JPH0340335A - カラー陰極線管螢光面露光装置 - Google Patents
カラー陰極線管螢光面露光装置Info
- Publication number
- JPH0340335A JPH0340335A JP4296189A JP4296189A JPH0340335A JP H0340335 A JPH0340335 A JP H0340335A JP 4296189 A JP4296189 A JP 4296189A JP 4296189 A JP4296189 A JP 4296189A JP H0340335 A JPH0340335 A JP H0340335A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light source
- exposure
- ray tube
- phosphor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はカラー陰極線管のホトリソグラフィによる３原
色螢光体よりなる螢光面形成に際し、高精細度管用の小
径光源の場合でも、大形管用に螢光面の面積が大きい場
合でも、露光対象面上で照度不足とならないようにした
カラー陰極線管螢光面露光装置に関する。
色螢光体よりなる螢光面形成に際し、高精細度管用の小
径光源の場合でも、大形管用に螢光面の面積が大きい場
合でも、露光対象面上で照度不足とならないようにした
カラー陰極線管螢光面露光装置に関する。
［従来の技術］
カラー陰極線管の３ｇ色螢光体をホトリソグラフィによ
り、夫々、多数のドツト状またはストライプ状にしてガ
ラスバルブのパネルの内面に配設する工程では１周知の
如く、感光性螢光体膜の配設しようとする対象螢光体部
分をシャドウマスクを介して露光して固化定着させ、そ
の他の部分を現像して除去するが、その際、露光対象面
上の照度が略−様になっていることが必要である。
り、夫々、多数のドツト状またはストライプ状にしてガ
ラスバルブのパネルの内面に配設する工程では１周知の
如く、感光性螢光体膜の配設しようとする対象螢光体部
分をシャドウマスクを介して露光して固化定着させ、そ
の他の部分を現像して除去するが、その際、露光対象面
上の照度が略−様になっていることが必要である。
そのために特公昭６１−９６９７号公報には、３色夫々
の螢光体が塗布される位置を露光するのに同一光源を移
動して用い、光源の移動に対応して該光源に合う適切な
透過率分布をもつ第１の光量補正フィルタを３色共通に
用いると共に、光源が移動した位置に応じて第１の光量
補正フィルタとは異なる透過率分布をもつ別のフィルタ
と補正レンズを組合せ使用することが示されている。
の螢光体が塗布される位置を露光するのに同一光源を移
動して用い、光源の移動に対応して該光源に合う適切な
透過率分布をもつ第１の光量補正フィルタを３色共通に
用いると共に、光源が移動した位置に応じて第１の光量
補正フィルタとは異なる透過率分布をもつ別のフィルタ
と補正レンズを組合せ使用することが示されている。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、上記従来の技術は、光量補正フィルタにより対
象露光面上での照度が略−様になるけれども、照度が低
下することへの配慮が足らず、光源径の小さいデイスプ
レィ管や光源から露光対象面までの距離が大きくなる大
形管では、十分な照度が得られず、実際には照度をある
程度優先させたために３色螢光体□に対する露光のバラ
ンスが良くないなどの問題が生じていた。
象露光面上での照度が略−様になるけれども、照度が低
下することへの配慮が足らず、光源径の小さいデイスプ
レィ管や光源から露光対象面までの距離が大きくなる大
形管では、十分な照度が得られず、実際には照度をある
程度優先させたために３色螢光体□に対する露光のバラ
ンスが良くないなどの問題が生じていた。
本発明は、露光対象螢光面上での照度不足を生じさせず
に、３色螢光体に対する露光の不均衡を十分に補正でき
るようにしたカラー陰極線管螢光面露光装置を提供する
ことを目的とする。
に、３色螢光体に対する露光の不均衡を十分に補正でき
るようにしたカラー陰極線管螢光面露光装置を提供する
ことを目的とする。
［課題を解決するための手段］
本発明においては上記目的を達成するために、螢光面の
露光対象螢光体の発光色夫々に対応して露光用光源の位
置を変化させたために露光対象面上に生ずる照度分布の
不均衡を、投写光に対して酩直角に介在させたガラス基
板の光源側に形成させた基板ガラスの屈折率よりも屈折
率の低い物質の薄膜よりなる反射防止膜の反射防止機能
が、ガラス基板の一端近傍で最高であり、其処から離れ
