JPH0338334B2

JPH0338334B2 -

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Publication number: JPH0338334B2
Application number: JP58006529A
Authority: JP
Inventors: Hasegawa Ryusuke
Original assignee: AlliedSignal Inc
Current assignee: Honeywell International Inc
Priority date: 1982-01-18
Filing date: 1983-01-18
Publication date: 1991-06-10
Also published as: EP0084138A3; CA1222647A; JPS58123851A; DE3275492D1; EP0084138B1; EP0084138A2

Description

【発明の詳細な説明】

発明の分野本発明は、ほゞゼロに近い磁気歪、高い磁気的
かつ熱的安定性および優れた軟質磁性を有するガ
ラス化金属合金に関する。従来技術の叙述飽和磁気歪λsは、減磁状態から飽和された強
磁性状態への移行において磁性材料に生じる長さ
の変化率はΔl／ｌに関するものである。この磁
気歪の値はデイメンシヨンをもたない量である
が、しばしばミクロ歪の単位で表される（こゝに
ミクロ歪はppmの長さの変化率である）。磁気歪の低い強磁性合金は幾つかの相互関係の
ある理由によつて要望されている。１軟質磁性（低保磁性、高透磁率）は一般に飽
和磁気歪λ_sと結晶磁気異方性定数Ｋが共にゼロ
に近接している場合に得られる。従つて異方性
が同じならば、磁気歪の低い合金の方が低い直
流保磁力と高い透磁率を示す。このような合金
はいろいろは軟質磁性用途に適している。２かかるゼロ近接磁気歪材料の磁性は機械的歪
には鈍感である。かゝる場合、曲げ、打抜きあ
るいはかかる材料でデバイスをつくるのに必要
なその他の物理的処置のあと歪除去のための焼
鈍の必要はほとんどないということである。こ
れと対照的に、結晶質合金のように歪に敏感な
材料の磁性はこうした冷間加工によつてかなり
劣化する。従つてかかる材料は慎重に焼鈍され
なければならない。３ゼロ磁気歪材料の低直流保磁力は交流操作条
件に持ち越されると、そこで再び低保磁力と高
い透磁率を表わす（ただし結晶性磁気異方性が
大きすぎぬこと、および電気抵抗が小さすぎな
いことが条件である）。また、飽和磁気歪がゼ
ロのときエネルギーは機械的振動の影響を受け
ないからゼロ磁気歪材料の磁心損失は全く低い
ものである。このようにして（結晶磁気異方性
が適度あるいは低いところの）ゼロ磁気歪の磁
性合金は、磁心損失が低く、交流透磁率が高い
ことが必要とされる場合に有益である。このよ
うな用途にはいろいろな巻きテープや電力トラ
ンスのような成層磁心デバイス、通信用トラン
ス、磁気記録ヘツドおよび類似のものがある。４終りに、ゼロ磁気歪材料を有する電磁気デバ
イスは交流励磁の際音響ノイズを発生しない。
これは上記した低い磁心損失によるものである
が多くの電磁気デバイスにおける固有のうなり
を除くものであるからまた本来必要な性質でも
ある。ゼロ磁気歪をもつものとして３つの結晶質合
金がよく知られている（以下、断りがなければ
原子パーセントである）。 (1) 約80％ニツケルを含むニツケル−鉄合金
（「80ニツケルパーマロイ」） (2) 約90％コバルトを含むコバルト−鉄合金お
よび (3) 約６重量％珪素を含む鉄−珪素合金またこれらの範疇には、二元を基本としたそれ
ら合金にモリブデンあるいはアルミニウムのよう
な他の少量の元素を添加して特定の性質変化をさ
せたゼロ磁気歪合金も含まれている。これらには
