JPH0334650Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0334650Y2 JPH0334650Y2 JP17875885U JP17875885U JPH0334650Y2 JP H0334650 Y2 JPH0334650 Y2 JP H0334650Y2 JP 17875885 U JP17875885 U JP 17875885U JP 17875885 U JP17875885 U JP 17875885U JP H0334650 Y2 JPH0334650 Y2 JP H0334650Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- pair
- sensitive resistors
- thermal mass
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は熱式質量流量計に係り、特に被測流体
の流量を感度良く安定に計測しうる熱式質量流量
計に関する。
の流量を感度良く安定に計測しうる熱式質量流量
計に関する。
従来の技術
従来の熱式質量流量計では、一対の感熱抵抗体
の加熱に伴うケース内の対流現象に起因した感熱
抵抗体の相互の温度影響による感度誤差（姿勢誤
差）を防止するため、断熱材の粉末あるいは中
空のガラス球等をケース内に充填したり、または
感熱抵抗体を発泡部材等の断熱部材で包んだ
り、またはセンサパイプ及び感熱抵抗体にケー
ス内の壁を近接して感熱抵抗体の周囲の空気層を
狭くして対流を抑えるよう構成したものがあつ
た。
の加熱に伴うケース内の対流現象に起因した感熱
抵抗体の相互の温度影響による感度誤差（姿勢誤
差）を防止するため、断熱材の粉末あるいは中
空のガラス球等をケース内に充填したり、または
感熱抵抗体を発泡部材等の断熱部材で包んだ
り、またはセンサパイプ及び感熱抵抗体にケー
ス内の壁を近接して感熱抵抗体の周囲の空気層を
狭くして対流を抑えるよう構成したものがあつ
た。
考案が解決しようとする問題点
ところが、上記従来の熱式質量流量計ではの
場合、充填材が感熱抵抗体を損傷させて短絡の原
因となるおそれがあり、充填材が十分に充填され
ていない場合には搬送時の揺れ、振動等により空
洞が生じてしまうおそれがあつた。またでは断
熱部材が感熱抵抗体に接触するため感熱抵抗体の
温度上昇を妨げ、また断熱部材の耐熱性によつて
温度上昇量が制限されていた。またでは感熱抵
抗体とケースの内壁が近接しているため、感熱抵
抗体の熱が輻射，熱伝導等により奪われ易かつ
た。印ち、上記，，では姿勢誤差を小さく
するのに感度を低化させていたという欠点があつ
た。
場合、充填材が感熱抵抗体を損傷させて短絡の原
因となるおそれがあり、充填材が十分に充填され
ていない場合には搬送時の揺れ、振動等により空
洞が生じてしまうおそれがあつた。またでは断
熱部材が感熱抵抗体に接触するため感熱抵抗体の
温度上昇を妨げ、また断熱部材の耐熱性によつて
温度上昇量が制限されていた。またでは感熱抵
抗体とケースの内壁が近接しているため、感熱抵
抗体の熱が輻射，熱伝導等により奪われ易かつ
た。印ち、上記，，では姿勢誤差を小さく
するのに感度を低化させていたという欠点があつ
た。
そこで、本考案は上記欠点を除去した熱式質量
流量計を提供することを目的とする。
流量計を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段及び作用
本考案は上記構成になる熱式質量流量計におい
て、一対の感熱抵抗体を隔絶するように一対の感
熱抵抗体の中途の位置のパイプに設けられた第１
の隔壁と、一対の感熱抵抗体の両側に位置され通
路を塞ぐように設けられた第２の隔壁とを設けて
感度を低下させずに姿勢誤差を小さくするように
したものである。
て、一対の感熱抵抗体を隔絶するように一対の感
熱抵抗体の中途の位置のパイプに設けられた第１
の隔壁と、一対の感熱抵抗体の両側に位置され通
路を塞ぐように設けられた第２の隔壁とを設けて
感度を低下させずに姿勢誤差を小さくするように
したものである。
実施例
第１図に本考案になる熱式質量流量計の第１実
施例を示す。第２図は第１図に示す熱式質量流量
計を適用した流量制御装置である。
施例を示す。第２図は第１図に示す熱式質量流量
計を適用した流量制御装置である。
第２図中、流量制御装置１は流量計測部（熱式
