JPH033376A - 固体レーザ装置の冷却装置 - Google Patents
固体レーザ装置の冷却装置Info
- Publication number
- JPH033376A JPH033376A JP13818389A JP13818389A JPH033376A JP H033376 A JPH033376 A JP H033376A JP 13818389 A JP13818389 A JP 13818389A JP 13818389 A JP13818389 A JP 13818389A JP H033376 A JPH033376 A JP H033376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- state laser
- crystal
- laser
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/042—Arrangements for thermal management for solid state lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0405—Conductive cooling, e.g. by heat sinks or thermo-electric elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
５ＳｉＯ１４、Ｃｒ：ＬｉＣａＡｌＦ６等の波長可変固
体レーザ結晶を有した固体レーザ装置の上記固体レーザ
結晶を冷却して、安定したレーザ光を得ることのできる
固体レーザ装置の冷却装置に関する。
体レーザ結晶を有した固体レーザ装置の上記固体レーザ
結晶を冷却して、安定したレーザ光を得ることのできる
固体レーザ装置の冷却装置に関する。
第２図に従来の固体レーザ装置２ｏの構成を概略的に示
す。
す。
こうした固体レーザ装２２０は、ＹＡＧレーザ装置等に
比して装置の小形化が図られることがら小形化が要求さ
れる分野のレーザ装置として使用されるものである。。
比して装置の小形化が図られることがら小形化が要求さ
れる分野のレーザ装置として使用されるものである。。
同図に示すように励起源である励起用レーザ光１１ｉＫ
２１から固体レーザ結晶２２に向けて、該固体レーザ結
晶２２を励起するための励起し、−ザ光２３が出力され
る。
２１から固体レーザ結晶２２に向けて、該固体レーザ結
晶２２を励起するための励起し、−ザ光２３が出力され
る。
励起レーザ光２３は、レンズ２４によってその焦点が絞
られ、全反射鏡２５を透過して固体レーザ結晶２２に照
射される。
られ、全反射鏡２５を透過して固体レーザ結晶２２に照
射される。
しかして固体レーザ結晶２２は励起されてレーザ光２６
を出力する。ここに、上記全反射鏡２５は励起レーザ光
２３の波長に対しては高透過性を有するが、固体レーザ
結晶２２から出力されるレーザ光２６の波長に対しては
高反射性を有している。
を出力する。ここに、上記全反射鏡２５は励起レーザ光
２３の波長に対しては高透過性を有するが、固体レーザ
結晶２２から出力されるレーザ光２６の波長に対しては
高反射性を有している。
したがって上記レーザ光２６は、全反射鏡２５と出力ｍ
２７とにより構成される光共振器内で誘導放出により増
幅されて、出力鏡２７からレーザ出力Ｐ（上記レーザ光
２６のパワーを意味する）として取り出される。
２７とにより構成される光共振器内で誘導放出により増
幅されて、出力鏡２７からレーザ出力Ｐ（上記レーザ光
２６のパワーを意味する）として取り出される。
なお、レーザ光２６の波長は上記光共振器に配設された
複屈折フィルタ等の波長同調素子２８により同調される
。
複屈折フィルタ等の波長同調素子２８により同調される
。
ところで第４図（ａ）は、上記励起用レーザ光源２１か
ら一定パワーの励起レーザ光２３を固体レーザ結晶２２
に照射させた場合の該固体レーザ結晶２２の結晶温度Ｓ
の時間変化を示し、同図（ｔｊ）は、その場合の上記レ
ーザ出力Ｐの時間変化を示している。
ら一定パワーの励起レーザ光２３を固体レーザ結晶２２
に照射させた場合の該固体レーザ結晶２２の結晶温度Ｓ
の時間変化を示し、同図（ｔｊ）は、その場合の上記レ
ーザ出力Ｐの時間変化を示している。
同図から明らかなように結晶温度Ｓは時間の経過と共に
増加し、時間ｔが、ｔ１経過した時点で結晶温度Ｓが温
度Ｓｃ−となり、レーザ出力Ｐは最大値ｐｃ”となる。
増加し、時間ｔが、ｔ１経過した時点で結晶温度Ｓが温
度Ｓｃ−となり、レーザ出力Ｐは最大値ｐｃ”となる。
しかし、時間ｔＩ以後は、上記光共振器において発振が
行われなくなり、矢印ＰＤ−に示すようにレーザ出力Ｐ
は、最大値ＰＣ′をピークとして徐々に低下することに
なる。
行われなくなり、矢印ＰＤ−に示すようにレーザ出力Ｐ
は、最大値ＰＣ′をピークとして徐々に低下することに
なる。
