材
料が前記被覆室１こ達する前にそれらの早くでの混合を
達成するため非常に簡単に構成できる。本発明者等は、
この蒸気相での被覆試薬の早めの混合がひいては基体の
幅一杯の均一被覆の達成に大きな利益を提供することを
見出した。驚いたことに、早めの混合は予期した如き被
覆プリカーサ−材料のかかる早期反応をもたらさ、ず、
事実において高品質被覆の製造に有利である。

かかる装置は、所望ならば個々のガラスの再加熱シート
を被覆するために使用できる。或いは本発明の好ましい
実施態様におけるものとして、前記被覆ステーションを
ガラスリボン形成機によりガラスを供給する水平徐冷レ
ア内に又はそのト流に位置させる、これは再加熱装置の
必要を避ける利点を有する。

しかしながら一般には、前記支持装置はフロート室中の
溶融金属の浴であり、被覆室はフロート室内に置くのが
好ましい。

かかる装置は、フロート室からガラスを送る徐冷レアの
構成を簡単化する利点を有する。これは、被覆ステーシ
ョンから更にフロート室に沿って徐冷レア中へリボンを
通すためにかかる時間中に、被覆されたガラスの温度プ
ロフィルが、実際の被覆工程中抽出された熱によって乱
された平衡状態に戻ることができるためである。

従ってレア内の温度を調整するための装置は、その被覆
ステーションを操作のために開閉するときガラスの製造
間で何ら差異についての考慮をする必要がなく、レア内
の温度制御が非常に簡略化できる。ガラスを供給する徐
冷レアの構成を簡略化することの利点は、多層被覆を有
するガラスを製造することを所望するときより犬になる
、何故なら先夜するガラス製造プラントの場合において
は、そのプラントの丈余な再槽成をせずに必要な数の被
覆ステーションのためフロート室外に室を設けることは
簡単でないからである。

有利には前記被覆室は基体通路と下方に向いて開いたフ
ードによって規定し、吸気装置は被覆室の実質的に周囲
全体の周りに設ける。これは被覆ステーションの近辺内
で装置に有害な効果を有することのある被覆反応生成物
及び未使用被覆試薬の逃散を防ぐことを助ける。

前気吸気装置は被覆室の実質的に全周囲をとりまく周囲
雰囲気材料の内方への流れを保つように適用するのが好
ましい。これはフードの下から材料が逃散するのを防止
することを容易にし、被覆室の周りの空気圧封屯を作る
。

有利には被覆プリカーサ−材料をキャリヤーガス流中に
導入するため及び続いてそれが被覆室に入る前に酸素を
プリカーサ−含有キャリヤーガス流中に導入するための
装置を設ける。被覆室中に入る前に酸及び被覆プリカー
サ−シランを混合するための装置を設けることが、本発
明の第一の観点で操作するとき望ましく、そして本発明
の第二の観点で操作するとき必須であるが、これらの試
薬が被覆室に供給される前に混合するための時間の長さ
を制御できることの利点もある。実質的に不活性なキャ
リヤーガス流中で被覆室に向ってシランを送り、次いで
そのキャリヤーガス流に酸素を導入することは、その制
御を達成するため酸素を導入すべき点の選択を可能にす
る。

前記キャリヤーガス流中にガス状酸素及び前記被覆プリ
カーサ−材料の少なくとも一つを導入するため少なくと
も一つのベンチュリーを設けるのが好ましい。これは導
入された材料がそのガス流と混合されるようになるよう
な方法でそれぞれの材料をキャリヤーガス流中に導入す
る非常に簡単な方法である。

好ましい実施態様において、キャリヤーガスと被覆プリ
カーサ−材料の均質混合を確実にするため、キャリヤー
ガス流中に乱流を誘起するための装置を設ける。乱流は
例えば被覆プリカーサ−導入点の下流に絞りを有する供
給ラインを使用することによって誘起させることができ
る。かかる絞りは非対称であることができる。

キャリヤーガス中へのプリカーサ−の均質混合は乱流を
誘起させることによって確実にされる。

同様の理由のため、プリカーサ−含有キャリヤーガスと
酸素の均質混合を確実にするため、キャリヤーガス流に
酸素を導入した後キャリヤーガス流中に乱流を誘起させ
るための装置を設けることが有利である。

有利には、被覆室中に被覆プリカーサ−材料を導入する
ため、被覆室の幅の主たる部分を横切って延びる又は一
緒に延びる少なくとも一つのスロットを設ける。これは
基体の幅一杯に均一な厚さを有する被覆を形成すること
を容易にする。例えば一つのスロットを、基体の通路に
対して直角で、フードの中央に設けるとよい。

