JPH0333614A - 3トラック式エンコーダ - Google Patents
3トラック式エンコーダInfo
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- JPH0333614A JPH0333614A JP16834189A JP16834189A JPH0333614A JP H0333614 A JPH0333614 A JP H0333614A JP 16834189 A JP16834189 A JP 16834189A JP 16834189 A JP16834189 A JP 16834189A JP H0333614 A JPH0333614 A JP H0333614A
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- Japan
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- slit
- light
- slits
- arrays
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- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、回転体に取付けられたコード板の回転角度に
応じた信号を出力するエンコータに関するものである。
応じた信号を出力するエンコータに関するものである。
詳述するとスリットの1へラック数が3つであるエンコ
ーダに関するものである。
ーダに関するものである。
〈従来の技術〉
第5図に示す如く、スリット4bと光の遮蔽部4aが交
互に配列されたコード板4に、光源2から散乱光を照射
すると、コード板4の後側にスリットの周期ごとにこれ
に対応した周期の正弦波状の照度分布が発生する。この
正弦波の位相θは、コード板が移動するとこの移動に従
って変化する。この原理を利用して、コード板の後側に
受光アレイ5aを固定配置して、この正弦波状の光の位
相θを検出し、この位相θをもってコード板の回転角度
の測定を行う光学式エンコーダが広く知られている(例
えば特願昭62−70078B)。
互に配列されたコード板4に、光源2から散乱光を照射
すると、コード板4の後側にスリットの周期ごとにこれ
に対応した周期の正弦波状の照度分布が発生する。この
正弦波の位相θは、コード板が移動するとこの移動に従
って変化する。この原理を利用して、コード板の後側に
受光アレイ5aを固定配置して、この正弦波状の光の位
相θを検出し、この位相θをもってコード板の回転角度
の測定を行う光学式エンコーダが広く知られている(例
えば特願昭62−70078B)。
なお、第5図において、受光アレイ5aは、4個の光電
変換素子111〜旧にて構成され、この4個の光電変換
素子旧〜]14は、正弦波状の照度分布の1周期を4等
分するような位置に配置される。
変換素子111〜旧にて構成され、この4個の光電変換
素子旧〜]14は、正弦波状の照度分布の1周期を4等
分するような位置に配置される。
以上のようなエンコーダにおいては、スリットの1周期
を1周期の正弦波照度分布に置換え、これを光電変換素
子H1〜114で電気信号11〜14へ変換しているの
で、この正弦波照度分布に歪みが多いと、測定誤差が増
大する。
を1周期の正弦波照度分布に置換え、これを光電変換素
子H1〜114で電気信号11〜14へ変換しているの
で、この正弦波照度分布に歪みが多いと、測定誤差が増
大する。
ここで、円周」二に1列のスリットが配列された1トラ
ツクのコード板においては、歪みの少ない正弦波照度分
布となるように構成することは、容易である。
ツクのコード板においては、歪みの少ない正弦波照度分
布となるように構成することは、容易である。
しかし、第4図に示すようにスリット数か異なる31〜
ラツクのコード板において、共通の光源につき3つ生じ
る照度分布波形の総べてを歪みの少ない正弦波にするこ
とは、困難なことである。
ラツクのコード板において、共通の光源につき3つ生じ
る照度分布波形の総べてを歪みの少ない正弦波にするこ
とは、困難なことである。
本発明に係るエンコータのコード板は、第4図に示すよ