たとえば電気抵抗および透磁率を高めたΔ％
Mo、79％Ni、17％Fe（モリパーマロイ；Moly
Permalloyの名で市販）、軟質磁性および延性改
善のためにパーマロイにいろいろな量で銅を加え
たもの（ミユーメタル；Mumetalの名で市販）、
および異方性をゼロとした85重量％Fe、９重量
％Si、６重量％Al（センダスト；Sendustの名で
市販）がある。範疇(1)に含まれる合金は上にあげた３種類のう
ちでは最も広く利用されている。何故ならそれら
はゼロ磁気歪と低異方性をあわせ持つており、そ
れ故に極めて磁気的に軟質だからである。すなわ
ちそれらは低保磁力、高透磁率および低磁心損失
性を有している。これらパーマロイはまた機械的
に比較的軟質であり、高温（1000℃以上）での焼
鈍によつて得られるそれらのすぐれた磁性は比較
的軽い機械的衝撃によつても劣化しやすいもので
ある。 Co₉₀Fe₁₀を基本にした合金のような範疇(2)の合
金はパーマロイよりもさらに高い飽和磁束密度
（Bs約1.9テスラ）を有している。しかしまたそれ
らは強い負の結晶磁気異方性を有しており、それ
らを良好な軟質磁性材料たらしめることを妨げて
いる。たとえばCo₉₀Fe₁₀の初透磁率は約100〜200
にすぎない。６重量％Si−Feおよびそれに関連した三元合
金センダスト（上記）のような範疇(3)もまたパー
マロイよりも高い飽和磁束密度（それぞれBs約
1.8テラスおよび1.1テスラ）を示す。しかし、こ
れらの合金は極めて脆く、そしてそれ故に粉体で
のみに使用が限られている。最近6.5重量％Si−
Fe〔IEEE Trans.MAG−16728（1980）〕およびセ
ンダスト合金〔IEEE Trans.MAG−15、1149
（1970）〕は共に急速凝固法によつて比較的に延性
を出せるようになつた。しかしながら、磁気歪の
成分依存性はこれらの材料にあつては非常に強
く、ゼロに近接した磁気歪をもたせるべく合金組
成を綿密にあわせることは困難なことである。結晶磁気異方性がガラス化状態において効果的
に除去されることは知られている。それ故ゼロの
磁気歪を有するガラス化金属合金を探すのが望ま
しいことになる。こうした合金は前記した組成に
近いところに見出されるであろう。しかしながら
半金属の存在は遷移金属のｄ電子状態への電荷の
移動により磁化を抑える傾向を有しているため、
80ニツケルパーマロイを基づいたガラス化金属合
金は常温で非磁性であるかまたは飽和磁束密度が
低くて容認し難い。たとえばガラス化金属合金
Fe₄₀Ni₄₀P₁₄B₆（添付数値は原子パーセントであ
る）は約0.8テスラの飽和磁束密度を有し、一方
ガラス化合金Ni₄₉Fe₂₉P₁₄B₆Si₂は約0.46テラスの
飽和磁束密度を有し、またガラス化合金Ni₈₀P₂₀
は非磁性である。ほぼゼロに等しい飽和磁気歪を
有するガラス化金属合金は鉄に富むセンダストの
組成の近くにはまだ見出されていない。上記(2)に
おけるCo−Feの結晶質合金に基づく多くのゼロ
近接磁気歪ガラス化金属合金が文献に報告されて
いる。たとえばこれらはCo₇₂Fe₃P₁₆P₆Al₃（AIP
Conference Proceedings，No.24，pp.745〜746
（1975）），Co_70.5Fe_4.5Si₁₅B₁₀（Vol.14，Japanse
Journal of Applied Physics.pp.1077〜1078
（1975））、Co_31.2Fe_7.8Ni_39.0B₁₄Si₈〔Proceedings
of 3rd International Conference on Rapidly
Quenched Metals，p.183，（1979）〕および
Co₇₄Fe₆B₂₀〔IEEE Trans.MAG−12、942
（1976）〕である。第１表にこれら材料の磁気的性
質の幾つかをあげてある。

