JPH034108A - 凹凸部の寸法測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、凹凸部の寸法測定装置、さらに詳しくは、
たとえば押出成形機がら出てくる合成樹脂成形品など被
測定物の表面に形成された断面長方形の凹凸部の幅と高
さを測定する装置に関する。

凹凸部には、凹部（みぞ）と凸部（突条）が含まれる。

また、四部の場合の品さとは、深さをいう。

従来の技術および発明の課題 第７図は、この発明の対象となる被測定物である合成樹
脂成形品の１例を示す。

この成形品（１）は押出成形機によって押出成形され、
その外周面に、断面長方形の複数条の四部（２）が形成
されている。これらの四部（２）はほぼ成形品（１）の
軸線方向にのび、緩やかな螺旋状をなしている。そして
、凹部（２）には光ファイバがはめ込まれ、その上から
被覆が施される。

このような成形品（１）を押出成形する場合、その四部
（２）の寸法すなわち幅（Ｂ）と高さ（Ｈ）をオンライ
ンで測定して、押出成形機にフィードバックする必要が
ある。このため、従来は、これらの寸法を作業者がノギ
スなどを使用してＡ−１定している。ところが、このよ
うな方法では、ａｌ定が困難で能率が悪く、測定精度の
面でも問題がある。

この発明の目的は、上記の問題を解決し、凹凸部の寸法
を簡単にかつ正確に測定できる能率の良い装置を提供す
ることにある。

課題を解決するための手段 この発明による凹凸部の寸法測定装置は、被測定物の表
面および凹凸部に、凹凸部と交差する方向の線状の光を
被７１９１定物の表面と所定の角度をなすように照射す
る光源と、 光軸が被測定物の表面および光源の照射方向と所定の角
度をなしかつ水平走査線が凹凸部の長さ方向と一致する
ように凹凸部の真上に配置され、光源に面する凹凸部の
面に当たった第１の光とその両側の被測定物の表面に当
たった第２および第３の光の間に段差が生じるようにこ
れらの光を撮像する２次元撮像手段と、撮像手段からの
映像信号を使用し、各水平走査線ごとに光の・水平走査
方向の位置を求めて直前の水平走査線のそれと比較する
ことにより、段差の部分の光の端点の水平走査方向およ
び垂直走査方向の位置を求める段差位置検出回路と、段
差位置検出回路により求められた各位置に基づいて、凹
凸部の幅および高さを求める演算手段とを備えており、 演算手段がコンピュータによって構成されていることを
特徴とするものである。

作　　　用 まず、光源に面する凹凸部の面に当たった第１の光とそ
の両側の被測定物の表面に当たった第２および第３の光
が撮像手段によって撮像される。撮像手段の光軸が被測
定物の表面および光源の照射方向と所定の角度をなすの
で、撮像手段で撮像した第１の光と第２および第３の光
との間に段差が生じる。また、水平走査線が凹凸部の長
さ方向と一致するように撮像手段が凹凸部の真上に配置
されているので、第１の光と第２の光との段差の方向お
よび第１の光と第３の光との段差の方向がいずれも水平
走査方向と一致する。

次に、段差位置検出回路により、段差の部分の光の端点
の水平走査方向および垂直走査方向の位置が求められる
。上記のように第１の光と第２および第３の光との段差
の方向がいずれも水平走査方向と一致しているため、映
像信号の各水平走査線ごとに１回ずつ光の部分が現われ
、水平同期信号から光が現われるまでの時間によって光
の水平走査方向の位置が求められる。また、第１の光と
第２および第３の光との段差の部分では光の水平走査方
向の位置が急激に変化するので、各水平走査線ごとに光
の水平走査方向の位置を直前の水平走査線のものと比較
することにより、段差が検出できる。このとき、これら
２つの水平走査線の光の水平走査線方向の位置から２つ
の光の端点の水位走査線方向の位置が求められ、段差を
検出するまでの水平走査線の数より２つの光の端点の垂
直走査方向の位置が求められる。