うな3トラツクのコード板であるので、3トラツクのコ
ード板の作用 3トラツクの場合、3つの照度分布波形を総べて歪みの
少ない正弦波にすることが困難な理由を説明する。
うな3トラツクのコード板であるので、3トラツクのコ
ード板の作用 3トラツクの場合、3つの照度分布波形を総べて歪みの
少ない正弦波にすることが困難な理由を説明する。
(a)3トラツクのコード板の作用
3トラツクのエンコーダは、特願昭59−229629
号に記載されているが本発明を分り易くするため要部を
説明する。最大半径のスリット−列Aのスリツト一数は
、na(=n個)であり、次の半径のスリットBのスリ
ット−数は、nb(−n−In )個であり、最小半径
のスリット−Cのスリット数は、nc(−n−n+−1
)個である。ここで、n = k mなる関f系があり
、k、n、mは、自然数である。
号に記載されているが本発明を分り易くするため要部を
説明する。最大半径のスリット−列Aのスリツト一数は
、na(=n個)であり、次の半径のスリットBのスリ
ット−数は、nb(−n−In )個であり、最小半径
のスリット−Cのスリット数は、nc(−n−n+−1
)個である。ここで、n = k mなる関f系があり
、k、n、mは、自然数である。
光源2から散乱光をコード板4に照射する。この照射さ
れた光束は、共通にスリツト一列A、B。
れた光束は、共通にスリツト一列A、B。
Cに照射される幅に予め設定されているので、各スリッ
ト列A、B、Cの後側には、それぞれ正弦波状照度分布
か生じる。受光センサ5は、3つの受光アレイを同一平
面上に備えており、スリットを通過してきた光を受光す
る。即ち、受光アレイ5aは、スリット列Aの裏側に生
じる光強度分布を検出するものであり、受光アレイ5b
は、スリブ1へ列Bの裏側に生じる光強度分竹jを検出
するものであり、受光アレイ5cはスリット−列Cの裏
側に生じる光強度分布を検出するものである4 第4図のコード板4を1回転させると、スリットAには
、n個のスリットか設けられているので、受光アレイ5
aには、n周期の正弦波が検出される。
ト列A、B、Cの後側には、それぞれ正弦波状照度分布
か生じる。受光センサ5は、3つの受光アレイを同一平
面上に備えており、スリットを通過してきた光を受光す
る。即ち、受光アレイ5aは、スリット列Aの裏側に生
じる光強度分布を検出するものであり、受光アレイ5b
は、スリブ1へ列Bの裏側に生じる光強度分竹jを検出
するものであり、受光アレイ5cはスリット−列Cの裏
側に生じる光強度分布を検出するものである4 第4図のコード板4を1回転させると、スリットAには
、n個のスリットか設けられているので、受光アレイ5
aには、n周期の正弦波が検出される。
またスリット−Bには、(n−Ill)個のスリットが
設けられているので、受光アレイ5hには、(n−rr
l)周期の正弦波が検出される。同様に受光アレイ5c
には、(n−n+−1)周期の正弦波か検出される。
設けられているので、受光アレイ5hには、(n−rr
l)周期の正弦波が検出される。同様に受光アレイ5c
には、(n−n+−1)周期の正弦波か検出される。
そしてこの3つの受光アレイから得られた信号に演算を
加えることで、コード板4のアブソリュトの角度を測定
できることが広く知られている。
加えることで、コード板4のアブソリュトの角度を測定
できることが広く知られている。
説明を加えれは、スリット列Aからの信号により360
゛をn等分し、この360/nの中(例えばn−180
であれば2°)を極めて高い分解能で角度測定すること
かできる(特願昭62−70078号)。
゛をn等分し、この360/nの中(例えばn−180
であれば2°)を極めて高い分解能で角度測定すること
かできる(特願昭62−70078号)。
また、この2°が360°中、どの位置に該当するかを
スリッ1〜列B、Cで特定している(例えば特願昭59
−229629号)。
スリッ1〜列B、Cで特定している(例えば特願昭59
−229629号)。
(b)31−ラックの場合、3つの照度分布波形を総べ
て歪みの少ない正弦波にすることか困難な理由この理由
を第6図〜第8図を用いて説明する。
て歪みの少ない正弦波にすることか困難な理由この理由
