JPH0333903A - 無人搬送系の移載位置決め方法 - Google Patents
無人搬送系の移載位置決め方法Info
- Publication number
- JPH0333903A JPH0333903A JP1168486A JP16848689A JPH0333903A JP H0333903 A JPH0333903 A JP H0333903A JP 1168486 A JP1168486 A JP 1168486A JP 16848689 A JP16848689 A JP 16848689A JP H0333903 A JPH0333903 A JP H0333903A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer
- transport vehicle
- positioning
- light
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、予め設定された走行経路に沿って走行し、該
走行経路上の所定位置に停止する無人搬送車と、この停
止位置に設置された移載ステーションとの間にて搬送物
の移載を行う無人搬送系における移載位置決め方法に関
する。
走行経路上の所定位置に停止する無人搬送車と、この停
止位置に設置された移載ステーションとの間にて搬送物
の移載を行う無人搬送系における移載位置決め方法に関
する。
工場等の施設内に適宜に設置された複数の移載ステーシ
ョン間に搬送車を884走行させ、各移載ステーション
との間にて搬送物の搬入及び搬出を行う無人搬送系は、
FA(Factory Automation )の
構成において不可欠なものである。
ョン間に搬送車を884走行させ、各移載ステーション
との間にて搬送物の搬入及び搬出を行う無人搬送系は、
FA(Factory Automation )の
構成において不可欠なものである。
このような無人搬送系における搬送車は、各移載ステー
ション間に設定された走行経路上に、例えば光、磁力線
等を利用して形成された標識により誘導されると共に、
走行輪の回転数等から自身の走行距離を認識しつつ、上
位の制御コンピュータからの指令に従って走行し、所定
の移載ステーション前にて自動停止して、該移載ステー
ションとの間にて搬送物の移載を行う。この移載は、移
載ステーション前に停止した搬送車に向けて、該移載ス
テーションに装備された移載機を移動せしめて行われる
が、前記1般送車には、搬送能率の向上を図るべく、進
行方向に複数個の搬送物の載置台を備えているものがあ
り、このような場合にも対応可能なように、前記移載機
は、搬送車に向かう方向のみならず、これと略直交する
載置台の並設方向へも移動自在となっている。この移載
機は、例えば、移載ステーション上にて搬送車の進行方
向と平行な方向、即ち載置台の並設方向に移動する台車
と、該台車に取付けられ、(般送車に向けて伸縮する移
載アームとを備えてなり、移載ステーション前に搬送車
が停止した後、該搬送車の各載置台に対応させて予め定
められた位置まで台車を移動させ、次いで、搬送車上の
載置台に向けて移載アームを伸長せしめることにより、
各載置台との間にて搬送物の移載を行う構成となってい
る。
ション間に設定された走行経路上に、例えば光、磁力線
等を利用して形成された標識により誘導されると共に、
走行輪の回転数等から自身の走行距離を認識しつつ、上
位の制御コンピュータからの指令に従って走行し、所定
の移載ステーション前にて自動停止して、該移載ステー
ションとの間にて搬送物の移載を行う。この移載は、移
載ステーション前に停止した搬送車に向けて、該移載ス
テーションに装備された移載機を移動せしめて行われる
が、前記1般送車には、搬送能率の向上を図るべく、進
行方向に複数個の搬送物の載置台を備えているものがあ
り、このような場合にも対応可能なように、前記移載機
は、搬送車に向かう方向のみならず、これと略直交する
載置台の並設方向へも移動自在となっている。この移載
機は、例えば、移載ステーション上にて搬送車の進行方
向と平行な方向、即ち載置台の並設方向に移動する台車
と、該台車に取付けられ、(般送車に向けて伸縮する移
載アームとを備えてなり、移載ステーション前に搬送車
が停止した後、該搬送車の各載置台に対応させて予め定
められた位置まで台車を移動させ、次いで、搬送車上の
載置台に向けて移載アームを伸長せしめることにより、
各載置台との間にて搬送物の移載を行う構成となってい
る。
さて、このような無人搬送系における移載の際の位置決
め精度は、搬送車の停止位置精度に依存する。搬送車の
停止は、例えば、各移載ステーション前に光、磁力線等
を利用して形成された停止標識の検出に応じて行われる
。ところが、停止標識の検出により搬送車が停止動作を
開始した後、実際に停止に至るまでの間の走行距離には
慣性の影響が生じ、この慣性は、停止前の速度の高低及
び積載物の有無等に応して異なるために、搬送車の停止
位置に高い精度を実現することは困難である。このよう
に生じる停止位置決め誤差は、搬送車と移載機との間の
搬送物の取り合いの際、移載穀の一部と搬送物との間の
摺接による塵芥の発生を招来し、これは、周辺環境に高
い清浄度を要求される半導体製造設備のクリーンルーム
内にて使用される無人搬送系においては重要な問題とな
っている。
め精度は、搬送車の停止位置精度に依存する。搬送車の
停止は、例えば、各移載ステーション前に光、磁力線等
を利用して形成された停止標識の検出に応じて行われる
。ところが、停止標識の検出により搬送車が停止動作を
開始した後、実際に停止に至るまでの間の走行距離には
慣性の影響が生じ、この慣性は、停止前の速度の高低及
び積載物の有無等に応して異なるために、搬送車の停止
位置に高い精度を実現することは困難である。このよう
に生じる停止位置決め誤差は、搬送車と移載機との間の
搬送物の取り合いの際、移載穀の一部と搬送物との間の
摺接による塵芥の発生を招来し、これは、周辺環境に高
い清浄度を要求される半導体製造設備のクリーンルーム
内にて使用される無人搬送系においては重要な問題とな
っている。
そこで従来、搬送車上の搬送物の載置台を水平面内にて
移動自在に構成し、搬送車の停止位置に誤差が生じた場
合においても、載置台の移動により移載ステーションと
の間の相対的な位置関係の補正が行い得るようにした無
人搬送系が提案されている。これには、停止後の移載ス
テーションと搬送車との相対的な位置関係の検出結果に
