JPH0338575B2 - - Google Patents
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- JPH0338575B2 JPH0338575B2 JP56134378A JP13437881A JPH0338575B2 JP H0338575 B2 JPH0338575 B2 JP H0338575B2 JP 56134378 A JP56134378 A JP 56134378A JP 13437881 A JP13437881 A JP 13437881A JP H0338575 B2 JPH0338575 B2 JP H0338575B2
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- JP
- Japan
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- integrated circuit
- optical
- optical integrated
- refractive index
- circuit according
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/33—Acousto-optical deflection devices
- G02F1/335—Acousto-optical deflection devices having an optical waveguide structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光放射の導波路を使用した光集積回
路に関し、特に方向性結合器に関する。
路に関し、特に方向性結合器に関する。
［従来の技術］
適切な長さにわたつて２つの単一モードの光導
波路を結合することにより、エネルギーの交換が
観察される。導波路の間の結合は極めて微弱な光
によつて作られ、その結合によつて導波路間にエ
ネルギー移行が起こるためには、導波光がお互い
に十分近い伝播速度を持てば十分である。無損失
の導波路を用いると全移行が達成される。この全
移行とは第１の導波路の入力において導入された
全ての光子を第２の導波路の出力に集めることに
ある。方向性結合器の光集積回路を構成するため
に用いられる材料の電気光学効果に基づいて、エ
ネルギー移行は電気的に制御される。この電気的
制御は、電界が、もともと静電的であるか、また
は光子の導波に随伴する電磁波であるかという２
つの場合を前提にしている。電界が静電的である
と、エネルギー移行の結果は光子の分配に依存し
ないで、一方の導波路に導入されたエネルギーは
光集積回路の電極に印加される制御電圧に依存し
て他の導波路に切り変えられ、または転流する。
一方、この制御が、導波されて進行する光子に随
伴する電磁波によるときには、各光子はそれに隣
接する光子と同じ導波をするとは限らない。その
理由は、方向性結合は電磁波によつて随伴される
光子と速度整合し続けるからである。
波路を結合することにより、エネルギーの交換が
観察される。導波路の間の結合は極めて微弱な光
によつて作られ、その結合によつて導波路間にエ
ネルギー移行が起こるためには、導波光がお互い
に十分近い伝播速度を持てば十分である。無損失
の導波路を用いると全移行が達成される。この全
移行とは第１の導波路の入力において導入された
全ての光子を第２の導波路の出力に集めることに
ある。方向性結合器の光集積回路を構成するため
に用いられる材料の電気光学効果に基づいて、エ
ネルギー移行は電気的に制御される。この電気的
制御は、電界が、もともと静電的であるか、また
は光子の導波に随伴する電磁波であるかという２
つの場合を前提にしている。電界が静電的である
と、エネルギー移行の結果は光子の分配に依存し
ないで、一方の導波路に導入されたエネルギーは
光集積回路の電極に印加される制御電圧に依存し
て他の導波路に切り変えられ、または転流する。
一方、この制御が、導波されて進行する光子に随
伴する電磁波によるときには、各光子はそれに隣
接する光子と同じ導波をするとは限らない。その
理由は、方向性結合は電磁波によつて随伴される
光子と速度整合し続けるからである。
導波路に対してコリニアの、正弦波を伝送する
電磁波ラインによつて、電気光学基板上に形成さ
れた方向性結合器用の電気制御を行うことによ
り、連続的な光束から、間欠的な光束を得ること
ができる。その間欠的な光束のパルスはブロツク
モードの注入レーザーによつて得られるよりも遥
かに小さい持続時間を有する。この速度整合の方
向性結合によつて連続的な光源から非常に短い持
続時間の光パルス源を得ることができる。この技
術は、ピコ秒よりも小さい持続時間の信号を処理
することができる時間マルチプレクシング装置、
時間デマルチプレクシング装置に道を開く。
電磁波ラインによつて、電気光学基板上に形成さ
れた方向性結合器用の電気制御を行うことによ
り、連続的な光束から、間欠的な光束を得ること
ができる。その間欠的な光束のパルスはブロツク
モードの注入レーザーによつて得られるよりも遥
かに小さい持続時間を有する。この速度整合の方
向性結合によつて連続的な光源から非常に短い持
続時間の光パルス源を得ることができる。この技
術は、ピコ秒よりも小さい持続時間の信号を処理
することができる時間マルチプレクシング装置、
時間デマルチプレクシング装置に道を開く。
［発明が解決しようとする課題］
速度整合された方向性カツプリングを用いる光
集積回路の動作は電磁波の伝播速度と導波光子の
伝播速度との整合の精度い依存する。電磁波ライ
ンの電極を適切な寸法にし、かつ、適当な誘電率
を有する媒体を選んでも、なお、不完全な回路が
得られる。その理由は、製造工程において誤差が
導入され、その誤差を、数センチメータの結合長
にわたつて速度の完全な一致が得られるように補
償することは困難であるからである。
集積回路の動作は電磁波の伝播速度と導波光子の
伝播速度との整合の精度い依存する。電磁波ライ
ンの電極を適切な寸法にし、かつ、適当な誘電率
を有する媒体を選んでも、なお、不完全な回路が
得られる。その理由は、製造工程において誤差が