を第6図〜第8図を用いて説明する。
第6図は、光源体21とスリット列Aと受光アレイ5a
の関係、第7図は、光源体21とスリブ1へ列Bと受光
アレイ5bの関係、第8図は、光源体21とスリット列
Cと受光アレイ5cの関係を示す図である。
の関係、第7図は、光源体21とスリブ1へ列Bと受光
アレイ5bの関係、第8図は、光源体21とスリット列
Cと受光アレイ5cの関係を示す図である。
第6図〜第8図において、21は光源体であり、例えば
第4図の光源2の光を受けこれを散乱光にして各スリッ
ト列A、B、Cへ共通に照射するものである。寸法−1
はマスクにより規定される。
第4図の光源2の光を受けこれを散乱光にして各スリッ
ト列A、B、Cへ共通に照射するものである。寸法−1
はマスクにより規定される。
各スリット列A、B、Cは同一コード板4上に設けられ
、各受光アレイ5a、 5b、 5cも受光センサ5の
同一平面上に設けられ、光源体21も共通であるため、
光源体21とコード板4との距AIoL、コド板4と各
受光アレイとの距離DPは、第6図〜第8図において同
一の値となる。
、各受光アレイ5a、 5b、 5cも受光センサ5の
同一平面上に設けられ、光源体21も共通であるため、
光源体21とコード板4との距AIoL、コド板4と各
受光アレイとの距離DPは、第6図〜第8図において同
一の値となる。
ここでスリット数na個のスリット列Aにおけるスリッ
ト−ピッチPaの時、第6図に示す位置関係となるよう
に、距MOL、 DPを定めることができる。
ト−ピッチPaの時、第6図に示す位置関係となるよう
に、距MOL、 DPを定めることができる。
この第6図は図に示す光線[1と[2が調度受光アレイ
5aの所で交差するようになっており、受光アレイ5a
上に形成される照度分布は、歪みの少ない正弦波にする
ことができる。
5aの所で交差するようになっており、受光アレイ5a
上に形成される照度分布は、歪みの少ない正弦波にする
ことができる。
一方、第7図と第8図に示すスリット列B、Cについて
は、スリット列Aとはスリット数が異なると同時に、同
心円を形成する半径も異なるので、一般にスリットピッ
チ(スリット列BのスリットピッチをPb、スリット列
CのそれをPc・・・第7図。
は、スリット列Aとはスリット数が異なると同時に、同
心円を形成する半径も異なるので、一般にスリットピッ
チ(スリット列BのスリットピッチをPb、スリット列
CのそれをPc・・・第7図。
第8図参照)か異なる。即ち、Pa〜pb〜Pcである
。
。
従って、スリットピッチPaの時、調度光線Elと[2
が受光センサ上で交差するようにセットしたわけである
から、Pa(Pbである第7図では、受光アレイ5b上
で、光の当たらない部分Hlか存在し、図に示すような
歪みの多い照度分布となる。
が受光センサ上で交差するようにセットしたわけである
から、Pa(Pbである第7図では、受光アレイ5b上
で、光の当たらない部分Hlか存在し、図に示すような
歪みの多い照度分布となる。
また、Pa>Pcである第8図では、受光アレイ5c上
で、二重に光の当たる部分H2が存在し、図に示すよう
な歪みの多い照度分布となる。
で、二重に光の当たる部分H2が存在し、図に示すよう
な歪みの多い照度分布となる。
従ってスリッl〜列B、Cの信号から得られる角度測定
には多くの誤差が含まれる。
には多くの誤差が含まれる。
〈発明が解決しようとする課題〉
このようなスリットピッチの異なる複数のスリット列を
有するエンコーダの問題点を解決するため本出願人は、
特願昭63−228985号の出願を行った。この出願
は、光源から受光素子に至るまでの光路中に屈折率が異
なる補正板〈例えばガラス〉を挿入し、見掛け」二の光
路長を各受光アレイことに調整するようにしたものであ
る。この出願によれば、各受光アレイにて歪みの少ない
正弦波の照度分布を得ることができるか、補正板を必要
とする。
有するエンコーダの問題点を解決するため本出願人は、
特願昭63−228985号の出願を行った。この出願
は、光源から受光素子に至るまでの光路中に屈折率が異
なる補正板〈例えばガラス〉を挿入し、見掛け」二の光
路長を各受光アレイことに調整するようにしたものであ