質量流量計）２，ステツピングモータ３，回転−
直線変換機構４，弁軸部５，ベローズ６，弁体
７，弁座８より大略構成されている。
質量流量計）２，ステツピングモータ３，回転−
直線変換機構４，弁軸部５，ベローズ６，弁体
７，弁座８より大略構成されている。
また、バイパス流路９中には絞り１０が設けら
れており、絞り１０により被測流体が所定の分流
比でバイパス流路９と、バイパス流路９より分岐
したセンサパイプ１１で形成されるセンサ流路と
に分流される。センサパイプ１１は逆Ｕ字形状に
折曲されており、例えば熱伝導率が良く、しかも
被測流体による腐食を考慮してステンレス製のパ
イプで構成されている。また、センサパイプ１１
には夫々加熱と温度検出とを兼ねる温度検出セン
サとしての一対の感熱抵抗体１２，１３が巻回さ
れている。
れており、絞り１０により被測流体が所定の分流
比でバイパス流路９と、バイパス流路９より分岐
したセンサパイプ１１で形成されるセンサ流路と
に分流される。センサパイプ１１は逆Ｕ字形状に
折曲されており、例えば熱伝導率が良く、しかも
被測流体による腐食を考慮してステンレス製のパ
イプで構成されている。また、センサパイプ１１
には夫々加熱と温度検出とを兼ねる温度検出セン
サとしての一対の感熱抵抗体１２，１３が巻回さ
れている。
流量計測部２の一対の感熱抵抗体１２，１３は
ブリツジ回路（図示せず）を介して通電され加熱
されている。被測流体はセンサパイプ１１内に流
入して一対の感熱抵抗体１２，１３間を通過する
とき加熱される。これにより一対の感熱抵抗体１
２，１３は被測流体の流量に応じた温度差を検出
する。また、一対の感熱抵抗体１２，１３の温度
変化に応じてその抵抗値が変化し、さらにブリツ
ジ回路の電流値の変化として被測流体の流量が計
測される。
ブリツジ回路（図示せず）を介して通電され加熱
されている。被測流体はセンサパイプ１１内に流
入して一対の感熱抵抗体１２，１３間を通過する
とき加熱される。これにより一対の感熱抵抗体１
２，１３は被測流体の流量に応じた温度差を検出
する。また、一対の感熱抵抗体１２，１３の温度
変化に応じてその抵抗値が変化し、さらにブリツ
ジ回路の電流値の変化として被測流体の流量が計
測される。
なお、ブリツジ回路は一対の感熱抵抗体１２，
１３の抵抗値と一対の抵抗とより構成されてお
り、被測流体の流量が零のとき平衡に保たれてい
る。したがつて、被測流体の流量により感熱抵抗
体１２，１３の抵抗値が変化するとブリツジ回路
の平衡がくずれて検出信号が出力される。
１３の抵抗値と一対の抵抗とより構成されてお
り、被測流体の流量が零のとき平衡に保たれてい
る。したがつて、被測流体の流量により感熱抵抗
体１２，１３の抵抗値が変化するとブリツジ回路
の平衡がくずれて検出信号が出力される。
流量制御装置１はこのブリツジ回路からの検出
信号に基づいてステツピングモータ３を駆動制御
して弁体７を変位させて弁開度を調整する。
信号に基づいてステツピングモータ３を駆動制御
して弁体７を変位させて弁開度を調整する。
また、センサパイプ１１及び感熱抵抗体１２，
１３は箱状の収納ケース１４に収納されており、
風等の外的な温度影響を受けることを防止されて
いる。センサパイプ１１はその両端部１１ａ，１
１ｂを夫々ベース１５の上面より取付孔１５ａに
挿通させて下面より突出させた状態でベース１５
に固定されている。ベース１５は平板形状をして
おり、装置１の本体１ａ上にネジ止めされてい
る。
１３は箱状の収納ケース１４に収納されており、
風等の外的な温度影響を受けることを防止されて
いる。センサパイプ１１はその両端部１１ａ，１
１ｂを夫々ベース１５の上面より取付孔１５ａに
挿通させて下面より突出させた状態でベース１５
に固定されている。ベース１５は平板形状をして
おり、装置１の本体１ａ上にネジ止めされてい
る。
第１図に示す如く、流量計測部２の収納ケース
１４には外壁１６と内壁１７との間にセンサパイ
プ１１が通るＵ字状の通路１８が設けられてい
る。また、第３図に示すように外壁１６及び内壁
１７には互いに対向する位置に係合凸部１９ａ〜
１９ｃが設けられている。この係合凸部１９ａ〜
１９ｃはセンサパイプ１１と直交する方向に突出
形成されており、所定の間隔で配設されている。
１４には外壁１６と内壁１７との間にセンサパイ
プ１１が通るＵ字状の通路１８が設けられてい
る。また、第３図に示すように外壁１６及び内壁
１７には互いに対向する位置に係合凸部１９ａ〜