導入され、その誤差を、数センチメータの結合長
にわたつて速度の完全な一致が得られるように補
償することは困難であるからである。
このような、電磁波によつて生じる電気光学効
果に基づく光子を閉じ込めるための手段の使用に
固有な欠点を緩和するために、本発明は、方向性
結合が行われるべき導波路部分に所望の速度で進
行する屈折率変化を生じさせる表面弾性波を発生
させることによつて所望の閉じ込めを行なうこと
を提案するものである。
果に基づく光子を閉じ込めるための手段の使用に
固有な欠点を緩和するために、本発明は、方向性
結合が行われるべき導波路部分に所望の速度で進
行する屈折率変化を生じさせる表面弾性波を発生
させることによつて所望の閉じ込めを行なうこと
を提案するものである。
［課題を解決するための手段］
本発明は、所望の結合長にわたつてエネルギー
移行をする２つの導波路が表面に配列される基板
を備え、このエネルギー移行は進行波によつて誘
起された屈折率変化を、導波光子に随伴して同期
的に前記表面に沿つて伝播させる速度整合手段に
よつて制御され、方向性結合を行う光集積回路で
あつて、前記速度整合手段は前記進行波を発射す
る電気機械変換器を備えていて表面弾性波を発生
し、Va，Vgをそれぞれ表面弾性波の速度および
導波光のグループ速度とするとき、導波路に到達
した表面弾性波の波面と導波路とのなす角度θが
sin-1（Va，Vg）に等しくなるように、前記表面
弾性波を発射する。
移行をする２つの導波路が表面に配列される基板
を備え、このエネルギー移行は進行波によつて誘
起された屈折率変化を、導波光子に随伴して同期
的に前記表面に沿つて伝播させる速度整合手段に
よつて制御され、方向性結合を行う光集積回路で
あつて、前記速度整合手段は前記進行波を発射す
る電気機械変換器を備えていて表面弾性波を発生
し、Va，Vgをそれぞれ表面弾性波の速度および
導波光のグループ速度とするとき、導波路に到達
した表面弾性波の波面と導波路とのなす角度θが
sin-1（Va，Vg）に等しくなるように、前記表面
弾性波を発射する。
本発明は以下の記載ならびに添付図面からより
一層よく理解されるであろう。
一層よく理解されるであろう。
［実施例］
第１図は、方向性結合器の構造を表わす図で、
それは、光集積回路によつて構成される。
それは、光集積回路によつて構成される。
この方向性結合器は、基板７を備え、該基板７
はたとえば、リチウムニオブ酸塩からなる。この
表面８には、チヤネル−１〜３，２〜４間で交換
される光放射を導波するための、２つの拡散され
た領域１０，１１が導波路として形成されてい
る。光を導波するために必要な屈折率変化は、表
面８上にチタニウムの層を被覆することによつて
得られる。フオトリソグラフイ法によつて導波路
１０，１１の真上以外のチタニウムの層は除去さ
れる。
はたとえば、リチウムニオブ酸塩からなる。この
表面８には、チヤネル−１〜３，２〜４間で交換
される光放射を導波するための、２つの拡散され
た領域１０，１１が導波路として形成されてい
る。光を導波するために必要な屈折率変化は、表
面８上にチタニウムの層を被覆することによつて
得られる。フオトリソグラフイ法によつて導波路
１０，１１の真上以外のチタニウムの層は除去さ
れる。
そして被覆されたチタニウムをリチウムニオブ
酸塩中に拡散するための操作が進められる。残つ
たチタニウムを取り除くと、２つの細長い拡散領
域が低い屈折率をもつ媒体によつて取り囲まれて
得られる。これらのバンド状の拡散領域に、十分
な拡散巾および拡散深さを与えることによつて、
２つの集積された単一モードの導波路が得られ
る。
酸塩中に拡散するための操作が進められる。残つ
たチタニウムを取り除くと、２つの細長い拡散領
域が低い屈折率をもつ媒体によつて取り囲まれて
得られる。これらのバンド状の拡散領域に、十分
な拡散巾および拡散深さを与えることによつて、
２つの集積された単一モードの導波路が得られ
る。
方向性結合器によつてエネルギー移行を得るた
めに、導波路１０，１１は、所望の結合長に対応
する長さLpの領域で互いに近接される。
めに、導波路１０，１１は、所望の結合長に対応
する長さLpの領域で互いに近接される。
もし与えられた波長の光子１２が、チヤネル１
に入射されると、それはグループ速度Vgで導波
路１０を伝播する。光子１２は、伝播するあいだ
多かれ少なかれのエネルギーを導波路１１と交換
する。このエネルギー移行は、導波路１０，１１
のｘ軸に平行な、小さな間隔をおいた領域（以
下、結合部と記す）において極めて僅かずつ行わ
れる。方向性結合器の理論的研究においては、結
合部の導波路１０，１１の屈折率、巾、深さ、間
隔で定まる結合係数ｃの概念が用いられる。この
理論によると、もし導波路に損失がなく、かつ、
伝播速度が等しい値をもつならば、エネルギーの
全移行が起る。したがつて、クループ速度が等し
い場合に、チヤネル１，４間で全エネルギー移行
が確実に起る最小の結合長Lpが存在する。最小の
結合長Lpの奇数倍も同じ結果を与える。
に入射されると、それはグループ速度Vgで導波
路１０を伝播する。光子１２は、伝播するあいだ
多かれ少なかれのエネルギーを導波路１１と交換
する。このエネルギー移行は、導波路１０，１１
のｘ軸に平行な、小さな間隔をおいた領域（以
下、結合部と記す）において極めて僅かずつ行わ
れる。方向性結合器の理論的研究においては、結
合部の導波路１０，１１の屈折率、巾、深さ、間
隔で定まる結合係数ｃの概念が用いられる。この
理論によると、もし導波路に損失がなく、かつ、
伝播速度が等しい値をもつならば、エネルギーの
全移行が起る。したがつて、クループ速度が等し
い場合に、チヤネル１，４間で全エネルギー移行
が確実に起る最小の結合長Lpが存在する。最小の
結合長Lpの奇数倍も同じ結果を与える。
いま、α1，β2がそれぞれガイド１０，１１を伝
わる波の位相定数であるとすると、位相差Δβ＝
β2−β1は、もし導波路の幾何学的特性が同じであ
り、かつ、それぞれの屈折率n1，n2が等しいなら
ば、ゼロである。最小結合長Lpの終端部で、チヤ
ネル１に入射されるエネルギーに対する、チヤネ
ル４へ結合されるエネルギーの比すなわちエネル
ギー移行率Ｉは１に等しい。