したがって、同図（ｂ）に示すレーザ出力Ｐの低下を避
けるために励起用レーザ光源２１から所定パワー以上の
励起レーザ光２３を固体レーザ結晶２２に照射させるこ
とができず、高出力のレーザ出力Ｐを得ることができな
いこととなっていた。
けるために励起用レーザ光源２１から所定パワー以上の
励起レーザ光２３を固体レーザ結晶２２に照射させるこ
とができず、高出力のレーザ出力Ｐを得ることができな
いこととなっていた。
さらには同図（ｂ）のカーブに示すようにレーザ出力Ｐ
が広範囲に変化し、安定した一定出力のレーザ出力Ｐを
得ることができないこととなっていた。
が広範囲に変化し、安定した一定出力のレーザ出力Ｐを
得ることができないこととなっていた。
また、上記波長同調素子２８によるレーザ光２６の波長
の同調情度は、固体レーザ結晶２２の結晶温度Ｓの温度
変化に起因して劣化する。
の同調情度は、固体レーザ結晶２２の結晶温度Ｓの温度
変化に起因して劣化する。
したがって同図（ａ）に示すように、結晶温度Ｓが時間
の経過と共に増加し、温度が広範囲に変化するような場
合には、レーザ光２６の波長スペクトルに変動が生じ、
安定した一定波長のレーザ光２６を得ることができない
こととなっていた。
の経過と共に増加し、温度が広範囲に変化するような場
合には、レーザ光２６の波長スペクトルに変動が生じ、
安定した一定波長のレーザ光２６を得ることができない
こととなっていた。
そこで、これらレーザ出力Ｐの低下およびレーザ光２６
の波長スペクトルの変動を避けために固体レーザ結晶２
２の結晶温度Ｓが温度Ｓｃ゛以上に上昇しないように固
体レーザ結晶２２を冷却することが考えられる。
の波長スペクトルの変動を避けために固体レーザ結晶２
２の結晶温度Ｓが温度Ｓｃ゛以上に上昇しないように固
体レーザ結晶２２を冷却することが考えられる。
一般的には、固体レーザ結晶２２の周囲にスパイラル状
にガラスチューブを巻着し、該ガラスチューブ内に冷却
水を導通、循環させて冷却をすることが考えられる。
にガラスチューブを巻着し、該ガラスチューブ内に冷却
水を導通、循環させて冷却をすることが考えられる。
しかし、こうした冷却装置は、上記ガラスチューブのみ
ならず、冷却水路用のバイブ、循環用のポンプ等を設け
る必要があり、装置が大掛かりとなり、かなりのスペー
スを必要とする。
ならず、冷却水路用のバイブ、循環用のポンプ等を設け
る必要があり、装置が大掛かりとなり、かなりのスペー
スを必要とする。
このため、上記するようなＹＡＧレーザ装置等に比して
装置の小形化が図られるという固体レーザ装置２０本来
のメリットを没脚することになってしまい、実用上、採
用することはできないこととなっていた。
装置の小形化が図られるという固体レーザ装置２０本来
のメリットを没脚することになってしまい、実用上、採
用することはできないこととなっていた。
さらには上記冷却装置は、温度分布が均一にならず、固
体レーザ結晶２２を均一に冷却できないことや、固体レ
ーザ結晶２２をダイレクトに冷却できず、冷却の応答性
が良くないといった不都合があった。
体レーザ結晶２２を均一に冷却できないことや、固体レ
ーザ結晶２２をダイレクトに冷却できず、冷却の応答性
が良くないといった不都合があった。
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、
装置の小形化等の要求を満たしつつも、常に安定して、
高出力かつ一定波長のレーザ光を取り出すことのできる
固体レーザ装置の冷却装置を提供することをその目的と
している。
装置の小形化等の要求を満たしつつも、常に安定して、
高出力かつ一定波長のレーザ光を取り出すことのできる
固体レーザ装置の冷却装置を提供することをその目的と
している。
〔課題を解決するための手段および作用〕そこでこの発
明では、所定の励起源によって励起されて、レーザ光を
出力する固体レーザ結晶を有した固体レーザ装置におい
て、前記固体レーザ結晶を冷却する熱電素子と、前記固
体レーザ結晶の温度が一定温度になるように前記熱電素
子の電流を制御する制御手段とを具えるようにしている
。
明では、所定の励起源によって励起されて、レーザ光を
出力する固体レーザ結晶を有した固体レーザ装置におい
て、前記固体レーザ結晶を冷却する熱電素子と、前記固
体レーザ結晶の温度が一定温度になるように前記熱電素
子の電流を制御する制御手段とを具えるようにしている
。
すなわち、熱電素子によって固体レーザ結晶を冷却し、
この熱電素°子の発生熱量を前記固体レーザ結晶の温度
が一定温度になるように制御するようにしたので、前記
冷却水による冷却装置に比して、固体レーザ装置に要求
されるすべての条件、装置の小形化、冷却の均一性、冷
却の応答性等の格段の向上をみながらも、常に安定して
、高出力かつ一定波長のレーザ光を取り出すことのでき
る。
この熱電素°子の発生熱量を前記固体レーザ結晶の温度
が一定温度になるように制御するようにしたので、前記
冷却水による冷却装置に比して、固体レーザ装置に要求