最後に、演算手段により、凹凸部の幅および高さが求め
られる。凹凸部の高さは第１の光と第２および第３の光
との段差の大きさに比例し、その比例定数は光源からの
光の照射方向および撮像手段の光軸の方向によって決ま
る。このため、これらの方向を一定にしておけば、段差
の大きさから凹凸部の高さが求められる。なお、段差の
大きさは、段差の部分の２つの光の端点の水平走査方向
の位置の差より求められる。また、凹凸部の幅は第１の
光の垂直走査方向の長さに比例し、その比例定数は一定
である。したがって、第１の光の両端点の垂直走査方向
の位置の差より同方向の第１の光の長さを求め、これよ
り凹凸部の幅を求めることができる。

実　　施　　例 以下、図面を参照して、この発明の詳細な説明する。

第１図は、前記成形品（１）の１つの凹部（２）と、そ
の幅（１ｍ）および高さ（１１）を測定するために使用
される測定装置の一部を示す。第２図は、この測定装置
の電気的構成を示す。

測定装置は、光源（１０）、ＣＣＤテレビカメラ（２次
元撮像手段）　（１１）、段差位置検出回路（１２）お
よび演算装置！（演算手段）　（１３）を備えている。

光源（ｌＯ）は、成形品（１）の表面（ｌａ）および四
部（２）の底面（２ａ）に、四部（２）と交差する方向
好ましくは直交する方向の線状の光（Ｌ）を成形品（１
）の表面（１ａ）と一定の角度をなすように照射するも
のであり、たとえば半導体レーザなどが使用される。

テレビカメラ（１１）は、光源（１ｏ）に面する四部（
２）の底面（２ａ）に当たった第１の光（Ｌｌ）とその
両側の成形品（１）の表面（１ａ）に当たった第２およ
び第３の光（Ｌ２）　（Ｌ３）との間に段差が生じるよ
うにこれらの光（Ｌｌ）　（Ｌ２）　（Ｌ３）を撮像す
るためのものであり、光軸（ｌｌａ）が成形品（１）の
表面（１ａ）および光源（１０）の照射方向と一定の角
度をなしかつ水平走査線が四部（２）の長さ方向と一致
するように四部（２）の真上に配置される。

段差位置検出回路（１２）は、テレビカメラ（ＩＩ）の
映像信号を使用して段差の部分の６光（Ｌｌ）　（Ｌ２
）　（Ｌ３）の端点の水平走査方向および垂直走査方向
の位置を求めるためのものであり、後述する各回路はハ
ードウェアで構成されている。

演算装置（１３）は、段差位置検出回路（１２）により
求められた各端点の位置に基づいて凹部（２）の幅（Ｂ
）および高さ（１１）を求めるためのものであり、コン
ピュータによって構成されている。

Ｄ１定を行なう場合、まず、光源（１０）がら成形品（
１）の表面（ｌａ）および凹部（２）の底面（２ａ）に
光（Ｌ）を照射した状態で、テレビカメラ（１１）によ
り、第１の光（Ｌｌ）、第２の光（Ｌ２）および第３の
光（Ｌ３）が撮像される。

第３図はこのときのテレビ画像の１例を示し、第４図（
ａ）は映像信号Ｓａの一部を示す。テレビ画像は水平走
査線（＾）と所定の基準クロックパルスによって複数の
点に等分され、その中央部には長方形のウィンドウが設
定されている。なお、第３図にはテレビ画像のうちウィ
ンドウ（Ｖ）内の部分だけを示している。