わる波の位相定数であるとすると、位相差Δβ＝
β2−β1は、もし導波路の幾何学的特性が同じであ
り、かつ、それぞれの屈折率n1，n2が等しいなら
ば、ゼロである。最小結合長Lpの終端部で、チヤ
ネル１に入射されるエネルギーに対する、チヤネ
ル４へ結合されるエネルギーの比すなわちエネル
ギー移行率Ｉは１に等しい。
もし、導波路に屈折率n1，n2の差がつくられる
と、差Δn＝n2−n1が生じたことは、位相定数の
差Δβが生じたことを意味する。理論によると、
エネルギーの移行率Ｉは、比Δβ／2cに依存する。
結合長がｌのとき、エネルギー移行率Ｉは次の形
に表わされる。
と、差Δn＝n2−n1が生じたことは、位相定数の
差Δβが生じたことを意味する。理論によると、
エネルギーの移行率Ｉは、比Δβ／2cに依存する。
結合長がｌのとき、エネルギー移行率Ｉは次の形
に表わされる。
前記したように、Δβ＝０のとき全エネルギー
移行（Ｉ＝１）が起ることを考慮すると、式ｃ・
ｌ＝（2k′−１）π／２が成り立つ。ここでk′は正
の整数である。したがつて次式を得る。
移行（Ｉ＝１）が起ることを考慮すると、式ｃ・
ｌ＝（2k′−１）π／２が成り立つ。ここでk′は正
の整数である。したがつて次式を得る。
この数式表現は、第２図の曲線１５に示されて
いる。この曲線は、光学でしばしば出合う関数
〔sinα／α〕2にすぎない。
いる。この曲線は、光学でしばしば出合う関数
〔sinα／α〕2にすぎない。
第２図は次のことを示している。すなわち、エ
ネルギー移行は、任意の分配効果が得られるよう
に、そして、極端にはチヤネル３，４間のスイツ
チング効果が得られるように、これを変調するこ
とができる。この変調は、静的でも、動的でも可
能である。それは、電子光学効果やその他、例え
ば光弾性効果によつて誘起される屈折率の変化
Δnに関係する。
ネルギー移行は、任意の分配効果が得られるよう
に、そして、極端にはチヤネル３，４間のスイツ
チング効果が得られるように、これを変調するこ
とができる。この変調は、静的でも、動的でも可
能である。それは、電子光学効果やその他、例え
ば光弾性効果によつて誘起される屈折率の変化
Δnに関係する。
本発明においては、屈折率変化Δnは、導波光
子の進行に随伴する屈折率変動の形で与えられる
（「随伴する」とは、屈折率変動が導波光子と同じ
速度で導波路方向に進行するということである）。
この屈折率変動はグループ速度Vgで伝播され、
その変動幅は、ゼロ値を中心として、エネルギー
移行率Ｉをゼロにするために充分な値をとる。そ
の結果、屈折率変化がゼロの位置を占める光子は
全エネルギー移行を受ける。しかし、最小結合長
Lpの結合部に沿つて前記ゼロの位置の近くに位置
する光子はゼロでないΔnに出合うので第２図の
曲線から定まる、より少ないエネルギーの移行を
受ける。方向性結合器のエネルギー移行の動的変
調に関する前記のような考え方は、電気光学的物
質を使用する光集積構造に対して提案されてい
た。この場合には、屈折率の変動は、方向性結合
器を跨いで設けられた電磁ラインによつて誘起さ
れる。電磁ラインによつて伝播されるTEMモー
ドは、結合部の全長に沿つてクループ速度Vgと
一致する位相速度をもたなければならない。この
条件は、実用上満足することは困難である。その
理由は、位相の整合を得るために必要とされる速
度の低減は、電磁ラインのレベルで、重大な製造
上の困難を引き起すからである。
子の進行に随伴する屈折率変動の形で与えられる
（「随伴する」とは、屈折率変動が導波光子と同じ
速度で導波路方向に進行するということである）。
この屈折率変動はグループ速度Vgで伝播され、
その変動幅は、ゼロ値を中心として、エネルギー
移行率Ｉをゼロにするために充分な値をとる。そ
の結果、屈折率変化がゼロの位置を占める光子は
全エネルギー移行を受ける。しかし、最小結合長
Lpの結合部に沿つて前記ゼロの位置の近くに位置
する光子はゼロでないΔnに出合うので第２図の
曲線から定まる、より少ないエネルギーの移行を
受ける。方向性結合器のエネルギー移行の動的変
調に関する前記のような考え方は、電気光学的物
質を使用する光集積構造に対して提案されてい
た。この場合には、屈折率の変動は、方向性結合
器を跨いで設けられた電磁ラインによつて誘起さ
れる。電磁ラインによつて伝播されるTEMモー
ドは、結合部の全長に沿つてクループ速度Vgと
一致する位相速度をもたなければならない。この
条件は、実用上満足することは困難である。その
理由は、位相の整合を得るために必要とされる速
度の低減は、電磁ラインのレベルで、重大な製造
上の困難を引き起すからである。
フオトリソグラフイによつて集積回路を形成す
る技術は現在、数センチメータの矩形の外形が得
られ、その配列誤差は、並進運動の干渉計チエツ
クに使用される波長の10分の１程度である。この
高精度は、導波光子のグループ速度より遥かに小
さい伝播速度をもつ屈折率変動の波を発生させる
ために用いることができる。いま、有効屈折率＝
2.3とすると、グループ速度Vgは、1.3×108m／ｓ
程度である。この速度の波に位相が整合する屈折
率の変動を生成するために、２・103m／secない
し５・103m／secの位相速度Vaをもつ音響波の使
用が考えられる。
る技術は現在、数センチメータの矩形の外形が得
られ、その配列誤差は、並進運動の干渉計チエツ
クに使用される波長の10分の１程度である。この
高精度は、導波光子のグループ速度より遥かに小
さい伝播速度をもつ屈折率変動の波を発生させる
ために用いることができる。いま、有効屈折率＝
2.3とすると、グループ速度Vgは、1.3×108m／ｓ
程度である。この速度の波に位相が整合する屈折
率の変動を生成するために、２・103m／secない
し５・103m／secの位相速度Vaをもつ音響波の使
用が考えられる。
第３図は、本発明の光集積回路を示す。
これは、たとえばリチウムニオブ酸塩の基板７
を備え、その表面８と両端を揃えて２つの単一モ
ードの導波路１０，１１がチタニウムの局部的な
拡散によつて得られる。最小結合長Lpの結合部
は、直交基準座標系OXYZの軸OXと平行に並べ
られている。表面８の平面はOXYで、この平面
内に表面弾性波が放射され、その波面は通常、軸
