JPH0337765B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0337765B2 JPH0337765B2 JP57115660A JP11566082A JPH0337765B2 JP H0337765 B2 JPH0337765 B2 JP H0337765B2 JP 57115660 A JP57115660 A JP 57115660A JP 11566082 A JP11566082 A JP 11566082A JP H0337765 B2 JPH0337765 B2 JP H0337765B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave device
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、機械的反射による弾性表面波の影響
を低減するようになされた弾性表面波装置に関す
るものである。
を低減するようになされた弾性表面波装置に関す
るものである。
弾性表面波装置は、水晶、LiNbO3（ニオブ酸
リチウム）等の圧電単結晶材料、圧電セラミツク
ス材料又は非圧電基板上に設けられた圧電薄膜材
料等を利用し、この圧電性基板上に形成されたト
ランスジユーサによつて電気信号を弾性表面波に
変換して基板表面を伝播させるように構成したも
のであり、フイルタを初めとする各種の電子部品
に適用されつつある。
リチウム）等の圧電単結晶材料、圧電セラミツク
ス材料又は非圧電基板上に設けられた圧電薄膜材
料等を利用し、この圧電性基板上に形成されたト
ランスジユーサによつて電気信号を弾性表面波に
変換して基板表面を伝播させるように構成したも
のであり、フイルタを初めとする各種の電子部品
に適用されつつある。
第１図はその一例としてフイルタを示すもの
で、１は圧電性基板、２は一対のくし型電極２
Ａ，２Ｂが交差して成る入力用トランスジユー
サ、３は一対のくし型電極３Ａ、３Ｂが交差して
成る出力用トランスジユーサで、入力端子INに
加えられた電気信号は上記入力用トランスジユー
サ２により弾性表面波に変換され、矢印で示すよ
うに圧電性基板１表面を伝播して上記出力用トラ
ンスジユーサ３の到達した後、それによつて再び
電気信号に変換されて出力端子OUTから取り出
されるように構成される。ここで上記入力用トラ
ンスジユーサ２および出力用トランスジユーサ３
を構成する各各一対のくし型電極２Ａ，２Ｂおよ
び３Ａ，３Ｂの各電極幅Ｗおよび各電極交差間隔
Ｌは、使用する弾性表面波の中心周波数0の波長
をλ0とした場合、各々λ0／４の一定値に設計され
いわゆる正規型電極として形成される。
で、１は圧電性基板、２は一対のくし型電極２
Ａ，２Ｂが交差して成る入力用トランスジユー
サ、３は一対のくし型電極３Ａ、３Ｂが交差して
成る出力用トランスジユーサで、入力端子INに
加えられた電気信号は上記入力用トランスジユー
サ２により弾性表面波に変換され、矢印で示すよ
うに圧電性基板１表面を伝播して上記出力用トラ
ンスジユーサ３の到達した後、それによつて再び
電気信号に変換されて出力端子OUTから取り出
されるように構成される。ここで上記入力用トラ
ンスジユーサ２および出力用トランスジユーサ３
を構成する各各一対のくし型電極２Ａ，２Ｂおよ
び３Ａ，３Ｂの各電極幅Ｗおよび各電極交差間隔
Ｌは、使用する弾性表面波の中心周波数0の波長
をλ0とした場合、各々λ0／４の一定値に設計され
いわゆる正規型電極として形成される。
ところでこのような寸法で設計されたくし型電
極から成るトランスジユーサは、弾性表面波の多
重反射いわゆるT.T.E.（トリプル・トランジツ
ト・エコー）等の機械的反射を生じるため、フイ
ルタ等の通過特性を悪化させていた。
極から成るトランスジユーサは、弾性表面波の多
重反射いわゆるT.T.E.（トリプル・トランジツ
ト・エコー）等の機械的反射を生じるため、フイ
ルタ等の通過特性を悪化させていた。
このような機械的反射を防止するために、第２
図のように各々一対のくし型電極２Ａ，２Ｂおよ
び３Ａ，３Ｂの各交差するくし部（指部）を２つ
に分割し、各電極幅Ｗおよび間隔Ｌをλ0／８に設
計したダブル電極型トランスジユーサが知られて
いる。この構造によれば各電極指端における反射
波の位相は、180℃異なつて逆位相となるため打
ち消されるようになる。
図のように各々一対のくし型電極２Ａ，２Ｂおよ
び３Ａ，３Ｂの各交差するくし部（指部）を２つ
に分割し、各電極幅Ｗおよび間隔Ｌをλ0／８に設
計したダブル電極型トランスジユーサが知られて
いる。この構造によれば各電極指端における反射
波の位相は、180℃異なつて逆位相となるため打
ち消されるようになる。
しかしながらその反面使用する周波数が高くな
る程その波長λ0は小さくなるため、くし型電極の
加工技術に高精度が要求される。もと対向する電
極間の短絡や電極切れが生じ易くなるので、製造
歩留りが低下するのは避けられない。
