JPH0338334B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

発明の分野 本発明は、ほゞゼロに近い磁気歪、高い磁気的
かつ熱的安定性および優れた軟質磁性を有するガ
ラス化金属合金に関する。 従来技術の叙述 飽和磁気歪λsは、減磁状態から飽和された強
磁性状態への移行において磁性材料に生じる長さ
の変化率はΔl／ｌに関するものである。この磁
気歪の値はデイメンシヨンをもたない量である
が、しばしばミクロ歪の単位で表される（こゝに
ミクロ歪はppmの長さの変化率である）。 磁気歪の低い強磁性合金は幾つかの相互関係の
ある理由によつて要望されている。 １ 軟質磁性（低保磁性、高透磁率）は一般に飽
和磁気歪λ_sと結晶磁気異方性定数Ｋが共にゼロ
に近接している場合に得られる。従つて異方性
が同じならば、磁気歪の低い合金の方が低い直
流保磁力と高い透磁率を示す。このような合金
はいろいろは軟質磁性用途に適している。 ２ かかるゼロ近接磁気歪材料の磁性は機械的歪
には鈍感である。かゝる場合、曲げ、打抜きあ
るいはかかる材料でデバイスをつくるのに必要
なその他の物理的処置のあと歪除去のための焼
鈍の必要はほとんどないということである。こ
れと対照的に、結晶質合金のように歪に敏感な
材料の磁性はこうした冷間加工によつてかなり
劣化する。従つてかかる材料は慎重に焼鈍され
なければならない。 ３ ゼロ磁気歪材料の低直流保磁力は交流操作条
件に持ち越されると、そこで再び低保磁力と高
い透磁率を表わす（ただし結晶性磁気異方性が
大きすぎぬこと、および電気抵抗が小さすぎな
いことが条件である）。また、飽和磁気歪がゼ
ロのときエネルギーは機械的振動の影響を受け
ないからゼロ磁気歪材料の磁心損失は全く低い
ものである。このようにして（結晶磁気異方性
が適度あるいは低いところの）ゼロ磁気歪の磁
性合金は、磁心損失が低く、交流透磁率が高い
ことが必要とされる場合に有益である。このよ
うな用途にはいろいろな巻きテープや電力トラ
ンスのような成層磁心デバイス、通信用トラン
ス、磁気記録ヘツドおよび類似のものがある。 ４ 終りに、ゼロ磁気歪材料を有する電磁気デバ
イスは交流励磁の際音響ノイズを発生しない。
これは上記した低い磁心損失によるものである
が多くの電磁気デバイスにおける固有のうなり
を除くものであるからまた本来必要な性質でも
ある。 ゼロ磁気歪をもつものとして３つの結晶質合
金がよく知られている（以下、断りがなければ
原子パーセントである）。 (1) 約80％ニツケルを含むニツケル−鉄合金
（「80ニツケルパーマロイ」） (2) 約90％コバルトを含むコバルト−鉄合金お
よび (3) 約６重量％珪素を含む鉄−珪素合金 またこれらの範疇には、二元を基本としたそれ
ら合金にモリブデンあるいはアルミニウムのよう
な他の少量の元素を添加して特定の性質変化をさ
せたゼロ磁気歪合金も含まれている。これらには
たとえば電気抵抗および透磁率を高めたΔ％
Mo、79％Ni、17％Fe（モリパーマロイ；Moly
Permalloyの名で市販）、軟質磁性および延性改
善のためにパーマロイにいろいろな量で銅を加え
たもの（ミユーメタル；Mumetalの名で市販）、
および異方性をゼロとした85重量％Fe、９重量
％Si、６重量％Al（センダスト；Sendustの名で
市販）がある。 範疇(1)に含まれる合金は上にあげた３種類のう
ちでは最も広く利用されている。何故ならそれら
はゼロ磁気歪と低異方性をあわせ持つており、そ
れ故に極めて磁気的に軟質だからである。すなわ
ちそれらは低保磁力、高透磁率および低磁心損失
性を有している。これらパーマロイはまた機械的
に比較的軟質であり、高温（1000℃以上）での焼
鈍によつて得られるそれらのすぐれた磁性は比較