OYに平行な方向と角度θをなす方向Ｕをもつ。
表面弾性波は、発電機９によつて駆動される電気
機械変換器により発射される。この電気機械変換
器はたとえば、互いに噛み合わされた
（interdigited）くしの形で、２つの電極５，６を
備えている。導波路１０，１１および電極５，６
の形状は、フオトリソグラフイによつて最高精度
に定められる。次に、表面弾性波の波面は極めて
小さな傾角で導波路と交差する。この小さな傾角
は大きなカツプリング長さLp全体にわたつて維持
される。第３図では、導波路１０，１１の間隔
と、電気機械変換器の電極５，６の歯の傾きθと
は非常に誇張して画かれている。
を備え、その表面８と両端を揃えて２つの単一モ
ードの導波路１０，１１がチタニウムの局部的な
拡散によつて得られる。最小結合長Lpの結合部
は、直交基準座標系OXYZの軸OXと平行に並べ
られている。表面８の平面はOXYで、この平面
内に表面弾性波が放射され、その波面は通常、軸
OYに平行な方向と角度θをなす方向Ｕをもつ。
表面弾性波は、発電機９によつて駆動される電気
機械変換器により発射される。この電気機械変換
器はたとえば、互いに噛み合わされた
（interdigited）くしの形で、２つの電極５，６を
備えている。導波路１０，１１および電極５，６
の形状は、フオトリソグラフイによつて最高精度
に定められる。次に、表面弾性波の波面は極めて
小さな傾角で導波路と交差する。この小さな傾角
は大きなカツプリング長さLp全体にわたつて維持
される。第３図では、導波路１０，１１の間隔
と、電気機械変換器の電極５，６の歯の傾きθと
は非常に誇張して画かれている。
第３図の光集積回路の動作モードは、第４図お
よび第５図を用いてさらに理解されよう。
よび第５図を用いてさらに理解されよう。
第４図は、任意の時刻において表面８の平面内
の表面弾性波の作用で形成された機械的ストレス
の形状を示す。表面弾性波はたとえばレイリー波
でよい。２つの導波路１０，１１の軸線X1，X2
は、距離ａだけ離間され、それらの巾ｂはａ以下
である。表面弾性波は、波面１９，２０，２１，
２２，２３，２４，２５によつて示され、これら
は傾角θで軸線X1，X2と交差する。横軸をＵ、
縦軸をＡとする図は表面弾性波によつてつくられ
る機械的ストレスの変化を示す。第４図の場合、
このストレスは、曲線１８によつて示されている
ように、正弦曲線を描く。この波は、波面に対し
て直角方向に向く表面弾性波の速度Vaで進行す
る。
の表面弾性波の作用で形成された機械的ストレス
の形状を示す。表面弾性波はたとえばレイリー波
でよい。２つの導波路１０，１１の軸線X1，X2
は、距離ａだけ離間され、それらの巾ｂはａ以下
である。表面弾性波は、波面１９，２０，２１，
２２，２３，２４，２５によつて示され、これら
は傾角θで軸線X1，X2と交差する。横軸をＵ、
縦軸をＡとする図は表面弾性波によつてつくられ
る機械的ストレスの変化を示す。第４図の場合、
このストレスは、曲線１８によつて示されている
ように、正弦曲線を描く。この波は、波面に対し
て直角方向に向く表面弾性波の速度Vaで進行す
る。
傾角θは、導波路の軸線X1またはX2に沿う表
面弾性波の見掛けの速度が導波光子のグループ速
度Vgと一致するように選ばれる。したがつて次
の関係式を得る。
面弾性波の見掛けの速度が導波光子のグループ速
度Vgと一致するように選ばれる。したがつて次
の関係式を得る。
Va＝Vg・sinθ
比（Va／Vg）の極めて低い値を考慮すると、
次のようになる。
次のようになる。
Va／Vg＝θ，
ここでcosθ＝１である。
横座標x1において、大きさ等しく逆符号の屈折
率変化Δnが導波路１０，１１に作用するという
簡単な場合には、最大ストレス＋Ａ，−Ａに対応
する波面２０，２２は相互にλa／２、一般には
（2k−１）λa／２だけ距たつている。
率変化Δnが導波路１０，１１に作用するという
簡単な場合には、最大ストレス＋Ａ，−Ａに対応
する波面２０，２２は相互にλa／２、一般には
（2k−１）λa／２だけ距たつている。
ここでｋは任意の正の整数、λaは表面弾性波の
波長である。この結果、横座標x0，x2，x4で全屈
折率変化2Δnはゼロであり、横座標x1，x3で、そ
れぞれ負および正の最大になる。第２図のΔβ／
2cをパラメータとして使用して、第４図にはｘに
対する導波光の位相定数の変化が示されている。
正弦曲線１６は、無限に薄い導波路（ｂ＝０）に
関し、破線の曲線１７は、実際の導波路（ｂ≠
０）に関する曲線である。
波長である。この結果、横座標x0，x2，x4で全屈
折率変化2Δnはゼロであり、横座標x1，x3で、そ
れぞれ負および正の最大になる。第２図のΔβ／
2cをパラメータとして使用して、第４図にはｘに
対する導波光の位相定数の変化が示されている。
正弦曲線１６は、無限に薄い導波路（ｂ＝０）に
関し、破線の曲線１７は、実際の導波路（ｂ≠
０）に関する曲線である。
λgは屈折率変化の導波路方向の空間的周期であ
り、λaが表面弾性波の波長であることから、つぎ
の式を得る。
り、λaが表面弾性波の波長であることから、つぎ
の式を得る。
λa／λg＝θ
ａ＝（2k−１）λa／２
横座標x0，x2，x4を占める光子は、全エネルギ
ー移行を受けるが、これらの横座標の中間位置の
光子は、これらの横座標から離れれば離れるほ
ど、エネルギー移行率が少なくなる。第２図の曲
線を考慮すると、チヤネル１に連続光が入射され
たとき方向性結合器のチヤネル３，４に到達する
放射強度の傾向がわかる。
ー移行を受けるが、これらの横座標の中間位置の
光子は、これらの横座標から離れれば離れるほ
ど、エネルギー移行率が少なくなる。第２図の曲
線を考慮すると、チヤネル１に連続光が入射され
たとき方向性結合器のチヤネル３，４に到達する
放射強度の傾向がわかる。
第５図の曲線６０は方向性結合器のチヤネル１
の入射エネルギーI1を示す。表面弾性波によつて
発生された応力Ａは曲線６３によつて示されてい
る。これら２つの曲線は、同じ時間尺度ｔで示さ
れている。チヤネル３，４に到達する光エネルギ
ーI3I4は、曲線６２，６１により示され、これら
は相互に補完的である。曲線６１，６２は最小結
合長Lpについての伝送遅れLp／Vgを考慮して、