る程その波長λ0は小さくなるため、くし型電極の
加工技術に高精度が要求される。もと対向する電
極間の短絡や電極切れが生じ易くなるので、製造
歩留りが低下するのは避けられない。
このような欠点を改善するため第３図ａ，ｂの
ような構造のシングルフエーズ型トランスジユー
サが知られている。この構造は圧電性基板１とし
て弾性体基板４およびこの上に設けられた圧電薄
膜５から成るものを用い、上記弾性体基板１上に
くし型電極の一方に相当する電極を下部電極６と
して設け、上記圧電薄膜５上には上記下部電極６
に対向する位置に各電極幅Ｗおよび間隔Ｌをλ／
２に設計した他方のくし型電極に相当する上部電
極７Ａ，７Ｂを設けるようにしたものである。
ような構造のシングルフエーズ型トランスジユー
サが知られている。この構造は圧電性基板１とし
て弾性体基板４およびこの上に設けられた圧電薄
膜５から成るものを用い、上記弾性体基板１上に
くし型電極の一方に相当する電極を下部電極６と
して設け、上記圧電薄膜５上には上記下部電極６
に対向する位置に各電極幅Ｗおよび間隔Ｌをλ／
２に設計した他方のくし型電極に相当する上部電
極７Ａ，７Ｂを設けるようにしたものである。
この構造によれば上部電極７Ａと下部電極６間
に信号源８を接続して弾性表面波を伝播させ、上
部電極７Ｂと下部電極６間の負荷９端から電極信
号を取り出すことにより、対向電極間の短絡防止
を計ることができまた加工技術の精度も和らげら
れるので製造歩留りを向上させることができる。
に信号源８を接続して弾性表面波を伝播させ、上
部電極７Ｂと下部電極６間の負荷９端から電極信
号を取り出すことにより、対向電極間の短絡防止
を計ることができまた加工技術の精度も和らげら
れるので製造歩留りを向上させることができる。
しかしこの構造は信号源８によつてバランス給
電による駆動が不可能であるために、弾性表面波
を介さず直達波として伝播する電気信号（いわゆ
るフイードスルー）の影響が相殺されず通過特性
が劣化する。
電による駆動が不可能であるために、弾性表面波
を介さず直達波として伝播する電気信号（いわゆ
るフイードスルー）の影響が相殺されず通過特性
が劣化する。
そこでさらにこの欠点を除去するための案とし
て第４図のようにシングルフエーズトランスジユ
ーサを２個向い合わせて並列に配置させた構造が
提案されている。この構造は上記上部電極７Ａ，
７Ｂに対向させるようにその他の上部電極である
くし型電極８Ａ，８Ｂをλ0／２ずらしかつスペー
スａを介して設けたもので、上部電極７Ａ，８Ａ
間に互いに位相が180°ずれた電気信号を加えるこ
とによりバランス給電による駆動が可能となるた
め、フイードスルーの影響を低減することができ
る。
て第４図のようにシングルフエーズトランスジユ
ーサを２個向い合わせて並列に配置させた構造が
提案されている。この構造は上記上部電極７Ａ，
７Ｂに対向させるようにその他の上部電極である
くし型電極８Ａ，８Ｂをλ0／２ずらしかつスペー
スａを介して設けたもので、上部電極７Ａ，８Ａ
間に互いに位相が180°ずれた電気信号を加えるこ
とによりバランス給電による駆動が可能となるた
め、フイードスルーの影響を低減することができ
る。
しかしながらこの構造によつても問題は避けら
れず、対向電極間の短絡を防止するために設けた
上記スペースａの存在によつて、各電極７Ａ，８
Ａから振励された弾性表面波S1，S2を合成した波
の波面に乱れが生ずるという欠点がある。
れず、対向電極間の短絡を防止するために設けた
上記スペースａの存在によつて、各電極７Ａ，８
Ａから振励された弾性表面波S1，S2を合成した波
の波面に乱れが生ずるという欠点がある。
本発明は以上の問題に対処してなされたもの
で、弾性体基板上に圧電薄膜が設けられて成る圧
電性基板の上記圧電薄膜上にはシングルフエーズ
トランスジユーサに形成された第１電極、上記弾
性体基板上にはシングルフエーズトランスジユー
サに形成された第２電極が各々設けられ、また上
記圧電薄膜内には平面状に第３電極が設けられ、
上記第１電極の電極指と第２電極の電極指とが垂
直方向で重なり合う位置に配置することにより従
来欠点を除去するようにした弾性表面波装置を提
供することを目的とするものである。以下図面を
参照して本発明実施例を説明する。
で、弾性体基板上に圧電薄膜が設けられて成る圧
電性基板の上記圧電薄膜上にはシングルフエーズ
トランスジユーサに形成された第１電極、上記弾
性体基板上にはシングルフエーズトランスジユー
サに形成された第２電極が各々設けられ、また上
記圧電薄膜内には平面状に第３電極が設けられ、
上記第１電極の電極指と第２電極の電極指とが垂
直方向で重なり合う位置に配置することにより従
来欠点を除去するようにした弾性表面波装置を提
供することを目的とするものである。以下図面を
参照して本発明実施例を説明する。
第５図ａ，ｂは本発明実施例による弾性表面波
装置を示す上面図および断面図で、弾性体基板４
上に圧電薄膜５が設けられて成る圧電性基板１の