【表】

【表】これら合金の飽和磁束密度（Bs）は0.6〜1.2テ
スラの範囲である。Bsが0.6テスラに近いガラス
化合金は結晶のスーパーマロイに較べて低い保磁
力と透磁率を示している。しかし、これらの合金
は比較的低い温度い（150℃）で、磁気的に不安
定な傾向を有しててる。これに対して、Bs1.2テ
スラ以下のガラス化合金はそれらの一次結晶温度
（Tcl）の近くまたはそれ以上のところに、それ
らの強磁性のキユリー温度（θ）をもつ傾向にあ
る。このことはこれら材料の熱処理によつて必要
な軟質磁性を得ることを非常に困難なものとす
る。何故ならば、こうした焼鈍はθ近くの温度で
行なうとき最も効果的なものだからである。明らかに、より高い磁気的かつ熱的安定性およ
び可能な限り高い飽和磁束密度を有するゼロ磁気
歪ガラス化合金が必要とされているのである。本発明の要約本発明に従えば、少くとも70％はガラス化した
磁性合金で、ゼロに近い磁気歪、高い磁気的かつ
熱的安定性およびすぐれた軟質磁性を有する合金
が得られる。本発明のガラス質磁性金属合金は、式 Co_aFe_bNi_cMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
ｃは８原子％以下、ｄは１〜２原子％、ｅは11〜
15原子％、ｆは９〜14原子％のそれぞれの範囲内
にあるものとし、ただしａ＋ｂ＋ｃの合計が72〜
76原子％、ｅ＋ｆの合計が23〜26原子％の範囲内
にあることを条件とする）又は式 Co_aFe_bMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
ｄは１〜２原子％、ｅは11〜15原子％、ｆは９〜
14原子％のそれぞれの範囲内にあるものとし、た
だしａ＋ｂの合計が72〜76原子％、ｅ＋ｆの合計
が23〜26原子％の範囲内にあることを条件とす
る）を有する合金である。本発明のガラス質合金
は、次の性質を合わせ有する。 (a) −1.1×10^-6と＋1.1×10^-6の間の磁気歪値、 (b) 0.6Tに等しいか又はこれを超える飽和磁束
密度、 (c) 0.56A／ｍを超えない直流保磁力、 (d) 少くとも8200である、0.1T、50kHにおける
透磁率。そしてさらに、約550〜670Kの範囲のキユリー
温度および約790〜870Kの範囲の一次結晶温度を
有している。本発明の詳細な説明本発明に従えば、少くとも70％のガラス化した
磁性合金、そしてゼロに近接した磁気歪、高い磁
気的かつ熱的安的性さらに高い透磁性、低い磁心
損失および低い保磁力といつた軟質磁性を含む性
質を顕著に組合わせた合金が得られる。本発明のガラス質磁性金属合金は、式 Co_aFe_bNi_cMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
ｃは８原子％以下、ｄは１〜２原子％、ｅは11〜
15原子％、ｆは９〜14原子％のそれぞれの範囲内
にあるものとし、ただしａ＋ｂ＋ｃの合計が72〜
76原子％、ｅ＋ｆの合計が23〜26原子％の範囲内
にあることを条件とする）又は式 Co_aFe_bMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
ｄは１〜２原子％、ｅは11〜15原子％、ｆは９〜
14原子％のそれぞれの範囲内にあるものとし、た
だしａ＋ｂの合計が72〜76原子％、ｅ＋ｆの合計
が23〜26原子％の範囲内にあることを条件とす
る）を有する合金である。本発明のガラス質合金
は、次の性質を合わせ有する。 (a) −1.1×10^-6と＋1.1×10^-6の間の磁気歪値、 (b) 0.6Tに等しいか又はこれを超える飽和磁束
密度、 (c) 0.56A／ｍを超えない直流保磁力、 (d) 少くとも8200である、0.1T、50kHにおける
透磁率。そしてさらに、550〜670Kの範囲のキユリー温
度および約790〜870Kの範囲の一次結晶温度を有
している。上記成分の純度は、通常の商用実施でみられる
程度のものである。しかしながら、本発明の合金
中のモリブデンは少くともタングステン、ニオビ
ウム、タンタル、チタニウム、ジルコニウムおよ
びハフニウムのような他の遷移金属元素の１つと
おきかえられ得ること、およびこれらガラス化合
金の必要な磁気的性質を重大に劣下させることな
く、Siの約２原子パーセントまでを炭素、アルミ
ニウムあるいはゲルマニウムによつておきかえら
れ得ることは認識されよう。本発明の必須的なゼロ磁気歪ガラス化金属合金
としては、Co_67.4Fe_4.1Ni_3.0Mo_1.5B_12.5Si_11.5、
Co_67.1Fe_4.4Ni_3.0Mo_1.5B_12.5Si_11.5、Co_64.0Fe_4.5Ni_6.0
Mo_1.5B_12.5Si_11.5、Co_67.0Fe_4.5Ni_3.0Mo_1.5B₁₂Si₁₂、
Co_67.0Fe_4.5Ni_3.0Mo_1.5B₁₃Si₁₁およびCo_67.5Fe_4.5
Ni_3.0Mo_1.0B₁₂Si₁₂がある。これらのガラス化合金
は約0.7〜0.8テスラの飽和磁束密度、600〜670K
のキユリー温度、約800Kの一次結晶温度および
すぐれた延性を有している。これらおよび本発明
の他のゼロ近接磁気歪ガラス化合金の幾つかの磁
気的および熱的性質を第２表にあげた。これらは
先に報告したゼロ磁気歪のガラス化金属合金につ
いての第１表にあげた性質とよい比較になる。

