JPH0339834U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0339834U JPH0339834U JP1989101383U JP10138389U JPH0339834U JP H0339834 U JPH0339834 U JP H0339834U JP 1989101383 U JP1989101383 U JP 1989101383U JP 10138389 U JP10138389 U JP 10138389U JP H0339834 U JPH0339834 U JP H0339834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction chamber
- chamber
- load lock
- cvd apparatus
- elevator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の要部を示す断面図
で第２図のＡ部拡大図、第２図は該実施例の概略
側断面図、第３図は第２図のＢ矢視図、第４図は
従来例の概略説明図である。 １……反応室、２……ロードロツク室、８……
エレベータ機構、２０……台座、３１……ローレ
ツト螺子を示す。
で第２図のＡ部拡大図、第２図は該実施例の概略
側断面図、第３図は第２図のＢ矢視図、第４図は
従来例の概略説明図である。 １……反応室、２……ロードロツク室、８……
エレベータ機構、２０……台座、３１……ローレ
ツト螺子を示す。
Claims (1)
- 反応室の下方にロードロツク室を備え、エレベ
ータ機構により、ボートを反応室に装入し、又ボ
ートを反応室からロードロツク室へ取出し得る様
にした縦型ＣＶＤ装置に於いて、反応室をロード
ロツク室内側より着脱可能とすると共に該反応室
を前記エレベータに乗載可能としたことを特徴と
する縦型ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989101383U JPH0339834U (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989101383U JPH0339834U (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0339834U true JPH0339834U (ja) | 1991-04-17 |
Family
ID=31650340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989101383U Pending JPH0339834U (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0339834U (ja) |
-
1989
- 1989-08-30 JP JP1989101383U patent/JPH0339834U/ja active Pending