被覆プリカーサ−材料が被覆室に向って送られる時、被
覆プリカーサ−材料への熱エネルギーの伝達を制限する
ための装置を設けるのが好ましい。これは周囲条件より
も低いレベルで被覆試薬の温度を保ち、更に早期反応す
る傾向を減少させることを助ける。

本発明の好ましい実施態様を添付図面を参照し、実施例
によって更に詳細に説明する。

第１図はフロート室内に置いた本発明による被覆装置の
横断面図である。

第２図は第１図の被覆装置の縦断面図である。

第３図は被覆装置の平面略図である。

第４図は被覆ステーションに供給する供給ラインへの被
覆試薬の供給を示す図である。

各図において、ガラスのリボン１はこれも１で示した通
路に沿って進行し、この間それはフロート室３内に含有
された溶融金属の浴２によって支持されている。被覆ス
テーションは全体的に４で示した壁及び屋根構造体でと
りまかれている。

被覆ステーション４はリボン通路ｌ上に下方に向いて開
いている被覆室６を規定するフード５、被覆室６に被覆
試薬を供給するための供給ライン７、及び被覆室の周囲
をとりまく吸気用チムニ−８を有する。

供給ライン７は供給源（図示せず）からの窒素の如き実
質的に不活性なキャリヤーガスを供給し、シランの如き
被覆プリカーサ−材料は第一ベンチュリー９でキャリヤ
ーガス中に導入する。分散された被覆プリカーサ−を有
するキャリヤーガス流は供給ライン７に沿って第一絞り
１０に流れ、この絞り１０はキャリヤーガスと連行され
た被覆プリカーサ−材料の均質混合を確実にするため、
キャリヤーガス流に乱流を与えるために配置しである。

更にその下流には、例えば空気の構成成分としての酸素
の導入のため第二ベンチュリー１１が設けてある。更に
別の乱流誘起絞り１２がキャリヤーガス流中の連行被覆
プリカーサ−材料と酸素の均質混合を確実ｆこする。被
覆試薬は供給ライン７１ζよって、フード５の幅の主部
分を横切って延びる出口スロット１４を有する流れ制御
ブロック１３に供給される。

フロート室３の外側で供給ライン７に被覆プリカーサ−
材料及び酸素を供給することが好都合である。フロート
室３内の全部分で、供給ライン７は、第１図に示す如く
冷却水入口１６及び出口１７を備えた冷却ジャケット１
５でと０まかれている。所望によって、冷却ジャケット
１５は第２図及び第４図に点線で１８で示す如く流れ制
御ブロック１３内に延出してもよい、かくすると被覆試
薬は被覆室６中のリボン１と接触するためそれらがスロ
ット１４から出るまで過熱に対して保護される。

第２図に示す如く、フード５及び流れ制御ブロック１３
は、支柱１９によってフロート室３の屋根から適当に吊
す。ねじＩＥめ支柱１９を用いるのが好ましい、かくす
るとフード５の基部の高さをリボン通路１から小さい間
隙、例えば２の以下に調整できる。

フード５、被覆室６、及び流れ制御ブロック１３は周囲
通路２０によってとりまかれ１周囲通路２０を介して、
被覆反応生成物及び未使用被覆プリカーサ−材料は所望
により内方に吸収されたフロート室から周囲雰囲気材料
と共にチムニ−８を通って上方に向って吸気できる。フ
ード５及び被覆ステーション壁構造物４は、周囲通路２
０の基部で所望ｌこよって周囲に延びるスカート２１を
設けて示しである。これらのスカートは例えばレフラシ
ル（Ｒｅｆｒａｓｉｌ　：登録商標）から作られた可撓
性耐入物カーテンで適宜構成する。

実施例　１ フロート室に沿って’１ｍ１分の速度で進行するフロー
トガラスを被覆するための特別の実施態様において、被
覆ステーションを、ガラスが約７００℃の温度であるフ
ロート室に沿った位置に置いた。供給ラインは窒素を供
給し、シランはそれに０．２５％の分圧で導入し、酸素
は０．５％の分圧で導入した（比０．５）。キャリヤー
ガス中の被覆プリカーサ−材料は供給ライン７に沿って
供給し、供給された材料が、リボン進行方向に対して平
行の両方向で約２〜３ｍ／秒の速度でフード５にれはガ
ラスの通路１の上１５鱈にある）とガラスの間に沿って
流れるような速度で約４Ｍの幅のスロットを出た。フー
ド５はその方向で約４０ｃｒＩＭの長さを有していた。

