JPH0337189A

JPH0337189A - 気相成長装置

Info

Publication number: JPH0337189A
Application number: JP1172705A
Authority: JP
Inventors: Iwao Igarashi; 巌五十嵐
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1989-07-03
Filing date: 1989-07-03
Publication date: 1991-02-18

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔概　要〕排気管に冷却機構を設けた気相成長装置に関し、反応管
の排気を円滑に行って内部のガス濃度や圧力を一定に保
持することを目的とし、反応管の排気口端と当接するフ
ランジを排気管の入口に設け、該フランジのうち、前記
反応管の排気口と当接する一面にパツキンを取付け、他
面に冷却器を設けるとともに、該冷却器と前記排気管内
面との間に低熱伝導部を設けたことを含み構成する。

（産業上の利用分野〕本発明は、気相成長装置に関し、より詳しくは、排気管
の入口に冷却機構を設けた気相成長装置に関する。

〔従来の技術〕

化学的気相成長装置の反応管は、その内部を減圧するた
めに、排気管を介して排気用ポンプに接続されており、
反応管と排気管とを接続する場合には、第３図に例示す
るように、排気管３０の入口端部に設けたフランジ３１
に反応管３２の排気口３３を押圧する構造となっている
が、接続部分の機密状態を保持するため、フランジ３１
に樹脂性のパツキン３４を装着している。

ところで、気相戒長時には反応管３２を加熱してその内
部を約４００〜８００℃の温度にするので、反応管３２
に接するパツキン３４がその熱により劣化するといった
不都合がある。

このため、フランジ３１の裏側に位置する排気管３０の
周囲に冷却器３５を設けてパツキン３４を冷却し、熱に
よるパツキン３４の劣化を抑制するようにしている。

（発明が解決しようとする課題）しかし、このような構造によれば、排気管３０の内部も
同時に冷却されることになり、排気管３０の入口付近を
通る反応ガスが冷却されて凝縮し、反応生成物ａがその
内面に堆積して入口を狭くするために、排気不足が生じ
て反応管３２内の圧力及びガス濃度が高くなり、良質の
気相成長膜が形成されなくなるといった問題が発生する
。

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであっ
て、反応管の排気を円滑に行って内部のガス濃度や圧力
を一定に保持できる気相成長装置を提供することを目的
とする。

〔課題を解決するための手段・］上記した課題は、第１図において、反応管１の排気口４
端と当接するフランジ６を排気管５の入口に設け、該フ
ランジ６のうち、前記反応管１の排気口４と当接する一
面にパツキン７を取付け、他面に冷却器８を設けるとと
もに、該冷却器８と前記排気管５内面との間に低熱伝導
部９を設けたことを特徴とする気相成長装置により解決
する。

〔作　用〕

本発明によれば、排気管５の入口に形成したフランジ７
に冷却器８を設けるとともに、冷却器８と排気管５内面
との間に空隙等のような低熱伝導部９を設けている。

したがって、排気管５内面は、熱伝導率が低い低熱伝導
部９を介して冷却器８と隔てられることになるために、
冷却器８による排気管５内面からの吸熱量が大幅に低減
し、排気管５を通る反応ガスの凝縮化が低減される。

この結果、排気管１内面における反応生成物の堆積量が
少なくなり、排気管ｌが塞がれることがなくなる。

しかも、冷却器８による吸熱作用がパツキン７に集中す
るために、パツキン７の冷却効果を高めることができる
。

〔実施例〕

そこで、以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。

第１．２図は、本発明の一実施例を示す装置の断面図で
あって、第１図は、第２図に示す気相成長装置のうち破
線に囲まれた排気部分を拡大したものである。

図中符号１は、気相成長装置２を構成する石英製の反応
管で、この反応管ｌは、ガス供給口３から反応ガスを導
入して、内部に置いた基板Ｗの表面に化学的気相成長に
よる膜を成長させるとともに、反応に寄与しなかった反
応ガスを排気口４から排出するように構成されている。

５は、反応管ｌに接続されるステンレスよりなる排気管
で、この排気管５の入口には反応管１の排気口４に当接
するフランジ６が形成され、排気口４端が当接する領域
には、樹脂材よりなる環状のパツキン７が取付けられ、
また、その裏側には冷却水、液体窒素等を流す液体流路
８が排気管５を囲むように形成されていて、フランジ６
を介してパツキン７を冷却するように構成されている。

９は、液体流路８と排気管５内面との間に環状に形成さ
れた空隙で、この空隙９は、排気管５内面の熱が液体流
路日中の流体に伝導するのを妨げて、排気管５内の温度
が流体によって吸収され難くするように構成されている
。

なお、図中符号１０は、反応管ｌを加熱する加熱器、１
１は、液体流路８に繋がる液体搬送管、１２は、反応管
１の基板搬送口１３を閉塞する蓋を示している。

次に、上記した実施例の作用について説明する。

上述した実施例において、図示しない排気ポンプにより
排気管５を介して反応管１の内部を１〜２　Ｔｏｒｒに
減圧するとともに、加熱器ｌＯによって反応管ｌを４０
０〜８００°Ｃに加熱する。

そして、反応管ｌのガス供給口３から反応ガスを導入す
る。例えばＳ神、Ｃ１□５ｉＨＣ１ｓ、５ｉＣ１ｉ等の
シラン系のガスにＮＨ３を加えたガスを導入すると、反
応管１内に載置した基板Ｗの表面には窒化膜が成長する
が、成膜に寄与しなかったガスは排気口４から外部に排
出されることになる。

この場合、反応ガスは、反応管５の排気口４及び排気管
５の入口を通ることになるが、フランジ６のパツキン７
を冷却する液体流路８は、熱電導率が低い空隙９を介し
て排気管５内面と隔てられることになり、液体流路８に
よる排気管５内面からの吸熱効果が大幅に低減するため
、排気管５を通る反応ガスのａｗｉ量が少なくなる。

したがって、排気管５内面における反応生成物ａの堆積
量が少なくなり、その入口が塞がれるといった事態を回
避することが可能になり、円滑な排気が行われることに
なる。

なお、排気管５に設けた空隙９には、空気、その他のガ
スを封入してもよいし、その内部を減圧状態にすること
もできる。

（発明の効果）以上述べたように本発明によれば、排気管の入口に形成
したフランジに冷却器を設けるとともに、冷却部と排気
管内面との間に低熱伝導部を設けたので、排気管は熱伝
導率が低い空気等を介して冷ｔｌＪＩ器と隔てられるこ
とになり、冷却器による排気管内面の吸熱量が大幅に低
減するため、排気管を通る反応ガスの凝縮化が低減され
、反応生成物の堆積量が少なくなって排気管の入口が塞
がれることがなくなる。

しかも、冷却器による吸熱作用がパツキンに集中するた
めに、パンキンの冷却効果を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例装置の要部を示す断面図、第２図は、本発明の一実施例を示す装置の断面図、第３図は、である。（符号の説明）１・・・反応管、２・・・気相成長装置、３・・・ガス供給口、４・・・排気口、５・・・排気管、６・・・フランジ、７・・・パツキン、８・・・液体流路（冷却器）９・・・空隙（低熱伝導部）１０・・・加熱器。従来装置の一例を示す要部の断面回出　願　人　　富士通株式会社

Claims

【特許請求の範囲】反応管の排気口端と当接するフランジを排気管の入口に
設け、該フランジのうち、前記反応管の排気口と当接する一面
にパッキンを取付け、他面に冷却器を設けるとともに、該冷却器と前記排気管内面との間に低熱伝導部を設けた
ことを特徴とする気相成長装置。