JPH0339721Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0339721Y2 JPH0339721Y2 JP18977185U JP18977185U JPH0339721Y2 JP H0339721 Y2 JPH0339721 Y2 JP H0339721Y2 JP 18977185 U JP18977185 U JP 18977185U JP 18977185 U JP18977185 U JP 18977185U JP H0339721 Y2 JPH0339721 Y2 JP H0339721Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- particle
- preamplifier
- display device
- amplifying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は、液中、気中等の微粒子を計測しなな
がら、その計測結果を確認できるよう構成された
微粒子モニタの粒子信号表示装置に関するもので
ある。
がら、その計測結果を確認できるよう構成された
微粒子モニタの粒子信号表示装置に関するもので
ある。
さらに詳しくは、本考案は、半導体ウエハー洗
浄用水である超純水中の微粒子やクリーンルーム
中の気中微粒子等を計測する際、水質監視者ある
いは、気体監視者（オペレータ）に現在の水質等
を視覚的に認識させることができるようにしたも
のである。
浄用水である超純水中の微粒子やクリーンルーム
中の気中微粒子等を計測する際、水質監視者ある
いは、気体監視者（オペレータ）に現在の水質等
を視覚的に認識させることができるようにしたも
のである。
［従来の技術］
LSI等の半導体を製造するプロセスにおいて
は、ウエハー加工、マスク作製、製膜工程、写真
製版工程、エツチング工程、その他の治具類の洗
浄等の各洗浄工程では、ウエハー表面に残る薬品
と微粒子などの除去するために超純水を使用して
いる。この超純水中にイオンや微粒子などが存在
すると、ウエハーに組み込まれる酸化膜、多結晶
膜、配線などに悪影響を及ぼし、LSIの電気特性
の不良を生じる恐れがある。そこで、洗浄用超純
水の水質を常時監視するための水質モニタが必要
となる。
は、ウエハー加工、マスク作製、製膜工程、写真
製版工程、エツチング工程、その他の治具類の洗
浄等の各洗浄工程では、ウエハー表面に残る薬品
と微粒子などの除去するために超純水を使用して
いる。この超純水中にイオンや微粒子などが存在
すると、ウエハーに組み込まれる酸化膜、多結晶
膜、配線などに悪影響を及ぼし、LSIの電気特性
の不良を生じる恐れがある。そこで、洗浄用超純
水の水質を常時監視するための水質モニタが必要
となる。
従来、液中又は気中の微粒子を計測するための
モニタに用いられる測定方式としては、光透過法
（光遮断法）、光散乱方式等光を用いたものがあ
る。
モニタに用いられる測定方式としては、光透過法
（光遮断法）、光散乱方式等光を用いたものがあ
る。
光透過法（光遮断法）による微粒子測定の原理
は、光源と光感知部との間に試料液を通過し、こ
の試料液中に含まれる微粒子が光線を遮断して光
感知部の受光量が減少し、微粒子の最大投影面積
に比例した電圧効果を検出して微粒子の粒径を検
出するものである。
は、光源と光感知部との間に試料液を通過し、こ
の試料液中に含まれる微粒子が光線を遮断して光
感知部の受光量が減少し、微粒子の最大投影面積
に比例した電圧効果を検出して微粒子の粒径を検
出するものである。
光散乱方式のものは、光源から試料液に照射さ
れる光が該試料液中に含まれる微粒子によつて散
乱される光強度を検出するものである。
れる光が該試料液中に含まれる微粒子によつて散
乱される光強度を検出するものである。
［考案が解決しようとする問題点］
従来の微粒子モニタにおいては、いずれの方式
においても、粒子個々の対応信号は非周期的で信
号レベルも粒子のサイズ、屈折率によつてそのつ
ど変化するので、開発段階では記憶機能を有する
デジタルオシロスコープ、ストレージオシロスコ
ープ、ウエーブメモリと称される計測器類で観測
されるものであるが、微粒子のオンライン自動カ
ウンタとして商品化された場合、従来、この種の
モニタでは粒子に対応するリアルタイムでの表示
手段は設けられていない。
においても、粒子個々の対応信号は非周期的で信
号レベルも粒子のサイズ、屈折率によつてそのつ
ど変化するので、開発段階では記憶機能を有する
デジタルオシロスコープ、ストレージオシロスコ
ープ、ウエーブメモリと称される計測器類で観測
