JPH0340339Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、排ガス処理装置に係り、特に装置の
運転再開時に、ユニツト及び排気筒内部に残留す
るミストが大気に排出するのを防止するようにし
た排ガス処理装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体処理工場から排出される弗化水素ガス等
を処理する排ガス処理装置には、乾式法と湿式法
があり、排ガスを大量に処理できること、及びラ
ンニングコストが安いことなどの観点から湿式法
がより広く利用されている。

第６図は、このような湿式法による従来の排ガ
ス処理装置の基本構成を示す概略図である。図に
おいて、１は上端に排気筒２が連設された処理塔
本体で、その下端部にはガス処理用吸収液を溜め
る液溜３を有し、この液溜３の上部には排ガス導
入室４を介して充填物を入れた接触部５が設けら
れていると共に、接触部５の上部には、これに吸
収液を散布する散布器６が配置され、この散布器
６は循環ポンプ７を介して上記液溜３に連結され
ている。また、散布器６の上方にはミスト分離器
８が設置され、さらに上記排ガス導入室４には排
ガス導入口９が設けられており、図示しない送風
機によつて排ガスが供給されるようになつてい
る。

上記のように構成された排ガス処理装置におい
て、送風機により導入口９から処理塔本体１の導
入室４内に送り込まれた排ガスは、循環ポンプ７
により、散布器６から噴出された吸収液と接触部
５で接触、反応し、これにより排ガス中の有害成
分を液に吸収させる。そして、有害成分の除去さ
れた排ガスはミスト分離器８を通過する間に排ガ
ス中のミストを除去し、排気筒２から大気中に放
出するようになつている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上記のような排ガス処理装置では、一般にミス
トとガスをミスト分離器で完全に分離することが
困難である。

また、外気温度が排気ガス温度より低い場合、
排ガス中の湿度はミストにより飽和状態になつて
いるため、排気筒２内を排ガスが上昇する時、ミ
ストが排気筒２の内壁面に付着して凝縮し、その
水滴が排ガス流により排気口２ａ方向へ運ばれ、
大気中にそのまま放出されてしまう。特に排ガス
処理装置の運転再開時には、さらに問題が大き
い。

即ち、排ガス処理装置の運転を停止した時は、
排気筒２内にはミスト（水分）を多量に含んだ排
ガスが滞留しており、しかも排ガス温度に比べて
外気温度が低い場合（一般に排ガス温度は20℃〜
30℃以上である）、排気筒２及び内部の排ガスが
外気温度より冷やされると、排ガス中の水分が凝
縮して、第６図に示す如く排気筒２の内面に付着
し、しかもミスト分離器及び接触部の充填物にも
多量のミストが付着している。従つて、このよう
な状態で排ガス処理装置の運転が再開されると、
第６図に示す如く排気筒２の内面に付着した水滴
状のミスト１０が排ガスと一体に大気中へ吹き出
され、有害物質や腐食物質を含んだミストが処理
装置周辺の外部環境を汚染するほか、建造物を腐
食したり、植物を枯らしてしまうなどの問題があ
つた。

また、従来においては、第７図に示す如く排ダ
ガス処理ユニツト１１と、これより離間して設置
した排気筒１２間を排気ダクト１３により連結
し、この排気ダクト１３の途中に排気フアン１４
を設けた形式の処理装置もあるが、この場合は、
排気ダクト１３が増えると共に、排気筒１２の長
さも増加するため、その分凝縮ミストの発生量が
増加し、運転再開時に、より多量のミストが放出
されてしまう問題があつた。

〔考案の目的〕

本考案は上記の問題点を解決するためになされ
たもので、排ガス処理ユニツト及び排気筒の内部
に残留するミスト液を除去した後に運転を再開
し、ミスト液が大気中へ排出されるのをなくした
排ガス処理装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案に係る排ガス処理装置は、排ガス導入ダ
クトが接続された排ガス処理ユニツトと、これよ
り離間して設置した排気筒と、この排気筒と上記
排ガス処理ユニツト間を排気フアンを介して連結
する排気ダクトとを備えた排ガス処理装置におい
て、上記排気ダクトの排気フアン吸入側に開閉ダ
ンパを介して外気導入口を設け、かつ上記排気ダ
クトの排気フアン吐出側と上記排ガス処理ユニツ
トの排気側及び上記排気筒の排気口間を逆洗用ダ
クトにより連結すると共に、上記排ガス導入ダク
ト、上記排気ダクト、上記排気筒の排気口及び上
記逆洗用ダクト内にはそれらの風路を開閉して排
気フアンによる排ガスの流通及び外気の逆洗送風
を行なわせるダンパを配設したものである。

