JPH0335892Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0335892Y2 JPH0335892Y2 JP1985081080U JP8108085U JPH0335892Y2 JP H0335892 Y2 JPH0335892 Y2 JP H0335892Y2 JP 1985081080 U JP1985081080 U JP 1985081080U JP 8108085 U JP8108085 U JP 8108085U JP H0335892 Y2 JPH0335892 Y2 JP H0335892Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- connecting pipe
- ring
- vacuum device
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Pipe Accessories (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は真空装置の使用を終了した場合、内部
の補修、あるいは部品、試料の交換等に際して装
置の内部に大気を導入するためのリーク弁に関す
る。このように真空装置内へ大気を導入する場合
に、その導入が急激に行われると内部の機構が急
激な圧力変化で破損し、あるいは粉体等の飛散に
よつて汚損する等の障害を生ずる。またターボ分
子ポンプ等は、その電源を遮断した後も慣性で長
時間に亘つて回転を継続するために、電源の遮断
と同時に内部へ大気を急激に導入すると、回転翼
が破損しあるいはベアリングの寿命が短縮する。
これを防止するためのリーク弁として例えばニー
ドル弁を用いていたが、そのリーク量の調整には
細心の注意を必要として取扱が容易でない欠点が
あつた。従つて本考案は従来のリーク弁における
上述の欠点を除去するものである。
の補修、あるいは部品、試料の交換等に際して装
置の内部に大気を導入するためのリーク弁に関す
る。このように真空装置内へ大気を導入する場合
に、その導入が急激に行われると内部の機構が急
激な圧力変化で破損し、あるいは粉体等の飛散に
よつて汚損する等の障害を生ずる。またターボ分
子ポンプ等は、その電源を遮断した後も慣性で長
時間に亘つて回転を継続するために、電源の遮断
と同時に内部へ大気を急激に導入すると、回転翼
が破損しあるいはベアリングの寿命が短縮する。
これを防止するためのリーク弁として例えばニー
ドル弁を用いていたが、そのリーク量の調整には
細心の注意を必要として取扱が容易でない欠点が
あつた。従つて本考案は従来のリーク弁における
上述の欠点を除去するものである。
本考案は任意の真空装置におけるリーク弁連結
管の先端およびニードル弁その他適宜の開閉弁に
おける連結管の先端にそれぞれ形成したつばの間
に微小の空気流通孔を有する円板を配置すると共
にその円板の周縁にＯリングを嵌合して、前記つ
ばを締付具で締付けるようにしたものである。従
つて上記開閉弁を開くと円板の空気流通孔を通し
て真空装置に大気が流入し、その孔の大きさによ
つてリーク量が設定される。このため開閉弁の操
作に細心の注意を必要とするような難点がなく、
弁の開放を安易に行うことができる。しかも締付
具を開いてＯリングを嵌合した円板の交換を行う
ことにより、リーク量を簡易に任意の値に設定し
得る等の作用効果がある。
管の先端およびニードル弁その他適宜の開閉弁に
おける連結管の先端にそれぞれ形成したつばの間
に微小の空気流通孔を有する円板を配置すると共
にその円板の周縁にＯリングを嵌合して、前記つ
ばを締付具で締付けるようにしたものである。従
つて上記開閉弁を開くと円板の空気流通孔を通し
て真空装置に大気が流入し、その孔の大きさによ
つてリーク量が設定される。このため開閉弁の操
作に細心の注意を必要とするような難点がなく、
弁の開放を安易に行うことができる。しかも締付
具を開いてＯリングを嵌合した円板の交換を行う
ことにより、リーク量を簡易に任意の値に設定し
得る等の作用効果がある。
図面は本考案の実施例で、第１図は一部を縦断
した側面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図で、
例えば導管１によつて低真空側のロータリーポン
プに連結されたターボ分子ポンプ２にリーク弁連
結管３を接続してその先端につば４を設け、この
つばの背面５を円錐状に形成してある。またニー
ドル弁その他適宜の開閉弁６における連結管７の
先端にもつば８を設けてその背面９を円錐状に形
成し、上記つば４と８とを相対向させてその間に
Ｏリング１０を介挿してある。このＯリング１０
を円板１１の周縁に嵌合すると共に円板１１に任
意の大きさを有する微小の空気流通孔１２を設
け、かつ上記Ｏリング１０の内側に円環状のつば
１３，１４を形成して、連結管３および７の内側
に嵌合することにより、これらの連結管並びに円
板１１の軸線が容易に一致するようにしてある。
更に半円形をなした１対の締付具１５，１６の内
面に断面が梯形をなした凹溝１７，１８を設ける
と共にそれらの一端をリンク１９で連結し、かつ
他端を蝶ねじ２０で締付けるようにしてある。す
なわちこの１対の締付具１５，１６を連結管３，
７のつば４，８にその両側から嵌合して蝶ねじ２
０で締付けたものである。なお弁６はニードル２
１の先端をＯリング２２に対向させた構造であ
る。
した側面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図で、
例えば導管１によつて低真空側のロータリーポン
プに連結されたターボ分子ポンプ２にリーク弁連
結管３を接続してその先端につば４を設け、この
つばの背面５を円錐状に形成してある。またニー