的軽い機械的衝撃によつても劣化しやすいもので
ある。 Co₉₀Fe₁₀を基本にした合金のような範疇(2)の合
金はパーマロイよりもさらに高い飽和磁束密度
（Bs約1.9テスラ）を有している。しかしまたそれ
らは強い負の結晶磁気異方性を有しており、それ
らを良好な軟質磁性材料たらしめることを妨げて
いる。たとえばCo₉₀Fe₁₀の初透磁率は約100〜200
にすぎない。 ６重量％Si−Feおよびそれに関連した三元合
金センダスト（上記）のような範疇(3)もまたパー
マロイよりも高い飽和磁束密度（それぞれBs約
1.8テラスおよび1.1テスラ）を示す。しかし、こ
れらの合金は極めて脆く、そしてそれ故に粉体で
のみに使用が限られている。最近6.5重量％Si−
Fe〔IEEE Trans.MAG−16728（1980）〕およびセ
ンダスト合金〔IEEE Trans.MAG−15、1149
（1970）〕は共に急速凝固法によつて比較的に延性
を出せるようになつた。しかしながら、磁気歪の
成分依存性はこれらの材料にあつては非常に強
く、ゼロに近接した磁気歪をもたせるべく合金組
成を綿密にあわせることは困難なことである。 結晶磁気異方性がガラス化状態において効果的
に除去されることは知られている。それ故ゼロの
磁気歪を有するガラス化金属合金を探すのが望ま
しいことになる。こうした合金は前記した組成に
近いところに見出されるであろう。しかしながら
半金属の存在は遷移金属のｄ電子状態への電荷の
移動により磁化を抑える傾向を有しているため、
80ニツケルパーマロイを基づいたガラス化金属合
金は常温で非磁性であるかまたは飽和磁束密度が
低くて容認し難い。たとえばガラス化金属合金
Fe₄₀Ni₄₀P₁₄B₆（添付数値は原子パーセントであ
る）は約0.8テスラの飽和磁束密度を有し、一方
ガラス化合金Ni₄₉Fe₂₉P₁₄B₆Si₂は約0.46テラスの
飽和磁束密度を有し、またガラス化合金Ni₈₀P₂₀
は非磁性である。ほぼゼロに等しい飽和磁気歪を
有するガラス化金属合金は鉄に富むセンダストの
組成の近くにはまだ見出されていない。上記(2)に
おけるCo−Feの結晶質合金に基づく多くのゼロ
近接磁気歪ガラス化金属合金が文献に報告されて
いる。たとえばこれらはCo₇₂Fe₃P₁₆P₆Al₃（AIP
Conference Proceedings，No.24，pp.745〜746
（1975）），Co_70.5Fe_4.5Si₁₅B₁₀（Vol.14，Japanse
Journal of Applied Physics.pp.1077〜1078
（1975））、Co_31.2Fe_7.8Ni_39.0B₁₄Si₈〔Proceedings
of 3rd International Conference on Rapidly
Quenched Metals，p.183，（1979）〕および
Co₇₄Fe₆B₂₀〔IEEE Trans.MAG−12、942
（1976）〕である。第１表にこれら材料の磁気的性
質の幾つかをあげてある。

【表】

【表】 これら合金の飽和磁束密度（Bs）は0.6〜1.2テ
スラの範囲である。Bsが0.6テスラに近いガラス
化合金は結晶のスーパーマロイに較べて低い保磁
力と透磁率を示している。しかし、これらの合金
は比較的低い温度い（150℃）で、磁気的に不安
定な傾向を有しててる。これに対して、Bs1.2テ
スラ以下のガラス化合金はそれらの一次結晶温度
（Tcl）の近くまたはそれ以上のところに、それ
らの強磁性のキユリー温度（θ）をもつ傾向にあ
る。このことはこれら材料の熱処理によつて必要
な軟質磁性を得ることを非常に困難なものとす
る。何故ならば、こうした焼鈍はθ近くの温度で
行なうとき最も効果的なものだからである。 明らかに、より高い磁気的かつ熱的安定性およ