（ｔ−Lp／Vg）を時間尺度として表示されている。
の入射エネルギーI1を示す。表面弾性波によつて
発生された応力Ａは曲線６３によつて示されてい
る。これら２つの曲線は、同じ時間尺度ｔで示さ
れている。チヤネル３，４に到達する光エネルギ
ーI3I4は、曲線６２，６１により示され、これら
は相互に補完的である。曲線６１，６２は最小結
合長Lpについての伝送遅れLp／Vgを考慮して、
（ｔ−Lp／Vg）を時間尺度として表示されている。
チヤネル４の出力は、第２図の外形をもつパル
スであつて、これらのパルスの幅は横座標x0，
x2，x4付近の屈折率の勾配が大きい程狭くなる。
パルスの周期は、表面弾性波の周期の半分に等し
い。
スであつて、これらのパルスの幅は横座標x0，
x2，x4付近の屈折率の勾配が大きい程狭くなる。
パルスの周期は、表面弾性波の周期の半分に等し
い。
チヤネル４に到達するパルス列は、結合長をど
のように選択しても周期関数になる。しかし、全
エネルギー移行を達成するためには、長さLpは適
当に選択されなければならない。
のように選択しても周期関数になる。しかし、全
エネルギー移行を達成するためには、長さLpは適
当に選択されなければならない。
作動特性は、つぎの関係式で表わされる。
Va／Vg＝θ (1)
Ｔ＝λa／Va＝2a／（2k−１）Va (2)
Lp＝（2k′−１）π／2c (3)
ここで、ｋ，k′は正の整数、Ｔは表面弾性波の
周期である。
周期である。
一例（この例は本発明を限定するものではな
い）としてｋ，k′が１に等しく、基板がリチウム
ニオブ酸塩で導波路がチタニウムの拡散によつて
得られる場合、実効屈折率neは2.3に等しく、こ
れはグルプ速度Vg＝1.304×108m／secを与える。
表面弾性波の速度Va＝3500m／secのとき、傾角
θは0.0000268ラジアンになる。
い）としてｋ，k′が１に等しく、基板がリチウム
ニオブ酸塩で導波路がチタニウムの拡散によつて
得られる場合、実効屈折率neは2.3に等しく、こ
れはグルプ速度Vg＝1.304×108m／secを与える。
表面弾性波の速度Va＝3500m／secのとき、傾角
θは0.0000268ラジアンになる。
間隔ａ＝7.7μmで全エネルギー移行を与える結
合長Lpを10cmとすると表面弾性波の波長はλa＝
15.4μmである。また、電気機械変換器のエネル
ギー供給の周波数aは、227MHzに等しい。
合長Lpを10cmとすると表面弾性波の波長はλa＝
15.4μmである。また、電気機械変換器のエネル
ギー供給の周波数aは、227MHzに等しい。
２つの導波路の結合によつてチヤネル４に生じ
た２つのパルス間の時間間隔は、約2.2nsである。
た２つのパルス間の時間間隔は、約2.2nsである。
屈折率変化Δnの正弦曲線的変化を考慮すると
共に、第２図の曲線を参照すると、半値巾ｄに関
係する期間τが計算される。この期間は次の値を
有する。
共に、第２図の曲線を参照すると、半値巾ｄに関
係する期間τが計算される。この期間は次の値を
有する。
τ＝0.8／4πΔn・λ0／Lp・Ｔ
ここでλ0は真空中の光の波長である。単色光の
場合、この期間は定まつた値をもつ。
場合、この期間は定まつた値をもつ。
引用された実例は、λ0＝1μm、Δn＝10-3で、
期間τは2.8ピコ秒になる。導波路の巾がゼロで
ないから、Δβ／2cの変化の傾向は、完全な正弦曲線 でなく、期間の拡がりを生ずる。しかし、周波数
2.6GHzの表面弾性波を使用することによつて、
１ピコ秒の何分の１程度のパルス幅のパルスが得
られる。
期間τは2.8ピコ秒になる。導波路の巾がゼロで
ないから、Δβ／2cの変化の傾向は、完全な正弦曲線 でなく、期間の拡がりを生ずる。しかし、周波数
2.6GHzの表面弾性波を使用することによつて、
１ピコ秒の何分の１程度のパルス幅のパルスが得
られる。
第３図の方向性結合器によつて、全エネルギー
移行が行われる結合長の電気的調節を意図するこ
とができる。この目的のために、第６図に示され
るように電極が設けられる。導波路１１は、結合
長の全長にわたつて、第１の電極３９によつて覆
われ、導波路１０は２つの電極３８，４０によつ
て半々に覆われる。発電機４１は電極３８，４０
に調節可能なバイアス用の電圧を供給する。電気
光学効果によつて、この電圧は、全エネルギー移
行を実現するように位相定数に影響する。
移行が行われる結合長の電気的調節を意図するこ
とができる。この目的のために、第６図に示され
るように電極が設けられる。導波路１１は、結合
長の全長にわたつて、第１の電極３９によつて覆
われ、導波路１０は２つの電極３８，４０によつ
て半々に覆われる。発電機４１は電極３８，４０
に調節可能なバイアス用の電圧を供給する。電気
光学効果によつて、この電圧は、全エネルギー移
行を実現するように位相定数に影響する。
前記の関係(1)は、導波路に対する波面の傾角θ
を与える。上述の図面について、θ＝0.0000268
ラジアンは、導波路の長さ10cm当りについて、わ
ずかに2.68ミクロン（10cm×2.68×10-5rad）のレ
ベル変化を生ずるので傾角θは非常に小さい。
（ここで、レベルと導波路を基準とする位置をい
う。導波路が水平方向を向くとき導波路に対する
高さである。） レベルのこの変化は現在のフオトリソグラフイ
技術の範囲内にあつて、導波路とくし歯形の電極
の画定は、極めて正確に達成される。
を与える。上述の図面について、θ＝0.0000268
ラジアンは、導波路の長さ10cm当りについて、わ
ずかに2.68ミクロン（10cm×2.68×10-5rad）のレ
ベル変化を生ずるので傾角θは非常に小さい。
（ここで、レベルと導波路を基準とする位置をい
う。導波路が水平方向を向くとき導波路に対する
高さである。） レベルのこの変化は現在のフオトリソグラフイ
技術の範囲内にあつて、導波路とくし歯形の電極
の画定は、極めて正確に達成される。
しかし、波面の所望の傾角を得るために、偏向
用領域を用いると有効である。この方法は、第７
図に示されている。第７図において変換器５−６
のくし歯は、導波路１０，１１の直線部分１０−
１１に平行に向けられている。表面弾性波を偏向
する偏向用手段２７は変換器５−６と方向性結合