基づき、搬送車に搭載した駆動装置を動作させて、載置
台を、水平面内の互いに直交する2方向に移動させると
共に、鉛直軸廻りに回動せしめ、能動的に相対位置の補
正を行う構成としたもの(特開昭63−284608号
)と、外力の作用により移動し得る載置台(フローティ
ングテーブル)を搬送車上に設ける一方、移載ステーシ
ョンにガイド部を設け、搬送車の停止時に載置台とガイ
ド部との接触に伴って生じる前記載置台の移動により、
相対位置の補正が受動的に行われるように構成したちの
く実開昭61−138006号)とがある。
移動自在に構成し、搬送車の停止位置に誤差が生じた場
合においても、載置台の移動により移載ステーションと
の間の相対的な位置関係の補正が行い得るようにした無
人搬送系が提案されている。これには、停止後の移載ス
テーションと搬送車との相対的な位置関係の検出結果に
基づき、搬送車に搭載した駆動装置を動作させて、載置
台を、水平面内の互いに直交する2方向に移動させると
共に、鉛直軸廻りに回動せしめ、能動的に相対位置の補
正を行う構成としたもの(特開昭63−284608号
)と、外力の作用により移動し得る載置台(フローティ
ングテーブル)を搬送車上に設ける一方、移載ステーシ
ョンにガイド部を設け、搬送車の停止時に載置台とガイ
ド部との接触に伴って生じる前記載置台の移動により、
相対位置の補正が受動的に行われるように構成したちの
く実開昭61−138006号)とがある。
ところが前者の構成においては、載置台の駆動系が搬送
車に搭載されるため、搬送車の構造が複雑化すると共に
、搬送車の自重が増加し、走行用モータの大型化、該モ
ータの電源となるバッテリー容量の増加等を招来すると
いう難点がある。また、後者の構成においては、搬送車
の構造はやや簡略化されるが、載置台とガイド部との接
触により塵芥が発生する虞があり、また、前記接触に伴
う衝撃によって載置台上の搬送物が移動することがあり
、この場合、移載ステーションに対して載置台が正しく
位置決めされた後においても、該載置台上の搬送物を移
載機にて取り上げる際、両者の接触が生じる虞があって
、クリーンルーム内での無人搬送系としての適用が難し
いという問題点がある。
車に搭載されるため、搬送車の構造が複雑化すると共に
、搬送車の自重が増加し、走行用モータの大型化、該モ
ータの電源となるバッテリー容量の増加等を招来すると
いう難点がある。また、後者の構成においては、搬送車
の構造はやや簡略化されるが、載置台とガイド部との接
触により塵芥が発生する虞があり、また、前記接触に伴
う衝撃によって載置台上の搬送物が移動することがあり
、この場合、移載ステーションに対して載置台が正しく
位置決めされた後においても、該載置台上の搬送物を移
載機にて取り上げる際、両者の接触が生じる虞があって
、クリーンルーム内での無人搬送系としての適用が難し
いという問題点がある。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、搬送
車側に大きい構造変化を招来することなく停止位置ずれ
の補正が行え、該搬送車と移載ステーションとの間の搬
送物の移載を確実に行うことを可能とする無人搬送系の
移載位置決め方法を提供することを目的とする。
車側に大きい構造変化を招来することなく停止位置ずれ
の補正が行え、該搬送車と移載ステーションとの間の搬
送物の移載を確実に行うことを可能とする無人搬送系の
移載位置決め方法を提供することを目的とする。
本発明に係る無人搬送系の移載位置決め方法は、所定の
走行経路に沿って自走し、該経路上の所定の停止位置に
て自動停止する搬送車と、これの一側に面して各停止位
置に設置された移載ステーションとを備え、両者間にお
ける搬送物の移載を、前記移載ステーションに前記走行
経路と平行及び直交する2方向への移動自在に装備され
た移載機の動作により行うに際し、前記搬送車に対する
前記移載機の相対位置の適否を、前記2方向の夫々につ
いて検出する位置検出手段を設け、該位置検出手段によ
る検出可能範囲に応じて設定された所定位置に前記移載
機を移動せしめた後、該移載機を、前記位置検出手段の
検出結果に基づいて移動させて位置決めする過程を、前
記2方向の夫々に対して行うことを特徴とする。
走行経路に沿って自走し、該経路上の所定の停止位置に
て自動停止する搬送車と、これの一側に面して各停止位
置に設置された移載ステーションとを備え、両者間にお
ける搬送物の移載を、前記移載ステーションに前記走行
経路と平行及び直交する2方向への移動自在に装備され
た移載機の動作により行うに際し、前記搬送車に対する
前記移載機の相対位置の適否を、前記2方向の夫々につ
いて検出する位置検出手段を設け、該位置検出手段によ
る検出可能範囲に応じて設定された所定位置に前記移載
機を移動せしめた後、該移載機を、前記位置検出手段の
検出結果に基づいて移動させて位置決めする過程を、前
記2方向の夫々に対して行うことを特徴とする。
本発明においては、搬送車上の複数の載置台の夫々に対
しての移載を行うべく、移載ステーションに搬送車の走
行経路に沿う方向及びこれに直交する方向への移動自在
に装備された移載機を、これと搬送車との間の相対的な
位置関係の検出結果に基づいて動作させることにより、
搬送車の停止位置誤差に伴って移載時に生じる移載機と
搬送物との間の相対位置誤差を補正する。
しての移載を行うべく、移載ステーションに搬送車の走
行経路に沿う方向及びこれに直交する方向への移動自在
に装備された移載機を、これと搬送車との間の相対的な
位置関係の検出結果に基づいて動作させることにより、
搬送車の停止位置誤差に伴って移載時に生じる移載機と
搬送物との間の相対位置誤差を補正する。
以下本発明をその実施例を示す図面に基づいて詳述する
。第1図は本発明に係る無人搬送系の移載位置決め方法
(以下本発明方法という)の実施状態を示す平面図であ
り、第2図は同しく本発明方法の実施状態を示す一部拡
大正面図である。
。第1図は本発明に係る無人搬送系の移載位置決め方法
(以下本発明方法という)の実施状態を示す平面図であ
り、第2図は同しく本発明方法の実施状態を示す一部拡
大正面図である。
図中1は、工場等の施設内に適宜に設置された複数の移
載ステーションの内を1つを示しており、また2は、こ
の移載ステーション1との間にて搬送物3の移載を行わ
しめるべく、該移載ステーション1に向けて走行中の搬
送車を示している。この搬送車2は、複数の移載ステー
ション1. 1・・・間に光学的又は磁気的標識により