び可能な限り高い飽和磁束密度を有するゼロ磁気
歪ガラス化合金が必要とされているのである。 本発明の要約 本発明に従えば、少くとも70％はガラス化した
磁性合金で、ゼロに近い磁気歪、高い磁気的かつ
熱的安定性およびすぐれた軟質磁性を有する合金
が得られる。 本発明のガラス質磁性金属合金は、 式 Co_aFe_bNi_cMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
ｃは８原子％以下、ｄは１〜２原子％、ｅは11〜
15原子％、ｆは９〜14原子％のそれぞれの範囲内
にあるものとし、ただしａ＋ｂ＋ｃの合計が72〜
76原子％、ｅ＋ｆの合計が23〜26原子％の範囲内
にあることを条件とする）又は 式 Co_aFe_bMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
ｄは１〜２原子％、ｅは11〜15原子％、ｆは９〜
14原子％のそれぞれの範囲内にあるものとし、た
だしａ＋ｂの合計が72〜76原子％、ｅ＋ｆの合計
が23〜26原子％の範囲内にあることを条件とす
る）を有する合金である。本発明のガラス質合金
は、次の性質を合わせ有する。 (a) −1.1×10^-6と＋1.1×10^-6の間の磁気歪値、 (b) 0.6Tに等しいか又はこれを超える飽和磁束
密度、 (c) 0.56A／ｍを超えない直流保磁力、 (d) 少くとも8200である、0.1T、50kHにおける
透磁率。 そしてさらに、約550〜670Kの範囲のキユリー
温度および約790〜870Kの範囲の一次結晶温度を
有している。 本発明の詳細な説明 本発明に従えば、少くとも70％のガラス化した
磁性合金、そしてゼロに近接した磁気歪、高い磁
気的かつ熱的安的性さらに高い透磁性、低い磁心
損失および低い保磁力といつた軟質磁性を含む性
質を顕著に組合わせた合金が得られる。 本発明のガラス質磁性金属合金は、 式 Co_aFe_bNi_cMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
ｃは８原子％以下、ｄは１〜２原子％、ｅは11〜
15原子％、ｆは９〜14原子％のそれぞれの範囲内
にあるものとし、ただしａ＋ｂ＋ｃの合計が72〜
76原子％、ｅ＋ｆの合計が23〜26原子％の範囲内
にあることを条件とする）又は 式 Co_aFe_bMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
ｄは１〜２原子％、ｅは11〜15原子％、ｆは９〜
14原子％のそれぞれの範囲内にあるものとし、た
だしａ＋ｂの合計が72〜76原子％、ｅ＋ｆの合計
が23〜26原子％の範囲内にあることを条件とす
る）を有する合金である。本発明のガラス質合金
は、次の性質を合わせ有する。 (a) −1.1×10^-6と＋1.1×10^-6の間の磁気歪値、 (b) 0.6Tに等しいか又はこれを超える飽和磁束
密度、 (c) 0.56A／ｍを超えない直流保磁力、 (d) 少くとも8200である、0.1T、50kHにおける
透磁率。 そしてさらに、550〜670Kの範囲のキユリー温
度および約790〜870Kの範囲の一次結晶温度を有
している。 上記成分の純度は、通常の商用実施でみられる
程度のものである。しかしながら、本発明の合金
中のモリブデンは少くともタングステン、ニオビ
ウム、タンタル、チタニウム、ジルコニウムおよ
びハフニウムのような他の遷移金属元素の１つと
おきかえられ得ること、およびこれらガラス化合
金の必要な磁気的性質を重大に劣下させることな
く、Siの約２原子パーセントまでを炭素、アルミ
ニウムあるいはゲルマニウムによつておきかえら
れ得ることは認識されよう。 本発明の必須的なゼロ磁気歪ガラス化金属合金
