JPH0334906Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はスピンドライヤのロータ上に在つて、
水切乾燥すべき半導体材料が収められたキヤリヤ
を保持するためのクレイドルの起し装置に関す
る。

（従来の技術） この種のクレイドルは概して直方体の形状を有
し、前面にはキヤリヤを受け入れる開口部があり
且つ背面には水と空気を抜くための窓がある。キ
ヤリヤの受け入れおよび取外しの際はクレイドル
はスピンドライヤに備えられたクレイドル起し装
置によつて上方に枢動されて開口部が上向きに水
平状態にされ、且つ水切乾燥する際は下方に枢動
されて開口部は垂直にされる。従来のクレイドル
起し装置は一つのプツシユロツドを備え、それで
クレイドルの背面を押して枢動する構造であつ
た。従つて、一対のクレイドルがロータ上に在る
スピンドライヤでは第５図イに示すように一つの
クレイドル起し装置によつて順次にキヤリヤを取
扱うか、またはロのように対向位置に一対のクレ
イドル起し装置を設けて同時に扱い得るように構
成された。

（考案が解決しようとする問題点） 従つて、一つのクレイドル起し装置で操作する
には手間がかかり、作業能率が悪いのみでなく、
次のキヤリヤを取り出すまでに或る程度の時間が
経過し、その間初めに起こされたキヤリヤは待機
しなければならないので、その間に該キヤリヤ内
の半導体材料の表面が乾き、乾燥むらが生じる欠
点があつた。また、一対のクレイドル起し装置を
設けるものでは、一方のクレイドル起し装置が邪
魔になり、そこに人や物が衝突するなどの事故を
生じ易く、スペース上問題があつた。

本考案の目的は上記問題点を解消することであ
つて、それ故、無駄なスペースを生じることなく
且つ作業性を良くするため一つの装置で同時に一
対のクレイドルを操作し得るスピンドライヤのク
レイドル起し装置を提供することである。

（問題点を解決するための手段） 本考案はスピンドライヤのロータ上に備えられ
た一対のクレイドルを一つのクレイドル起し装置
で操作し得るようにしたものであつて、そのため
一対のクレイドルの両側に在つて互いにかみ合う
第１および第２の扇形ギアが備えられ、第１の扇
形ギア７，９は一方のクレイドル３の両側に在つ
て前記一方のクレイドルに設けられた中空の軸１
２中を回転自在に貫通する連結軸に固定され、第
２の扇形ギア８，１０は他方のクレイドル４の両
側に在つて前記他方のクレイドルに固定された軸
１３に固定され、さらに前記一方のクレイドルの
背部を押すプツシユロツド１４と、前記第１の扇
形ギアの一つを押すプツシユロツド１５を含み、
前記一対のクレイドルが互いに衝突しないで上下
に枢動されるように前記一対のプツシユロツドは
同時に作動されるが互いに異なる速度で進退する
ことを特徴とする。

（作用） 水切乾燥が終つて、ロータが止ると、モータな
どの駆動装置の作動により一対のプツシユロツド
が前進する。そして、先ず一方のプツシユロツド
１４が例えば一方のクレイドルの背部に当つて押
すためそのクレイドルは中空軸１２を支点に上方
に枢動し、或る程度枢動した時点で他のプツシユ
ロツド１５が第１の扇形ギアの一つの縁７ａに当
つて押すため、他の第１の扇形ギアおよびそれら
にかみ合う第２の扇形ギアを回動するので同時に
他方のクレイドルも上方に、一方のクレイドルか
ら或る程度ずれて枢動する。先ず一方のクレイド
ルが所定位置に上昇されると、例えば電磁クラツ
チなどによりその位置に停止され、次いで他方の
クレイドルが所定位置に上昇して止まる。その状
態では二つのクレイドル内のキヤリヤを同時に取
出し、また別のキヤリヤを装着することができ
る。クレイドルを下方に枢動してロータ上にセツ
トする場合も、一方のプツシユロツドが他のもの
より早く後退するので一方のクレイドルが先に下
降し、それに衝突しないように或る程度ずれて他
方のクレイドルが下降する。

（実施例） 次に図面を参照のもとに本考案の実施例に関し
説明する。第１図に示すように、本考案が関連す
るスピンドライヤ１はそのロータ２上に互に対向
するように配置された一対のクレイドル３，４を
備えており、各クレイドルの両側に気流のガイド
板５がある。このロータ２はモータなどにより高
速回転され、各クレイドルに取付けられたキヤリ
ヤ６内の半導体材料を水切乾燥するようになつて
いる。

