JPH0334309A - Ｘ線マスクの転倒防止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、シンクロトロン放射光等のように水平方向か
ら照射されるＸ線を利用したＸ＃’Ｊソゲラフイーに用
いるＸ線マスクの転倒防止装置に関するものである。

従来の技術 シンクロトロン放射光はほぼ水平方向から放射される平
行光に近いＸ線であるため、Ｘ線マスクは縦形に装着す
る必要がある。

従来、Ｘ線マスクを吸着板に装着するには、第５図に示
す構成が知られている。第５図に示すようにＸ線マスク
５ＩはＸ線露光用パターンを有するＸ線マスク本体５２
が補強基板５３に取付けられている。一方、吸着板刺に
はＸ線マスク５１における補強基板５３の直角な二辺と
それぞれ係合した位置決めを行う１本、若しくは複数本
の位置決めビン５５と５６が突設されている。そして、
Ｘ線マスク５１を縦形に向け、位置決めビン５５．５６
で２方向を概略位置に位置決めした後、吸着板間に吸着
させる。

この吸着には、通常、静電吸着法、若しくは真空吸着法
が用いられる。

発明が解決しようとする課題 しかし、上記従来例では、吸着が動作している場合には
、特に問題はないが、誤動作により吸着不能になった場
合には、Ｘ線マスク５１が矢印Ａ方向に転倒する恐れが
ある。この転倒を防止するには、Ｘ線マスク５１をばね
等で位置決めビン５５、若しくは５６に押し付けること
が考えられる。しかし、Ｘ線リソグラフィーはサブミク
ロンオーダの露光を行う必要があるため、Ｘ線マスク５
１にばね力等の外力な加えると、パターン形状が歪んで
変形し、重ね合わせ露光を行うことができない事態を招
く。

本発明は、このような従来技術な解決するもので、Ｘ線
マスクが吸着板に吸着している状態ではＸ線マスクにお
けるＸ線リソグラフィー用パターンの形状を変化させな
いようにして重ね合わせ露光を行うことができ、Ｘ線マ
スクの吸着板に対する吸着が不能時にＸ線マスクの転倒
を防止して破損を防止することができるようにしたＸ線
マスクの転倒防止装置を提供することを目的とするもの
である。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するための本発明の技術的解決手段は、
Ｘ線リソグラフィー用のＸ線マスクを位置決めして吸着
させる吸着板に設けられ、上記Ｘ線マスクの転倒を防止
する鉤状に形成された転倒防止用爪と、上記Ｘ線マスク
の補強基板に形成され、上記吸着板に対する吸着状態で
上記転倒防止用爪において上記吸着板と対向する転倒防
止部をＸ線マスクの厚み方向で外方へほぼ突出しないよ
うに納め、上記転倒防止爪とにクリアランスを有する逃
げ部を備えたものである。

そして、上記逃げ部が段差部、傾斜部、溝のいずれかよ
り選ばれるのが好ましい。

作用 したがって、本発明によれば、転倒防止用爪において吸
着板と対向する転倒防止部をＸ線マスクの逃げ部に納め
、この状態で逃げ部と転倒防止用爪が直接当たらないよ
うに適当なりリアランスを与えているので、通常の吸着
状態ではＸ線マスクに力が加わらないようにすることが
できる。そして、Ｘ線マスクが吸着板に対して吸着不能
となり、Ｘ線マスクが転倒しようとしても、転倒防止用
爪に係合して転倒するのを防止することができる。

実施例 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。

まず、本発明の第１の実施例について説明する。

第１図および第２図は本発明の第１の実施例におけるＸ
線マスクの転倒防止装置を示し、第１図はＸ線マスクを
吸着板に吸着させる前の状態の斜視図、第２図はＸ線マ
スクを吸着板に吸着させた状態の要部の拡大側面図であ
る。

第１図に示すようにＸ線マスク１はＸ線露光パターンを
有するＸｌｓマスク本体２が補強基板３に取付けられて
いる。一方、吸着板４にはＸ線マスク１における補強基
板３の直角方向の二辺をそれぞれ係合して位置決めを行
う１本、若しくは複数本の位置決めビン５と６が突設さ
れている。吸着板４には下側の位置決めビン６の両側方
において、一対の転倒防止用爪７が突設されている。各
転倒防止用爪７は鉤状に形成され、基部８が吸着板４と
一体に設けられ、基部８より立上がった転倒防止部９が
吸着板４とほぼ平行に対向されている。

Ｘ線マスク１の補強基板３における下部両側隅部には三
角形状に切欠かれた段差部からなる逃げ部１０が形成さ
れている。各逃げ部１０は後述するようにＸ＃Ｊマスク
１を吸着板４に位置決め状態で吸着させた際に、第２図
に示すように転倒防止用爪７の転倒防止部９をＸ線マス
ク１の厚み方向で外方へ突出しないように納め、Ｘ線マ
スク１の補強基板３が転倒防止用爪７の転倒防止部９と
クリアランスｄ１を有すると共に、基部８ともクリアラ
ンスｄ、を有するように設定されている。