るにつれ漸次低下して他端で最低となる反射防止膜付き
ガラス板により補正するようにした。
露光対象螢光体の発光色夫々に対応して露光用光源の位
置を変化させたために露光対象面上に生ずる照度分布の
不均衡を、投写光に対して酩直角に介在させたガラス基
板の光源側に形成させた基板ガラスの屈折率よりも屈折
率の低い物質の薄膜よりなる反射防止膜の反射防止機能
が、ガラス基板の一端近傍で最高であり、其処から離れ
るにつれ漸次低下して他端で最低となる反射防止膜付き
ガラス板により補正するようにした。
［作用］
螢光膜形成工程で、従来、露光時に光量補正のために使
用していたフィルタは透明なガラス基板に、ニッケル、
アルミニウム、インコネル等を蒸着し、照射光を途中の
フィルタで吸収低減させることによって対象露光面上で
の照度分布を一様にさせていた。この方法は大きな範囲
で光量補正ができるため、グレーディングフィルタとし
ては有効であるが、露光対象螢光体の色を変えることに
対応して光源の位置を変えたことによる照度分布の変化
を補正する場合のような、＊調整的な光量補正の場合に
は、フィルタ挿入による光量の低下、そのための照度不
足の方が大きく影響し、高精細度にするため光源径が小
さく光源の光束が少ないデイスプレィ管の場合や光源と
露光対象螢光面との距離が大きくなってしまう大形管の
場合には、露光面上で十分な補正を行うことが出来なか
った。
用していたフィルタは透明なガラス基板に、ニッケル、
アルミニウム、インコネル等を蒸着し、照射光を途中の
フィルタで吸収低減させることによって対象露光面上で
の照度分布を一様にさせていた。この方法は大きな範囲
で光量補正ができるため、グレーディングフィルタとし
ては有効であるが、露光対象螢光体の色を変えることに
対応して光源の位置を変えたことによる照度分布の変化
を補正する場合のような、＊調整的な光量補正の場合に
は、フィルタ挿入による光量の低下、そのための照度不
足の方が大きく影響し、高精細度にするため光源径が小
さく光源の光束が少ないデイスプレィ管の場合や光源と
露光対象螢光面との距離が大きくなってしまう大形管の
場合には、露光面上で十分な補正を行うことが出来なか
った。
これに対し本発明に係る反射防止膜付きガラス板は、高
い照度を得難い個所に至る光路に挿入される部分では反
射防止膜の機能が最高に発揮され、照度が高くなり過ぎ
そうな個所に至る光路に挿入された部分は前記部分から
の距離に対応して反射防止機能が低下するようになって
いる。このようにして−枚の反射防止膜付きガラス板で
補正できる範囲は４％程度に過ぎないが、通常、螢光体
の相違に対応する光源位置の変更に伴う照度の不均衡は
共の程度で補正できるし、それで補正が不十分ならば、
同様なガラス板の枚数を増やせば良い。
い照度を得難い個所に至る光路に挿入される部分では反
射防止膜の機能が最高に発揮され、照度が高くなり過ぎ
そうな個所に至る光路に挿入された部分は前記部分から
の距離に対応して反射防止機能が低下するようになって
いる。このようにして−枚の反射防止膜付きガラス板で
補正できる範囲は４％程度に過ぎないが、通常、螢光体
の相違に対応する光源位置の変更に伴う照度の不均衡は
共の程度で補正できるし、それで補正が不十分ならば、
同様なガラス板の枚数を増やせば良い。
反射防止膜付きガラス板を使用する場合の利点は、従来
の反射防止膜の形成してない裸のガラス板では約４％の
反射光分だけ透過光量が減少してしまうのに対して透過
光量が殆ど減少しないことである０本発明による場合は
、ある部分に対しては、途中の光量低下が殆どないから
、従来に比べて、光源の光量が多くない又は輝度が十分
高くない場合でも、光量補正を行うことができる。
の反射防止膜の形成してない裸のガラス板では約４％の
反射光分だけ透過光量が減少してしまうのに対して透過
光量が殆ど減少しないことである０本発明による場合は
、ある部分に対しては、途中の光量低下が殆どないから
、従来に比べて、光源の光量が多くない又は輝度が十分
高くない場合でも、光量補正を行うことができる。
空気の屈折率をｎ□１反射防止膜物質の屈折率をｎ’ｓ
ガラス基板の屈折率をｎ３（ここでｎｔ ＜ｎａ ＜ｎ
り。
ガラス基板の屈折率をｎ３（ここでｎｔ ＜ｎａ ＜ｎ
り。
真空中での光の波長をλとすると、空気から一旦反射防
止膜内に屈折して入った光のうちガラス基板との界面で
反射されて膜の表面に戻って来た光と膜の表面で直接反
射された光とが干渉して反射防止膜面からの反射が極小
となるのは、反射防止膜の厚さをｄとした時１反射防止
膜中の往復光路長２ｄが反射防止膜中の光の半波長λ／
２ｎ２の奇数倍のときである。（偶数倍ならば両波が重