形成された走行経路4に沿って、図示しない走行駆動系
の動作により自走し、所定の移載ステーション1前にて
停止して、該移載ステーション1との間に搬送物の移載
を行うものである。該搬送車2の走行及び停止は、これ
に内蔵された図示しない通信装置に上位の制御コンピュ
ータ5から与えられる指令に従って行われるようになっ
ている。
載ステーションの内を1つを示しており、また2は、こ
の移載ステーション1との間にて搬送物3の移載を行わ
しめるべく、該移載ステーション1に向けて走行中の搬
送車を示している。この搬送車2は、複数の移載ステー
ション1. 1・・・間に光学的又は磁気的標識により
形成された走行経路4に沿って、図示しない走行駆動系
の動作により自走し、所定の移載ステーション1前にて
停止して、該移載ステーション1との間に搬送物の移載
を行うものである。該搬送車2の走行及び停止は、これ
に内蔵された図示しない通信装置に上位の制御コンピュ
ータ5から与えられる指令に従って行われるようになっ
ている。
移載ステーション1は、前記走行経路4−側の床面上に
これと並行して延設された案内レール10、これに沿う
態様にて搬送車2の走行位置から十分上方に延設された
載置棚11、及び該載置棚11と後述する如く停止する
搬送車2との間にて搬送物の移載を行う移載機12を備
えてなり、案内レール10の反対側には、本発明方法の
実施に必要な後述する各種のセンサを取り付けるための
センサスタンド6が、走行経路4に沿って設置されてい
る。
これと並行して延設された案内レール10、これに沿う
態様にて搬送車2の走行位置から十分上方に延設された
載置棚11、及び該載置棚11と後述する如く停止する
搬送車2との間にて搬送物の移載を行う移載機12を備
えてなり、案内レール10の反対側には、本発明方法の
実施に必要な後述する各種のセンサを取り付けるための
センサスタンド6が、走行経路4に沿って設置されてい
る。
第3図は移載機12の外観斜視図である。本図及び第1
.第2図に示す如く、移載機12は、案内レール10上
をこれに案内されて移動する台車13と、該台車13の
搬送車2に面する側に鉛直をなして立設された昇降案内
部14と、該昇降案内部14に沿って昇降する昇降機1
5と、該昇降機15に搭載され、走行経路4と直交する
方向に伸縮する移載アーム16と、該移載アーム先端に
固設された移載フォーク17とを備えてなる。このよう
に構成された移載機12において、搬送車2との間にて
実際に移載動作を行う移載フォーク17は、台車13の
移動により搬送車2の走行経路4に沿う方向に移動し、
また移載アーム16の伸縮動作により前記走行経路4と
直交する方向、即ち、搬送車2に接近又は離反する方向
に夫々移動する。つまり移載[12は、水平面内の互い
に直交する2方向に移動可能であり、以後説明の簡略化
のため、走行経路4に沿う方向をX軸方向とし、走行経
路4と直交する方向をY軸方向として、夫々の正の向き
を、第1図及び第3図中に矢符にて示す如く規定する。
.第2図に示す如く、移載機12は、案内レール10上
をこれに案内されて移動する台車13と、該台車13の
搬送車2に面する側に鉛直をなして立設された昇降案内
部14と、該昇降案内部14に沿って昇降する昇降機1
5と、該昇降機15に搭載され、走行経路4と直交する
方向に伸縮する移載アーム16と、該移載アーム先端に
固設された移載フォーク17とを備えてなる。このよう
に構成された移載機12において、搬送車2との間にて
実際に移載動作を行う移載フォーク17は、台車13の
移動により搬送車2の走行経路4に沿う方向に移動し、
また移載アーム16の伸縮動作により前記走行経路4と
直交する方向、即ち、搬送車2に接近又は離反する方向
に夫々移動する。つまり移載[12は、水平面内の互い
に直交する2方向に移動可能であり、以後説明の簡略化
のため、走行経路4に沿う方向をX軸方向とし、走行経
路4と直交する方向をY軸方向として、夫々の正の向き
を、第1図及び第3図中に矢符にて示す如く規定する。
また移載フォーク17は、前記昇降機15の昇降動作に
より上下動し、移載機12と搬送車2との間の搬送物3
の受は渡しは、この上下動により行われる。
より上下動し、移載機12と搬送車2との間の搬送物3
の受は渡しは、この上下動により行われる。
第4図は搬送車2の外観斜視図である。本図及び第2図
に示す如く、搬送車2は、走行のための駆動部及び制御
コンピュータ5との間に走行情報の受渡しを行う通信装
置等を内蔵する本体部20、及びこれの上側に進行方向
に並設され、搬送物3を積載するための複数(本実施例
においては3個)の載置台21,21.21を備えてな
る。第4図は、移載機12の設置側からの斜視図であり
、図示の如く、X軸及びY軸の正方向が逆となっている
。
に示す如く、搬送車2は、走行のための駆動部及び制御
コンピュータ5との間に走行情報の受渡しを行う通信装
置等を内蔵する本体部20、及びこれの上側に進行方向
に並設され、搬送物3を積載するための複数(本実施例
においては3個)の載置台21,21.21を備えてな
る。第4図は、移載機12の設置側からの斜視図であり
、図示の如く、X軸及びY軸の正方向が逆となっている
。
前記本体部20の前部上面のY軸方向中央には、搬送車
2の停止位置の適否の判定に用いられる停止位置iII
認ミラー30が、鏡面を水平として固設されている。第
1図に示す如<、搬送車2の後部にも同様に、停止位置
確認ミラー30が固設されており、停止位置の適否の判
定は、これらの停止位置確認1ミラー30.30と、こ
れらに夫々対応させて前記センサスタンド6に取付けら
れた停止位置センサ60,60とによって次の如く行わ
れる。停止位置センサ60,60は、第1.第2図に示
す如<、1般送車2の上方に十分に離隔した位置にて、
走行経路4の中心線に正しく一致させて取付けてあり、
Y軸方向に停止位置確認ミラー30.30の中心位置に
整合させである。また停止位置センサ60,60のX軸
方向の取付は位置は、第1図中に2点鎖線にて示す如く
、搬送車2が正規の停止位置に正しく停止した際に、前
記停止位置確認ミラー30.30のX軸方向中心位置に
夫々整合するように設定されている。停止位置センサ6
0は、例えば、レーザ光等の指向性に優れた光を鉛直下
向きに発光する発光器と、鉛直下方からの伝播光を受光
する受光器とを内蔵してなり、受光レベルに相当する信
号を制御コンピュータ5に送信する構成となっている。
2の停止位置の適否の判定に用いられる停止位置iII