雰囲気材料は、約７〜８ｍ／秒の速度で周囲通路２０中
でガスの上方への流れを発生するような速度でチムニ−
８を介して吸気した、これはフロート室から被覆室６の
周囲全体をとりまく通路２０の基部へのガスの連続した
内方への流れを生ぜしめ、かくして被覆試薬及びそれら
の反応生成物のフロート室中への逃散を防止した。

勿論かかる吸気は被覆反応生成物及び未使用被覆試薬も
引き出した。

形成された被覆は厚さ約９０　ｎｍの二酸化ケイ素の被
覆であった。続く被覆工程で、水平徐冷レアの上流端に
近く置いた被覆ステーションでそれ自体知られた方法で
行って、ドープした５ｎＯ１の上側層を約５００　ｎｍ
の厚さに形成した。

一緒になった被覆は干渉効果による望ましからぬ着色変
化を実質的に含んでいなかった。

本発明の第二観点による改変実施態様において、図面に
示した被覆ステーションを徐冷レア中に置いた。従って
図面の説明において、フロート室に関する説明は、徐冷
レアに関して置き換えることができ、溶融金属浴に関す
る説明はコンベヤーロールに関する説明で置き換えるこ
とができる。

実施例　２ 特別の実施態様において、フロートガラスがフロート室
から引き出された後それを被覆するため、被覆ステーシ
ョンは、厚さ約３５０　ｎｍのドープした５ｎＯ１の被
覆層を形成するための別の被覆ステーションの下流で、
ガラスの温度が約５００℃である徐冷レア中に置いた。

被覆プリカーサ−材料は、約１００　ｎｍの厚さの二酸
化ケイ素上被覆を形成するために実施例１と同じ割合で
導入した。再び一緒になった被覆は干渉効果による望ま
しからぬ着色変化を実質的に含有していなかった。