上記圧電薄膜５上にはくし型電極１０Ａ，１０Ｂ
から成る第１電極、上記弾性体基板４上にはくし
型電極１１Ａ，１１Ｂから成る第２電極が各々設
けられ、各くし型電極１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ１
１Ｂの電極幅Ｗおよび間隔Ｌはほぼλ0／２に設計
される。
装置を示す上面図および断面図で、弾性体基板４
上に圧電薄膜５が設けられて成る圧電性基板１の
上記圧電薄膜５上にはくし型電極１０Ａ，１０Ｂ
から成る第１電極、上記弾性体基板４上にはくし
型電極１１Ａ，１１Ｂから成る第２電極が各々設
けられ、各くし型電極１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ１
１Ｂの電極幅Ｗおよび間隔Ｌはほぼλ0／２に設計
される。
また上記圧電薄膜５内には平面状に第３電極１
２が設けられ、この第３電極１２は上記第１電極
１０Ａ，１０Ｂおよび第２電極１１Ａ，１１Ｂの
間でかつ両電極からほぼ等しい拒離となるような
位置に形成される。
２が設けられ、この第３電極１２は上記第１電極
１０Ａ，１０Ｂおよび第２電極１１Ａ，１１Ｂの
間でかつ両電極からほぼ等しい拒離となるような
位置に形成される。
以上の構成において第１電極１０Ａと第２電極
１１Ａ間に信号源８を接続し第３電極１２を接地
電位に接続すると、第１電極１０Ａと第２電極１
１Ａ間にはほぼ振幅が等しく位相が180°異なつた
信号電圧が加わるので、第１電極１０Ａおよび第
２電極１１Ａ各々と第３電極１２とのそれぞれの
間には等しい向きと大きさの電界が発生するよう
になつて、第１電極１０Ａおよび第２電極１１Ａ
を含む領域各々からは同相の弾性表面波S1，S2が
励振される。したがつてこれら励振された弾性表
面波S1，S2は互いに強め合うように伝播する。
１１Ａ間に信号源８を接続し第３電極１２を接地
電位に接続すると、第１電極１０Ａと第２電極１
１Ａ間にはほぼ振幅が等しく位相が180°異なつた
信号電圧が加わるので、第１電極１０Ａおよび第
２電極１１Ａ各々と第３電極１２とのそれぞれの
間には等しい向きと大きさの電界が発生するよう
になつて、第１電極１０Ａおよび第２電極１１Ａ
を含む領域各々からは同相の弾性表面波S1，S2が
励振される。したがつてこれら励振された弾性表
面波S1，S2は互いに強め合うように伝播する。
この構造において、上記第１および第２電極１
０Ａ，１１Ａを構成している各くし型電極の電極
幅Ｗおよび間隔Ｌはほぼλ0／２になつているた
め、従来のようなＷおよびＬがλ0／４あるいは
λ0／８の値の場合に比べて加工技術の精度が和ら
げられるので高周波用トランスジユーサの製造が
容易となる。
０Ａ，１１Ａを構成している各くし型電極の電極
幅Ｗおよび間隔Ｌはほぼλ0／２になつているた
め、従来のようなＷおよびＬがλ0／４あるいは
λ0／８の値の場合に比べて加工技術の精度が和ら
げられるので高周波用トランスジユーサの製造が
容易となる。
したがつて電極間の短絡や電極切れを低減でき
るので製造歩留りを向上させることができ、特に
電気信号を加えるべき第１および第２電極１０
Ａ，１１Ａが圧電薄膜５を介して設けられている
ために短絡はほとんど発生しない。
るので製造歩留りを向上させることができ、特に
電気信号を加えるべき第１および第２電極１０
Ａ，１１Ａが圧電薄膜５を介して設けられている
ために短絡はほとんど発生しない。
また電極幅Ｗがλ0／２になつているので、弾性
表面波の機械的反射は発生しないためT.T.Eの抑
圧に有効である。さらに従来構造に比較して電極
幅が２倍広くかつ実効的な電極間拒離は1/2であ
るため、電極間容量を大きくとることができる。
表面波の機械的反射は発生しないためT.T.Eの抑
圧に有効である。さらに従来構造に比較して電極
幅が２倍広くかつ実効的な電極間拒離は1/2であ
るため、電極間容量を大きくとることができる。
この結果トランスジユーサの入力インピーダン
スを小さくすることができるので、外部回路との
整合がとり易くなる利点が得られる。
スを小さくすることができるので、外部回路との
整合がとり易くなる利点が得られる。
なお第５図の実施例構造においては、バランス
給電によつてフイードスルーを打ち消すために、
圧電薄膜５を介した２組のくし型電極１０Ａ，１
１Ａおよび１０Ｂ，１１Ｂは各々基板上方より見
た場合重なり合うように構成したが、次のように
両者の位置を相対的にずらすこともできる。
給電によつてフイードスルーを打ち消すために、
圧電薄膜５を介した２組のくし型電極１０Ａ，１
１Ａおよび１０Ｂ，１１Ｂは各々基板上方より見
た場合重なり合うように構成したが、次のように
両者の位置を相対的にずらすこともできる。
すなわちフイールドスルーを考慮しなければ、
第１および第２電極間に入力される信号の位相差
をθ（ただし、０θ2π）とした時、両電極間
の相対的位置を弾性表面波の伝播方向にほぼ（θ
−π）λ0／2πずらしても実施例と同様な動作を
行わせることができる。