る。この出願によれば、各受光アレイにて歪みの少ない
正弦波の照度分布を得ることができるか、補正板を必要
とする。
本発明の目的は、補正板を必要とすることなく歪みの少
ない正弦波照度分布を各受光アレイ上に得ることができ
る3 1−ラック式エンコーダを提供することである。
ない正弦波照度分布を各受光アレイ上に得ることができ
る3 1−ラック式エンコーダを提供することである。
く課題を解決するための手段〉
本発明は、上記課題を解決するために
スリット数na個のスリット列Aと、スリット数nb個
のスリット列Bと、スリッI・数nc個のスリット列C
を回転軸を中心とした3つの同心円上にそれぞれ配列し
、各スリット列A、B、Cのスリット周期(Pa、 P
b、 Pc)を等しくしたコード板と上記3つのスリッ
ト列に共通に散乱光を照射する光源体と、 スリット列Aを通過した光を受光する受光アレイ(5a
)と、スリット列Bを通過した光を受光する受光アレイ
(5b)と、スリット列Cを通過した光を受光する受光
アレイ(5c)と、を同一面上に配置した受光センサと
、 を備え、この受光センサがらの信号に基づきコド板の回
転角度に対応した信号を出力するようにしたものである
。
のスリット列Bと、スリッI・数nc個のスリット列C
を回転軸を中心とした3つの同心円上にそれぞれ配列し
、各スリット列A、B、Cのスリット周期(Pa、 P
b、 Pc)を等しくしたコード板と上記3つのスリッ
ト列に共通に散乱光を照射する光源体と、 スリット列Aを通過した光を受光する受光アレイ(5a
)と、スリット列Bを通過した光を受光する受光アレイ
(5b)と、スリット列Cを通過した光を受光する受光
アレイ(5c)と、を同一面上に配置した受光センサと
、 を備え、この受光センサがらの信号に基づきコド板の回
転角度に対応した信号を出力するようにしたものである
。
く作用〉
同心円状の3つのスリット列A、B、Cのスリットピッ
チPa、 Pb、 Pcが皆等しくなるように同心円の
半径ra、 rb、 rcと、スリット数n a +
n b 。
チPa、 Pb、 Pcが皆等しくなるように同心円の
半径ra、 rb、 rcと、スリット数n a +
n b 。
ncを設定しであるので、発生する3つの照度分布をど
れも歪みの少ない正弦波にすることができる。
れも歪みの少ない正弦波にすることができる。
〈実施例〉
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明に係るエンコーダのコード板の一実施例
を示す図、第2図は本発明に係るエンコダの光源体とコ
ード板と受光アレイの位置関係を示す図、第3図は測定
誤差のシミ、ニレ−ジョンしたデータを示す図である。
を示す図、第2図は本発明に係るエンコダの光源体とコ
ード板と受光アレイの位置関係を示す図、第3図は測定
誤差のシミ、ニレ−ジョンしたデータを示す図である。
拡散光源21を用いて、受光アレイ上に正弦波の照度分
布を発生させるには、スリットピッチに対して、光源体
の長さと、受光アレイの長さと、光源体とコード板の距
1lDLと、コード板と受光アレイの距離DPとが幾何
学的に決定される。
布を発生させるには、スリットピッチに対して、光源体
の長さと、受光アレイの長さと、光源体とコード板の距
1lDLと、コード板と受光アレイの距離DPとが幾何
学的に決定される。
第2図は本発明において、光源体21と、コード板4の
スリット列Aと、受光アレイ5aの位置関係を示す図で
ある。ここで光源体21の長さを1−しスリットピッチ
をPa、受光アレイ5aの長さをIPとする。
スリット列Aと、受光アレイ5aの位置関係を示す図で
ある。ここで光源体21の長さを1−しスリットピッチ
をPa、受光アレイ5aの長さをIPとする。
第2図は拡散光源体21からの光が調度受光アレイ5a
上に正弦波照度分布jとなる関係に1i′+1いである
。
上に正弦波照度分布jとなる関係に1i′+1いである
。
第2図から幾何学的に次式の関係が導がれる。
LL= I (OL+DP) /DP) −Pa/
2 (1)ここで、もし第7図、第8図の
ように上式の関係がくずれると、照度分布の歪みが増大
し、誤差がふえる、拡散光源21を各トラックA、B、