器の直線部分１０−１１との間に挿入されてい
る。偏向用手段として、測地線型の屈折を生ずる
ように水盤状にくり抜かれたプリズム状の領域が
用いられる。電界を短絡することによりまたは質
量効果によつて、表面弾性波の位相速度を変更す
る三角形の層を被覆することもできる。基板の構
造は、イオン衝撃によつてさらに変形されること
ができる。または電極を設け、この電極をバイア
ス用電源４２と接続して、基板を形成する材料の
圧電気テンソルの非線形性による位相シフトを導
入することもできる。
用領域を用いると有効である。この方法は、第７
図に示されている。第７図において変換器５−６
のくし歯は、導波路１０，１１の直線部分１０−
１１に平行に向けられている。表面弾性波を偏向
する偏向用手段２７は変換器５−６と方向性結合
器の直線部分１０−１１との間に挿入されてい
る。偏向用手段として、測地線型の屈折を生ずる
ように水盤状にくり抜かれたプリズム状の領域が
用いられる。電界を短絡することによりまたは質
量効果によつて、表面弾性波の位相速度を変更す
る三角形の層を被覆することもできる。基板の構
造は、イオン衝撃によつてさらに変形されること
ができる。または電極を設け、この電極をバイア
ス用電源４２と接続して、基板を形成する材料の
圧電気テンソルの非線形性による位相シフトを導
入することもできる。
表面弾性波の吸収は、吸収性物質２６の層によ
つて与えられ、この層は、方向性結合器の下流に
配置される。第７図に示される他の改良は、周波
数Ｆ，3F，5Fのいくつかの電圧を、変換器５−
６に供給することにある。回路２８，２９，３０
を調節することによつて、屈折率変化の波が導波
路１０，１１と交差するとき、急勾配の波面をも
つように、これらの電圧の振幅と位相が調節され
る。
つて与えられ、この層は、方向性結合器の下流に
配置される。第７図に示される他の改良は、周波
数Ｆ，3F，5Fのいくつかの電圧を、変換器５−
６に供給することにある。回路２８，２９，３０
を調節することによつて、屈折率変化の波が導波
路１０，１１と交差するとき、急勾配の波面をも
つように、これらの電圧の振幅と位相が調節され
る。
屈折率変化の波面の、この急勾配によつて結合
パルス（方向性結合器の２つの導波路間のエネル
ギー移行によつて生ずるパルス）のパルス幅が減
少する。
パルス（方向性結合器の２つの導波路間のエネル
ギー移行によつて生ずるパルス）のパルス幅が減
少する。
第８図は、電気機械変換器が、いくつかの部分
３５，３６，３７に分割されてもよいことを示
す。電圧の供給端子３３，３４に接続される位相
シフト回路３１，３２を介して、これらの部分に
電圧を供給することにより、位相の調節条件に対
応する波面の傾斜θが形成されるように、放射さ
れる波面をいくらか修正することができる。位相
シフト回路３１，３２は、基板８搭載された調節
可能な長さの接続によつて効果的に形成される。
３５，３６，３７に分割されてもよいことを示
す。電圧の供給端子３３，３４に接続される位相
シフト回路３１，３２を介して、これらの部分に
電圧を供給することにより、位相の調節条件に対
応する波面の傾斜θが形成されるように、放射さ
れる波面をいくらか修正することができる。位相
シフト回路３１，３２は、基板８搭載された調節
可能な長さの接続によつて効果的に形成される。
第９図には、２つの方向性結合器を使用する光
パルス列伝送システムが示されている。単色の連
続光源４３は、方向性結合器４４のチヤネル１に
結合される。この結合器は、交流発電機４５の制
御のもとにおかれ、この発電機の出力は電気機械
変換器に入力される。方向性結合器４４のチヤネ
ルは、交流発電機４５の周波数の２倍の周波数
で、極めて短かいパルスを出力する。方向性結合
器４４から出力されたパルスは、方向性結合器４
４と同じ構造をもつ方向性結合器４６のチヤネル
１に印加される。方向性結合器４６のチヤネル
３，４は、光検出器４８，４９に接続され、その
出力は比較回路５０の２つの入力に印加される。
方向性結合器４６は、調節可能なチユーニングを
することができる交流発電機４７の制御のもとに
おかれる。比較回路５０は、交流発電機４７の周
波数・同調を制御する。もし交流発電機４５を第
１のクロツクとし、そして交流発電機４７を第２
のクロツクとすると、第９図のシステムによつて
２つのクロツクの周波数および位相をロツクする
ことができる。比較回路５０はは、２つの検出器
４８，４９によつて測定されるエネルギー移行率
に依存するチユーニング信号を生成にする。交流
発電機４７のクロツクのロツクは、方向性結合器
４６のチヤネル４のみが、チヤネル１に注入され
たパルスを出力するときに実現される。チヤネル
４への全エネルギ移行が低下したときには新たな
チユーニング動作（周波数および位相をロツクす
るための調整）が開始される。
パルス列伝送システムが示されている。単色の連
続光源４３は、方向性結合器４４のチヤネル１に
結合される。この結合器は、交流発電機４５の制
御のもとにおかれ、この発電機の出力は電気機械
変換器に入力される。方向性結合器４４のチヤネ
ルは、交流発電機４５の周波数の２倍の周波数
で、極めて短かいパルスを出力する。方向性結合
器４４から出力されたパルスは、方向性結合器４
４と同じ構造をもつ方向性結合器４６のチヤネル
１に印加される。方向性結合器４６のチヤネル
３，４は、光検出器４８，４９に接続され、その
出力は比較回路５０の２つの入力に印加される。
方向性結合器４６は、調節可能なチユーニングを
することができる交流発電機４７の制御のもとに
おかれる。比較回路５０は、交流発電機４７の周
波数・同調を制御する。もし交流発電機４５を第
１のクロツクとし、そして交流発電機４７を第２
のクロツクとすると、第９図のシステムによつて
２つのクロツクの周波数および位相をロツクする
ことができる。比較回路５０はは、２つの検出器
４８，４９によつて測定されるエネルギー移行率
に依存するチユーニング信号を生成にする。交流
発電機４７のクロツクのロツクは、方向性結合器
４６のチヤネル４のみが、チヤネル１に注入され
たパルスを出力するときに実現される。チヤネル
４への全エネルギ移行が低下したときには新たな
チユーニング動作（周波数および位相をロツクす
るための調整）が開始される。