認ミラー30が、鏡面を水平として固設されている。第
1図に示す如<、搬送車2の後部にも同様に、停止位置
確認ミラー30が固設されており、停止位置の適否の判
定は、これらの停止位置確認1ミラー30.30と、こ
れらに夫々対応させて前記センサスタンド6に取付けら
れた停止位置センサ60,60とによって次の如く行わ
れる。停止位置センサ60,60は、第1.第2図に示
す如<、1般送車2の上方に十分に離隔した位置にて、
走行経路4の中心線に正しく一致させて取付けてあり、
Y軸方向に停止位置確認ミラー30.30の中心位置に
整合させである。また停止位置センサ60,60のX軸
方向の取付は位置は、第1図中に2点鎖線にて示す如く
、搬送車2が正規の停止位置に正しく停止した際に、前
記停止位置確認ミラー30.30のX軸方向中心位置に
夫々整合するように設定されている。停止位置センサ6
0は、例えば、レーザ光等の指向性に優れた光を鉛直下
向きに発光する発光器と、鉛直下方からの伝播光を受光
する受光器とを内蔵してなり、受光レベルに相当する信
号を制御コンピュータ5に送信する構成となっている。
そして制御コンピュータ5は、第2図に示す如く、停止
位置センサ60からの発光の光路上に停止位置確認ミラ
ー30がイ装置しており、3亥センサ60からの発光が
略全反射されて、停止位置センサ60の受光レヘルが大
となったとき、搬送車2が正規の停止位置から所定の許
容範囲内に停止していることを認識する。
位置センサ60からの発光の光路上に停止位置確認ミラ
ー30がイ装置しており、3亥センサ60からの発光が
略全反射されて、停止位置センサ60の受光レヘルが大
となったとき、搬送車2が正規の停止位置から所定の許
容範囲内に停止していることを認識する。
第5図は停止位置確認ミラー30の一例を示す平面図で
ある。停止位置(111認ミラー30は、鏡面仕上げさ
れたステンレス板を、表面を艶消し塗装され、中央に所
定の大きさの矩形孔を有する蓋板にて被覆し、前記ステ
ンレス板表面からなる鏡面30aの周縁に、前記蓋板表
面からなる所定幅の無反射面30bを形成せしめた構成
となっている。政送車2の停止位置の適否は前述した如
く判定されるから、図示の如く、鏡面30aのX軸方向
の幅がA、Y軸方向の幅がBである場合、正規の停止位
置に対するずれ量が、X軸方向に±A/2 、Y軸方向
に±8/2の範囲内にあるとき、搬送車2の停止位置は
適正であると判定される。前記A及びBは、搬送車2に
て達成可能な停止位置精度に基づいて設定されるが、運
転実績に基づきこれらが適正でないと判定された場合に
は、前記蓋板の矩形孔の大きさを変更することにより容
易に修正可能である。
ある。停止位置(111認ミラー30は、鏡面仕上げさ
れたステンレス板を、表面を艶消し塗装され、中央に所
定の大きさの矩形孔を有する蓋板にて被覆し、前記ステ
ンレス板表面からなる鏡面30aの周縁に、前記蓋板表
面からなる所定幅の無反射面30bを形成せしめた構成
となっている。政送車2の停止位置の適否は前述した如
く判定されるから、図示の如く、鏡面30aのX軸方向
の幅がA、Y軸方向の幅がBである場合、正規の停止位
置に対するずれ量が、X軸方向に±A/2 、Y軸方向
に±8/2の範囲内にあるとき、搬送車2の停止位置は
適正であると判定される。前記A及びBは、搬送車2に
て達成可能な停止位置精度に基づいて設定されるが、運
転実績に基づきこれらが適正でないと判定された場合に
は、前記蓋板の矩形孔の大きさを変更することにより容
易に修正可能である。
また搬送車2の本体部20には、X軸方向の移載位置決
めのために用いられる位置決めξクー3L3L31が設
けである。これらは、本体部20の移載機12に面した
側の側面に、鏡面を鉛直として固設してあり、これらの
X軸方向の中心位置は、前記載置台21,2L21の中
心位置に夫々整合させである。そして、各載置台21上
の搬送物3を移載する際、該載置台21に対応する前記
位置決めミラー31と、移載機12の台車13上に固設
された移載位置センサ61とにより、次の如く移載位置
の適否が判定される。
めのために用いられる位置決めξクー3L3L31が設
けである。これらは、本体部20の移載機12に面した
側の側面に、鏡面を鉛直として固設してあり、これらの
X軸方向の中心位置は、前記載置台21,2L21の中
心位置に夫々整合させである。そして、各載置台21上
の搬送物3を移載する際、該載置台21に対応する前記
位置決めミラー31と、移載機12の台車13上に固設
された移載位置センサ61とにより、次の如く移載位置
の適否が判定される。
移載位置センサ61は、前記位置決め旦う−31.31
゜31と高さ方向に整合され、また第1図に示す如く、
移載機12の移載アーム16の軸心位置にX軸方向に正
しく整合されて取付けられており、レーザ光等の指向性
に優れた光をY軸の正方向、即ち、走行経路4側に向け
て略水平に発光する発光器と、これと逆方向に伝播する
光を受光する受光器とを内蔵してなり、受光器による受
光レヘルに相当する信号を制御コンピュータ5に送信す
る構成となっている。これにより制御コンピュータ5は
、第2図に示す如く、移載位置センサ61からの発光の
光路上にいずれかの位置決めよクー31が位置しており
、該ミラー31にて移載位置センサ61の発光が略全反
射され、該センサ61の受光レベルが大となったとき、
搬送車2上のいずれかの載置台21と移載機12との相
対的な位置関係がX軸方向に適正であると判定する。
゜31と高さ方向に整合され、また第1図に示す如く、
移載機12の移載アーム16の軸心位置にX軸方向に正
しく整合されて取付けられており、レーザ光等の指向性
に優れた光をY軸の正方向、即ち、走行経路4側に向け
て略水平に発光する発光器と、これと逆方向に伝播する
光を受光する受光器とを内蔵してなり、受光器による受
光レヘルに相当する信号を制御コンピュータ5に送信す
る構成となっている。これにより制御コンピュータ5は
、第2図に示す如く、移載位置センサ61からの発光の
光路上にいずれかの位置決めよクー31が位置しており
、該ミラー31にて移載位置センサ61の発光が略全反
射され、該センサ61の受光レベルが大となったとき、
搬送車2上のいずれかの載置台21と移載機12との相
対的な位置関係がX軸方向に適正であると判定する。
第6図は位置決めミラー31の一例を示す平面図である
。位置決めくクー31は、前記停止位置確認ごシー30
と同様、鏡面仕上げされたステンレス板を、表面を艶消
し塗装され、細幅のスリット状開口部を有する蓋板にて