この考案によるクレイドル起し装置は一対のク
レイドルの両側に在つて互にかみ合う２対の扇形
ギヤ７，８，９，１０を有し、一方のクレイドル
３の両側の扇形ギヤ７と９は互に連結されるが、
クレイドル３には固定されない。従つて、それら
の扇形ギヤ７と９はそれらの回転中心において共
通の軸１１に固定され、その軸１１はクレイドル
３に設けられた中空軸１２を貫通している。また
扇形ギヤ７にかみ合う扇形ギヤ８と、扇形ギヤ９
にかみ合う扇形ギヤ１０は他方のクレイドル４の
両側に在つて、それぞれ回転中心において軸１３
に固定され、その軸１３はクレイドル４に固定さ
れている。なお、軸１３は図示のように共通軸で
あるのが好ましいが、必ずしも共通軸である必要
はない。

さらに異なる速度で進退する一対のプツシユロ
ツド１４，１５を含み、第２図に想像図で示すよ
うに一方のプツシユロツド１４は一方のクレイド
ル３の背部３ａに当つてそのクレイドル３を上方
に枢動するようになつており且つ他方のプツシユ
ロツド１５は一つの扇形ギヤ７の縁７ａに当つて
それを回動し、従つて全ての扇形ギヤを回動して
クレイドル４を上方に枢動するようになつてい
る。プツシユロツド１４と１５は異なる速度、例
えば速度比２：１で前進するため、プツシユロツ
ド１４が早いと、第２図に想像図で示すように一
方のクレイドル３が先に上昇し、次いで他のクレ
イドル４がそれに当らないように上昇するため、
同時に上方への枢動が可能になる。クレイドル３
が上昇すると、光電管などのセンサ１６によりそ
れを感知して、上昇位置に止める。次いでクレイ
ドル４の上昇はセンサ１７で感知し、同様に止
め、各クレイドル内のキヤリヤ６を取出し、且つ
次のキヤリヤを挿入し、各プツシユロツドを後退
すると一方のクレイドル３が先ず下降し、次いで
他のクレイドル４が下降し、衝突しないで下降す
ることができる。

なお、第３図はプツシユロツドの進退機構の一
例を示すものであつて、各プツシユロツドに平行
にガイドロツド１８とねじ棒１９が備えられ、プ
ツシユロツドはガイドロツド１８を摺動するプツ
シユ２０およびねじ棒１９にかみ合うめねじ２１
に連結され、各ねじ棒１９をプーリ２２，２２′
を介しモータ２３で回転する。プーリ２２と２
２′の直径を異なる寸法にすることにより、プツ
シユロツド１４，１５に速度差を付けている。プ
ツシユロツド間の速度差は他の機構でも可能なこ
とは言うまでもなく、例えばシリンダによりレバ
ーを介して駆動してもよく、またはカム機構もし
くはクランク機構などでも可能なことは明らかで
ある。第４図に見られるように、好ましくは、プ
ツシユロツド１４と１５は並んで備えられ、且つ
それぞれの上のガイドローラ２４で抑えられる。

（考案の効果） 上記のように本考案によれば、一箇所のクレイ
ドル起し装置によつて同時に二つのクレイドルを
操作できるので、作業能率を向上し、且つ先に上
昇されたクレイドル中のキヤリヤ内の半導体材料
が次工程に入る前に乾燥するなどの欠点もなく、
好適な処理を可能にする。その上、スペース的に
も有利であり、機構も単純であるため設備費を高
くするなどの欠点もない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一例によるクレイドル起し装
置を備えたスピンドライヤの平面図、第２図はそ
のクレイドル起し装置の側面図、第３図はそこに
含まれるプツシユロツドの進退機構の側面図、第
４図は第３図の線Ａ−Ａ断面図、第５図イ，ロは
それぞれ従来のクレイドル起し装置を備えたスピ
ンドライヤの平面図である。 図中、２……ロータ、３，４……クレイドル、
７，８，９，１０……扇形ギヤ、１１……連結
軸、１３……軸、１４，１５……プツシユロツ
ド。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ロータ上に一対のクレイドルが配置されている
   スピンドライヤに備えられた前記クレイドルの起
   し装置において、前記クレイドルの両側に在つて
   互にかみ合う第１および第２の扇形ギヤが備えら
   れ、前記第１の扇形ギヤは一方のクレイドルの両
   側に在つて前記一方のクレイドルに設けられた中
   空の軸中を回転自在に貫通する連結軸に固定さ
   れ、前記第２の扇形ギヤは他方のクレイドルの両
   側に在つて前記他方のクレイドルに固定された軸
   に固定され、さらに前記一方のクレイドルの背部
   を押すプツシユロツドと、前記第１の扇形ギヤの
   一つを押すプツシユロツドを含み、前記一対のク
   レイドルが互に衝突しないで上下に枢動されるよ
   うに前記一対のプツシユロツドは同時に作動され
   るが互に異なる速度で進退することを特徴とする
   スピンドライヤのクレイドル起し装置。