本発明は、単一の方向性結合器が表面弾性波の
進路に配置される場合のみに限定されない。第１
０図では、２つの方向性結合器構造５１，５３
が、電気機械変換器５２の各側に配置されてい
る。電気機械変換器５２の歯は、２つの方向性結
合器５１，５３のコリニア部分に対して傾斜して
いる。第１０図の場合、導波路はすべて平行であ
る。チヤネルの番号付けは結合が行われる方向を
示している。いくつかの方向性結合器が、電気機
械変換器５２の各側に設けられてもよい。逆に、
１つの方向性結合器が、基板７に配置されている
幾つかの電気機械変換器から来る表面弾性波によ
つて照射されてもよい。これらの電気機械変換器
を交互に動作することによつて、そして波面の傾
きを適切に選ぶことによつて、両方の伝達方向の
方向性結合を達成することができる。
進路に配置される場合のみに限定されない。第１
０図では、２つの方向性結合器構造５１，５３
が、電気機械変換器５２の各側に配置されてい
る。電気機械変換器５２の歯は、２つの方向性結
合器５１，５３のコリニア部分に対して傾斜して
いる。第１０図の場合、導波路はすべて平行であ
る。チヤネルの番号付けは結合が行われる方向を
示している。いくつかの方向性結合器が、電気機
械変換器５２の各側に設けられてもよい。逆に、
１つの方向性結合器が、基板７に配置されている
幾つかの電気機械変換器から来る表面弾性波によ
つて照射されてもよい。これらの電気機械変換器
を交互に動作することによつて、そして波面の傾
きを適切に選ぶことによつて、両方の伝達方向の
方向性結合を達成することができる。
本発明は、圧電気性基板に搭載されたインター
デイジタル構造の電極をもつ電気機械変換器に制
限されない。
デイジタル構造の電極をもつ電気機械変換器に制
限されない。
事実、前記の相互作用は、基板７が圧電気性で
あることも、それが電気光学物質からなることを
も意味していない。
あることも、それが電気光学物質からなることを
も意味していない。
第１１図には、たて波または横波を発射する、
電気機械変換器５５によつて弾性波が放射される
方向性結合器が示されている。カプリングプリズ
ム５４は、電気機械変換器５５によつて放射され
る波の速度を、表面８によつて伝達される弾性波
の速度に整合させる。
電気機械変換器５５によつて弾性波が放射される
方向性結合器が示されている。カプリングプリズ
ム５４は、電気機械変換器５５によつて放射され
る波の速度を、表面８によつて伝達される弾性波
の速度に整合させる。
前述された記載において、唯一の必要条件は、
表面弾性波面の傾きθがつぎの関係式を確実に満
たすことである。
表面弾性波面の傾きθがつぎの関係式を確実に満
たすことである。
θ＝Va／Vg
動作の説明を容易にするため、今まで仮定され
たことは、最大エネルギー移行を達成するため
に、方向性結器に沿う同一位置にある２つの光子
が同一のゼロ屈折率変化を受けなければならない
ことである。しかし、この条件は必要条件ではな
い。
たことは、最大エネルギー移行を達成するため
に、方向性結器に沿う同一位置にある２つの光子
が同一のゼロ屈折率変化を受けなければならない
ことである。しかし、この条件は必要条件ではな
い。
一般的な研究によると、条件λa＝2a／（2k−１）が
ｋの正の正数値に対して正確に満足されなくて
も、チヤネル４でパルスが得られる。これらパル
スの時間間隔は均等ではなく、かつ、パルス幅は
広くなる。
も、チヤネル４でパルスが得られる。これらパル
スの時間間隔は均等ではなく、かつ、パルス幅は
広くなる。
パルスの幅は、つぎの関係式によつて与えられ
る。
る。
τ＝0.8λ0／4πLp・（Ｔ／Δn）
１／sinπa／λa
とくに、フアクタ１／sinπa／λaは、ｋの正の整数
に等しいとき１に等しい。他方、このフアクタ
は、もしｋが奇数の1/2に等しいとき、無限大に
なる。
は、もしｋが奇数の1/2に等しいとき、無限大に
なる。
この後者の式は、つぎのことを示す。すなわち
パルス幅τは、表面弾性波の振幅または周波数を
変化させることによつて変更される。周波数が変
化すると、パルスは等時性でなくなる。
パルス幅τは、表面弾性波の振幅または周波数を
変化させることによつて変更される。周波数が変
化すると、パルスは等時性でなくなる。
第１図，第２図はそれぞれ説明図である。第３
図は、本発明による光集積回路を示す斜視図であ
る。第４図は説明図である。第５図は、第３図の
装置によつてつくられるエネルギ閉じ込めを説明
する図である。第６図は第３図の装置の第１の変
形例を示す。第７図は第３図の装置の第２の変形
例を示す。第８図は第３図の装置の第３の変形例
を示す。第９図は、本発明による構造を使用した
光パルス列伝送システムのブロツク図を示す。第
１０図は第３図の装置の第４の変形例を示す。第
１１図は第３図の装置の第５図の変形例を示す。 １，２，３，４…チヤネル、５，６…電極、７
…基板、８…表面、９…発電機、１０，１１…導
波路、Lp…結合長、θ…傾角。
図は、本発明による光集積回路を示す斜視図であ
る。第４図は説明図である。第５図は、第３図の
装置によつてつくられるエネルギ閉じ込めを説明
する図である。第６図は第３図の装置の第１の変
形例を示す。第７図は第３図の装置の第２の変形
例を示す。第８図は第３図の装置の第３の変形例
を示す。第９図は、本発明による構造を使用した
光パルス列伝送システムのブロツク図を示す。第
１０図は第３図の装置の第４の変形例を示す。第
１１図は第３図の装置の第５図の変形例を示す。 １，２，３，４…チヤネル、５，６…電極、７
…基板、８…表面、９…発電機、１０，１１…導
波路、Lp…結合長、θ…傾角。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 所定の結合長にわたつてエネルギーの交換を
生ずる２つの光導波路が表面に配列されている基
板を備え、前記エネルギーの交換は、前記基板の
表面に沿つて屈折率変動を誘起させる表面弾性波
の進行波を発射する電気機械変換器を有する速度
整合手段によつて制御され、方向性結合が行われ
る光集積回路において、 前記速度整合手段は、前記屈折率変動を導波光
子に随伴して同期的に伝播させ、Va，Vgをそれ
ぞれ表面弾性波の速度および前記導波光子のグル