されるものであるが、微粒子のオンライン自動カ
ウンタとして商品化された場合、従来、この種の
モニタでは粒子に対応するリアルタイムでの表示
手段は設けられていない。
従つて、オペレータは一定時間内のカウント値
から演算されてプリントアウトされた粒子数濃度
（個／ｍ）の値しか読み取れないのでリアルタ
イムでの粒子出現頻度、粒子の大きさ等の観察は
できない。なお、特に観察の必要がある場合に、
記憶機能を有するオシロスコープを用いることが
行われるが、一見しただけで、直ちに粒子の存在
状態を確認でにる利便性ないし実用性に欠ける。
から演算されてプリントアウトされた粒子数濃度
（個／ｍ）の値しか読み取れないのでリアルタ
イムでの粒子出現頻度、粒子の大きさ等の観察は
できない。なお、特に観察の必要がある場合に、
記憶機能を有するオシロスコープを用いることが
行われるが、一見しただけで、直ちに粒子の存在
状態を確認でにる利便性ないし実用性に欠ける。
［問題点を解決するための手段］
本考案の微粒子モニタの粒子信号表示装置は、
微粒子の検出信号の表示手段として、複数個の
LED（ライトエミツテイングダイオード）を例え
ば棒状となるように整列配置すると共に、微粒子
の検出信号に基いてこれらLEDのオン・オフを
行つて微粒子量の表示を行うようにしたのであ
る。
微粒子の検出信号の表示手段として、複数個の
LED（ライトエミツテイングダイオード）を例え
ば棒状となるように整列配置すると共に、微粒子
の検出信号に基いてこれらLEDのオン・オフを
行つて微粒子量の表示を行うようにしたのであ
る。
本考案は、液中又は気中の微粒子を光散乱式に
計測するセンサと、該センサからの信号を増幅す
るための光電子増倍器と、該光電子増倍器からの
電流信号を増幅された電圧信号として増幅するた
めのプリアンプと、該プリアンプからの信号のノ
ズルを分別するためのローパスフイルタと、該ロ
ーパスフイルタからの信号から対象とする粒子径
に応答する信号のみ選択するコンパレータ回路
と、該コンパレータ回路からの信号をLED表示
するための駆動回路と、該駆動回路からの信号に
より微粒子の量を表示するために整列配置された
複数個のLEDとを備えたことを特徴とする。
計測するセンサと、該センサからの信号を増幅す
るための光電子増倍器と、該光電子増倍器からの
電流信号を増幅された電圧信号として増幅するた
めのプリアンプと、該プリアンプからの信号のノ
ズルを分別するためのローパスフイルタと、該ロ
ーパスフイルタからの信号から対象とする粒子径
に応答する信号のみ選択するコンパレータ回路
と、該コンパレータ回路からの信号をLED表示
するための駆動回路と、該駆動回路からの信号に
より微粒子の量を表示するために整列配置された
複数個のLEDとを備えたことを特徴とする。
［作用］
本考案では、検出した粒子信号に対応して
LEDを作動させるので、リアルタイムで、即ち、
その時点での粒子の存在状況を直ちに視覚でき、
しかも、LEDを整列配置してあるから、一目で
粒子存在状況を視覚できる。
LEDを作動させるので、リアルタイムで、即ち、
その時点での粒子の存在状況を直ちに視覚でき、
しかも、LEDを整列配置してあるから、一目で
粒子存在状況を視覚できる。
［実施例］
以下図面を参照して実施例について説明する。
第１図は本考案の実施例に係る微粒子モニタの
粒子信号表示装置の構成を示すブロツク図であ
る。
粒子信号表示装置の構成を示すブロツク図であ
る。
本実施例は本考案を光散乱式の微粒子モニタに
適用した例である。第１図において、図示されて
いない光源からの光エネルギーにより微粒子から
発散される微弱な散乱光は、集光された後、光電
子倍管（PMT）１で光電変換・増幅される。
PMT出力電流はプリアンプ２で電圧信号として
更に増幅され、次段のローパスフイルタ回路３で
ノイズと粒子信号を弁別する。この出力信号はコ
ンパレータ回路４を介して波高値レベルによつて
対象とする粒子サイズに応じた信号のみを拾い出
し、次段のパルス波形整形回路７に送られると同
時に、LED表示駆動回路５に送られる。パルス
波形整形回路７を経た信号は演算回路８に取り込
まれ、粒子数濃度（個／ｍ）値としてプリンタ
９によりプリントアウトされる。
適用した例である。第１図において、図示されて
いない光源からの光エネルギーにより微粒子から
発散される微弱な散乱光は、集光された後、光電
子倍管（PMT）１で光電変換・増幅される。
PMT出力電流はプリアンプ２で電圧信号として
更に増幅され、次段のローパスフイルタ回路３で
ノイズと粒子信号を弁別する。この出力信号はコ
ンパレータ回路４を介して波高値レベルによつて
対象とする粒子サイズに応じた信号のみを拾い出