〔考案の作用〕

本考案においては、排ガス処理装置の運転を再
開する時、排気フアンの動作で吸引された外気が
逆洗用ダクトを通して排ガス処理ユニツト及び排
気筒内に逆方向から送風できるように各ダンパを
開閉し、これにより排ガス処理ユニツト及び排気
筒に逆洗送風して内部の凝縮ミストを除去し、凝
縮ミストの除去後に各ダンパを切り替えて排ガス
処理ユニツトを通過させ、排気筒から大気へ放出
する。このため、運転の再開時に凝縮ミストが排
気筒を通して大気中に排出することがなくなる。

〔考案の実施例〕

以下、本考案の実施例を図面について説明す
る。

第１図乃至第３図は本考案に係る排ガス処理装
置の第１の実施例を示し、第１図は装置全体の概
略断面図、第２図及び第３図はその動作説明であ
る。

第１図において、符号１〜９で示す部分は上記
第６図と同一構成要素であるため、その説明は省
略し、第６図と異なる部分を重点に述べる。

即ち、この第１図からも明らかなように処理塔
本体１の上端と、これより離間して垂直に設置し
た排気筒１２の下端部間が排気ダクト１３により
結合され、この排気ダクト１３の途中には排気フ
アン１４が設けられていると共に、排気フアン１
４の吸入側及び吐出側の排気ダクト１３内に開閉
用のダンパ１５，１６をそれぞれ設置し、さらに
これらダンパ１５，１６の後段に位置して、それ
ぞれ外気導入口１７及び排気口１８を形成し、こ
れらの外気導入口１７及び排気口１８にはこれを
開閉するダンパ１９，２０がそれぞれ設置されて
いる。また、上記吐出側ダンパ１６の前段に位置
する排気ダクト１３の排気フアン吐出側と上記排
気筒１２の上端部間は逆洗用ダクト２１により連
結され、この逆洗用ダクト２１の両者への連結端
側内部には開閉用のダンパ２２，２３がそれぞれ
設置され、さらに逆洗用ダクト２１と上記吸入側
ダンパ１５の前段に位置する排気ダクト１３間は
別の逆洗用ダクト２４により連結され、この逆洗
用ダクト２４内にはこれを開閉するダンパ２５が
設置されている。また、２６は上記排気筒１２の
排気口１２ａに設けた開閉用のダンパ、２７は排
気筒１２の底部１２ｂに沈積されるミスト液を廃
液処理部へ送るためのポンプである。

また、第１図において、処理塔本体１の排ガス
導入室４に連結された排ガス導入ダクト２８内に
は、これを開閉するダンパ２９が設置され、さら
に該ダンパ２９の後段に排気口３０が形成されて
いると共に、この排気口３０には、これを開閉す
るダンパ３１が設置されている。

次に、上記のように構成された本実施例の動作
について説明する。

排ガス処理装置が通常の処理運転を行なう場合
は、第２図に示すようにダンパ１５，１６，２６
及び２９を開き、ダンパ１９，２０，２２，２
３，２５及び３１を閉じた状態で排気フアン１４
を駆動する。これにより半導体製造装置から発生
する弗化水素ガス等の排ガスが第２図の矢印に示
す如く排ガス導入ダクト２８を通して処理塔本体
１の導入室４内に吸い込まれ、処理塔本体１内を
排気ダクト１３へ上昇していく。このとき、排ガ
スは循環ポンプ７により散布器６から噴出された
吸収液と接触部５内で接触、反応し、これにより
排ガス中の有害成分を処理液に吸収させる。そし
て、有害成分の除かれた排気ガスがミスト分離器
８を通過する間にガス中のミスト分が分離除去さ
れ、排気ダクト１３から排気筒１２へ送り出さ
れ、排気口１２ａから大気中へ放出される。

次に、停止状態にある排ガス処理装置の運転を
再開する場合について述べる。

この場合は、まず、第３図に示すようにダンパ
１９，２２，２５及び３１を開き、かつダンパ１
５，１６，１９，２３及び２９を閉じた状態で排
気フアン１４を駆動する。すると、外気導入口１
７から吸い込まれた外気は、第３図の矢印に示す
如く排気フアン１４−逆洗用ダクト２４−排気ダ
クト１３を通して処理塔本体１の上部に送り込ま
れ、さらにミスト分離器８、接触部５を通して排
ガス導入室４へ逆流すると共に、この導入室４か
ら排ガス導入ダクト２８を通して排気口３０から
装置外へ排出される。この逆洗送風状態を所望時
間継続することにより、処理塔本体１内の充満排
ガスが冷やされることで凝縮したミスト及びミス
ト分離器８、接触部５の充填物に付着しているミ
ストが逆洗用空気によつて除去され、液溜３内に
落下回収される。これにより排ガス処理ユニツト
内及び一部排気ダクト１３内の凝縮ミストの除去
を行なう。