１９ｃが設けられている。この係合凸部１９ａ〜
１９ｃはセンサパイプ１１と直交する方向に突出
形成されており、所定の間隔で配設されている。
２０ａ〜２０ｃは隔壁で、発泡部材により形成
されており、通路１８内を画成するようにその両
端を係合凸部１９ａ，１９ａ，１９ｂ，１９ｂ，
１９ｃ，１９ｃ間に挿入させて位置決めされると
共に強固に保持されている。このため、各隔壁２
０ａ〜２０ｃは係合凸部１９ａ〜１９ｃによりセ
ンサパイプ１１に対して直交する方向に保持され
ており、ガタツキ及び傾斜することを防止されて
いる。隔壁２０ａ〜２０ｃの中央には貫通孔２０
a1〜２０c1が穿設されており、センサパイプ１１
はこの貫通孔２０a1〜２０c1に挿通されている。
隔壁２０ｂ（第１の隔壁）は一対の感熱抵抗体１
２，１３を互いに隔絶するように一対の感熱抵抗
体１２，１３間の中途位置に設けられている。ま
た、隔壁２０ａ，２０ｃ（第２の隔壁）は一対の
感熱抵抗体１２，１３の両側に位置し、通路１８
を塞ぐように設けられている。
されており、通路１８内を画成するようにその両
端を係合凸部１９ａ，１９ａ，１９ｂ，１９ｂ，
１９ｃ，１９ｃ間に挿入させて位置決めされると
共に強固に保持されている。このため、各隔壁２
０ａ〜２０ｃは係合凸部１９ａ〜１９ｃによりセ
ンサパイプ１１に対して直交する方向に保持され
ており、ガタツキ及び傾斜することを防止されて
いる。隔壁２０ａ〜２０ｃの中央には貫通孔２０
a1〜２０c1が穿設されており、センサパイプ１１
はこの貫通孔２０a1〜２０c1に挿通されている。
隔壁２０ｂ（第１の隔壁）は一対の感熱抵抗体１
２，１３を互いに隔絶するように一対の感熱抵抗
体１２，１３間の中途位置に設けられている。ま
た、隔壁２０ａ，２０ｃ（第２の隔壁）は一対の
感熱抵抗体１２，１３の両側に位置し、通路１８
を塞ぐように設けられている。
外壁１６と内壁１７との間の通路１８には３枚
の隔壁２０ａ〜２０ｃにより一対のセンサ室２
１，２２が形成されている。なお、２３は板状の
蓋で収納ケース１４の開口側を閉蓋するように収
納ケース１４の側面に取付けられる。したがつ
て、蓋２３を収納ケース１４に取付固定すると一
対のセンサ室２１，２２は密閉される。即ち、一
対の感熱抵抗体１２，１３は夫々両側を隔壁２０
ａ〜２０ｃにより仕切られたセンサ室２１，２２
内に外気の影響を受けることなく格納される。
の隔壁２０ａ〜２０ｃにより一対のセンサ室２
１，２２が形成されている。なお、２３は板状の
蓋で収納ケース１４の開口側を閉蓋するように収
納ケース１４の側面に取付けられる。したがつ
て、蓋２３を収納ケース１４に取付固定すると一
対のセンサ室２１，２２は密閉される。即ち、一
対の感熱抵抗体１２，１３は夫々両側を隔壁２０
ａ〜２０ｃにより仕切られたセンサ室２１，２２
内に外気の影響を受けることなく格納される。
このように格納された一対の感熱抵抗体１２，
１３に流量計測を行なうため、電流を供給して感
熱抵抗体１２，１３を加熱する。センサ室２１，
２２が隔壁２０ａ〜２０ｃにより画成されている
ため、感熱抵抗体１２，１３が加熱されても通路
１８内の対流は抑制される。したがつて、センサ
室２１，２２内は感熱抵抗体１２，１３の周囲で
対流が起こらないため、熱的には平衡状態になり
易い。印ち、流量計測時流量変化に応じて感度良
くセンサパイプ１１内を流れる被測流体を計測で
きる。
１３に流量計測を行なうため、電流を供給して感
熱抵抗体１２，１３を加熱する。センサ室２１，
２２が隔壁２０ａ〜２０ｃにより画成されている
ため、感熱抵抗体１２，１３が加熱されても通路
１８内の対流は抑制される。したがつて、センサ
室２１，２２内は感熱抵抗体１２，１３の周囲で
対流が起こらないため、熱的には平衡状態になり
易い。印ち、流量計測時流量変化に応じて感度良
くセンサパイプ１１内を流れる被測流体を計測で
きる。
また、隔壁２０ａ〜２０ｃは発泡部材等の断熱
材により形成されており、感熱抵抗体１２，１３
からの熱の一部はセンサ室２１，２２に面する外
壁１６，内壁１７及び収納ケース１４に輻射して
収納ケース１４より大気に放熱される。また、隔
壁２０ａ〜２０ｃが傾斜せず常にセンサパイプ１
１と直交する方向に保持されていると共に感度を
低下させることなく、対流による生ずる一対の感
熱抵抗体１２，１３の姿勢誤差が小さくなりより
正確な流量計測が行なえる。
材により形成されており、感熱抵抗体１２，１３
からの熱の一部はセンサ室２１，２２に面する外