被覆し、X軸方向中央に位置して前記ステンレス板表面
からなる測幅の鏡面31aの周縁に、前記蓋板表面から
なる広幅の無反射面31bを形成せしめた構成となって
いる。無反射面31bの全幅りは、前記A寸法以上とさ
れる。
。位置決めくクー31は、前記停止位置確認ごシー30
と同様、鏡面仕上げされたステンレス板を、表面を艶消
し塗装され、細幅のスリット状開口部を有する蓋板にて
被覆し、X軸方向中央に位置して前記ステンレス板表面
からなる測幅の鏡面31aの周縁に、前記蓋板表面から
なる広幅の無反射面31bを形成せしめた構成となって
いる。無反射面31bの全幅りは、前記A寸法以上とさ
れる。
このように構成された位置決めミラー31からの反射光
の受光レベルに基づき、X軸方向の移載位置の適否を前
述した如く判定した場合、載置台21の中心位置と移載
機12における移載アーム16の軸心位置との間のずれ
星が、両者が完全に整合した位置からX軸方向に±C/
2の範囲内にあるとき、X軸方向の移載位置は適正であ
ると判定される。このCの値は、移載アーム16先端の
移載フォーク17にて保持された搬送物3を、前記昇降
機15の降下により3置台21上に移載する際、及び載
置台21上の毀送物3を、昇降機15の上昇により移載
フォーク17にて取り上げる際、前記殿送物3と載置台
21及び移載フォーク17との間に無用な接触がないと
いう条件下にて設定される。
の受光レベルに基づき、X軸方向の移載位置の適否を前
述した如く判定した場合、載置台21の中心位置と移載
機12における移載アーム16の軸心位置との間のずれ
星が、両者が完全に整合した位置からX軸方向に±C/
2の範囲内にあるとき、X軸方向の移載位置は適正であ
ると判定される。このCの値は、移載アーム16先端の
移載フォーク17にて保持された搬送物3を、前記昇降
機15の降下により3置台21上に移載する際、及び載
置台21上の毀送物3を、昇降機15の上昇により移載
フォーク17にて取り上げる際、前記殿送物3と載置台
21及び移載フォーク17との間に無用な接触がないと
いう条件下にて設定される。
更に躍送車2の本体部20上面には、Y軸方向の移載位
置決めのために用いられる発光器32,32.32が詮
げである。これらの発光器32,32.32は、第1図
及び第4図に示す如く、3つの載置台21.21.21
の夫々に対応させて、移載機12から離隔した側の進行
方向前側の角部近傍に固設されており、鉛直上方に向け
て光投射を行う。Y軸方向の移載位置決めは、前記発光
器32.32.32と、これらの夫々に対応させて前記
センサスタンド6に取付けられた受光器62,62.6
2と、移載機12の移載フォーク17先端に固定された
遮光板17aとにて次の如く行われる。受光器62,6
2.62は、第2図に示す如<、躍送車2の上方に十分
離隔し、鉛直下方に受光面を向けて取付けてあり、また
第1図中に2点鎖線に−で示す如く搬送車2が正規の停
止位置に正しく停止した際、夫々に対応する前記発光f
f1532,32.32とX軸方向及びY軸方向に整合
し、各発光器32からの投射光の略全量が夫々に対向す
る受光器62にて受光されるようになしである。前述し
た如く、移載機12と搬送車2との間の搬送物3の移載
は、移載機12の移載アーム16を、Y軸の正方向に伸
長せしめて行われる。前記遮光Fj、17aは、この移
載アーム16の伸長により該アーム16先端の移載フォ
ーク17が載置台21に対してY軸方向に所定の相対位
置に達した時、第2図中に2点鎖線にて示す如く、移載
対象となる載置台21に対応する投光器32とこれに対
向する受光器62との間の光路を遮断するように位置決
めされている。受光器62,62.62は、夫々の受光
レベルに相当する信号を制御コンピュータ5に送信し、
制御コンピュータ5は、これらの信号に基づいてY軸方
向の移載位置決め状態の適否を判定する。この判定は、
所定の載置台21に対応する発光器32とこれに対向す
る受光器62との間の光路上に遮光+ff117aが位
置したとき、前記受光器62の受光レベルが小となるこ
とに基づいて行われる。このときの判定精度は、遮光板
17aの固定位置精度に影響されるから、遮光板17a
の固定位置は、搬送車2を正規の停止位置に配置した状
態にて、移載機12の移載アーム16の伸縮動作を行わ
せ、受光器62による受光レベルの変化状態を調べる実
験に基づいて微調整する。
置決めのために用いられる発光器32,32.32が詮
げである。これらの発光器32,32.32は、第1図
及び第4図に示す如く、3つの載置台21.21.21
の夫々に対応させて、移載機12から離隔した側の進行
方向前側の角部近傍に固設されており、鉛直上方に向け
て光投射を行う。Y軸方向の移載位置決めは、前記発光
器32.32.32と、これらの夫々に対応させて前記
センサスタンド6に取付けられた受光器62,62.6
2と、移載機12の移載フォーク17先端に固定された
遮光板17aとにて次の如く行われる。受光器62,6
2.62は、第2図に示す如<、躍送車2の上方に十分
離隔し、鉛直下方に受光面を向けて取付けてあり、また
第1図中に2点鎖線に−で示す如く搬送車2が正規の停
止位置に正しく停止した際、夫々に対応する前記発光f
f1532,32.32とX軸方向及びY軸方向に整合
し、各発光器32からの投射光の略全量が夫々に対向す
る受光器62にて受光されるようになしである。前述し
た如く、移載機12と搬送車2との間の搬送物3の移載
は、移載機12の移載アーム16を、Y軸の正方向に伸
長せしめて行われる。前記遮光Fj、17aは、この移
載アーム16の伸長により該アーム16先端の移載フォ
ーク17が載置台21に対してY軸方向に所定の相対位
置に達した時、第2図中に2点鎖線にて示す如く、移載
対象となる載置台21に対応する投光器32とこれに対
向する受光器62との間の光路を遮断するように位置決
めされている。受光器62,62.62は、夫々の受光
レベルに相当する信号を制御コンピュータ5に送信し、
制御コンピュータ5は、これらの信号に基づいてY軸方
向の移載位置決め状態の適否を判定する。この判定は、
所定の載置台21に対応する発光器32とこれに対向す
る受光器62との間の光路上に遮光+ff117aが位
置したとき、前記受光器62の受光レベルが小となるこ
とに基づいて行われる。このときの判定精度は、遮光板
17aの固定位置精度に影響されるから、遮光板17a
の固定位置は、搬送車2を正規の停止位置に配置した状