としては、Co_67.4Fe_4.1Ni_3.0Mo_1.5B_12.5Si_11.5、
Co_67.1Fe_4.4Ni_3.0Mo_1.5B_12.5Si_11.5、Co_64.0Fe_4.5Ni_6.0
Mo_1.5B_12.5Si_11.5、Co_67.0Fe_4.5Ni_3.0Mo_1.5B₁₂Si₁₂、
Co_67.0Fe_4.5Ni_3.0Mo_1.5B₁₃Si₁₁およびCo_67.5Fe_4.5
Ni_3.0Mo_1.0B₁₂Si₁₂がある。これらのガラス化合金
は約0.7〜0.8テスラの飽和磁束密度、600〜670K
のキユリー温度、約800Kの一次結晶温度および
すぐれた延性を有している。これらおよび本発明
の他のゼロ近接磁気歪ガラス化合金の幾つかの磁
気的および熱的性質を第２表にあげた。これらは
先に報告したゼロ磁気歪のガラス化金属合金につ
いての第１表にあげた性質とよい比較になる。

【表】

【表】 磁化の再配列のための活性化エネルギー（Ea）
を幾つかの代表的なゼロ近接磁気歪ガラス化合金
について第３表にあげた。この表はSiがEaを高
める傾向をもつことそしてまたEaはSi／Ｂの比
が１に近づくとき高くなる傾向をもつことを示し
ている。Eaの値が高くなるほどこの系の磁気的
安定性が高くなることが示されるのは望ましいこ
とである。第２表および第３表に基づくこうした
知見を併せると、好ましいSi量は、（Si＋Ｂ）が
23〜26原子パーセントのとき、９〜14原子パーセ
ントになる。 Moの存在はTclを高め、従つてこの合金系の
熱的安定性を高める。１〜２原子％の範囲が適当
である。しかし、２原子パーセントを越えるMo
の量はキユリー温度を、通常の磁気デバイスでは
好ましくない、550K以下にまで低下させる。

【表】 幾つかの用途には僅かに正または僅かに負の磁
気歪を有する材料を用いるのが望ましいあるいは
容認される。このようなゼロ近接磁気歪ガラス化
金属合金はａ、ｂおよびｃがそれぞれ58〜702〜
7.5および０〜８原子パーセントの範囲で、ａ、
ｂおよびｃの合計が72〜76原子パーセントの範囲
を条件として得られる。 これらのガラス質金属合金の飽和磁気歪の絶対
値｜λ_s｜は1.1×10^-6よりも小さい（すなわち飽
和磁気歪範囲は、−1.1×10^-6から＋1.1×10^-6又は
−１から＋１ミクロストレインの範囲内にあ
る。）。これらガラス質金属合金の飽和磁束密度
は、0.6テスラに等しいか、又はこれを超える値
であり、ほぼ0.6〜0.8テスラの範囲である。 さらにゼロに近づけたλsの値は、ａ、ｂおよ
びｃの値をそれぞれ63〜69、３〜６および０〜６
の範囲、ただしａ、ｂおよびｃの合計が約72〜76
原子パーセントの範囲としたときに得られる。こ
のような推奨組成で｜λs｜は0.5×10^-6以下とな
る。必須的な磁気歪のゼロ値はａ、ｂおよびｃの
値がそれぞれ64〜68、４〜５および０〜６原子パ
ーセントの範囲で、たゞしａ、ｂおよびｃの合計
が約72〜76原子パーセントの範囲で、またｆが11
〜12原子パーセントおよび（ｅ＋ｆ）が24原子パ
ーセントに近いときに得られる。それ故このよう
な成分が最も好ましい。 本発明のガラス化金属合金は他で容易に使われ
ている技術で都合よくつくられる。例えば1974年
11月５日発行の米国特許第3845805号および1974
年12月24日発行の米国特許第3856513号を参照の
こと。一般に連続したリボン、綿等の形になつた
ガラス化合金は必要な組成をもつ溶湯から、少な
くとも約105K／秒の速度で急激に冷却されたも
のである。 全合金成分の23〜26原子パーセントの範囲内で
の硼素および珪素という半金属成分は、11〜15原
子パーセントの範囲の硼素および９〜14原子パー