第１および第２電極間に入力される信号の位相差
をθ（ただし、０θ2π）とした時、両電極間
の相対的位置を弾性表面波の伝播方向にほぼ（θ
−π）λ0／2πずらしても実施例と同様な動作を
行わせることができる。
第６図は第１および第２電極の他の形状を示す
もので、スリツト型形状でもつて構成した例を示
すものである。
もので、スリツト型形状でもつて構成した例を示
すものである。
また弾性体基板４として半導体材料を用いるこ
とにより電子デバイスと表面波デバイスとの集積
化を計ることができるので、広範囲な用途への適
用が可能となる。さらに圧電薄膜５としては酸化
亜鉛（ZnO）又は窒化アルミニウム（AlN）を用
いると特性上有利である。
とにより電子デバイスと表面波デバイスとの集積
化を計ることができるので、広範囲な用途への適
用が可能となる。さらに圧電薄膜５としては酸化
亜鉛（ZnO）又は窒化アルミニウム（AlN）を用
いると特性上有利である。
以上説明して明らかなように本発明によれば、
前述した従来の弾性表面波装置における製造工程
及び特性上の欠点を除去することができる。
前述した従来の弾性表面波装置における製造工程
及び特性上の欠点を除去することができる。
第１図、第２図、第３図ａ、第４図および第３
図ｂはいずれも従来例を示す上面図および断面
図、第５図ａ，ｂは共に本発明実施例を示す上面
図および断面図、第６図は本発明実施例を示す概
略図である。 ２……入力用トランスジユーサ、３……出力用
トランスジユーサ、４……弾性体基板、５……圧
電薄膜、１０Ａ，１０Ｂ……第１電極、１１Ａ，
１１Ｂ……第２電極、１２……第３電極。
図ｂはいずれも従来例を示す上面図および断面
図、第５図ａ，ｂは共に本発明実施例を示す上面
図および断面図、第６図は本発明実施例を示す概
略図である。 ２……入力用トランスジユーサ、３……出力用
トランスジユーサ、４……弾性体基板、５……圧
電薄膜、１０Ａ，１０Ｂ……第１電極、１１Ａ，
１１Ｂ……第２電極、１２……第３電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 弾性体基板上に圧電薄膜が設けられて成る圧
電性基板の上記圧電薄膜上にはシングルフエーズ
トランスジユーサに形成された第１電極、上記弾
性体基板上にはシングルフエーズトランスジユー
サに形成された第２電極が各々設けられ、また上
記圧電薄膜内には平面状に第３電極が設けられ、
上記第１電極の電極指と第２電極の電極指とが垂
直方向で重なり合う位置に配置されていることを
特徴とする弾性表面波装置。 ２ 上記第１電極と第２電極間に加えられる電気
信号がほぼ180゜の位相差を有することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波装置。 ３ 上記第３電極が接地電位に接続されることを
特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載
の弾性表面波装置。 ４ 上記第１電極と第２電極とが同一形状に形成
されることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃
至第３項のいずれかに記載の弾性表面波装置。 ５ 上記第１電極および第２電極が幅および各間
隔が、弾性表面波の波長をλとしてほぼλ／２に
設定された複数の電極指を有することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項乃至第４項のいずれかに
記載の弾性表面波装置。 ６ 上記第３電極が第１電極および第２電極間に
位置し、かつ両電極からほぼ等しい距離の位置に
形成されることを特徴とする特許請求の範囲第１
項乃至第５項のいずれかに記載の弾性表面波装
置。 ７ 上記第１電極および第２電極がくし型又はス
リツト型形状から成ることを特徴とする特許請求
の範囲第１項乃至第６項のいずれかに記載の弾性
表面波装置。 ８ 上記弾性体基板が半導体材料から成ることを
特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第７項のい
ずれかに記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11566082A JPS596609A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 弾性表面波装置 |
| GB08316726A GB2123638B (en) | 1982-06-22 | 1983-06-20 | Surface acoustic wave device |
| DE19833322310 DE3322310A1 (de) | 1982-06-22 | 1983-06-21 | Oberflaechenschallwellenvorrichtung |
