JPH0334061U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0334061U JPH0334061U JP9363289U JP9363289U JPH0334061U JP H0334061 U JPH0334061 U JP H0334061U JP 9363289 U JP9363289 U JP 9363289U JP 9363289 U JP9363289 U JP 9363289U JP H0334061 U JPH0334061 U JP H0334061U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- plasma processing
- processing chamber
- hole
- exhaust hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例を示す透視斜視図
、第２図ａ，ｂは、夫々排気コンダクタンス制御
板の平面図、第３図は、本考案の他の実施例を示
す透視斜視図、第４図は、従来のものの縦断面図
である。 尚、図中１……プラズマ処理室、２……排気孔
、３……排気配管、４……コンダクタンスバルブ
、５……排気ポンプ、６……ガス導入口、７……
基板、８，８ａ……排気コンダクタンス制御板、
９，９ａ……小孔、１０，１０ａ……排気溝であ
る。
、第２図ａ，ｂは、夫々排気コンダクタンス制御
板の平面図、第３図は、本考案の他の実施例を示
す透視斜視図、第４図は、従来のものの縦断面図
である。 尚、図中１……プラズマ処理室、２……排気孔
、３……排気配管、４……コンダクタンスバルブ
、５……排気ポンプ、６……ガス導入口、７……
基板、８，８ａ……排気コンダクタンス制御板、
９，９ａ……小孔、１０，１０ａ……排気溝であ
る。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 プラズマ処理室に排気孔を設け、同排気孔に排
気配管、コンダクタンスバルブ、排気ポンプから
なる排気系を接続してプラズマ処理室内の排気を
行うプラズマ処理装置において、 前記プラズマ処理室と排気孔との間に径及び又
は間隙の異なる多数の小孔を有する排気コンダク
タンス制御板を装備してなることを特徴とするプ
ラズマ処理室の排気構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9363289U JPH0334061U (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9363289U JPH0334061U (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0334061U true JPH0334061U (ja) | 1991-04-03 |
Family
ID=31643000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9363289U Pending JPH0334061U (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0334061U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005332985A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体製造装置およびそれを用いて製造した光起電力装置 |
| JP2010186949A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Nuflare Technology Inc | 半導体製造装置および半導体製造方法 |
| JP2016149526A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 半導体製造装置 |
-
1989
- 1989-08-09 JP JP9363289U patent/JPH0334061U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005332985A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体製造装置およびそれを用いて製造した光起電力装置 |
| JP2010186949A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Nuflare Technology Inc | 半導体製造装置および半導体製造方法 |
| JP2016149526A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 半導体製造装置 |
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