Cで共有する場合、第2図の距離DL、 DPは、1つ
のトラックのスリツトピツチに合わせて設計するため、
他のトラックでは上記関係がくずれてしまう。
2 (1)ここで、もし第7図、第8図の
ように上式の関係がくずれると、照度分布の歪みが増大
し、誤差がふえる、拡散光源21を各トラックA、B、
Cで共有する場合、第2図の距離DL、 DPは、1つ
のトラックのスリツトピツチに合わせて設計するため、
他のトラックでは上記関係がくずれてしまう。
しかし、本発明では3つのトラックピッチPaPb、
Pcか、皆等しくなるように設定している。これを以下
に説明する。
Pcか、皆等しくなるように設定している。これを以下
に説明する。
第1図において、スリット列Aはスリット数naであり
、回転軸の中心Oからの距離はraである。
、回転軸の中心Oからの距離はraである。
また、スリット列Bはスリット数n1.であり、回転軸
の中心0からの距離はrbである。スリット列Cはスリ
ット数ncであり、回転軸の中心0からの距離はrcで
ある。
の中心0からの距離はrbである。スリット列Cはスリ
ット数ncであり、回転軸の中心0からの距離はrcで
ある。
第1図より、各スリット列A、B、Cのスリットピッチ
は、次式で表わされる。
は、次式で表わされる。
Pa= 2yr ra/ n a(2)Pb= 2πr
b/ n b (3)Pc
= 2yr rc/ n C(4)スリット数の多い1
〜ラック程外周に配置して、かつスリット数も選択する
ことでスリットピッチPa。
b/ n b (3)Pc
= 2yr rc/ n C(4)スリット数の多い1
〜ラック程外周に配置して、かつスリット数も選択する
ことでスリットピッチPa。
1
Pb、 Pcを同一値にすることができる0例えは各ス
リブ)〜数na + nb 、nCか決定されると、P
apb= pc となるようにそれぞれの半径ra、
rb、 rcを定める。
リブ)〜数na + nb 、nCか決定されると、P
apb= pc となるようにそれぞれの半径ra、
rb、 rcを定める。
以上は、理論上Pa= Pb= Pc に設定できる
旨の説明であるが、このような31−ラックのエンコタ
を安価に製品化するには以下の方策が有効である。
旨の説明であるが、このような31−ラックのエンコタ
を安価に製品化するには以下の方策が有効である。
本発明において、光源体21は、共通に3つのスリット
列A、B、Cに光を照射する必要がある。
列A、B、Cに光を照射する必要がある。
一方、成るスリット数na、n1..ncの組合せ条件
の下で、Pa= Pb= Pcとするため第1図の半径
ra、 rb、 rcの値の差が大きくなったとする。
の下で、Pa= Pb= Pcとするため第1図の半径
ra、 rb、 rcの値の差が大きくなったとする。
その結果、市販されている光源(発光タイオード)の光
束では、3つのスリット列A、B、Cを共通に照射でき
ない場合もありえる。この場合、発光タイオードのメー
カに特別注文すれば、Pa= Pb= Pcであるエン
コーダを製品化できるか、このようなエンコータは高価
となる。
束では、3つのスリット列A、B、Cを共通に照射でき
ない場合もありえる。この場合、発光タイオードのメー
カに特別注文すれば、Pa= Pb= Pcであるエン
コーダを製品化できるか、このようなエンコータは高価
となる。
逆に、Pa= Pb= Pcとするため第1図の半径r
a。
a。
2
rb、 rcの値の差が非常に小さくなり、スリットの
窓幅d14(m1図参照)の取り得る値が狭くなったと
する。従って、スリットの窓面積が小さくなるのでこれ
を通過する光量が減少し、その結果、市販されている受
光アレイの素子(例えばホトダイト)では感度不足とな
る場合もあり得る。この場合も高感度のホトダイードを
特別注文すれば所望のエンコーダを製品化できるが、こ
のようなエンコーダは高価となる。
窓幅d14(m1図参照)の取り得る値が狭くなったと
する。従って、スリットの窓面積が小さくなるのでこれ
を通過する光量が減少し、その結果、市販されている受
光アレイの素子(例えばホトダイト)では感度不足とな
る場合もあり得る。この場合も高感度のホトダイードを
特別注文すれば所望のエンコーダを製品化できるが、こ