【表】

【表】磁化の再配列のための活性化エネルギー（Ea）
を幾つかの代表的なゼロ近接磁気歪ガラス化合金
について第３表にあげた。この表はSiがEaを高
める傾向をもつことそしてまたEaはSi／Ｂの比
が１に近づくとき高くなる傾向をもつことを示し
ている。Eaの値が高くなるほどこの系の磁気的
安定性が高くなることが示されるのは望ましいこ
とである。第２表および第３表に基づくこうした
知見を併せると、好ましいSi量は、（Si＋Ｂ）が
23〜26原子パーセントのとき、９〜14原子パーセ
ントになる。 Moの存在はTclを高め、従つてこの合金系の
熱的安定性を高める。１〜２原子％の範囲が適当
である。しかし、２原子パーセントを越えるMo
の量はキユリー温度を、通常の磁気デバイスでは
好ましくない、550K以下にまで低下させる。

【表】幾つかの用途には僅かに正または僅かに負の磁
気歪を有する材料を用いるのが望ましいあるいは
容認される。このようなゼロ近接磁気歪ガラス化
金属合金はａ、ｂおよびｃがそれぞれ58〜702〜
7.5および０〜８原子パーセントの範囲で、ａ、
ｂおよびｃの合計が72〜76原子パーセントの範囲
を条件として得られる。これらのガラス質金属合金の飽和磁気歪の絶対
値｜λ_s｜は1.1×10^-6よりも小さい（すなわち飽
和磁気歪範囲は、−1.1×10^-6から＋1.1×10^-6又は
−１から＋１ミクロストレインの範囲内にあ
る。）。これらガラス質金属合金の飽和磁束密度
は、0.6テスラに等しいか、又はこれを超える値
であり、ほぼ0.6〜0.8テスラの範囲である。さらにゼロに近づけたλsの値は、ａ、ｂおよ
びｃの値をそれぞれ63〜69、３〜６および０〜６
の範囲、ただしａ、ｂおよびｃの合計が約72〜76
原子パーセントの範囲としたときに得られる。こ
のような推奨組成で｜λs｜は0.5×10^-6以下とな
る。必須的な磁気歪のゼロ値はａ、ｂおよびｃの
値がそれぞれ64〜68、４〜５および０〜６原子パ
ーセントの範囲で、たゞしａ、ｂおよびｃの合計
が約72〜76原子パーセントの範囲で、またｆが11
〜12原子パーセントおよび（ｅ＋ｆ）が24原子パ
ーセントに近いときに得られる。それ故このよう
な成分が最も好ましい。本発明のガラス化金属合金は他で容易に使われ
ている技術で都合よくつくられる。例えば1974年
11月５日発行の米国特許第3845805号および1974
年12月24日発行の米国特許第3856513号を参照の
こと。一般に連続したリボン、綿等の形になつた
ガラス化合金は必要な組成をもつ溶湯から、少な
くとも約105K／秒の速度で急激に冷却されたも
のである。全合金成分の23〜26原子パーセントの範囲内で
の硼素および珪素という半金属成分は、11〜15原
子パーセントの範囲の硼素および９〜14原子パー
セントの範囲の珪素でもつて十分ガラス化形成が
できる。上記したように、１に近いSi／Ｂ比およ
び11〜12原子パーセントという珪素量（“ｆ”）は
最も好適である。何故ならば、それらによつてよ
り高い安定性が得られ、磁気歪（ゼロに近い）が
半金属組成に関し比解的に鈍感になるからであ
る。たとえば、ａ＝67.1b＝4.5、ｃ＝3.0およびｄ
＝1.5原子パーセントのとき、珪素量に関する磁
気歪量の変化率｜dλs／df｜はｆ＝10または13原
子パーセントの近くではほぼ0.8×10^-6／原子％