セントの範囲の珪素でもつて十分ガラス化形成が
できる。上記したように、１に近いSi／Ｂ比およ
び11〜12原子パーセントという珪素量（“ｆ”）は
最も好適である。何故ならば、それらによつてよ
り高い安定性が得られ、磁気歪（ゼロに近い）が
半金属組成に関し比解的に鈍感になるからであ
る。たとえば、ａ＝67.1b＝4.5、ｃ＝3.0およびｄ
＝1.5原子パーセントのとき、珪素量に関する磁
気歪量の変化率｜dλs／df｜はｆ＝10または13原
子パーセントの近くではほぼ0.8×10^-6／原子％
Siであるが、11〜12原子パーセントのｆについて
はdλs／dfはゼロに近い。ａ＝67.8、ｂ＝3.7、ｃ
＝3.0およびｄ＝1.5原子パーセントのとき、ｆ＝
12原子パーセントの近くでは｜dλs／df｜の量は
ゼロになり、ｆ＝10または13原子パーセントの近
くでは約0.1×10^-6／Si原子パーセントになる。 少量のNiは本合金系においては磁気歪値を変
えるには比較的効果は少なく、本質的にはCo：
Feの比が結果の磁気歪値をきめる。本合金系に
おいてCo：Feの比が約14〜16.5対１のときゼロ
の磁気歪が得られる。Co_70.5Fe_4.5B₁₀Si₁₅および
Co₇₄Fe₆B₂₀のような従来技術でのガラス化金属
合金では、その比率は挾くそれぞれ約14と12に設
定されている。λs＝０およびdλs／df＝０を得る
ため、ｆ＝11.5原子パーセントの近くで約14：１
〜16.5：１間の上記Co：Fe比率範囲および約±
0.5原子パーセントの許容差をとることは材料の
統合的見地からして有益である。 第４表に異なる温度（Ta）で焼鈍した本発明
のゼロ近接磁気歪ガラス化合金について0.1テス
ラ磁束密度および50KHzにおける交流磁心損失
(L)、励磁電力（Pe）および透磁率（μ）を示す。

【表】 第５表は、直流保磁力（Hc）、残留磁束密度
（Br）、交流保磁力（Hc′）および角形比（Br／
Bl）におよぼす焼鈍温度（Ta）およびトロイダ
ル試料の円周方向に付与された焼鈍磁場（Hll）
の効果を示したものである。こゝにBlは本発明
のゼロ磁気合金の１つについて50KHzで10eの磁
場をかけたときの磁化であつて、μは50KHzおよ
び0.1テスラ磁化におけるものである。高周波で
の低保磁力および１に近い高角形比は給電スイツ
チのような磁気デバイス用途には望ましいもので
ある。

【表】

【表】 第６表は本発明のゼロ磁気歪合金の１つについ
て、Ｌ、Peおよびμにおよぼす焼鈍時間（Ta）
の効果を示すたものである。

【表】 上記第４〜第６表に示した結果から、本発明の
25〜30μｍ厚さのゼロ磁気歪ガラス化合金につい
て、0.1テスラおよび50KHzにおいてＬ＝4W／
Kg、Pe＝7Va／Kgおよびμ＝23000が得られるこ
とが指摘される。これらの数値と比べ、同様厚さ
（25μｍ）の従来技術の結晶質の無磁気歪スーパ
ーマロイは0.1テスラおよび50KHzではＬ＝8W／
Kg、Pe＝10VA／Kgおよびμ＝19000を示す。本
発明の無磁気歪ガラス化合金の性質は結晶質スー
パーマロイのそれらよりすぐれていることは明ら
かである。発明の範囲外のアモルフアス合金の例
を第７表に示した。本発明の合金によつて与えら
れる性質の有利な組み合せはCo₇₄Fe₆B₂₀のよう
な高い飽和磁束密度をもつ従来技術の無磁気歪ガ
ラス合金によつては得られない。何故ならば、そ
れらのキユリー温度は一次結晶温度よりも高く、
それらの性質を改善するための熱処理はより低い
飽和磁束密度をもつたものほどには有効ではな
い。本発明のガラス化合金において得られる上記
の性質は従来技術の低磁化ガラス化合金でも得ら
れる。しかしながら、Co_31.2Fe_7.8Ni_39.0B₁₄Si₈の