テレビ画像のウィンドウ（Ｖ）内の各点は、次のように
、Ｘ軸とｙ軸を用いて表わされる。すなわち、ウィンド
ウ（Ｉｌｌ）の上端のすぐ上（外）の水平走査線をＸ軸
、ウィンドウｍの左端のすぐ左（外）の点を結ぶ垂ｔｎ
ａをｙ軸とし、これらの交点を原点（０）とする。した
がって、水平走査線の方向（水平方向）がＸ軸方向、こ
れと直交する垂直走査方向（垂直方向）がｙ軸方向とな
る。また、ウィンドウ（ｗ）内の各点のＸ座標値は、原
点（０）を０として、水平走査線を等分する基準クロッ
クパルスの数で表わされ、Ｘ座標値は、原点（０）を０
として、水平走査線の数で表わされる。第４図（ａ）に
おいて、水平同期信号りの間の部分が１つの水平走査線
を表わしており、ウィンドウ（Ｗ）内の水平走査線には
上のものから順に番号を付している。ウィンドウｍ内の
上端の水平走査線の番号は１である。ウィンドウ（ＩＩ
）内の下端の水平走査線の番号はＣであり、これはウィ
ンドウ（Ｖ）内の水平走査線の総数を表わしている。

第４図（ｂ）はｙ軸方向ウィンドウ信号Ｓｂ１同図（Ｃ
）はＸ軸方向ウィンドウ信号Ｓｃを示している。ｙ軸方
向ウィンドウ信号ｓｂは、垂直走査方向のウィンドウ（
Ｖ）の範囲を示すものであり、水平走査線が垂直走査方
向に関してウィンドウ（Ｖ）の範囲内にある部分でだけ
Ｈ（ｌｌｌｇｈ）レベルになり、他の部分ではＬ　（Ｌ
ｏｗ）レベルになっている。すなわち、ｙ軸方向ウィン
ドウ信号ｓｂは、ウィンドウ（Ｖ）内の上端の１番目の
水平走査線の水平同期信号りに同期してＬレベルからＨ
レベルになり、ウィンドウ（Ｗ）の下端のすぐ下（外）
の水平走査線の水平同期信号りに同期してＨレベルから
Ｌレベルになる。Ｘ軸方向ウィンドウ信号Ｓｃは水平走
査方向のウィンドウ（Ｗ）の範囲を示すものであり、ウ
ィンドウ（Ｖ）内にある水平走査線について水平走査方
向の位置がウィンドウ（Ｖ）内にある部分でだけＨレベ
ルになり、他の部分ではＬレベルになっている＠前述の
ようにテレビカメラ（１１）の光軸（ｌｌａ）が成形品
（１）の表面（ｌａ）および光源（！０）の照射方向と
一定の角度をなすので、第３因に示すように、テレビ画
像の第１の光（Ｌｌ）と第２および第３の光（Ｌ２）（
Ｌ３）との間に段差＜ＤＩ）（Ｄ２）が生じる。なお、
第１の光（Ｌｌ）と第２の光（Ｌ２）との段差（Ｄｌ）
を第１段差、第１の光（Ｌｌ）と第３の光（Ｌ３）との
段差（Ｄ２）を第２段差と呼ぶ。また、第１段差（ＤＩ
）における第２の光（Ｌ２）の下端点を第１端点（ＰＩ
）、第１の光（Ｌｌ）の上端点を第２端点（Ｐ２）と呼
び、第２段差（Ｄ２）における第１の光（Ｌｌ）の下端
点をｍ３端点（Ｐ３）、第３の光（Ｌ３）の上端点を第
４端点（Ｐ４）と呼ぶ。そして、各端点（ＰＩ）（Ｐ２
）　（Ｐ３）　（Ｐ４）のＸ座標値をそれぞれｘｌ、ｘ
２、！３、ｘ４とし、Ｘ座標値をそれぞれｙｌ、　ｙ２
、ｙ３、ｙ４とする。また、水平走査線が凹部（２）の
長さ方向と一致するようにテレビカメラ（１１）が四部
（２）の真上に配置されているので、第１端点（Ｐｉ）
と第２端点（Ｐ２）とを結ぶ第１段差（Ｄりの方向およ
び第３端点くＰ３）と第４端点（Ｐ４）とを結ぶ第２段
差（Ｄ２）の方向がいずれも水平走査方向と一致する。