次に、第４図に示す如く、ダンパ１９，２０，
２２及び２３を開き、ダンパ１５，１６，２５，
２６，２９および３１を閉じて排気フアン１４を
駆動する。すると、外気導入口１７から吸引され
た外気は、第４図の矢印に示す如く排気フアン１
４−逆洗ダクト２１−排気筒１２−排気ダクト１
３を通して排気口１８から系外へ排出される。こ
のとき、排気筒１２内で凝縮され、その内壁面等
に付着しているミスト液は吹き込みエアによつて
吹き落とされ、排気筒１２の底部１２ｂに沈積さ
れる。この沈積されたミスト液はポンプ２７によ
つて廃液処理へ送られる。これにより排気筒１２
内及び一部の排気ダクト１３の凝縮ミストを系外
に逆洗式に除去することになる。

上記処理塔本体１内、排気筒１２内及び排気ダ
クト１３内のミスト除去が終了した後は、各ダン
パ１５，１６，１９，２０，２２，２３，２５，
２６，２９，３１を第２図に示す状態にセツトす
れば、処理装置の運転が再開さるる。そして、こ
の時、系内の凝縮ミストは除去されているので、
排気ガスによつて排気筒１２からミストが大気中
へ飛散されることがない。これに伴い周囲環境の
汚染及び建造物の腐食等を防止でき、また、凝縮
されたミスト及びミスト分離器８、接触部５の充
填物に付着しているミストを液溜３へ回収できる
ため、ミスト液の再利用が可能になり、経済的に
有利となる。

第５図は本考案の他の実施例を示すものであ
る。この実施例において第１図と異なる点は、他
の逆洗用ダクト２４の一端を、排気ダクト１３と
排気筒１２との連結部に接続し、排気口１８を省
略したところにある。

このような逆洗送風方式にすれば、処理塔本体
１の内部と排気筒１２内のミスト逆洗除去を同時
に行なうことができる。

但し、ダクトやダンパによる抵抗が多少大きく
なるため、排気フアン１４に送風能力の大きいも
のが要求される。

〔考案の効果〕

以上のように本考案によれば、排ガス導入ダク
トが接続された排ガス処理ユニツトと、これより
離間して設置した排気筒間を、排気フアンを有す
る排気ダクトにより連結し、この排気ダクトの排
気フアン吐出側と排ガス処理ユニツト排気側及び
排気筒の排気口間を逆洗用ダクトにより連結する
と共に上記排ガス導入ダクト、排気ダクト、排気
筒の排気口及び逆洗用ダクト内に、それらの風路
開閉用のダンパを組み込み、これらダンパにより
排気フアンで吸引された外気を排ガス処理ユニツ
ト及び排気筒に逆洗送風して凝縮ミストを除去し
た後、排ガスの処理運転を再開するようにしたの
で、凝縮ミストの大気中への排出をなくすること
ができ、これに伴い大気及び装置周辺の汚染公害
も防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る排ガス処理装置の一実施
例を示す全体の概略断面図、第２図乃至第４図は
その動作説明用の概略断面図、第５図は本考案の
排ガス処理装置の他の実施例を示す概略断面図、
第６図は従来の排ガス処理装置の概略断面図、第
７図は従来の他の例を示す概略断面図である。 １……処理塔本体、３……液溜、４……排ガス
導入室、５……接触部、６……散布器、７……ポ
ンプ、８……ミスト分離器、１２……排気筒、１
３……排気ダクト、１４……排気フアン、１５，
１６，１９，２０，２２，２３，２５，２６，２
９，３１……ダンパ、１７……外気導入口、１
８，３０……排気口、２１，２４……逆洗用ダク
ト、２８……排ガス導入ダクト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 排ガス導入ダクトが接続された排ガス処理ユニ
   ツトと、これより離間して設置した排気筒と、こ
   の排気筒と上記排ガス処理ユニツト間を排気フア
   ンを介して連結する排気ダクトとを備えた排ガス
   処理装置において、上記排気ダクトの排気フアン
   吸入側に開閉ダンパを介して外気導入口を設け、
   かつ上記排気ダクトの排気フアン吐出側と上記排
   ガス処理ユニツトの排気側及び上記排気筒の排気
   口間を逆洗用ダクトにより連結すると共に、上記
   排ガス導入ダクト、上記排気ダクト、上記排気筒
   の排気口及び上記逆洗用ダクト内にはそれらの風
   路を開閉して排気フアンによる排ガスの流通及び
   外気の逆洗送風を行なわせるダンパを配設したこ
   とを特徴とする排ガス処理装置。