ような従来技術のこれらの合金は前に指摘したよ
うに約150℃という比較的低い温度で磁気的に不
安定となる傾向がある。

【表】 第７表はCo_aFe_bNi_cMo_dB_eSi_f組成をもつ代表的
ガラス化合金でそのａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆ
の少くとも１つが本発明に規定された組成範囲外
にある場合の幾つかの磁性を示したものである。
この表は、成分の少くとも１つが規定範囲外にあ
る合金が次のような好ましからざる性質の少くと
も１つを示していることを指摘している。 () ｜λs｜の値が１×10^-6よりも大きい。 () キユリー温度（θf）が結晶化温度（Tcl）
よりも高い。 結晶化により加工の磁場焼鈍の効果が低下す
る。および () キユリー温度および飽和磁束密度（Bs）が
低すぎて実用的でなくなる。 次の実施例は本発明のより完全な理解を与える
ために示すものである。本発明の原理および実際
を明らかにするための特定の技術、条件、材料、
比率および報告データは典型的なものであつて、
本発明の範囲を限定するものと解釈してはならな
い。 実施例 １ 試料製造 第２表〜第７表にあげたガラス化合金は米国
特許第3856513号の中でChenおよびPolkによつ
て教示された技術に従つて溶湯から急激に冷却
（約10⁶K／秒）されたものである。得られたリ
ボンは典型的に25〜30μｍ厚で、0.5〜2.5cm巾
をもち、Ｘ線回折（Cuk放射線使用）および走
査熱量測定によつて重大な結晶はないことが確
認された。ガラス化金属合金のリボンは強力で
光沢があり、硬くそして延性がある。 ２ 磁気測定 上記の１で述べられた方法に従つてつくられ
たガラス化金属合金の連続したリボンはボビン
（外径3.8cm）に巻かれ閉磁気回路トロイダル試
料とされた。試料はそれぞれリボン１〜３ｇを
含んでいる。トロイド（巻磁心環）には絶縁線
の一次および二次巻き（それぞれ少くとも10回
以上）が施された。これら試料は市販の曲線ト
レーサーでもつてヒステリシス曲線（保磁力と
残留磁束密度）および初透磁率ならびに磁心損
失を求めるのに用いられた（IEEE
Standard106−1972による）。 各試料の飽和磁化Msは市販の振動試料磁気
計（Princeton Applied Research製）でもつ
て測定された。この場合においてリボンは幾つ
かの小角片（約２mm×２mm）にカツトされた。
これらは常態としてランダムに向いており、そ
れらの面はかけられた磁場（０〜720KA／ｍ）
により平行とされた。次いで測定された量密度
Ｄを用いて飽和磁束密度Bs（＝4πMsD）が計算
された。 強磁性のキユリー温度（θf）は、インダクタ
ンス法により測定され、また微分走査熱量計に
よつて検査された。この熱量計は主として結晶
温度を確認するのに用いられた。一次結晶温度
すなわち初晶温度（Tcl）は本発明および従来
技術発明におけるいろいろのガラス化合金の熱
的安定性を比較するのに用いられた。 磁気的安定性はJournal of Applied
Physics.Vol.49，p.6510（1978）に記載された
方法（この方法に文献によるものを組み合わせ
た）に従い、磁化の再配列動力学から確認され
た。 磁気歪測定には金属歪ゲージ（BLH
Electronics製）を用いた。これを２つの短い
リボン間に貼りつけた（Eastman−910
cementによる）。リボン軸とゲージ軸は平行で
ある。磁気歪は平らな場での縦の歪（Δl／ｌ）
‖と垂直の歪（Δl／ｌ） ⊥とから式λ＝2/3
〔（Δl／ｌ） ‖−（Δl／ｌ） ⊥〕に従つて、適用
した磁場の関数として決定された。 本発明をこのようにむしろ十分詳細に述べたが
この細部に厳密に拘わる必要はなく、これからさ