壁１６，内壁１７及び収納ケース１４に輻射して
収納ケース１４より大気に放熱される。また、隔
壁２０ａ〜２０ｃが傾斜せず常にセンサパイプ１
１と直交する方向に保持されていると共に感度を
低下させることなく、対流による生ずる一対の感
熱抵抗体１２，１３の姿勢誤差が小さくなりより
正確な流量計測が行なえる。
第４図に本考案の第２実施例を示す。第２図
中、外壁１６及び内壁１７の互いに対向する位置
に係合凹部３１ａ〜３１ｃが所定間隔で形成され
ている。一対のセンサ室２１，２２を画成する隔
壁２０ａ〜２０ｃは両端を係合凹部３１ａ〜３１
ｃに嵌入させて装着される。したがつて、隔壁２
０ａ〜２０ｃは係合凹部３１ａ〜３１ｃに係合し
てセンサパイプ１１と直交する向きに保持されて
位置決めされガタツイたり傾斜することを防止さ
れる。
中、外壁１６及び内壁１７の互いに対向する位置
に係合凹部３１ａ〜３１ｃが所定間隔で形成され
ている。一対のセンサ室２１，２２を画成する隔
壁２０ａ〜２０ｃは両端を係合凹部３１ａ〜３１
ｃに嵌入させて装着される。したがつて、隔壁２
０ａ〜２０ｃは係合凹部３１ａ〜３１ｃに係合し
てセンサパイプ１１と直交する向きに保持されて
位置決めされガタツイたり傾斜することを防止さ
れる。
考案の効果
上述の如く、本考案になる熱式質量流量計で
は、感度を低下させることなく姿勢誤差を抑える
ことができ、また、一対の感熱抵抗体の両側に設
けた隔壁ケースに位置決めして、運搬中に振動あ
るいは衝撃等が作用しても隔壁がガタツイたりセ
ンサパイプに対して傾斜することを防止でき、ま
た隔壁が安定に位置決めされるのでケース内の対
流を安定的に抑制でき、対流に起因する姿勢誤差
を小さくでき、感熱抵抗体が収納された空間内が
熱的に平衡になり易いので流量計測時の感度が向
上しうる等の特長を有する。
は、感度を低下させることなく姿勢誤差を抑える
ことができ、また、一対の感熱抵抗体の両側に設
けた隔壁ケースに位置決めして、運搬中に振動あ
るいは衝撃等が作用しても隔壁がガタツイたりセ
ンサパイプに対して傾斜することを防止でき、ま
た隔壁が安定に位置決めされるのでケース内の対
流を安定的に抑制でき、対流に起因する姿勢誤差
を小さくでき、感熱抵抗体が収納された空間内が
熱的に平衡になり易いので流量計測時の感度が向
上しうる等の特長を有する。
第１図は本考案になる熱式質量流量計の第１実
施例の斜視図、第２図は第１図に示す熱式質量流
量計を適用した流量制御装置の縦断面図、第３図
は第１図に示す本考案の要部を拡大して示す拡大
図、第４図は本考案の第２実施例の要部を示す拡
大図である。 ２……流量計測部、１１……センサパイプ、１
２，１３……感熱抵抗体、１４……収納ケース、
１６……外壁、１７……内壁、１８……通路、１
９ａ〜１９ｃ……係合凸部、２０ａ〜２０ｃ……
隔壁、３１ａ〜３１ｃ……係合凹部。
施例の斜視図、第２図は第１図に示す熱式質量流
量計を適用した流量制御装置の縦断面図、第３図
は第１図に示す本考案の要部を拡大して示す拡大
図、第４図は本考案の第２実施例の要部を示す拡
大図である。 ２……流量計測部、１１……センサパイプ、１
２，１３……感熱抵抗体、１４……収納ケース、
１６……外壁、１７……内壁、１８……通路、１
９ａ〜１９ｃ……係合凸部、２０ａ〜２０ｃ……
隔壁、３１ａ〜３１ｃ……係合凹部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ケース内に収納され被測流体の一部が通過す
るパイプと、前記ケース内に形成され前記パイ
プが通る通路と、前記パイプに設けられた一対
の感熱抵抗体とからなり、前記一対の感熱抵抗
体の温度差より前記被測流体の流量を計測する
熱式質量流量計において、前記一対の感熱抵抗
体を隔絶するように一対の感熱抵抗体の中途の
位置のパイプに設けられた第１の隔壁と、前記
一対の感熱抵抗体の両側に位置され前記通路を
塞ぐように設けられた第２の隔壁とを設けたこ
とを特徴とする熱式質量流量計。 (2) 前記隔壁と係合し位置決めする係合部を前記
ケース内に設けてなる実用新案登録請求の範囲
第１項記載の熱式質量流量計。 (3) 前記隔壁が発泡部材であることを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第１項記載の熱式質量