Siであるが、11〜12原子パーセントのｆについて
はdλs／dfはゼロに近い。ａ＝67.8、ｂ＝3.7、ｃ
＝3.0およびｄ＝1.5原子パーセントのとき、ｆ＝
12原子パーセントの近くでは｜dλs／df｜の量は
ゼロになり、ｆ＝10または13原子パーセントの近
くでは約0.1×10^-6／Si原子パーセントになる。少量のNiは本合金系においては磁気歪値を変
えるには比較的効果は少なく、本質的にはCo：
Feの比が結果の磁気歪値をきめる。本合金系に
おいてCo：Feの比が約14〜16.5対１のときゼロ
の磁気歪が得られる。Co_70.5Fe_4.5B₁₀Si₁₅および
Co₇₄Fe₆B₂₀のような従来技術でのガラス化金属
合金では、その比率は挾くそれぞれ約14と12に設
定されている。λs＝０およびdλs／df＝０を得る
ため、ｆ＝11.5原子パーセントの近くで約14：１
〜16.5：１間の上記Co：Fe比率範囲および約±
0.5原子パーセントの許容差をとることは材料の
統合的見地からして有益である。第４表に異なる温度（Ta）で焼鈍した本発明
のゼロ近接磁気歪ガラス化合金について0.1テス
ラ磁束密度および50KHzにおける交流磁心損失
(L)、励磁電力（Pe）および透磁率（μ）を示す。

【表】第５表は、直流保磁力（Hc）、残留磁束密度
（Br）、交流保磁力（Hc′）および角形比（Br／
Bl）におよぼす焼鈍温度（Ta）およびトロイダ
ル試料の円周方向に付与された焼鈍磁場（Hll）
の効果を示したものである。こゝにBlは本発明
のゼロ磁気合金の１つについて50KHzで10eの磁
場をかけたときの磁化であつて、μは50KHzおよ
び0.1テスラ磁化におけるものである。高周波で
の低保磁力および１に近い高角形比は給電スイツ
チのような磁気デバイス用途には望ましいもので
ある。

【表】

【表】第６表は本発明のゼロ磁気歪合金の１つについ
て、Ｌ、Peおよびμにおよぼす焼鈍時間（Ta）
の効果を示すたものである。

【表】上記第４〜第６表に示した結果から、本発明の
25〜30μｍ厚さのゼロ磁気歪ガラス化合金につい
て、0.1テスラおよび50KHzにおいてＬ＝4W／
Kg、Pe＝7Va／Kgおよびμ＝23000が得られるこ
とが指摘される。これらの数値と比べ、同様厚さ
（25μｍ）の従来技術の結晶質の無磁気歪スーパ
ーマロイは0.1テスラおよび50KHzではＬ＝8W／
Kg、Pe＝10VA／Kgおよびμ＝19000を示す。本
発明の無磁気歪ガラス化合金の性質は結晶質スー
パーマロイのそれらよりすぐれていることは明ら
かである。発明の範囲外のアモルフアス合金の例
を第７表に示した。本発明の合金によつて与えら
れる性質の有利な組み合せはCo₇₄Fe₆B₂₀のよう
な高い飽和磁束密度をもつ従来技術の無磁気歪ガ
ラス合金によつては得られない。何故ならば、そ
れらのキユリー温度は一次結晶温度よりも高く、
それらの性質を改善するための熱処理はより低い
飽和磁束密度をもつたものほどには有効ではな
い。本発明のガラス化合金において得られる上記
の性質は従来技術の低磁化ガラス化合金でも得ら
れる。しかしながら、Co_31.2Fe_7.8Ni_39.0B₁₄Si₈の
ような従来技術のこれらの合金は前に指摘したよ
うに約150℃という比較的低い温度で磁気的に不
安定となる傾向がある。