テレビカメラ（１１）の映像信号Ｓａは段差位置検出回
路（１２）に送られ、これによって、４つの端点（Ｐｉ
）　（Ｐ２）（Ｐ３）　（Ｐ４）のＸ座標値およびＸ座
標値が求められる。これらの座標値はさらに演算装置（
１３）に送られ、これによって、四部（２）の幅（Ｂ）
および高さ（Ｈ）が求められる。

次に、第３図および第４図を参照して、段差検出回路（
１２）および演算回路（１３）の処理の概要を説明する
。

段差検出回路（１２）は、ウィンドウ（Ｉｌｌ）内の各
水１也走査線ごとに、光の部分のＸ座標値を求め、これ
を直前の水平走査線のそれと比較することにより、段差
を検出し、その段差における光の端点のＸ座標値および
Ｘ座標値を求める。

前記のように２つの段差（ＤＩ）（Ｄ２）の方向がいず
れも水平走査方向と一致しているため、第４図（ａ）に
示すように、映像信号の各水平走査線ごとに１回ずつ光
に対応する部分にピーク（Ｅ）が現われ、水平同期信号
りのあとＸ軸方向ウィンドウ信号ＳｃがＨレベルになっ
てからピーク（Ｅ）が現われるまでの基準クロックパル
スをカウントすることによって光の部分のＸ座標値が求
められる。また、段差（ＤＩ）（Ｄ２）の部分では光の
部分のＸ座標値が急激に変化するので、各水平走査線ご
とに光の部分のＸ座標値を直前の水平走査線のものと比
較することにより、段差（ＤＩ）（Ｄ２）が検出できる
。このとき、これら２つの水平走査線の光の部分のＸ座
標値から２つの光の端点のＸ座標値が求められ、段差（
ＤＩ）（Ｄ２）を検出するまでのウィンドウ（Ｖ）内の
水平走査線の数より２つの光の端点のＸ座標値が求めら
れる。

演算装置（１３）は、第３端点（Ｐ３）のＸ座標ｌｉｄ
！ｘ３と第２端点（Ｐ２）のｙ座標値ｙ２の差（ｙ３−
ｙ２）より第１の光（Ｌｌ）のｙ軸方向の長さを求め、
これより、凹部（２）の幅（Ｂ）を求める。また、第１
端点（ｐｌ）のＸ軸座標Ｍｘ！と第２端点（Ｐ２）のＸ
座標値ｘ２の差（ＸＩ　−ｘ２）および／または第４端
点（ｐｌ）のＸ軸座標値ｘ４と第３端点（Ｐ２）のＸ座
標値ｘ３の差（ｘ４−ｘ３）より段差（ＤＩ）　（Ｄ２
）の大きさを求め、これより９、凹部（２）の高さ（１
１）を求める。

四部（２）の高さ（ＩＩ）は段差（ＤＩ）（Ｄ２）の大
きさに比例し、その比例定数は光源（ｌＯ）からの光（
Ｌ）の照射方向およびテレビカメラ（１１）の光軸（ｌ
Ｉａ）の方向によって決まる。そして、これらの方向が
一定であるから、段差（ＤＩ）　（Ｄ２）の大きさから
凹部（２）の高さが求められる。また、凹部（２）の幅
（Ｂ）は第１の光（Ｌｌ）のｙ軸方向の長さに比例し、
その比例定数は一定である。したがって、第１の光（Ｌ
ｌ）のｙ軸方向の長さより四部（２）の幅（Ｂ）を求め
ることができる。

次に、第２図〜第４図ならびに第５図のフローチャート
を参照して、上記の段差位置検出回路（１２）および演
算装置（１３）の処理をさらに詳細に説明する。

まず、テレビカメラ（１１）の映像信号Ｓａが段差検出
回路（１２）のピーク検出回路（１４）、ｙ座標値カウ
ント回路（１５）およびＸ座標値カウント回路（１６）
に送られる。