畳して極大になる）。更にｎ、”＝ｎ、Ｘｎ、なる関係
があれば反射を極小でなく皆無にすることが出来る。実
際には丁度このような条件を満足する適当な材料はない
が、周知の如く反射防止膜材料にＭｇＦ。
止膜内に屈折して入った光のうちガラス基板との界面で
反射されて膜の表面に戻って来た光と膜の表面で直接反
射された光とが干渉して反射防止膜面からの反射が極小
となるのは、反射防止膜の厚さをｄとした時１反射防止
膜中の往復光路長２ｄが反射防止膜中の光の半波長λ／
２ｎ２の奇数倍のときである。（偶数倍ならば両波が重
畳して極大になる）。更にｎ、”＝ｎ、Ｘｎ、なる関係
があれば反射を極小でなく皆無にすることが出来る。実
際には丁度このような条件を満足する適当な材料はない
が、周知の如く反射防止膜材料にＭｇＦ。
を用いて実用上はとんど反射皆無、透過率１にすること
か出来る。従ってガラス基板の左右で反射防止膜の厚さ
をλ／４ｎ２だけ異ならせれば、基板の一端では透過率
ｌ、他端では０．９６となり、それだけ光量補正を行う
ことができる。
か出来る。従ってガラス基板の左右で反射防止膜の厚さ
をλ／４ｎ２だけ異ならせれば、基板の一端では透過率
ｌ、他端では０．９６となり、それだけ光量補正を行う
ことができる。
［実施例］
第１図（ｃ）の３は光源からの直接光の強度分布を、第
１図（ｂ）の２は金属蒸着膜を用いたフィルタの透過率
分布を、第工図（ａ）の１は上記フィルタを用いた場合
の上記光源による対象露光面上の照度分布を示す。公知
のように、現在、カラー陰極線管のパネルの中心に垂直
な直線上に光源を配置して露光するのは一般には緑色螢
光体を定着させるときである。赤、青の螢光体を定着さ
せるための露光は、第２図に示すように、上記直線に垂
直な平面上で、上記直線から左右に所定距離だけ光源を
移動させた位置で行う。この変位のために、第２図にｌ
ｒ、Ｉｇ、ｌｂ （それぞれ赤、緑、青蛍光体に対する
露光時の照度分布）として示すように、照度分布が変化
する１本発明に係る反射防止膜付きガラス板はこの場合
の照度分布の不均衡を補正することを目的とする。
１図（ｂ）の２は金属蒸着膜を用いたフィルタの透過率
分布を、第工図（ａ）の１は上記フィルタを用いた場合
の上記光源による対象露光面上の照度分布を示す。公知
のように、現在、カラー陰極線管のパネルの中心に垂直
な直線上に光源を配置して露光するのは一般には緑色螢
光体を定着させるときである。赤、青の螢光体を定着さ
せるための露光は、第２図に示すように、上記直線に垂
直な平面上で、上記直線から左右に所定距離だけ光源を
移動させた位置で行う。この変位のために、第２図にｌ
ｒ、Ｉｇ、ｌｂ （それぞれ赤、緑、青蛍光体に対する
露光時の照度分布）として示すように、照度分布が変化
する１本発明に係る反射防止膜付きガラス板はこの場合
の照度分布の不均衡を補正することを目的とする。
２０形のカラーデイスプレィ管の場合で、上記光源の変
位による不均衡は約５〜７％である。これを補正するた
めに、ガラス基板にガラスよりも屈折率の低い物質たと
えばＭ ｇ Ｆ ｚ （屈折率ｎ２の値は１．３８）を
、ガラス基板の一端で、前記の如く蒸着膜厚が光源の真
空中の波長λの１ ／ （４Ｘ１．３８）の奇数倍とな
るように、他端で倍数が前記奇数と１だけ異なる偶数倍
となるように、基板を僅かに傾けて蒸着させる。このよ
うな反射防止膜付きガラス板を第３図に１０として示す
ようにパネルと光源との間に介在させることにより、照
度を従来よりも１０〜１５％向上させ、３色のアンバラ
ンスも補正することが出来た。露光に使用する光源の波
長３６０ｎｍで、屈折率ｎ、＝１．３８のＭｇＦ、膜を
蒸着する場合、ガラス基板の左右で反射率の差が最大と
なる膜厚差は、 ｄ ＝３６０Ｘ１０−’；（４Ｘ１．
３８）＝ ６．５２Ｘ１０−’ ｍ、即ち約６５ｎｍと
なる。なお、第３図中、４はパネル、５は感光性螢光体
膜、６はシャドウマスク、７は光源、８は補正レンズ、
９は金属蒸着膜を用いた光量補正フィルタ、１０は本発
明に係る反射防止膜付きガラス板である。
位による不均衡は約５〜７％である。これを補正するた
めに、ガラス基板にガラスよりも屈折率の低い物質たと
えばＭ ｇ Ｆ ｚ （屈折率ｎ２の値は１．３８）を
、ガラス基板の一端で、前記の如く蒸着膜厚が光源の真
空中の波長λの１ ／ （４Ｘ１．３８）の奇数倍とな
るように、他端で倍数が前記奇数と１だけ異なる偶数倍
となるように、基板を僅かに傾けて蒸着させる。このよ
うな反射防止膜付きガラス板を第３図に１０として示す
ようにパネルと光源との間に介在させることにより、照
度を従来よりも１０〜１５％向上させ、３色のアンバラ
ンスも補正することが出来た。露光に使用する光源の波
長３６０ｎｍで、屈折率ｎ、＝１．３８のＭｇＦ、膜を
