JPH033736U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH033736U JPH033736U JP6472789U JP6472789U JPH033736U JP H033736 U JPH033736 U JP H033736U JP 6472789 U JP6472789 U JP 6472789U JP 6472789 U JP6472789 U JP 6472789U JP H033736 U JPH033736 U JP H033736U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor devices
- shelf
- tray
- stopper
- hot air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す一部切り欠き
斜視図、第２図は従来例の一部切り欠き斜視図で
ある。 １……容器、２……棚、３……トレー、４……
ストツパー、５……熱風吹出口。
斜視図、第２図は従来例の一部切り欠き斜視図で
ある。 １……容器、２……棚、３……トレー、４……
ストツパー、５……熱風吹出口。
Claims (1)
- 棚によつて仕切られた上段の内壁に熱風吹出口
を有する箱型の半導体装置用ベーキング炉におい
て、半導体装置用のトレーが前記熱吹出口をふさ
ぐのを防止するためストツパーを前記棚に設けた
ことを特徴とする半導体装置用ベーキング炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6472789U JPH033736U (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6472789U JPH033736U (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033736U true JPH033736U (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=31595928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6472789U Pending JPH033736U (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH033736U (ja) |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP6472789U patent/JPH033736U/ja active Pending