ｙ座標値カウント回路（１５）は、処理中の点のｙ座標
値を求めるためのものであり、カウンタなどを備えてい
る。このカウント回路（１５）では、ｙ軸方向ウィンド
ウ信号ｓｂがＨレベルになっている間に、映像信号Ｓａ
の水平同期信号りがカウントされる。水平同期信号りの
数は水平走査線の数と一致しており、したがって、この
カウント回路（１５）の出力信号Ｓｅは処理中の点のｙ
座標値を表わすことになる。

Ｘ座標値カウント回路（１Ｂ）は、処理中の点のＸ座標
値を求めるためのものであり、第４図（ｄ）に示すよう
な基準クロックツくルス信号Ｓｄを発生するパルス発生
回路やカウンタなどを備えている。このカウント回路（
１８）では、ウィンドウｍ内の各水平走査線についてＸ
軸方向ウィンドウ信号ＳｃがＨレベルになってからの基
準クロックパルスｉの数がカウントされ、その出力信号
Ｓｒは処理中の点のＸ座標値を表わしている。

ピーク検出回路（１４）は、ウィンドウ（ｗ）内の各水
平走査線について光の部分のＸ座標値を求めるためのも
のであり、コンパレータなどを備えている。この回路（
１０では、ウィンドウ（Ｖ）内の各水平走査線について
映像信号Ｓａが所定のしきい値ｊと比較され、光の部分
のピーク（Ｈ）によって映像信号Ｓａがしきい値ｊより
大きくなると、書込みパルス発生回路（１７）にピーク
検出信号Ｓｇが出力される。

ピーク検出信号Ｓｇが出力されると、書込みノ（ルス発
生回路（１７）から−時記憶回路（１８）に−時記憶信
号ｓｈが出力される。

一時記憶回路（１８）は、現在処理中の水平走査線のｙ
座標値および光の部分のピーク（Ｅ）のＸ座標値ならび
に直前の水平走査線の光の部分のＸ座標値を一時的に記
憶しておくためのものであり、そのためのラッチ回路や
バッファレジスタなどを備えている。この回路（１８）
では、−時記憶信号ｓｈが出力されると、今回Ｘ座標値
レジスタに記憶されていた直前の水平走査線のピーク（
Ｅ）のＸ座標値を前回Ｘ座標値レジスタに移したのちに
、Ｘ座標値カウント回路（１Ｂ）の出力信号Ｓ「を今回
Ｘ座標値レジスタに記憶する。ピーク（Ｅ）が検出され
たときには、Ｘ座標値カウント回路０８）の出力信号Ｓ
「はピーク（Ｅ）のＸ座標値に一致しており、これによ
り、今回の水平走査線のピーク（Ｅ）のＸ座標値が今回
Ｘ座標値レジスタに記憶される。また、これと同時に、
ｙ座標値カウント回路（１５）の出力信号Ｓｅがｙ座標
値レジスタに記憶される。ｙ座標値カウント回路（１５
）の出力信号Ｓｅは今回の水平走査線のｙ座標値と一致
しており、これにより、今回の水平走査線のｙ座標値が
ｙ座標値レジスタに記憶される。

このような−時記憶が終ると、段差検知回路（１９）に
より、段差か否かの判断が行なわれる。

段差検知回路（１９）には減算回路、絶対値回路、比較
回路などが設けられており、−時記憶回路（１８）の今
回Ｘ座標値と前回Ｘ座標値との差が計算されて、その絶
対値が小さい正の基準値と比較される。そして、差の絶
対値が基準値より大きいと、段差検知信号Ｓ１を書込み
パルス発生回路（１１）に出力する。第２の光（Ｌ２）
を含む１〜−一１番目の水平走査線については、今回Ｘ
座標値と前回Ｘ座標値との差が小さいが、第２の光（Ｌ
２）から第１の光（１，１）に代わったｍ番目の水平走
査線については、今回Ｘ座標値と前回Ｘ座標値との差が
大きく、段差検出信号Ｓｉが出力される。