のようなエンコーダは高価となる。
第3図はスリブ1−ピッチの最適値(Pa= Pb=
Pc )からのずれによる誤差の増加をシミヱレーショ
ンしたデータである。横軸はスリットピッチの最適値か
らのずれを%で表わしたものである。即ち、横軸は ((P’−P)/P )・ 100 の値である。
Pc )からのずれによる誤差の増加をシミヱレーショ
ンしたデータである。横軸はスリットピッチの最適値か
らのずれを%で表わしたものである。即ち、横軸は ((P’−P)/P )・ 100 の値である。
ここで Po:最適値
P:実際の値
一方、縦軸は1ピツチ内の誤差を表わしている。
説明を加えると、例えば誤差0.002とは、1ピツヂ
内での誤差が2/1000 であることを意味してい
る。具体的に説明すると、例えばスリット数が180個
あるスリット列の場合、]ピッチの角度は360/18
0−2゛である。ずなわち、角度2°を2/1000
の細かさで測定できることを意味している。
内での誤差が2/1000 であることを意味してい
る。具体的に説明すると、例えばスリット数が180個
あるスリット列の場合、]ピッチの角度は360/18
0−2゛である。ずなわち、角度2°を2/1000
の細かさで測定できることを意味している。
第3図のデータから分るように、スリットピッチの最適
値から、たとえズしたものであっても充分分解能の高い
製品を実現することができる。
値から、たとえズしたものであっても充分分解能の高い
製品を実現することができる。
すなわち、本発明は、Pa= Pb= Pc となる
ように目指して各スリット列を構成するが、厳密な最適
値とならなくてもよい4例えばfk′iM値から±5%
のズレがあっても、その誤差は、1ピツチの0、002
以下であり、この測定精度は、現時点で世界の最高クラ
スのものである。
ように目指して各スリット列を構成するが、厳密な最適
値とならなくてもよい4例えばfk′iM値から±5%
のズレがあっても、その誤差は、1ピツチの0、002
以下であり、この測定精度は、現時点で世界の最高クラ
スのものである。
なお、第4図では光源と受光センサを1対の例で図示し
たが、通常は、回転軸を中心とする点対称の位置にもう
1対の光源と受光センサを設c−tている。
たが、通常は、回転軸を中心とする点対称の位置にもう
1対の光源と受光センサを設c−tている。
また、受光アレイ5a、 5b、 5cの出力信号をも
とにしてコード板4の回転角度θに応じた信号を出力す
る回路は、公知の回路を使用できる(例えば特願昭59
−229629号、特願昭62−70078号)。従っ
て、本明細書では、この部分の回路説明を省略した。
とにしてコード板4の回転角度θに応じた信号を出力す
る回路は、公知の回路を使用できる(例えば特願昭59
−229629号、特願昭62−70078号)。従っ
て、本明細書では、この部分の回路説明を省略した。
く本発明の効果〉
以上述べたように本発明によれば、特願昭632289
85号の補助板を必要とすることなく、極めて高い分解
能の3トラック式エンコータを実現することができる。
85号の補助板を必要とすることなく、極めて高い分解
能の3トラック式エンコータを実現することができる。
第1図は本発明に係る3トラック式エンコータのコード
板の一実施例を示す図、第2図は本発明に係るエンコー
ダの光源体とコード板と受光アレイの位0関係を示す図
、第3図は測定誤差のシミニレ−ジョンデータを示す図
、第4図は31−ラック式エンコーダのコード板周辺の
位置関係を示す斜視図、第5図は照度分布と受光アレイ
の関係を示す図、第6図〜第8図は照度分布に波形歪み
が現れる理由を説明する図である。 5 21・・・光源体、 4・・・コ ド板、 5・・・受光センサ、 5a。 5b。 5c・・・受光アレイ。
板の一実施例を示す図、第2図は本発明に係るエンコー
ダの光源体とコード板と受光アレイの位0関係を示す図
、第3図は測定誤差のシミニレ−ジョンデータを示す図
、第4図は31−ラック式エンコーダのコード板周辺の
位置関係を示す斜視図、第5図は照度分布と受光アレイ
の関係を示す図、第6図〜第8図は照度分布に波形歪み