【表】第７表はCo_aFe_bNi_cMo_dB_eSi_f組成をもつ代表的
ガラス化合金でそのａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆ
の少くとも１つが本発明に規定された組成範囲外
にある場合の幾つかの磁性を示したものである。
この表は、成分の少くとも１つが規定範囲外にあ
る合金が次のような好ましからざる性質の少くと
も１つを示していることを指摘している。 () ｜λs｜の値が１×10^-6よりも大きい。 () キユリー温度（θf）が結晶化温度（Tcl）
よりも高い。結晶化により加工の磁場焼鈍の効果が低下す
る。および () キユリー温度および飽和磁束密度（Bs）が
低すぎて実用的でなくなる。次の実施例は本発明のより完全な理解を与える
ために示すものである。本発明の原理および実際
を明らかにするための特定の技術、条件、材料、
比率および報告データは典型的なものであつて、
本発明の範囲を限定するものと解釈してはならな
い。実施例１試料製造第２表〜第７表にあげたガラス化合金は米国
特許第3856513号の中でChenおよびPolkによつ
て教示された技術に従つて溶湯から急激に冷却
（約10⁶K／秒）されたものである。得られたリ
ボンは典型的に25〜30μｍ厚で、0.5〜2.5cm巾
をもち、Ｘ線回折（Cuk放射線使用）および走
査熱量測定によつて重大な結晶はないことが確
認された。ガラス化金属合金のリボンは強力で
光沢があり、硬くそして延性がある。２磁気測定上記の１で述べられた方法に従つてつくられ
たガラス化金属合金の連続したリボンはボビン
（外径3.8cm）に巻かれ閉磁気回路トロイダル試
料とされた。試料はそれぞれリボン１〜３ｇを
含んでいる。トロイド（巻磁心環）には絶縁線
の一次および二次巻き（それぞれ少くとも10回
以上）が施された。これら試料は市販の曲線ト
レーサーでもつてヒステリシス曲線（保磁力と
残留磁束密度）および初透磁率ならびに磁心損
失を求めるのに用いられた（IEEE
Standard106−1972による）。各試料の飽和磁化Msは市販の振動試料磁気
計（Princeton Applied Research製）でもつ
て測定された。この場合においてリボンは幾つ
かの小角片（約２mm×２mm）にカツトされた。
これらは常態としてランダムに向いており、そ
れらの面はかけられた磁場（０〜720KA／ｍ）
により平行とされた。次いで測定された量密度
Ｄを用いて飽和磁束密度Bs（＝4πMsD）が計算
された。強磁性のキユリー温度（θf）は、インダクタ
ンス法により測定され、また微分走査熱量計に
よつて検査された。この熱量計は主として結晶
温度を確認するのに用いられた。一次結晶温度
すなわち初晶温度（Tcl）は本発明および従来
技術発明におけるいろいろのガラス化合金の熱
的安定性を比較するのに用いられた。磁気的安定性はJournal of Applied
Physics.Vol.49，p.6510（1978）に記載された
方法（この方法に文献によるものを組み合わせ
た）に従い、磁化の再配列動力学から確認され
た。磁気歪測定には金属歪ゲージ（BLH
Electronics製）を用いた。これを２つの短い
リボン間に貼りつけた（Eastman−910
cementによる）。リボン軸とゲージ軸は平行で
ある。磁気歪は平らな場での縦の歪（Δl／ｌ）
‖と垂直の歪（Δl／ｌ） ⊥とから式λ＝2/3
〔（Δl／ｌ） ‖−（Δl／ｌ） ⊥〕に従つて、適用
した磁場の関数として決定された。本発明をこのようにむしろ十分詳細に述べたが
この細部に厳密に拘わる必要はなく、これからさ
らに変化され改善されることは、本技術に熟練し
た人にはすべて追加特許請求範囲によつて規定さ
れるような発明の範囲内に属するものであること
として納得され得るものであることは諒解される
であろう。