このようにして第１段差（ＤＩ）を検知した段差検知信
号Ｓ！が出力されると、書込みパルス発生回路（１７）
から演算袋ｆｆｉ　（１３）のコンピュータに第１割込
み信号Ｓｊが出力される。そして、コンピュータは、こ
の割込み信号Ｓｊを受けて、−時記憶回路（１８）から
第１端点（Ｐｉ）および第２端点（Ｐ２）のＸ座標値ｘ
ｉｓ　ｘ２およびｙ座標値ｙｌ、　ｙ２をメモリに格納
する。第１段差（ＤＩ）が検知されたときには、−時記
憶回路（１８）の前回Ｘ座標値レジスタには直前の−１
番目の水平走査線のピーク（Ｅ）のＸ座標値すなわち第
１端点（ＰＩ）のＸ座標値ｘ１が記憶されており、これ
がｘｌとしてメモリに格納される。今回Ｘ座標値レジス
タには今回のｍ番目の水平走査線のピーク（Ｅ）のＸ座
標値すなわち第２端点（Ｐ２）のＸ座標値ｘ２が記憶さ
れており、これがｘ２としてメモリに格納される。

ｙ座標値レジスタには、ｍ番目の水平走査線のｙ座標値
すなわち第２端点（Ｐ２）のｙ座標値ｙ２（−ｍ）が記
憶されており、これがｙ２としてメモリに格納される。

また、ｙ座標値レジスタの値（−ｍ）は、第１端点（Ｐ
Ｉ）のｙ座標値ｙｔとしてもメモリに格納される。

第５図のフローチャートのステップ１および２に、この
ときのコンピュータの処理が示されている。

同様に、第１の光（Ｌｌ）から第３の光（Ｌ３）に変わ
ったｎ番目の水平走査線についても、今回Ｘ座標値と前
回Ｘ座ｊｓｆＩｉとの差が大きくなるため、段差検出信
号Ｓｔが出力され、書込みパルス発生回路（１７）から
演算袋ｒＩｔ（１３）のコンピュータに第２割込み信号
Ｓｋが出力される。そして、コンピュータは、この割込
み信号Ｓｋを受けて、−時記憶回路（１８）から第３端
点（Ｐ３）および第４端点（Ｐ４）のＸ座標値ｘ３、ｘ
４およびｙＦＭ標Ｍｙ８、ｙ４をメモリに格納ｒる。す
なわち、今回Ｘ座標値レジスタの内容をｘ４として、前
回Ｘ座標値レジスタの内容をｘ３として、ｙ座標値レジ
スタの内容（＝ｎ）をｙ３およびｙ４としてそれぞれメ
モリに格納する。

第５図のフローチャートのステップ３および４に、この
ときのコンピュータの処理が示されている。

このようにして４つの端点（ＰＩ）　（Ｐ２）　（Ｐ３
）　（Ｐ４）のＸ座標値およびｙ座標値がコンピュータ
のメモリに格納されると、コンピュータによって、第５
図のステップ５以下の処理が行なわれる。

まず、ステップ５において、（ＸＩ　　ｘ２）および（
ｘ４−１３）を計算し、前述のように、これらより凹部
（２）の高さ（Ｈ）を求める。次に、ステップ６におい
て、（ｙ３−ｙ２）を計算し、前述のように、これらよ
り凹部（２）の幅（Ｂ）を求める。

そして、最後に、ステップ７において、Δ−１定結果を
表示するとともに、図示しないホストコンピュータに転
送する。

成形品（１）を押出成形する場合、押出成形機から出て
くる成形品について、オンラインで上記のような検査を
行なうことができる。この場合、ホストコンピュータに
転送された測定結果を押出成形機にフィードバックする
こともできる。