が現れる理由を説明する図である。 5 21・・・光源体、 4・・・コ ド板、 5・・・受光センサ、 5a。 5b。 5c・・・受光アレイ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 スリット数na個のスリット列Aと、スリット数nb個
のスリット列Bと、スリット数nc個のスリット列Cを
回転軸を中心とした3つの同心円上にそれぞれ配列し、
各スリット列A、B、Cのスリット周期(Pa、Pb、
Pc)を等しくしたコード板と、上記3つのスリット列
に共通に散乱光を照射する光源体と、 スリット列Aを通過した光を受光する受光アレイ(5a
)と、スリット列Bを通過した光を受光する受光アレイ
(5b)と、スリット列Cを通過した光を受光する受光
アレイ(5c)と、を同一面上に配置した受光センサと
、 を備え、この受光センサからの信号に基づきコード板の
回転角度に対応した信号を出力する3トラック式エンコ
ーダ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16834189A JPH0333614A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 3トラック式エンコーダ |
| US07/410,359 US4990909A (en) | 1988-09-30 | 1989-09-21 | Revolution counter using a magnetic bubble device for multi-turn absolute encoder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16834189A JPH0333614A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 3トラック式エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0333614A true JPH0333614A (ja) | 1991-02-13 |
Family
ID=15866265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16834189A Pending JPH0333614A (ja) | 1988-09-30 | 1989-06-30 | 3トラック式エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0333614A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013176318A1 (ko) * | 2012-05-24 | 2013-11-28 | 알에스오토메이션주식회사 | 광학 인코더 |
| JP2019211421A (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | エンコーダー、モーター、及びロボット |
-
1989
- 1989-06-30 JP JP16834189A patent/JPH0333614A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013176318A1 (ko) * | 2012-05-24 | 2013-11-28 | 알에스오토메이션주식회사 | 광학 인코더 |
| US9683871B2 (en) | 2012-05-24 | 2017-06-20 | Rs Automation Co., Ltd. | Optical encoder |
| JP2019211421A (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | エンコーダー、モーター、及びロボット |
| US11554500B2 (en) | 2018-06-08 | 2023-01-17 | Seiko Epson Corporation | Encoder, motor, and robot |
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