態にて、移載機12の移載アーム16の伸縮動作を行わ
せ、受光器62による受光レベルの変化状態を調べる実
験に基づいて微調整する。
Y軸方向の移載位置決めは、
この方法に限らず、
X軸方向の位置決めと同様にして行うことも可能である
。この場合、前記移載位置センサ61の如く、発光器及
び受光器を備えたセンサを、前記発光器32に換えて搬
送車2上面に固設し、また前記位置決めごクー31と同
様のミラーを、鏡面の長平方向をX軸方向とした状態に
て、遮光板17aに換えて移載フォーク17の先端に固
設して、前者からの発光の後者からの反射光を捉えるよ
うにすればよく、また、移載フォーク17側にセンサを
ド搬送車2側にミラーを固設してもよいことは言うまで
もない。
。この場合、前記移載位置センサ61の如く、発光器及
び受光器を備えたセンサを、前記発光器32に換えて搬
送車2上面に固設し、また前記位置決めごクー31と同
様のミラーを、鏡面の長平方向をX軸方向とした状態に
て、遮光板17aに換えて移載フォーク17の先端に固
設して、前者からの発光の後者からの反射光を捉えるよ
うにすればよく、また、移載フォーク17側にセンサを
ド搬送車2側にミラーを固設してもよいことは言うまで
もない。
以上の如く構成された無人搬送系において実施される本
発明方法の実施手順につき、制御コンピュータ5の動作
内容を示す第7図のフローチャートに従って説明する。
発明方法の実施手順につき、制御コンピュータ5の動作
内容を示す第7図のフローチャートに従って説明する。
制御コンピュータ5は、政送車2から送信される情報に
より、適宜の移載ステーション1前での該階送車2の停
止を確認した後、本発明方法に従っての移載位置決め動
作を開始し、まず、躍送車2の停止位置の適否を判定す
る。この判定は、前述した如く、停止位置センサ60の
受光結果に基づいて行われ、停止位置確認ミラー30が
第5図に示すものである場合、正規の停止位置に対して
X軸方向に±A/2の範囲内にあり、Y軸方向に±8/
2の範囲内にある場合に停止位置が適正である判定され
る。なおこれに加えて、Y軸方向の位置決め判定用の発
光器32.32.32からの発光が、夫々の受光器62
,62.62にて受光されているか否かも調べられ、こ
の結果も停止位置の適否の判定に補助的に用いられる。
より、適宜の移載ステーション1前での該階送車2の停
止を確認した後、本発明方法に従っての移載位置決め動
作を開始し、まず、躍送車2の停止位置の適否を判定す
る。この判定は、前述した如く、停止位置センサ60の
受光結果に基づいて行われ、停止位置確認ミラー30が
第5図に示すものである場合、正規の停止位置に対して
X軸方向に±A/2の範囲内にあり、Y軸方向に±8/
2の範囲内にある場合に停止位置が適正である判定され
る。なおこれに加えて、Y軸方向の位置決め判定用の発
光器32.32.32からの発光が、夫々の受光器62
,62.62にて受光されているか否かも調べられ、こ
の結果も停止位置の適否の判定に補助的に用いられる。
前記A及びBは1般送車2にて実施可能な停止精度に基
づいて決定されており、搬送車2の停止動作が正常にな
された場合、前記判定の結果は適正となるべきものであ
るが、搬送車2の走行状態に異常がある場合等において
、適正でないと判定されることがあり、このとき制御コ
ンピュータ5は、例えば、搬送車2を所定位置にまで退
避させ、再度移載ステーション1前への停止を行わしめ
るべく動作し、再度の停止位置がなお不適と判定された
場合、警報の発生により異常事態の発生をオペレータに
報知すべく、所定の警報手段に動作指令を発する。
づいて決定されており、搬送車2の停止動作が正常にな
された場合、前記判定の結果は適正となるべきものであ
るが、搬送車2の走行状態に異常がある場合等において
、適正でないと判定されることがあり、このとき制御コ
ンピュータ5は、例えば、搬送車2を所定位置にまで退
避させ、再度移載ステーション1前への停止を行わしめ
るべく動作し、再度の停止位置がなお不適と判定された
場合、警報の発生により異常事態の発生をオペレータに
報知すべく、所定の警報手段に動作指令を発する。
搬送車2の停止位置が適正である場合、制御コンピュー
タ5は、移載機12をX軸方向に移動させるべく、該移
載@12の台車13に移動指令を発する。
タ5は、移載機12をX軸方向に移動させるべく、該移
載@12の台車13に移動指令を発する。
台車13のこの移動は、所定の基準位置に到達するまで
の間においては高速にて行われ、その後は、所定の移動
範囲内において、前記移載位置センサ61による検出結
果に基づいて低速にて行われる。
の間においては高速にて行われ、その後は、所定の移動
範囲内において、前記移載位置センサ61による検出結
果に基づいて低速にて行われる。
前記基準位置は、搬送車2が正規の停止位置に正しく停
止しているときに、移載アーム16の軸心が載置台21
の中心線からX軸方向に−A/2だけ離隔することを基
準として、各載置台2L2L21の夫々に対して設定し
である。また、前記移動範囲はX軸の正方向にAなる範
囲としである。即ち、前記基準位置及びこれからの移動
範囲はいずれも、停止位置確認ミラー30のX軸方向の
大きさAを基準として設定されている。前述した如く、
海送車2の停止位置は、正規の停止位置に対してX軸方
向に±A/2の範囲内にあるとき適正と判定されるから
、前記基準位置から前記所定範囲内にて移動する移載機
12の低速移動範囲において、移載機12と載置台21
との間には正しい整合状態が必ず実現される。移載機1
2の移載アーム16の軸心位置と載置台21の中心との
X軸方向の整合は、前述した如く移載位置センサ61の
出力レベルの上昇により検出されるから、前記低速移動
は、移動距離がAを超えない範囲において、前記検出が
なされるまで行われ、この検出がなされた場合、台車1
3に停止指令を発してX軸方向の移載位置決めを終了す
る。
止しているときに、移載アーム16の軸心が載置台21
の中心線からX軸方向に−A/2だけ離隔することを基
準として、各載置台2L2L21の夫々に対して設定し
である。また、前記移動範囲はX軸の正方向にAなる範
囲としである。即ち、前記基準位置及びこれからの移動
範囲はいずれも、停止位置確認ミラー30のX軸方向の
大きさAを基準として設定されている。前述した如く、
海送車2の停止位置は、正規の停止位置に対してX軸方
向に±A/2の範囲内にあるとき適正と判定されるから
、前記基準位置から前記所定範囲内にて移動する移載機
