JPH0339831U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0339831U JPH0339831U JP10066289U JP10066289U JPH0339831U JP H0339831 U JPH0339831 U JP H0339831U JP 10066289 U JP10066289 U JP 10066289U JP 10066289 U JP10066289 U JP 10066289U JP H0339831 U JPH0339831 U JP H0339831U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- slope
- storage case
- grooves
- facing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
Description
第１図Ａ及びＢは本実施例に係るウエーハを示
す平面図及び側面図、第２図はその要部を拡大し
て示す断面図、第３図は本実施例に係るウエーハ
収納用ケースを示す平面図、第４図Ａ及びＢは従
来例に係るウエーハを示す平面図及び側面図、第
５図はその要部を拡大して示す断面図、第６図は
従来例に係るウエーハ収納用ケースを示す平面図
である。 １…ウエーハ、３…段差、１１…ウエーハ収納
用ケース、１２ａ及び１２ｂ…側壁、１３…溝、
１３ａ及び１３ｂ…傾斜面、１４…ウエーハであ
る。
す平面図及び側面図、第２図はその要部を拡大し
て示す断面図、第３図は本実施例に係るウエーハ
収納用ケースを示す平面図、第４図Ａ及びＢは従
来例に係るウエーハを示す平面図及び側面図、第
５図はその要部を拡大して示す断面図、第６図は
従来例に係るウエーハ収納用ケースを示す平面図
である。 １…ウエーハ、３…段差、１１…ウエーハ収納
用ケース、１２ａ及び１２ｂ…側壁、１３…溝、
１３ａ及び１３ｂ…傾斜面、１４…ウエーハであ
る。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 両面が鏡面加工されたウエーハにおいて、 上記ウエーハの片面の外周部に外周の形状に沿
つた段差を設けてなるウエーハ。 ２ 相対向する側壁内面に複数の溝が同ピツチで
形成されたウエーハ収納用ケースにおいて、 ウエーハ収納時に、上記溝のウエーハ表面と対
向する傾斜面の傾斜角とウエーハ裏面と対向する
傾斜面の傾斜角とが夫々異なるように上記溝が形
成されてなるウエーハ収納用ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10066289U JPH0339831U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10066289U JPH0339831U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0339831U true JPH0339831U (ja) | 1991-04-17 |
Family
ID=31649656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10066289U Pending JPH0339831U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0339831U (ja) |
-
1989
- 1989-08-29 JP JP10066289U patent/JPH0339831U/ja active Pending
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