以上の構成にいて、以下、Ｘ線マスク１の吸着板４に対
する吸着動作について説明する。

まず、第１図に示すようにＸ線マスク１を矢印Ｂ方向か
ら吸着板４に装着し、位置決めビン５．６でＸ線マスク
１の直角２方向を吸着板４に対して位置決めする。次に
Ｘ線マスク１を吸着板４に真空吸着法、若しくは静電吸
着法により吸着させる。このとき、第２図に示すように
Ｘ線マスク１の補強基板３は転倒防止用爪７とクリアラ
ンスｄ１、ｄ２を有しているので、Ｘ線マスク１に外力
による変形を生じるおそれはなく、しかも、Ｘ線マスク
１と位置決めビン５．６との接触状態はそのまま保持さ
れるので、位置ずれを生じるおそれはなく、したがって
、重ね合わせ露光を行うことができる。

このとき、転倒防止部９をＸ線マスク１の補強基板３の
逃げ部１０に納めてＸ線マスク１の厚み方向に突出しな
いようにしているので、近接露光の邪魔になら々いよう
にすることができる。そして、上記Ｘ線マスク１の吸着
板４に対する吸着が何らかの原因で作動しなくなり、Ｘ
線マスク１が第１図に示す矢印Ａ・方向に転倒しようと
しても、Ｘ線マスク１の補強基板３の逃げ部１０が転倒
防止用爪７の転倒防止部９の先端に係合すると共に、Ｘ
線マスク１の補強基板３の下端が吸着板４に係合するの
で、Ｘ線マスク１の転倒を防止することができ、したが
って、Ｘ線マスク１の落下による破損を防止することが
できる。

次に本発明の第２の実施例について説明する。

第３図は本発明の第２の実施例におけるＸ線マスクの転
倒防止装置を示し、第２図と同様の拡大側面図である。

本実施例においては、Ｘ線マスク１の補強基板３におけ
る下縁に全長に亘って傾斜面からなる逃げ部１０を形成
し、転倒防止用爪７の転倒防止部９の先端部内側にも傾
斜面９ａを形成したものであり、その他の構成は上記第
１の実施例と同様である。本実施例によれば、上記第１
の実施例のように逃げ部１０を部分的に形成する必要が
ないので、製作が容易となる。

次に本発明の第３の実施例について説明する。

第４図は本発明の第３の実施例におけるＸ線マスクの転
倒防止装置を示し、第２図と同様の拡大側面図である。

本実施例においては、Ｘ線マスク１の補強基板３におけ
る下縁に全長に亘って溝からなる逃げ部１０を形成した
ものであり、その他の構成は上記第１の実施例と同様で
ある。本実施例によれば、上記第１の実施例のように逃
げ部１０を部分的に形成する必要がないので、製作が容
易となる。

々お、転倒防止用爪７と逃げ部１０は上記各実施例以外
の箇所に配置することができる。本発明は、この外、そ
の基本的技術思想を逸脱しない範囲で種々設計変更する
ことができる。

発明の効果 以上述べたように本発明によれば、転倒防止用爪におい
て吸着板と対向する伝ｆｊ１１防止部をＸ線マスクの逃
げ部に納め、この状態で逃げ部と転倒防止用爪が直接当
たらないように適当なりリアランスを与えているので、
通常の吸着状態ではＸ線マスクに力が加わらないように
することができる。

したがって、Ｘ線マスクにおけるパターン形状を変化さ
せｋいようにして重ね合わせ露光を行うことができる。

そして、Ｘ線マスクが吸着板に対して吸着不能となり、
Ｘ線マスクが転倒しようとしても、転倒防止用爪に係合
して転倒するのを防止して破損を防止することができる
。。したがって、信頼性の高いＸ線リソグラフィーを行
うのに有用である。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の第１の実施例におけるＸ
線マスクの転倒防止装置を示し、第１図はＸ線マスクを
吸着板に吸着させる前の状態の斜視図、第２図はＸ線マ
スクを吸着板に吸着させた状態の要部の拡大側面図、第
３図は本発明の第２の実施例を示し、第２図と同様の拡
大側面図、第４図は本発明の第３の実施例を示し、第２
図と同様の拡大側面図、第５図は従来のＸ線マスクと吸
着板の吸着状態を示す斜視図である。 ｌ・・・Ｘ線マスク、２・・・Ｘ線マスク本体、３・・
・補強基板、４・・・吸着板、５．６・・・位置決めビ
ン、７・・・転倒防止用爪、９・・・転倒防止部、１０
・・・逃げ部。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）Ｘ線リソグラフィー用のＸ線マスクを位置決めし
   て吸着させる吸着板に設けられ、上記Ｘ線マスクの転倒
   を防止する鉤状に形成された転倒防止用爪と、上記Ｘ線
   マスクの補強基板に形成され、上記吸着板に対する吸着
   状態で上記転倒防止用爪において上記吸着板と対向する
   転倒防止部をＸ線マスクの厚み方向で外方へほぼ突出し
   ないように納め、上記転倒防止爪とにクリアランスを有
   する逃げ部を備えたＸ線マスクの転倒防止装置。
2. （２）逃げ部が段差部、傾斜部、溝のいずれかより選ば
   れた請求項１記載のＸ線マスクの転倒防止装置。