ープ速度とするとき、前記屈折率変動の波面が前
記光導波路となす角度がsin-1（Va／Vg）にほぼ
等しくなるように該屈折率変動を該光導波路に到
達させることを特徴とする光集積回路。 ２ 前記表面弾性波の半波長は、前記光導波路の
間の間隔を奇数で割つた値であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項に記載の光集積回路。 ３ 前記変換器がくし形のインターデイジツト構
造の２つの電極から形成されている電気機械変換
器であり、前記基板は、前記電極をその上に搭載
している圧電気材料を含んでいることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項に記載の光集積回路。 ４ 前記基板はリチウムニオブ酸塩によつて形成
され、前記光導波路はチタンの拡散によつて得ら
れることを特徴とする特許請求の範囲第３項に記
載の光集積回路。 ５ 前記基板は、いくつかの方向性結合器を備え
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の光集積回路。 ６ 前記基板は、いくつかの電気機械変換器を備
えていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の光集積回路。 ７ 前記弾性表面波は正弦波であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の光集積回路。 ８ 前記変換器が交番信号ならびにその奇数次の
高周波によつて駆動されることを特徴とする特許
請求の範囲第１項に記載の光集積回路。 ９ 波面を偏向させる手段が前記変換器と前記光
導波路との間に挿入されることを特徴とする特許
請求の範囲第１項に記載の光集積回路。 １０ 結合長の電気的調整のための手段を具備す
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
の光集積回路。 １１ 前記変換器が、位相調整回路を経て入力さ
れる電気機械変換器要素の直線配列を具備してい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
の光集積回路。 １２ 前記結合長は、全エネルギー移行が達成さ
れる長さであることを特徴とする特許請求の範囲
第１項に記載の光集積回路。 １３ 前記表面弾性波の前記波長λa／２が、前記
光導波路間の間隔ａを奇数で割つた値とは異なる
値に選ばれ、結合パルスは１／sin（πa／λa）に比
例して増加するパルス幅を有することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項に記載の光集積回路。 １４ 連続的に光を放射する光源と、方向性結合
器を有する少くとも２つの光集積回路を有し、前
記光源は第１の光集積回路の方向性結合器の入力
チヤンネルに結合され、第１の光集積回路の方向
性結合器の出力チヤネルにから出力される結合パ
ルスは第２の光集積回路の方向性結合器の入力チ
ヤンネルに入力される光パルス列伝送システムに
おいて、 前記第１の光集積回路は、所定の結合長にわた
つてエネルギーの交換を生ずる２つの光導波路が
表面に配列されている基板を備え、前記エネルギ
ーの変換は、前記基板の表面に沿つて屈折率変動
を誘起させる表面弾性波の進行波を発射する電気
機械変換器を有する速度整合手段によつて制御さ
れ、方向性結合が行われる光集積回路であつて、
前記速度整合手段は、前記屈折率変動を導波光子
に随伴して同期的に伝播させ、Va，Vgをそれぞ
れ表面弾性波の速度および前記導波光子のグルー
プ速度とするとき前記屈折率変動の波面が前記光
導波路となす角度がsin-1（Va／Vg）にほぼ等し
くなるように該屈折率変動を該光導波路に到達さ
せる ことを特徴とする光パルス列伝送システム。 １５ 前記光源は単色光を放射することを特徴と
する特許請求の範囲第１４項に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8018772A FR2490835A1 (fr) | 1980-08-29 | 1980-08-29 | Structure optique integree a couplage directionnel conforme |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5774728A JPS5774728A (en) | 1982-05-11 |
| JPH0338575B2 true JPH0338575B2 (ja) | 1991-06-11 |
Family
ID=9245504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56134378A Granted JPS5774728A (en) | 1980-08-29 | 1981-08-28 | Integral optical structure with same directive coupling |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4433895A (ja) |
| EP (1) | EP0047196B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5774728A (ja) |
| DE (1) | DE3161033D1 (ja) |
| FR (1) | FR2490835A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3115562A1 (de) * | 1981-04-16 | 1982-11-11 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Optischer modulator, verfahren zu seinem betrieb und seine verwendung |
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