されるすべての条件、装置の小形化、冷却の均一性、冷
却の応答性等の格段の向上をみながらも、常に安定して
、高出力かつ一定波長のレーザ光を取り出すことのでき
る。
またこの発明では、固体レーザ結晶を冷却する熱電素子
と、前記固体レーザ結晶から出力されるレーザ光の出力
値を検出する検出手段と、前記検出手段の検出値に基づ
いて、前記熱電素子の電流を制御して、前記固体レーザ
結晶から出力されるレーザ光の出力値を一定値にする電
流制御手段とを具えるようにしている。
と、前記固体レーザ結晶から出力されるレーザ光の出力
値を検出する検出手段と、前記検出手段の検出値に基づ
いて、前記熱電素子の電流を制御して、前記固体レーザ
結晶から出力されるレーザ光の出力値を一定値にする電
流制御手段とを具えるようにしている。
すなわち、レーザ光の出力値を常に監視し、この出力値
に基づきレーザ光の出力値が一定値たとえば最大になる
ように前記熱電素子の発生熱量を制御するようにしたの
で、高出力かつ一定波長のレーザ光を応答性よく取り出
すことができる。
に基づきレーザ光の出力値が一定値たとえば最大になる
ように前記熱電素子の発生熱量を制御するようにしたの
で、高出力かつ一定波長のレーザ光を応答性よく取り出
すことができる。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は、本発明に係る固体レーザ装置の冷却装置の実
施例の装置１の構成を概略的に示す。
施例の装置１の構成を概略的に示す。
同図に示すように励起源である励起用レーザ光源２から
固体レーザ結晶３に向けて、該固体レーザ結晶３を励起
するための励起レーザ光４が出力される。
固体レーザ結晶３に向けて、該固体レーザ結晶３を励起
するための励起レーザ光４が出力される。
励起レーザ光４は、レンズ５によってその焦点が絞られ
、全反射鏡６を透過して固体レーザ結晶３に照射される
。
、全反射鏡６を透過して固体レーザ結晶３に照射される
。
しかして固体レーザ結晶３は励起されてレーザ光７を出
力する。ここに、上記全反射鏡６は励起レーザ光７の波
長に対しては高透過性を有するが、固体レーザ結晶３か
ら出力されるレーザ光７の波長に対しては高反射性を有
している。
力する。ここに、上記全反射鏡６は励起レーザ光７の波
長に対しては高透過性を有するが、固体レーザ結晶３か
ら出力されるレーザ光７の波長に対しては高反射性を有
している。
したがって上記レーザ光７は、全反射鏡６と出力鏡８と
により構成される光共振器内で誘導放出により増幅され
て、出力鏡８からレーザ出力Ｐとして取り出される。
により構成される光共振器内で誘導放出により増幅され
て、出力鏡８からレーザ出力Ｐとして取り出される。
なお、レーザ光７の波長は上記光共振器に配設された複
屈折フィルタ等の波長同調素子９により同調される。
屈折フィルタ等の波長同調素子９により同調される。
一方、上記固体レーザ結晶３の表面には、導通される電
流■の方向に応じて、固体レーザ結晶３で発生する熱の
吸収、または固体レーザ結晶３に対する熱の付与を行う
と共に、導通される電流Ｉの大きさに比例して、吸収ま
たは付与される熱量が変化する熱電素子１０が貼着され
ている。
流■の方向に応じて、固体レーザ結晶３で発生する熱の
吸収、または固体レーザ結晶３に対する熱の付与を行う
と共に、導通される電流Ｉの大きさに比例して、吸収ま
たは付与される熱量が変化する熱電素子１０が貼着され
ている。
上記電流■は、後述する熱電素子コントローラ１１から
出力される。
出力される。
また、出力鏡８から出力されるレーザ光７の一部は、破
線にて示すようにビームスプリッタ１２によってその進
行方向が９０度変化されて、光受光器１３に入射される
。
線にて示すようにビームスプリッタ１２によってその進
行方向が９０度変化されて、光受光器１３に入射される
。
上記光受光器１３は、受光したレーザ光７に基づきレー
ザ光７のパワー値、つまりレーザ出力Ｐを検出して、検
出したレーザ出力Ｐを示す信号を熱電素子コントローラ
１１に加える。
ザ光７のパワー値、つまりレーザ出力Ｐを検出して、検
出したレーザ出力Ｐを示す信号を熱電素子コントローラ
１１に加える。
熱電素子コントローラ１１は、上記レーザ出力Ｐをフィ
ードバック量とし、かつ固体レーザ結晶３で出し得る最
大ｍｐｃを目標値としてレーザ光７のパワー値が上記最
大値ＰＣになるように上記電流Ｉの方向および大きさを
制御する。
ードバック量とし、かつ固体レーザ結晶３で出し得る最
大ｍｐｃを目標値としてレーザ光７のパワー値が上記最
大値ＰＣになるように上記電流Ｉの方向および大きさを
制御する。
なお、この場合、励起用レーザ光源２からは、固体レー
ザ結晶３より上記最大値ＰＣが出力されるに十分な高出
力の励起用レーザ光４が出力される。
ザ結晶３より上記最大値ＰＣが出力されるに十分な高出
力の励起用レーザ光４が出力される。
以下、熱雷素子コントローラ１１で行われる制御の態様
について説明する。