Claims

【特許請求の範囲】１式 Co_aFe_bNi_cMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
ｃは８原子％以下、ｄは１〜２原子％、ｅは11〜
15原子％、ｆは９〜14原子％のそれぞれの範囲内
にあるものとし、ただしａ＋ｂ＋ｃの合計が72〜
76原子％、ｅ＋ｆの合計が23〜26原子％の範囲内
にあることを条件とする）を有し、かつ (a) −1.1×10^-6と＋1.1×10^-6の間の磁気歪値、 (b) 0.6Tに等しいか又はこれを超える飽和磁束
密度、 (c) 0.56A／ｍを超えない直流保磁力、 (d) 少くとも8200である、0.1T、50kHにおける
透磁率。の性質をあわせ有することを特徴とする高い磁気
的及び熱的安定性を有し磁気歪がほとんど零の、
少くとも70％がガラス質の磁性金属合金。２ａが63〜69原子％、ｂが３〜６原子％、ｃが
６原子％以下の範囲内にある特許請求の範囲第１
項記載の磁性合金。３ｆが11〜12原子％の間にあり、かつｅとｆと
の合計が24原子％近くである場合において、ａが
64〜68原子％、ｂが４〜５原子％、ｃが６原子％
以下の範囲内にある特許請求の範囲第１項記載の
磁性合金。４式Co_67.4Fe_4.1Ni_3.0Mo_1.5B_12.5Si_11.5を有する特
許請求の範囲第３項記載の磁性合金。５式Co_67.1Fe_4.4Ni_3.0Mo_1.5B_12.5Si_11.5を有する特
許請求の範囲第３項記載の磁性合金。６式Co_64.0Fe_4.5Ni_6.0Mo_1.5B_12.5Si_11.5を有する特
許請求の範囲第３項記載の磁性合金。７式Co_67.0Fe_4.5Ni_3.0Mo_1.5B₁₂Si₁₂を有する特許
請求の範囲第３項記載の磁性合金。８式Co_67.0Fe_4.5Ni_3.0Mo_1.5B₁₃Si₁₁を有する特許
請求の範囲第３項記載の磁性合金。９式Co_67.5Fe_4.5Ni_3.0Mo_1.0B₁₂Si₁₂を有する特許
請求の範囲第３項記載の磁性合金。１０式 Co_aFe_bMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
ｄは１〜２原子％、ｅは11〜15原子％、ｆは９〜
14原子％のそれぞれの範囲内にあるものとし、た
だしａ＋ｂの合計が72〜76原子％、ｅ＋ｆの合計
が23〜26原子％の範囲内にあることを条件とす
る）を有し、かつ (a) −1.1×10^-6と＋1.1×10^-6の間の磁気歪値、 (b) 0.6Tに等しいか又はこれを超える飽和磁束
密度、 (c) 0.56A／ｍを超えない直流保磁力、 (d) 少くとも8200である、0.1T、50kHにおける
透磁率。の性質をあわせ有することを特徴とする高い磁気
的及び熱的安定性を有し磁気歪がほとんど零のガ
ラス質金属合金。１１ａが63〜69原子％、ｂが３〜６原子％の範
囲内にある特許請求の範囲第１０項記載の磁性合
金。１２ｆが11〜12原子％の間にあり、かつｅとｆ
との合計が24原子％近くである場合において、ａ
が64〜68原子％、ｂが４〜５原子％の範囲内にあ
る特許請求の範囲第１０項記載の磁性合金。