蒸着する場合、ガラス基板の左右で反射率の差が最大と
なる膜厚差は、 ｄ ＝３６０Ｘ１０−’；（４Ｘ１．
３８）＝ ６．５２Ｘ１０−’ ｍ、即ち約６５ｎｍと
なる。なお、第３図中、４はパネル、５は感光性螢光体
膜、６はシャドウマスク、７は光源、８は補正レンズ、
９は金属蒸着膜を用いた光量補正フィルタ、１０は本発
明に係る反射防止膜付きガラス板である。
［発明の効果コ
以上説明したように本発明によれば、光量を１０〜１５
％向上させながら光源の変位による左右の照度分布の不
均衡を補正できるので、高精細度デイスプレィ管や大形
管の白物−性を向上させる効果が得られる。
％向上させながら光源の変位による左右の照度分布の不
均衡を補正できるので、高精細度デイスプレィ管や大形
管の白物−性を向上させる効果が得られる。
第１図（ａ）はフィルタ使用時の露光面上の照度分布図
、第１図（ｂ）は金属蒸着膜を用いたフィルタの透過率
分布図、第１図（ｃ）は光源からの直接光の強度分布図
、第２図は露光対象螢光体の色を変える際の光源変位に
よる照度分布変化を示す図、第３図は本発明露光装置の
説明図である。 １・・・フィルタ使用時の露光面上の照度分布、２・・
・金属蒸着膜を用いたフィルタの透過率分布、３・・・
光源からの直接光の強度分布、 ４・・・パネル、５・
・・感光性螢光体膜、 ６・・・シャドウマスク。 ７・・・光源、 ８・・・補正レンズ、 ９・・・金属
蒸着膜を用いた光量補正フィルタ、 １０・・・本発明に係 る反射防止膜付きガラス板。
、第１図（ｂ）は金属蒸着膜を用いたフィルタの透過率
分布図、第１図（ｃ）は光源からの直接光の強度分布図
、第２図は露光対象螢光体の色を変える際の光源変位に
よる照度分布変化を示す図、第３図は本発明露光装置の
説明図である。 １・・・フィルタ使用時の露光面上の照度分布、２・・
・金属蒸着膜を用いたフィルタの透過率分布、３・・・
光源からの直接光の強度分布、 ４・・・パネル、５・
・・感光性螢光体膜、 ６・・・シャドウマスク。 ７・・・光源、 ８・・・補正レンズ、 ９・・・金属
蒸着膜を用いた光量補正フィルタ、 １０・・・本発明に係 る反射防止膜付きガラス板。
Claims (1)
- １、シャドウマスク方式カラー陰極線管の螢光面をホト
リソグラフィにより形成する際に使用する光線と電子ビ
ームの軌道の差の影響を補正する補正レンズと露光対象
面上における光量補正手段を備えた露光装置において、
螢光面の露光対象螢光体の発光色夫々に対応して露光用
光源の位置を変化させるために露光対象面上に生ずる照
度分布の不均衡を、投写光に対して略直角に介在させた
ガラス基板の光源側に形成させた基板ガラスの屈折率よ
りも屈折率の低い物質の薄膜よりなる反射防止膜の反射
防止機能が、ガラス基板の一端近傍で最高であり、其処
から離れるにつれ漸次低下して他端で最低となる反射防
止膜付きガラス板により補正するようにしたことを特徴
とするカラー陰極線管蛍光面露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4296189A JPH0340335A (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | カラー陰極線管螢光面露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4296189A JPH0340335A (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | カラー陰極線管螢光面露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0340335A true JPH0340335A (ja) | 1991-02-21 |
Family
ID=12650630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4296189A Pending JPH0340335A (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | カラー陰極線管螢光面露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0340335A (ja) |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP4296189A patent/JPH0340335A/ja active Pending
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