ドル弁その他適宜の開閉弁６における連結管７の
先端にもつば８を設けてその背面９を円錐状に形
成し、上記つば４と８とを相対向させてその間に
Ｏリング１０を介挿してある。このＯリング１０
を円板１１の周縁に嵌合すると共に円板１１に任
意の大きさを有する微小の空気流通孔１２を設
け、かつ上記Ｏリング１０の内側に円環状のつば
１３，１４を形成して、連結管３および７の内側
に嵌合することにより、これらの連結管並びに円
板１１の軸線が容易に一致するようにしてある。
更に半円形をなした１対の締付具１５，１６の内
面に断面が梯形をなした凹溝１７，１８を設ける
と共にそれらの一端をリンク１９で連結し、かつ
他端を蝶ねじ２０で締付けるようにしてある。す
なわちこの１対の締付具１５，１６を連結管３，
７のつば４，８にその両側から嵌合して蝶ねじ２
０で締付けたものである。なお弁６はニードル２
１の先端をＯリング２２に対向させた構造であ
る。
このようなリーク弁において、ポンプ２内に大
気を導入する場合はニードル弁のような適宜の開
閉弁６を、微調整等を必要とすることなく一挙に
開放する。従つて連結管７の内部は瞬間的に大気
圧となるが、この連結管７と真空装置の連結管３
とは微小孔１２のみで連結されているから、ター
ボ分子ポンプ２のような真空装置内には孔１２の
大きさによつて定まる微小のリーク量をもつて緩
速度で外気が流入する。従つて開閉弁６の操作に
細心の注意を必要とすることなく、これを任意の
速度で一挙に開放することができて操作が極めて
容易である。また微小孔１２の大きさが異なる複
数枚の円板１１を用意し、蝶ねじ２０をゆるめて
つば４と８との締付けを解くことにより円板１１
を簡易に交換して、リーク速度を所望の値に設定
することができる。
気を導入する場合はニードル弁のような適宜の開
閉弁６を、微調整等を必要とすることなく一挙に
開放する。従つて連結管７の内部は瞬間的に大気
圧となるが、この連結管７と真空装置の連結管３
とは微小孔１２のみで連結されているから、ター
ボ分子ポンプ２のような真空装置内には孔１２の
大きさによつて定まる微小のリーク量をもつて緩
速度で外気が流入する。従つて開閉弁６の操作に
細心の注意を必要とすることなく、これを任意の
速度で一挙に開放することができて操作が極めて
容易である。また微小孔１２の大きさが異なる複
数枚の円板１１を用意し、蝶ねじ２０をゆるめて
つば４と８との締付けを解くことにより円板１１
を簡易に交換して、リーク速度を所望の値に設定
することができる。
第１図は本考案実施例の一部を縦断した側面
図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。なお
図において、１は真空導管、２はターボ分子ポン
プ、３はリーク弁連結管、４はつば、５はつば４
の背面、６は開閉弁、７は連結管、８はつば、９
はつば８の背面、１０はＯリング、１１は円板、
１２は微小の空気流通孔、１３，１４はつば、１
５，１６は締付具、１７，１８は凹溝、１９はリ
ンク、２０はねじ、２１はニードル、２２はＯリ
ングである。
図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。なお
図において、１は真空導管、２はターボ分子ポン
プ、３はリーク弁連結管、４はつば、５はつば４
の背面、６は開閉弁、７は連結管、８はつば、９
はつば８の背面、１０はＯリング、１１は円板、
１２は微小の空気流通孔、１３，１４はつば、１
５，１６は締付具、１７，１８は凹溝、１９はリ
ンク、２０はねじ、２１はニードル、２２はＯリ
ングである。
Claims (1)
- 真空装置におけるリーク弁連結管の先端および
上記真空装置内に大気を導入する開閉弁における
連結管の先端にそれぞれつばを設け、かつ少なく
も一方のつばの背面を円錐状に形成してそれらを
同軸的に相対向させると共に微小の空気流通孔を
有する円板の周縁にＯリングを嵌合して上記Ｏリ
ングを前記リーク弁連結管および開閉弁の連結管
におけるつばの間に介挿し、更に断面が梯形をな
した半円形の凹溝を内面に形成した１対の締付具
を前記２つの連結管におけるつばにその両側から
嵌合してそれらを締付けた真空装置のリーク弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985081080U JPH0335892Y2 (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985081080U JPH0335892Y2 (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61198583U JPS61198583U (ja) | 1986-12-11 |
| JPH0335892Y2 true JPH0335892Y2 (ja) | 1991-07-30 |
Family
ID=30627530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985081080U Expired JPH0335892Y2 (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0335892Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-05-31 JP JP1985081080U patent/JPH0335892Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61198583U (ja) | 1986-12-11 |
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