この測定装置の場合、演算に必要な４つの端点の座標値
だけを演算装置（１３）のコンピュータのメモリに格納
するので、ソフトウェアによる画像処理に比べて、メモ
リの容量が非常に少な（てすむ。したがって、低コスト
であり、しかも上記座標値を求める処理がハードウェア
の段差位置検出回路（１２）で行なわれるので、処理時
間も短縮できる。

上記の測定装置は、第６図に示すように、断面長方形の
凸部（３）の幅（Ｂ）および高さ（１１）の測定にも適
用できる。この場合、光源（１０）からの光（Ｌ）は成
形品（１）の表面（ｌａ）と凸部（３）の頂面（３ａ）
に照射され、凸部（３）の頂面（３ａ）に第１の光（Ｌ
ｌ）が当たる。他は四部（２）の場合と同様であり、同
じ部分には同一の符号を付している。

発明の効果 この発明の測定装置によれば、上述のように、凹凸部の
寸法を簡単にかつ正確に＃ｊ定することができる。そし
て、最後の演算だけがコンピュータを使用して行なわれ
、演算に必要な点の位置だけがメモリに格納されるので
、処理時間が短縮され、しかも大容量のメモリが不要に
なり、コスト低減が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は凹部の寸法を測定する場合のこの発明の実施例
を示す測定装置の斜視図、第２図は測定装置の電気的構
成を示すブロック図、第３図はテレビ画像の１ｆ１を示
す図、第４図は測定装置の各部分の信号を示すタイムチ
ャート、第５図は演算装置のコンピュータの処理の１例
を示すフローチャート、第６図は凸部の寸法を測定する
場合のこの発明の実施例を示す測定装置の斜視図、第７
図は′Ａ−１定の対象となる成形品の１例を示す斜視図
である。 （υ・・・成形品（披Ｊ）Ｊ定物）　、（ｌａ）・・・
表面、（２）・・・四部、（２ａ）・・・底面′、（３
）・・・凸部（３）　、（３ａ）・・・頂面、（１０）
・・・光源、（１１）・・・テレビカメラ（撮像手段）
　、（１２）・・・段差位置検出回路、（１３）・・・
演算装Ｆ７！１（演算手段）　、（Ａ）・・・水平走査
線、（Ｂ）・・・幅、（Ｈ）・・・高さ、（ＤＩ）　（
Ｄ２）・・・段差、（Ｌ）・・・光、（目）・・・第１
の光、（Ｌ２）・・・第２の光、（Ｌ３）・・・第３の
光、（Ｐｌ）　（Ｐ２）　（Ｐ３）　（Ｐ４）・・・端
点。 以　　上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被測定物の表面に形成された断面長方形の凹凸部の幅と
   高さを測定する装置であって、 被測定物の表面および凹凸部に、凹凸部と交差する方向
   の線状の光を被測定物の表面と所定の角度をなすように
   照射する光源と、 光軸が被測定物の表面および光源の照射方向と所定の角
   度をなしかつ水平走査線が凹凸部の長さ方向と一致する
   ように凹凸部の真上に配置され、光源に面する凹凸部の
   面に当たった第１の光とその両側の被測定物の表面に当
   たった第２および第３の光の間に段差が生じるようにこ
   れらの光を撮像する２次元撮像手段と、 撮像手段からの映像信号を使用し、各水平走査線ごとに
   光の水平走査方向の位置を求めて直前の水平走査線のそ
   れと比較することにより、段差の部分の光の端点の水平
   走査方向および垂直走査方向の位置を求める段差位置検
   出回路と、段差位置検出回路により求められた各端点の
   位置に基づいて、凹凸部の幅および高さを求める演算手
   段とを備えており、 演算手段がコンピュータによって構成されていることを
   特徴とする凹凸部の寸法測定装置。