らに変化され改善されることは、本技術に熟練し
た人にはすべて追加特許請求範囲によつて規定さ
れるような発明の範囲内に属するものであること
として納得され得るものであることは諒解される
であろう。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 式 Co_aFe_bNi_cMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
   ｃは８原子％以下、ｄは１〜２原子％、ｅは11〜
   15原子％、ｆは９〜14原子％のそれぞれの範囲内
   にあるものとし、ただしａ＋ｂ＋ｃの合計が72〜
   76原子％、ｅ＋ｆの合計が23〜26原子％の範囲内
   にあることを条件とする）を有し、かつ (a) −1.1×10^-6と＋1.1×10^-6の間の磁気歪値、 (b) 0.6Tに等しいか又はこれを超える飽和磁束
   密度、 (c) 0.56A／ｍを超えない直流保磁力、 (d) 少くとも8200である、0.1T、50kHにおける
   透磁率。 の性質をあわせ有することを特徴とする高い磁気
   的及び熱的安定性を有し磁気歪がほとんど零の、
   少くとも70％がガラス質の磁性金属合金。 ２ ａが63〜69原子％、ｂが３〜６原子％、ｃが
   ６原子％以下の範囲内にある特許請求の範囲第１
   項記載の磁性合金。 ３ ｆが11〜12原子％の間にあり、かつｅとｆと
   の合計が24原子％近くである場合において、ａが
   64〜68原子％、ｂが４〜５原子％、ｃが６原子％
   以下の範囲内にある特許請求の範囲第１項記載の
   磁性合金。 ４ 式Co_67.4Fe_4.1Ni_3.0Mo_1.5B_12.5Si_11.5を有する特
   許請求の範囲第３項記載の磁性合金。 ５ 式Co_67.1Fe_4.4Ni_3.0Mo_1.5B_12.5Si_11.5を有する特
   許請求の範囲第３項記載の磁性合金。 ６ 式Co_64.0Fe_4.5Ni_6.0Mo_1.5B_12.5Si_11.5を有する特
   許請求の範囲第３項記載の磁性合金。 ７ 式Co_67.0Fe_4.5Ni_3.0Mo_1.5B₁₂Si₁₂を有する特許
   請求の範囲第３項記載の磁性合金。 ８ 式Co_67.0Fe_4.5Ni_3.0Mo_1.5B₁₃Si₁₁を有する特許
   請求の範囲第３項記載の磁性合金。 ９ 式Co_67.5Fe_4.5Ni_3.0Mo_1.0B₁₂Si₁₂を有する特許
   請求の範囲第３項記載の磁性合金。 １０ 式 Co_aFe_bMo_dB_eSi_f （式中ａは58〜70原子％、ｂは２〜7.5原子％、
   ｄは１〜２原子％、ｅは11〜15原子％、ｆは９〜
   14原子％のそれぞれの範囲内にあるものとし、た
   だしａ＋ｂの合計が72〜76原子％、ｅ＋ｆの合計
   が23〜26原子％の範囲内にあることを条件とす
   る）を有し、かつ (a) −1.1×10^-6と＋1.1×10^-6の間の磁気歪値、 (b) 0.6Tに等しいか又はこれを超える飽和磁束
   密度、 (c) 0.56A／ｍを超えない直流保磁力、 (d) 少くとも8200である、0.1T、50kHにおける
   透磁率。 の性質をあわせ有することを特徴とする高い磁気
   的及び熱的安定性を有し磁気歪がほとんど零のガ
   ラス質金属合金。 １１ ａが63〜69原子％、ｂが３〜６原子％の範
   囲内にある特許請求の範囲第１０項記載の磁性合
   金。 １２ ｆが11〜12原子％の間にあり、かつｅとｆ
   との合計が24原子％近くである場合において、ａ
   が64〜68原子％、ｂが４〜５原子％の範囲内にあ
   る特許請求の範囲第１０項記載の磁性合金。