流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17875885U JPH0334650Y2 (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17875885U JPH0334650Y2 (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6286514U JPS6286514U (ja) | 1987-06-02 |
| JPH0334650Y2 true JPH0334650Y2 (ja) | 1991-07-23 |
Family
ID=31121193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17875885U Expired JPH0334650Y2 (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0334650Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-11-20 JP JP17875885U patent/JPH0334650Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6286514U (ja) | 1987-06-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0395126B1 (en) | Mass-flow meter with temperature sensors | |
| EP0153661B1 (en) | Temperature probe | |
| US4947889A (en) | Method of measuring flow rate and flow meter for use in said method as well as apparatus for controlling flow rate of liquid using said flow meter | |
| EP0242412B1 (en) | Method and apparatus for measuring fluid flow | |
| EP1044355B1 (en) | Self-oscillating fluid sensor | |
| US4627740A (en) | Self-calibrating temperature probe apparatus and method for use thereof | |
| US20070223558A1 (en) | Thermal conductivity sensor | |
| US5285673A (en) | Method for in-line calibration verification of mass flow meters | |
| JP2016540988A (ja) | 熱式流量計 | |
| JP3935357B2 (ja) | 超音波流量計 | |
| US5295389A (en) | Thermal conductivity detector | |
| US5763774A (en) | Fluid flow meter with reduced orientation sensitivity | |
| US7650783B2 (en) | Thermal mass flow meter | |
| CZ239093A3 (en) | Flow meter | |
| JP3266707B2 (ja) | 質量流量センサ | |
| JP3135081B2 (ja) | 示差走査熱量計の炉体ユニット | |
| US6453571B1 (en) | Thermocouple tilt sensing device | |
| JP4095362B2 (ja) | 流量計 | |
| JPS6125292B2 (ja) | ||
| JPH07198500A (ja) | 表面温度測定方法 | |
| JP2002295292A (ja) | 燃料噴射制御装置および流体流量測定装置 | |
| JP3229138B2 (ja) | 質量流量センサ | |
| JPS6050289B2 (ja) | 熱式流量計 | |
| JP3589793B2 (ja) | 電子レンジ用仕上がり検知センサ | |
| JP3844879B2 (ja) | 容量式センサ装置 |