12の低速移動範囲において、移載機12と載置台21
との間には正しい整合状態が必ず実現される。移載機1
2の移載アーム16の軸心位置と載置台21の中心との
X軸方向の整合は、前述した如く移載位置センサ61の
出力レベルの上昇により検出されるから、前記低速移動
は、移動距離がAを超えない範囲において、前記検出が
なされるまで行われ、この検出がなされた場合、台車1
3に停止指令を発してX軸方向の移載位置決めを終了す
る。
なお、前記移動範囲内にてX軸方向の位置決めがなされ
ない場合、台車13の高速移動の段階にまで戻って前記
各過程を繰返す。そしてこの繰返しの後、再度同様の結
果が生じた際には、警報の発生により異常事態の発生を
オペレータに報知すべく、図示しない所定の警報手段に
動作指令を発する。
ない場合、台車13の高速移動の段階にまで戻って前記
各過程を繰返す。そしてこの繰返しの後、再度同様の結
果が生じた際には、警報の発生により異常事態の発生を
オペレータに報知すべく、図示しない所定の警報手段に
動作指令を発する。
このようにしてX軸方向の位置決めを終了した後、制御
コンピュータ5は、同様の手順によりY軸方向の移載位
置決め動作を開始し、まず、移載機12の移載端である
移載フォーク17を、移載対象となる載置台21に向け
てY軸の正方向に移動せしめるべく、移載アーム16に
伸長指令を発する。移載アーム16のこの伸長は、移載
フォーク17が所定の基準位置に到達するまでの間にお
いては高速にて行われ、その後は、前記載置台21に対
応する受光器62による検出結果に基づいて、所定範囲
内において低速にて行われる。前記基準位置は、搬送車
2が正規の停止位置に正しく停止しているときに移載フ
ォ、−り17と載置台21とがY軸方向に正しく整合さ
れる位置からY軸方向に−B/2だけ移載アーム16が
縮短した位置となっており、また、前記移動範囲は、Y
軸の正方向にBなる範囲としてあり、いずれも停止位置
確認ミラー30のY軸方向の寸法Bを基準として設定さ
れている。前述した如く、搬送車2の停止位置は、正規
の停止位置に対してY軸方向に±B/2の範囲内にある
とき適正と判定されるから、移載フォーク17と載置台
21との間のY軸方向の正しい整合状態が実現される位
置が、前記基準位置から前記所定範囲内にて生しる移載
フォーク17の低速移動範囲内に必ず存在する。移載フ
ォーク17と載置台21の中心とのY軸方向の整合は、
前述した如く受光器62の出力レベルの低下により認識
されるから、制御コンピュータ5は、移載アーム16へ
の低速伸長指令を、前記基準位置からの伸長長さがBを
超えない範囲において、前記出力レベルの低下が生じる
まで発し、この検出がなされたとき移載アーム16への
停止指令を発する。この一連の動作により、移載機12
と搬送車2との間のY軸方向の移載位置決めが行われる
。なお、前記移動範囲内にて位置決めがなされない場合
、移載アーム16の高速伸長の段階に戻って前記各過程
を繰返す。そしてこの繰返しの後、再度同様の結果が生
じた際には、警報の発生により異常事態の発生をオペレ
ータに報知すべく、所定の警報手段に動作指令を発する
。
コンピュータ5は、同様の手順によりY軸方向の移載位
置決め動作を開始し、まず、移載機12の移載端である
移載フォーク17を、移載対象となる載置台21に向け
てY軸の正方向に移動せしめるべく、移載アーム16に
伸長指令を発する。移載アーム16のこの伸長は、移載
フォーク17が所定の基準位置に到達するまでの間にお
いては高速にて行われ、その後は、前記載置台21に対
応する受光器62による検出結果に基づいて、所定範囲
内において低速にて行われる。前記基準位置は、搬送車
2が正規の停止位置に正しく停止しているときに移載フ
ォ、−り17と載置台21とがY軸方向に正しく整合さ
れる位置からY軸方向に−B/2だけ移載アーム16が
縮短した位置となっており、また、前記移動範囲は、Y
軸の正方向にBなる範囲としてあり、いずれも停止位置
確認ミラー30のY軸方向の寸法Bを基準として設定さ
れている。前述した如く、搬送車2の停止位置は、正規
の停止位置に対してY軸方向に±B/2の範囲内にある
とき適正と判定されるから、移載フォーク17と載置台
21との間のY軸方向の正しい整合状態が実現される位
置が、前記基準位置から前記所定範囲内にて生しる移載
フォーク17の低速移動範囲内に必ず存在する。移載フ
ォーク17と載置台21の中心とのY軸方向の整合は、
前述した如く受光器62の出力レベルの低下により認識
されるから、制御コンピュータ5は、移載アーム16へ
の低速伸長指令を、前記基準位置からの伸長長さがBを
超えない範囲において、前記出力レベルの低下が生じる
まで発し、この検出がなされたとき移載アーム16への
停止指令を発する。この一連の動作により、移載機12
と搬送車2との間のY軸方向の移載位置決めが行われる
。なお、前記移動範囲内にて位置決めがなされない場合
、移載アーム16の高速伸長の段階に戻って前記各過程
を繰返す。そしてこの繰返しの後、再度同様の結果が生
じた際には、警報の発生により異常事態の発生をオペレ
ータに報知すべく、所定の警報手段に動作指令を発する
。
このようにしてX軸及びY軸方向への移載位置決めがな
された後、制御コンピュータ5は、移載機12へ移載指
令信号を発し、該移載機I2に移載動作を行わせる。こ
の移載動作は、移載機12から搬送車2へ搬送物3を移
載する場合には、昇降機15の下降により、また搬送車
2から移載機12への移載がなされる場合には、昇降機
15の上昇により行われることは前述した如くである。
された後、制御コンピュータ5は、移載機12へ移載指
令信号を発し、該移載機I2に移載動作を行わせる。こ
の移載動作は、移載機12から搬送車2へ搬送物3を移
載する場合には、昇降機15の下降により、また搬送車
2から移載機12への移載がなされる場合には、昇降機
15の上昇により行われることは前述した如くである。
次いで制御コンピュータ5は、搬送車2の各載置台21
について移載が終了したか否かを調べ、否である場合に
は、フローチャートの最初の段階に戻り、次なる載置台
21に対して同様の動作を繰返し、全ての載置台21.
21.21に対する移載が終了した場合、次なる搬送車
2の停止まで本発明に係る動作を休止し、搬送車2の走
行制御等の他の制御動作を行う。
について移載が終了したか否かを調べ、否である場合に
は、フローチャートの最初の段階に戻り、次なる載置台
21に対して同様の動作を繰返し、全ての載置台21.