について説明する。
すなわち、第３図（ａ）、（ｂ）に示すように同装置１
の運転がスタートし、レーザ出力Ｐが最大値ＰＣに達し
ていない場合（区間Ａ）には、熱電素子コントローラ１
１は、レーザ出力゛Ｐが最大値ＰＣに達するように、レ
ーザ出力Ｐと最大値ＰＣとの偏差に応じた大きさの、か
つ固体レーザ結晶３の温度Ｓが上昇する方向の電流Ｉを
熱電素子１０に出力する。
の運転がスタートし、レーザ出力Ｐが最大値ＰＣに達し
ていない場合（区間Ａ）には、熱電素子コントローラ１
１は、レーザ出力゛Ｐが最大値ＰＣに達するように、レ
ーザ出力Ｐと最大値ＰＣとの偏差に応じた大きさの、か
つ固体レーザ結晶３の温度Ｓが上昇する方向の電流Ｉを
熱電素子１０に出力する。
やがて、結晶温度Ｓは、迅速に増加し、時間ｔが、ｔ２
経過した時点で結晶温度Ｓが温度Ｓｏとなり、レーザ出
力Ｐは最大ｍｐｃとなる。
経過した時点で結晶温度Ｓが温度Ｓｏとなり、レーザ出
力Ｐは最大ｍｐｃとなる。
以後（区間Ｂ）、熱電素子コントローラ１１は、上記最
大値ＰＣを維持するように、レーザ出力Ｐが最大値ＰＣ
を超えた場合には、固体レーザ結晶３の温度Ｓが下降す
る方向の、またレーザ出力Ｐが最大値ＰＣよりも下回っ
た場合には、固体レーザ結晶３の温度Ｓが上昇する方向
の電流！をレーザ出力Ｐと最大値ＰＣとの偏差に応じて
出力する。
大値ＰＣを維持するように、レーザ出力Ｐが最大値ＰＣ
を超えた場合には、固体レーザ結晶３の温度Ｓが下降す
る方向の、またレーザ出力Ｐが最大値ＰＣよりも下回っ
た場合には、固体レーザ結晶３の温度Ｓが上昇する方向
の電流！をレーザ出力Ｐと最大値ＰＣとの偏差に応じて
出力する。
こうした制御により、固体レーザ装置１は、同図（ｂ）
の矢印Ｂに示すようにレーザ出力Ｐが最大値ＰＣに維持
された状態で運転が行われる。
の矢印Ｂに示すようにレーザ出力Ｐが最大値ＰＣに維持
された状態で運転が行われる。
したがって、常に安定して、高出力かつ一定波長のレー
ザ光７を取り出すことができる。
ザ光７を取り出すことができる。
なお、実施例では、熱電素子コントローラ１１が、熱電
素子１０を導通する電流！の方向を制御して、固体レー
ザ結晶３で発生する熱の吸収、または固体レーザ結晶３
に対する熱の付与を行うものとして説明したが、方向は
固体レーザ結晶３で発生する熱を吸収する方向（冷却方
向）に固定し、導通される電流Ｉの大きさのみを制御し
て、レーザ出力Ｐを最大値ＰＣに維持する実施も当然可
能である。
素子１０を導通する電流！の方向を制御して、固体レー
ザ結晶３で発生する熱の吸収、または固体レーザ結晶３
に対する熱の付与を行うものとして説明したが、方向は
固体レーザ結晶３で発生する熱を吸収する方向（冷却方
向）に固定し、導通される電流Ｉの大きさのみを制御し
て、レーザ出力Ｐを最大値ＰＣに維持する実施も当然可
能である。
なお、実施例では、レーザ出力Ｐに基づき熱電素子１０
を導通する電流Ｉの制御を行っているが、固体レーザ結
晶３の結晶温度Ｓを検出して、この検出値に基づく制御
もまた可能である。
を導通する電流Ｉの制御を行っているが、固体レーザ結
晶３の結晶温度Ｓを検出して、この検出値に基づく制御
もまた可能である。
また、実施例では、レーザ出力Ｐをフィードバック量と
するフィードバック制御を行っているが、これに限定さ
れることなく、オープンループ制御による実施もまた可
能である。
するフィードバック制御を行っているが、これに限定さ
れることなく、オープンループ制御による実施もまた可
能である。
以上説明したように本発明によれば、熱電素子を使用し
て固体レーザ結晶を冷却し、この熱電素子の発生熱量を
前記固体レーザ結晶の温度が一定温度になるように制御
するようにしたので、固体レーザ装置に要求される装置
の小形化が具現されると共に、常に安定して、高出力か
つ一定波長のレーザ光を取り出すことができる。しかも
、冷却の際、従来の冷却装置に比して、冷却の均一性、
冷却の応答性等が格段に向上するという利点が得られる
。
て固体レーザ結晶を冷却し、この熱電素子の発生熱量を
前記固体レーザ結晶の温度が一定温度になるように制御
するようにしたので、固体レーザ装置に要求される装置
の小形化が具現されると共に、常に安定して、高出力か
つ一定波長のレーザ光を取り出すことができる。しかも
、冷却の際、従来の冷却装置に比して、冷却の均一性、
冷却の応答性等が格段に向上するという利点が得られる
。
第１図は、本発明に係る固体レーザ装置の冷却装置の実
施例装置の構成を概略的に示す図、第２図は、従来の固
体レーザ装置の構成を概略的に示す図、第３図（ａ）は
、第１図に示す固体レーザ結晶の結晶温度の時間変化を
示すグラフで、同図（ｂ）は、その場合のレーザ出力の
時間変化を示すグラフ、第４図（ａ）は、第２図に示す
固体し一ザ結晶の結晶温度の時間変化を示すグラフで、
同図（ｂ）は、その場合のレーザ出力の時間変化を示す
グラフである。 ２・・・励起用レーザ光源、３・・・固体レーザ結晶、