し、次段のパルス波形整形回路７に送られると同
時に、LED表示駆動回路５に送られる。パルス
波形整形回路７を経た信号は演算回路８に取り込
まれ、粒子数濃度（個／ｍ）値としてプリンタ
９によりプリントアウトされる。
一方、LED駆動回路５は入力信号を増幅した
後、積分回路を介し、ピークレベルを平均化する
等の手段によつて応答速度を遅らせ、人の視覚に
マツチさせる信号として、レベルメータ用IC対
数アンプに入力し、その出力信号で例えば12個の
LED素子６ａを備えてなる表示部６のLED素子
を駆動する。12個のLED素子６ａは棒状に配列
されており、入力レベルに対応した数だけの
LED素子６ａが端から順に作動され、−20〜6dB
の範囲を12点表示することになる。（例えば、入
力信号レベルが−10〜−7dBの範囲にあれば、図
の下端側から合計３個のLED素子６ａがオンと
なる。また、入力信号レベルが２〜3dBの範囲に
あれば、図の下端側から合計11個のLED素子６
ａがオンとなる。） 従つて、本実施例装置では、表示部６を一見し
ただけで、直ちに、その時点における粒子の存在
状態を認識することができる。
後、積分回路を介し、ピークレベルを平均化する
等の手段によつて応答速度を遅らせ、人の視覚に
マツチさせる信号として、レベルメータ用IC対
数アンプに入力し、その出力信号で例えば12個の
LED素子６ａを備えてなる表示部６のLED素子
を駆動する。12個のLED素子６ａは棒状に配列
されており、入力レベルに対応した数だけの
LED素子６ａが端から順に作動され、−20〜6dB
の範囲を12点表示することになる。（例えば、入
力信号レベルが−10〜−7dBの範囲にあれば、図
の下端側から合計３個のLED素子６ａがオンと
なる。また、入力信号レベルが２〜3dBの範囲に
あれば、図の下端側から合計11個のLED素子６
ａがオンとなる。） 従つて、本実施例装置では、表示部６を一見し
ただけで、直ちに、その時点における粒子の存在
状態を認識することができる。
なお、上記実施例では、12個のLED素子を配
列させているが、その他の個数としても良いこと
は明らかである。
列させているが、その他の個数としても良いこと
は明らかである。
また、上記実施例では、LED素子を棒状に配
列させているが、第２図に示すように同心円状に
配列し、入力信号レベルに応じて中心側から等半
径に範囲のLED素子６ａをオンとするようにし
ても良い。さらに、第３図に示すように、グラフ
状に配列しても良い。（第２図、第３図において、
例えば、入力信号レベルが−10〜−7dBの範囲に
あればＡ，Ｂ及びＣの領域にある各LED素子を
オンとする。また、入力信号レベルが２〜3dBの
範囲にあれば、Ａ〜Ｋの領域にある各LED素子
をオンとし、Ｌの領域のLED素子のみオフとす
る。）このように、本考案では、LED素子は目視
し易く配列されていれば良く、その他の配列方式
に従つても良い。
列させているが、第２図に示すように同心円状に
配列し、入力信号レベルに応じて中心側から等半
径に範囲のLED素子６ａをオンとするようにし
ても良い。さらに、第３図に示すように、グラフ
状に配列しても良い。（第２図、第３図において、
例えば、入力信号レベルが−10〜−7dBの範囲に
あればＡ，Ｂ及びＣの領域にある各LED素子を
オンとする。また、入力信号レベルが２〜3dBの
範囲にあれば、Ａ〜Ｋの領域にある各LED素子
をオンとし、Ｌの領域のLED素子のみオフとす
る。）このように、本考案では、LED素子は目視
し易く配列されていれば良く、その他の配列方式
に従つても良い。
本考案においては、PMT、プリアンプ、ロー
パスフイルタ回路、パルス波高値コンパレータ、
LED表示駆動回路等は、いずれも、その構成は
特に限定されるものではなく、各種のものを用い
得る。例えば、第１図の装置に用いるLED表示
駆動回路としては、−20〜6dBの12階段の信号レ
ベルに応じて＋１の出力をなす出力端子を12個並
設し、各出力端子を、当該信号レベルに対応する
LED素子及びそれよりも低信号レベル側の各
LED素子に接続するものなどを用い得る。
パスフイルタ回路、パルス波高値コンパレータ、
LED表示駆動回路等は、いずれも、その構成は
特に限定されるものではなく、各種のものを用い
得る。例えば、第１図の装置に用いるLED表示
駆動回路としては、−20〜6dBの12階段の信号レ
ベルに応じて＋１の出力をなす出力端子を12個並
設し、各出力端子を、当該信号レベルに対応する
LED素子及びそれよりも低信号レベル側の各
LED素子に接続するものなどを用い得る。
本考案において、微粒子計測装置としては、光