21.21に対する移載が終了した場合、次なる搬送車
2の停止まで本発明に係る動作を休止し、搬送車2の走
行制御等の他の制御動作を行う。
なお、停止状態にある搬送車2に対する移載機12の相
対位置の適否を判定する手段は、本実施例中に示すもの
に限らないことは言うまでもなく、移載機12の構成も
また、本実施例中に示すものに限らない。
対位置の適否を判定する手段は、本実施例中に示すもの
に限らないことは言うまでもなく、移載機12の構成も
また、本実施例中に示すものに限らない。
以上詳述した如く本発明方法においては、搬送車が移載
ステーション前に停止した後、該ステーションに装備さ
れており、本来移載のための移動機能を有する移載機が
、これと搬送車の間の相対位置の検出結果に基づいて移
動せしめられて、移載のための正確な位置決めがなされ
るから、載置台の移動機構等、搬送車側に大きい構造上
の変化を招来することなく、また搬送車の停止位置精度
を過度に高める必要なく確実な移載位置決めが可能とな
り、移載機と搬送物の接触に伴う塵芥の発生がないこと
から、クリーンルーム内における無人搬送系への適用も
可能である等、本発明は優れた効果を奏する。
ステーション前に停止した後、該ステーションに装備さ
れており、本来移載のための移動機能を有する移載機が
、これと搬送車の間の相対位置の検出結果に基づいて移
動せしめられて、移載のための正確な位置決めがなされ
るから、載置台の移動機構等、搬送車側に大きい構造上
の変化を招来することなく、また搬送車の停止位置精度
を過度に高める必要なく確実な移載位置決めが可能とな
り、移載機と搬送物の接触に伴う塵芥の発生がないこと
から、クリーンルーム内における無人搬送系への適用も
可能である等、本発明は優れた効果を奏する。
第1図は本発明方法の実施状態を示す模式的平面図、第
2図は本発明方法の実施状態を示す一部拡大正面図、第
3図は移載機の一例を示す外観斜視図、第4図は搬送車
の一例を示す外観斜視図、第5図は搬送車の停止位置検
出用ミラーの拡大平面図、第6図は搬送車の移載機に対
する相対位置検出用の旦う−の拡大平面図、第7図は本
発明方法の実施手順を示すフローチャートである。 1・・・移載ステーション 2・・・搬送車4・・・
走行経路 5・・・制御コンピュータ6・・・センサ
スタンド 12・・・移載機 13・・・台車16
・・・移載アーム 17・・・移載フォーク 17
a・・・遮光板 21・・・載置台 30・・・停
止位置確認ミラー31・・・位置決め旦う− 32・
・・発光器 60・・・停止位置センサ 61・・
・移載位置センサ 62・・・受光器
2図は本発明方法の実施状態を示す一部拡大正面図、第
3図は移載機の一例を示す外観斜視図、第4図は搬送車
の一例を示す外観斜視図、第5図は搬送車の停止位置検
出用ミラーの拡大平面図、第6図は搬送車の移載機に対
する相対位置検出用の旦う−の拡大平面図、第7図は本
発明方法の実施手順を示すフローチャートである。 1・・・移載ステーション 2・・・搬送車4・・・
走行経路 5・・・制御コンピュータ6・・・センサ
スタンド 12・・・移載機 13・・・台車16
・・・移載アーム 17・・・移載フォーク 17
a・・・遮光板 21・・・載置台 30・・・停
止位置確認ミラー31・・・位置決め旦う− 32・
・・発光器 60・・・停止位置センサ 61・・
・移載位置センサ 62・・・受光器
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、所定の走行経路に沿って自走し、該経路上の所定の
停止位置にて自動停止する搬送車と、これの一側に面し
て各停止位置に設置された移載ステーションとを備え、
両者間における搬送物の移載を、前記移載ステーション
に前記走行経路と平行及び直交する2方向への移動自在
に装備された移載機の動作により行うに際し、 前記搬送車に対する前記移載機の相対位置 の適否を、前記2方向の夫々について検出する位置検出
手段を設け、 該位置検出手段による検出可能範囲に応じ て設定された所定位置に前記移載機を移動せしめた後、
該移載機を、前記位置検出手段の検出結果に基づいて移
動させて位置決めする過程を、前記2方向の夫々に対し
て行うことを特徴とする無人搬送系の移載位置決め方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1168486A JPH07120206B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 無人搬送系の移載位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1168486A JPH07120206B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 無人搬送系の移載位置決め方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0333903A true JPH0333903A (ja) | 1991-02-14 |
| JPH07120206B2 JPH07120206B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=15868984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1168486A Expired - Lifetime JPH07120206B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 無人搬送系の移載位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07120206B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022063292A (ja) * | 2017-09-25 | 2022-04-21 | キヤノン株式会社 | 搬送システム及び加工システム |
| WO2023139666A1 (ja) * | 2022-01-18 | 2023-07-27 | 本田技研工業株式会社 | 作業車両、制御装置、制御方法及びシステム |
| US11929655B2 (en) | 2017-09-25 | 2024-03-12 | Canon Kabushiki Kaishi | Transport system and processing system |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61138006U (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-27 | ||
| JPS61257748A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-15 | Toyota Motor Corp | 無人搬送車用パレツト移載装置 |
| JPH0179109U (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-26 |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1168486A patent/JPH07120206B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61138006U (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-27 | ||
| JPS61257748A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-15 | Toyota Motor Corp | 無人搬送車用パレツト移載装置 |
| JPH0179109U (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-26 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022063292A (ja) * | 2017-09-25 | 2022-04-21 | キヤノン株式会社 | 搬送システム及び加工システム |
| US11929655B2 (en) | 2017-09-25 | 2024-03-12 | Canon Kabushiki Kaishi | Transport system and processing system |
| WO2023139666A1 (ja) * | 2022-01-18 | 2023-07-27 | 本田技研工業株式会社 | 作業車両、制御装置、制御方法及びシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07120206B2 (ja) | 1995-12-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100615950B1 (ko) | 현수식 반송장치 | |
| CN107324041B (zh) | 用于片盒夹持的机械手及自动片盒搬运装置 | |
| KR102393745B1 (ko) | 롤테이너 이송용 무인 운반차 | |
| JP4409552B2 (ja) | ロール自動供給装置 | |
| JP3375907B2 (ja) | 天井走行搬送装置 | |
| US20110245964A1 (en) | Self Aligning Automated Material Handling System | |
| KR102230179B1 (ko) | 스태커 크레인 | |
| US20170247190A1 (en) | Article Transport Facility | |
| JP3371897B2 (ja) | 天井走行搬送装置 | |
| TWI899459B (zh) | 有軌道台車 | |
| KR102535709B1 (ko) | 검사 시스템 | |
| TW202214507A (zh) | 倉儲 | |
| CN118907703B (zh) | 半导体晶圆盒自动仓储管理系统以及方法 | |
| KR102707577B1 (ko) | 물품 이송 장치 및 물품 이송 방법 | |
| JPWO2018088089A1 (ja) | 天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法 | |
| JP3957477B2 (ja) | 無人搬送車および物品搬送設備 | |
| KR20220116603A (ko) | 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법 | |
| JP4465415B2 (ja) | 天井走行搬送装置 | |
| JPH0333903A (ja) | 無人搬送系の移載位置決め方法 | |
| JP5150003B1 (ja) | ロール体取扱システム、ロール体供給方法およびロール体搬送装置 | |
| CN213649753U (zh) | 上下料搬运系统 | |
| KR20210004850A (ko) | 검사 시스템 | |
| CN108189045A (zh) | 一种整经机经轴转运机器人及其控制方法 | |
| WO2013035250A1 (ja) | ロール体取扱システム、ロール体供給方法およびロール体搬送装置 | |
| JP2022165832A (ja) | 移動体システム、移動体制御方法、及びプログラム |