４・・・励起レーザ光、７・・・レーザ光、１ｏ・・・
熱電素子、１１・・・熱電素子コントローラ、１３・・
・光受光３ 図 −ＰＩ’ｉ／Ｎ 第 図 ２ 時間ｔ １ 時間ｔ
施例装置の構成を概略的に示す図、第２図は、従来の固
体レーザ装置の構成を概略的に示す図、第３図（ａ）は
、第１図に示す固体レーザ結晶の結晶温度の時間変化を
示すグラフで、同図（ｂ）は、その場合のレーザ出力の
時間変化を示すグラフ、第４図（ａ）は、第２図に示す
固体し一ザ結晶の結晶温度の時間変化を示すグラフで、
同図（ｂ）は、その場合のレーザ出力の時間変化を示す
グラフである。 ２・・・励起用レーザ光源、３・・・固体レーザ結晶、
４・・・励起レーザ光、７・・・レーザ光、１ｏ・・・
熱電素子、１１・・・熱電素子コントローラ、１３・・
・光受光３ 図 −ＰＩ’ｉ／Ｎ 第 図 ２ 時間ｔ １ 時間ｔ
Claims (2)
- （１）所定の励起源によって励起されて、レーザ光を出
力する固体レーザ結晶を有した固体レーザ装置において
、 前記固体レーザ結晶を冷却する熱電素子と、前記固体レ
ーザ結晶の温度が一定温度になるように前記熱電素子の
電流を制御する制御手段とを具えたことを特徴とする固
体レーザ装置の冷却装置。 - （２）所定の励起源によって励起されて、レーザ光を出
力する固体レーザ結晶を有した固体レーザ装置において
、 前記固体レーザ結晶を冷却する熱電素子と、前記固体レ
ーザ結晶から出力されるレーザ光の出力値を検出する検
出手段と、 前記検出手段の検出値に基づいて、前記熱電素子の電流
を制御して、前記固体レーザ結晶から出力されるレーザ
光の出力値を一定値にする電流制御手段と を具えたことを特徴とする固体レーザ装置の冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13818389A JPH033376A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | 固体レーザ装置の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13818389A JPH033376A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | 固体レーザ装置の冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033376A true JPH033376A (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=15216000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13818389A Pending JPH033376A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | 固体レーザ装置の冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH033376A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04131961U (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-04 | 日本電気株式会社 | 固体レーザ装置におけるモニタ構造 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4825277A (ja) * | 1971-08-05 | 1973-04-02 | ||
| JPS5193881A (en) * | 1975-02-17 | 1976-08-17 | Handotaireezano shutsuryokupawaaanteikasochi | |
| JPS5313885A (en) * | 1976-07-23 | 1978-02-07 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor light emitting device |
| JPS5799791A (en) * | 1980-12-12 | 1982-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Power controller of semiconductor laser |
| JPS60169181A (ja) * | 1984-02-10 | 1985-09-02 | Ricoh Co Ltd | 半導体レ−ザの温度制御方式 |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP13818389A patent/JPH033376A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4825277A (ja) * | 1971-08-05 | 1973-04-02 | ||