| US06/506,569 US4491811A (en) | 1982-06-22 | 1983-06-22 | Surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11566082A JPS596609A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS596609A JPS596609A (ja) | 1984-01-13 |
| JPH0337765B2 true JPH0337765B2 (ja) | 1991-06-06 |
Family
ID=14668143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11566082A Granted JPS596609A (ja) | 1982-06-22 | 1982-07-02 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS596609A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58223911A (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-26 | Clarion Co Ltd | 弾性表面波装置 |
-
1982
- 1982-07-02 JP JP11566082A patent/JPS596609A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS596609A (ja) | 1984-01-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4081769A (en) | Acoustic surface wave resonator with suppressed direct coupled response | |
| US3961293A (en) | Multi-resonant surface wave resonator | |
| WO2021060523A1 (ja) | 弾性波装置及びフィルタ装置 | |
| US4491811A (en) | Surface acoustic wave device | |
| US4206380A (en) | Piezoelectric surface acoustic wave device with suppression of reflected signals | |
| US3894251A (en) | Elastic surface wave transducer | |
| JPH0353802B2 (ja) | ||
| US11606079B2 (en) | Transducer structure for source suppression in saw filter devices | |
| US4143340A (en) | Acoustic surface wave device with improved transducer | |
| US4353043A (en) | Surface acoustic wave devices and systems including such devices | |
| EP0031685B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
| US5294859A (en) | Surface acoustic wave filter device | |
| US4531107A (en) | Acoustic surface wave device | |
| JP2022176790A (ja) | 弾性波デバイス、ウエハ、フィルタおよびマルチプレクサ | |
| US4602183A (en) | Surface acoustic wave device with a 3-phase unidirectional transducer | |
| US3968461A (en) | Acoustic surface-wave devices | |
| JP2002141768A (ja) | 表面弾性波素子 | |
| JPH0337765B2 (ja) | ||
| US20040183397A1 (en) | Surface acoustic wave device | |
| JP3296367B2 (ja) | 浮き電極をもつ内部反射一方向性弾性表面波素子 | |
| JP2562321B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH0216612B2 (ja) | ||
| JP3220289B2 (ja) | 容量重み付け弾性表面波フィルタ | |
| JPH06152309A (ja) | 一方向性弾性表面波変換器及びこれを用いた 電子装置 | |
| JPH0338769B2 (ja) |