遮断方式、光散乱方式などに基いた公知の各種の
装置を用いることができる。また、本出願人より
特願昭60−109932号にて提案されているもの、即
ち、試料液を保持するセル内に光束を導入し、試
料液の散乱光強度を光強度検出手段で検出して液
中の微粒子を計測する装置において、該セルは第
１の開口を有し、前記光束はこの第１の開口を通
してセル内に導入されると共に、試料液を透過し
た光束の照射位置に光束消滅手段が設けられてい
ることを特徴とする液中の微粒子計測装置、など
も好適に用いることができる。
遮断方式、光散乱方式などに基いた公知の各種の
装置を用いることができる。また、本出願人より
特願昭60−109932号にて提案されているもの、即
ち、試料液を保持するセル内に光束を導入し、試
料液の散乱光強度を光強度検出手段で検出して液
中の微粒子を計測する装置において、該セルは第
１の開口を有し、前記光束はこの第１の開口を通
してセル内に導入されると共に、試料液を透過し
た光束の照射位置に光束消滅手段が設けられてい
ることを特徴とする液中の微粒子計測装置、など
も好適に用いることができる。
［考案の効果］
以上の説明から明らかな通り、本考案の微粒子
モニタの粒子信号表示装置によれば粒子の存在状
態を、リアルタイムでかつ一目で視覚することが
できる。
モニタの粒子信号表示装置によれば粒子の存在状
態を、リアルタイムでかつ一目で視覚することが
できる。
第１図は実施例に係る微粒子モニタの粒子信号
表示装置の構成を示すブロツク図、第２図及び第
３図はLED素子の他の配列例を示す図である。 １……光電子増倍管、２……プリアンプ、３…
…ローパスフイルタ回路、４……コンパレータ、
５……LED駆動回路、６……表示部、６ａ……
LED素子。
表示装置の構成を示すブロツク図、第２図及び第
３図はLED素子の他の配列例を示す図である。 １……光電子増倍管、２……プリアンプ、３…
…ローパスフイルタ回路、４……コンパレータ、
５……LED駆動回路、６……表示部、６ａ……
LED素子。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 液中又は気中の微粒子を光散乱式に計測する
センサと、該センサからの信号を増幅するため
の光電子増倍器と、該光電子増倍器からの電流
信号を増幅された電圧信号として増幅するため
のプリアンプと、該プリアンプからの信号のノ
ズルを分別するためのローパスフイルタと、該
ローパスフイルタからの信号から対象とする粒
子径に応答する信号のみ選択するコンパレータ
回路と、該コンパレータ回路からの信号を
LED表示するための駆動回路と、該駆動回路
からの信号により微粒子の量を表示するために
整列配置された複数個のLEDとを備えてなる
微粒子モニタの粒子信号表示装置。 (2) 前記複数個のLEDは、棒状に配置されてい
る実用新案登録請求の範囲第１項に記載の微粒
子モニタの粒子信号表示装置。 (3) 前記コンパレータ回路に、演算器及びパルス
波形整形回路を介して接続されたプリアンプを
有する実用新案登録請求の範囲第２項に記載の
微粒子モニタの粒子信号表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18977185U JPH0339721Y2 (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18977185U JPH0339721Y2 (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6297943U JPS6297943U (ja) | 1987-06-22 |
| JPH0339721Y2 true JPH0339721Y2 (ja) | 1991-08-21 |
Family
ID=31142363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18977185U Expired JPH0339721Y2 (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0339721Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-12-10 JP JP18977185U patent/JPH0339721Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6297943U (ja) | 1987-06-22 |
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