| JPS5193881A (en) * | 1975-02-17 | 1976-08-17 | Handotaireezano shutsuryokupawaaanteikasochi | |
| JPS5313885A (en) * | 1976-07-23 | 1978-02-07 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor light emitting device |
| JPS5799791A (en) * | 1980-12-12 | 1982-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Power controller of semiconductor laser |
| JPS60169181A (ja) * | 1984-02-10 | 1985-09-02 | Ricoh Co Ltd | 半導体レ−ザの温度制御方式 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04131961U (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-04 | 日本電気株式会社 | 固体レーザ装置におけるモニタ構造 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5203573B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP3389197B2 (ja) | レーザ波長変換装置 | |
| CN107528210B (zh) | 激光调节方法和激光源装置 | |
| US5671232A (en) | Second harmonic generation method and apparatus | |
| US7218655B2 (en) | Solid state laser insensitive to temperature changes | |
| US7791790B2 (en) | Wavelength converter | |
| US5495489A (en) | Second harmonic generating method and apparatus | |
| JP2629621B2 (ja) | 紫外レーザ装置 | |
| US5974062A (en) | Laser drive method, laser drive system, and radiation image read-out apparatus | |
| JP2006330518A (ja) | 高調波発生装置 | |
| JP2000261073A (ja) | 半導体レーザー励起固体レーザー | |
| JPH033376A (ja) | 固体レーザ装置の冷却装置 | |
| EP3183784B1 (en) | Optically pumped semiconductor laser with mode tracking | |
| JP3968868B2 (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JP2003075877A (ja) | レーザ光源及び非線型光学素子の温度制御方法 | |
| JP2000208849A (ja) | 半導体レ―ザ励起固体レ―ザ装置 | |
| JP4114260B2 (ja) | 固体レーザ装置 | |
| KR100327469B1 (ko) | 제2고조파발생장치 | |
| US6169755B1 (en) | Laser-diode-pumped solid state laser and an optical system using the same | |
| JP5087919B2 (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザを用いたレーザポインタ | |
| JP2008130848A (ja) | レーザ周波数安定化装置、及びレーザ周波数安定化方法 | |
| RU2824023C1 (ru) | Система стабилизации мощности лазерного излучения и способ ее применения | |
| JP2001272705A (ja) | 波長変換装置およびその波長変換装置を備えたレーザ装置 | |
| US20190267771A1 (en) | Laser light source device and laser light adjusting method | |
| JPH08181374A (ja) | レーザーダイオード励起固体レーザー |