【図面の簡単な説明】

第１図はブロード室内に置いた本発明による被覆装置の
横断面図、第２図は第１図の被覆装置の縦断面図、＠３
図は被覆装置の平面略図。 第４図は被覆ステーションに供給する供給ラインへの被
覆試薬の供給を示す図である。 １・・・ガラスリボン、２・・・溶融金属浴、３・・・
フロート室、４・・・被覆ステーションの壁及び屋根構
造体、５・・・フード、６・・・被覆室、７・・・供給
ライン、８・・・チムニ−９・・・第一ベンチュリー１
０・・・絞り、１１・・・第二ベンチュリー　１２・・
・絞り、１３・・・流れ制御ブロック、１４・・・出口
スロット、１５・・・冷却ジャケット、１６・・・冷却
水入口、１７・・・冷却水出口、１９・・・支柱、２ｏ
・・・周囲通路、２１・・・スカート。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、酸素の存在下シラン含有被覆プリカーサー材料とガ
   ラス基体を接触させることによつて熱ガラス基体が被覆
   室を通つて送行するとき、熱ガラス基体上に酸化ケイ素
   被覆を熱分解的に形成する方法において、蒸気相中のシ
   ラン含有被覆プリカーサー材料及びガス状酸素を、それ
   らが被覆室に入り基体に接触する前に均質混合すること
   を特徴とする方法。 ２、基体が少なくとも４００℃の温度を有する被覆室に
   到達する請求項１記載の方法。 ３、被覆プリカーサー材料が、最初にガラスが少なくと
   も６５０℃の温度を有するときガラスに接触する請求項
   ２記載の方法。 ４、かかる予備混合された酸素及び被覆プリカーサー材
   料が、新しく形成された平板ガラスによつて構成された
   熱ガラス基体の上面と接触するようにもたらされる請求
   項１〜３の何れかに記載の方法。 ５、かかる予備混合された酸素及び被覆プリカーサー材
   料が、ガラスがそれが製造されるフロート室内にある間
   に、熱フロートガラス基体の上面と接触するようにもた
   らされる請求項４記載の方法。 ６、被覆プリカーサー材料が、被覆がフロート室内で形
   成されないとき、ガラスがフロート室を出る温度よりも
   少なくとも５０℃、好ましくは少なくとも１００℃高い
   温度をガラスが有するようフロート室に沿つた位置でガ
   ラスに接触する請求項５記載の方法。 ７、被覆プリカーサー材料が前記被覆室内でガラスに接
   触し、被覆室は基体通路及び下方に向いて開いたフード
   によつて規定され、被覆室がその周囲の実質的に全体で
   吸気される請求項１〜６の何れかに記載の方法。 ８、かかる吸気が、被覆室の実質的に全周囲をとりまく
   周囲雰囲気の内へ向う流れを誘起する請求項７記載の方
   法。 ９、被覆プリカーサー材料としてのシランを実質的に不
   活性なキャリヤーガス流中の蒸気相で被覆室に向つて搬
   送し、酸素をシラン含有キャリヤーガス流が被覆に入る
   前にその中に導入する請求項１〜８の何れかに記載の方
   法。 １０、窒素を実質的に不活性なキャリヤーガスとして使
   用する請求項９記載の方法。 １１、酸素を導入するため空気をキャリヤーガス流に供
   給する請求項９又は１０記載の方法。 １２、キャリヤーガス及びシランの均質混合を確実にす
   るため、乱流をキャリヤーガス流中に誘起させる請求項
   ９〜１１の何れかに記載の方法。 １３、シラン含有キャリヤーガス及び酸素の均質混合を
   確実にするため、キャリヤーガス流に酸素を導入した後
   キャリヤーガス流中に乱流を誘起させる請求項９〜１２
   の何れかに記載の方法。 １４、被覆プリカーサー材料としてのシランを、０．１
   ％〜１．５％の分圧で被覆室中に導入する請求項１〜１
   ３の何れかに記載の方法。 １５、被覆プリカーサー材料としてのシランを、０．１
   ％〜０．４％の分圧で被覆室中に導入する請求項１４記
   載の方法。 １６、酸素を０．６％〜２０％の分圧で被覆室中に導入
   する請求項１４又は１５記載の方法。 １７、酸素を０．６％〜６．５％の分圧で被覆室中に導
   入する請求項１６記載の方法。 １８、被覆プリカーサー材料がガラスに向つて送られる
   とき、それへの熱エネルギーの伝達を制限する工程をと
   る請求項１〜１７の何れかに記載の方法。 １９、ガラス上に形成される被覆の幅の少なくとも主部
   分を横切つて延びる又は一緒に延びる少なくとも一つの
   スロットを介してガラスに接触させるため被覆プリカー
   サー材料を供給する請求項１〜１８の何れかに記載の方
   法。 ２０、熱ガラス基体の上面に酸化物被覆を熱分解的に形
   成する装置において、かかる装置が、基体通路及び下方
   に向いて関したフードによつて規定された被覆室を通る
   通路に沿つて基体を搬送するための装置、酸素と予備混
   合された蒸気相での被覆プリカーサー材料を被覆室に供
   給するための装置、及び被覆室から被覆反応生成物及び
   未使用プリカーサー材料を含む雰囲気を吸気するための
   装置を含むことを特徴とする装置。 ２１、前記被覆室が、新たに形成されたガラスリボンを
   供給する水平徐冷レア内又はその上流に置いてある請求
   項２０記載の装置。 ２２、前記支持装置がフロート室内の溶融金属の浴であ
   り、被覆室がフロート室内に置かれている請求項２１記
   載の装置。 ２３、前記被覆室が基体通路及び下方に向いて開いたフ
   ードによつて規定され、吸気装置が被覆の実質的に周囲
   全体に設けられている請求項２０〜２２の何れかに記載
   の装置。 ２４、前記吸気装置を、被覆室の実質的に周囲全体をと
   りまく周囲雰囲気の内方への流れを維持するようにとり
   つけてある請求項２３記載の装置。 ２５、被覆プリカーサー材料をキャリヤーガス流中に導
   入するため、及び続いてプリカーサー含有キャリヤーガ
   スが被覆室に入る前にその中に酸素を導入するための装
   置が設けてある請求項２０〜２４の何れかに記載の装置
   。 ２６、キャリヤーガス及び被覆プリカーサー材料の均質
   混合を確実にするためキャリヤーガス流中に乱流を誘起
   させるための装置が設けてある請求項２５記載の装置。 ２７、前記キャリヤーガス流中に酸素及び前記被覆プリ
   カーサー材料の少なくとも一つを導入するため、少なく
   とも一つのベンチユーが設けてある請求項２５又は２６
   記載の装置。 ２８、プリカーサー含有キャリヤーガス及び酸素の均質
   混合を確実にするため、酸素を導入した後キャリヤーガ
   ス流中に乱流を誘起するための装置を設けてある請求項
   ２５〜２７の何れかに記載の装置。 ２９、被覆室中に被覆プリカーサー材料を導入するため
   、被覆室の幅の少なくとも主部を横切つて延びる又は一
   緒に延びる少なくとも一つのスロットが設けてある請求
   項２０〜２８の何れかに記載の装置。 ３０、被覆プリカーサー材料が被覆室に向つて運ばれる
   とき、被覆プリカーサー材料への熱エネルギーの伝達を
   制限するための装置が設けてある請求項２０〜２９の何
   れかに記載の装置。